JP2007205966A - ハイブリッドセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】荷重センサ及び静電センサの検知面積を共に拡大できるようにし、各センサの検出機能向上が可能なハイブリッドセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】このセンサは、第１絶縁フィルム２のセンサ部２ａの表面に分散配置された複数の接点電極３ａ〜３ｄ及びこれら電極に接続された配線層４を有するスイッチング回路網が設けられた第１回路フィルム１と、前記第１絶縁フィルムと離間して対向された第２絶縁フィルム２１のセンサ部２１ａに、前記各接点電極と離間して対向された対向接点電極２２ａ〜２２ｄ及び静電電極層２２が設けられた第２回路フィルム２０と、前記第１及び第２回路フィルム相互間に配置され前記接点電極及び対向接点電極に対するスイッチ用貫通孔１１ａ〜１１ｄを有する絶縁スペーサ１０とを備え、前記各接点電極と対向接点電極とのスイッチ作用による荷重センサ及び静電電極層を含む静電センサを有する。
【選択図】図１

Description

本発明はハイブリッドセンサに係り、特に乗物座席への着座状態の検出に好適な荷重センサ及び静電センサを有するフィルム状ハイブリッドセンサの改良に関する。

例えば、自動車分野では、シートベルト着用の確認やエアバック作動用のシステム等様々な電子的装備システムが使用されており、これらシステムを機能させるために着座の有無、着座位置、着座者のパーソナリティなどの情報を検出するために種々のセンサが使用されている。

前記センサの一例として座席に装着し易いフレキシブルフィルム状の構造をもった従来技術が既に広く知られている（例えば、特許文献１参照）。この従来技術のセンサでは、着座の有無を検出する荷重センサ（着座センサ）と座席上の配置対象（パーソナリティ、物体）を判別するための静電センサ（近接センサ）とを併用することが示されている。

この荷重センサは、可撓性絶縁フィルムに多数のスイッチ接点を有する多数条の配線層を設けた第１回路配線フィルム、これと対をなす別の可撓性絶縁フィルムに多数のスイッチ接点を有する多数条の配線層を設けた第２回路配線フィルム、及びこれらのフィルム間に介在された可撓性絶縁スペーサを有した構造となっている。

前記スペーサには前記スイッチ接点に対向する多数の貫通孔が設けられ、着座の有無に応じて、前記多数の各貫通孔位置にて対向し合う多数対のスイッチ接点群が相互接触／非接触のスイッチ動作を行うことになっている。

そして前記静電センサは、特許文献１の図７に見られるように前記荷重センサ用の第１または第２回路配線フィルムの多数条の配線層間に静電電極を並置して形成され、一共通フィルムに荷重センサと共に内在させたものも知られている。

このように荷重センサ及び前記静電センサを内在させたハイブリッド型の従来技術にあっては、荷重センサの多数条の配線層相互間に静電センサの静電電極を割込ませて形成するために、荷重センサの多数条の配線層相互並びに多数のスイッチ接点の相互の横方向間隔が大きくなってしまう。

前記各センサは、いずれもその検知感度や精度などの検知機能が高いことが望まれるが、前記静電電極の割込み配置は、前記スイッチ接点群の一フィルム面当たりの密度を低下させ、ひいては前記荷重センサの検出機能を低下させ易い。前記静電センサの検知機能を向上するために静電電極の面積を大きくすると、なお更、荷重センサの検知機能の低下を招くことになる。逆に、荷重センサのスイッチ接点群密度を高めようとすると、前記静電電極の面積の拡大が困難となり前記静電センサの検出機能が低下し易くなるという問題がある。
特開２００２−３２６５５４号公報

本発明は、前記従来技術に示されたような問題点を解決するためになされたものであり、内蔵する荷重センサ及び静電センサの検知面積を共に拡大できるようにし、各センサの検出機能向上が可能なハイブリッドセンサを提供することを目的とする。

請求項１に記載の本発明のハイブリッドセンサは、第１絶縁フィルムのセンサ部の表面に分散配置された複数の接点電極及びこれら電極に接続された回路配線層を有するスイッチング回路網が設けられた第１回路フィルムと、前記第１絶縁フィルムと離間して対向された第２絶縁フィルムのセンサ部に、前記各接点電極と離間して対向された対向接点電極及び静電電極層が設けられた第２回路フィルムと、前記第１及び第２回路フィルム相互間に配置され前記接点電極及び対向接点電極に対するスイッチ用貫通孔を有する絶縁スペーサとを備え、前記各接点電極と前記対向接点電極とのスイッチ作用による荷重センサ、及び前記静電電極層を含む静電センサを有することを特徴とするものである。

請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載のハイブリッドセンサにおいて、前記対向接点電極は前記静電電極層の一部分として一体になっていることを特徴とするものである。

請求項３に記載の本発明は、請求項１または請求項２に記載のハイブリッドセンサにおいて、前記接点電極からフィルム面に沿った横方向に離間した位置に、前記接点電極の一部周辺に沿うスリットを、前記第１絶縁フィルム、第２絶縁フィルム及び前記絶縁スペーサの少なくとも１つを貫通するように形成したことを特徴とするものである。

請求項４に記載の本発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載のハイブリッドセンサにおいて、前記静電電極層は前記第２絶縁フイルムのセンサ部のほぼ全面に亘って形成されていることを特徴とするものである。

本発明によれば、荷重センサの主要な構成部材である複数の接点電極及び回路配線層を含むスイッチング回路網が第１絶縁フィルム上に形成され、静電センサの静電電極層が第２絶縁フィルム上に形成されているために、前記複数の接点電極を高密度かつ広い検出エリアをもって分布（分散配置）させ、前記静電電極層の面積を大きくしてその容量検出エリアを広くすることができる。従って、前記両センサは、いずれもパターン設計の自由度が高く、検出精度や感度などの検出機能を共に高くできるという効果を奏する。

以下に、本発明によるハイブリッドセンサの第１の実施形態を図１乃至図３を参照して説明する。

図1は本発明の第１の実施形態のハイブリッドセンサの全体像を示す一部切欠平面図、図２は図１の状態検出装置のＡ−Ａ線に沿う断面を矢印方向に見た拡大断面図、図３（ａ）乃至図３（ｃ）はこのハイブリッドセンサの構成を分解して示す各部材の平面図である。

まず、図３により各部材について説明する。図３（ａ）には、主として荷重センサのスイッチング回路網を形成する第１回路フイルム１が示されている。この第１回路フイルム１の基板材料としての可撓性の第１絶縁フィルム２は、例えば約１５０ｍｍ×１５０ｍｍ角の矩形平板状で広面積のセンサ部２ａ及びこのセンサ部の一辺中央部から延長された細長いリボン状の配線引出部２ｂを有している。

前記センサ部２ａの表面上には、各々が直径約１０ｍｍの円形状の複数の例えば４つの接点電極３ａ乃至３ｄが、前記矩形の四隅にほぼ対向する位置にできるだけ広い範囲に亘って分散配置或いは分布されている。前記各接点電極３ａ乃至３ｄに接続された配線幅約１ｍｍの回路配線層４は、前記センサ部２ａ表面上に例えばほぼコ字形のパターン状に形成されていて、前記接点電極３ａ乃至３ｄを含むスイッチング回路網を構成している。

前記配線引出部２ｂの先端部分には、外部コネクタ（図示せず）との電気的接続用の第１端子５ａが配置され、この第１端子５ａと前記センサ部２ａの回路配線層４とを接続する配線幅約１ｍｍの第１引出配線層６ａが、前記配線引出部２ｂの一側縁にほぼ沿って配置されている。

前記各接点電極３ａ乃至３ｄ、回路配線層４及び第１引出配線層６ａは共に全体として図示のように例えばほぼＹ字状のパターン形状となるように、前記第１絶縁フィルム２の表面上に例えば銀ペーストをスクリーン印刷して形成されていて、前記各接点電極表面には更にカーボン層が被覆されている。

また、前記第１絶縁フィルム２には、前記各接点電極３ａ乃至３ｄの各周縁を離間して各一部を取り囲む弧状、ほぼＵ字状或いはほぼＶ字状の複数の貫通スリットＳａ乃至Ｓｄが設けられている。

図３（ｂ）には、可撓性の平板状の絶縁スペーサ１０が示されている。このスペーサ１０は、その外形が前記第１絶縁フィルム２とほぼ同一の形状及び寸法に形成された矩形平板状で広面積のセンサ部１０ａ及びこのセンサ部の一辺中央部から延長された細長いリボン状の配線引出部１０ｂを有している。

前記スペーサのセンサ部１０ａには、前記各接点電極３ａ乃至３ｄにそれぞれ対応する複数のスイッチ用貫通孔１１ａ乃至１１ｄが形成され、各貫通孔１１ａ乃至１１ｄの各周縁を離間して各一部を取り囲む複数の貫通スリットＳａ１乃至Ｓｄ１が、前記第１絶縁フィルム２の各スリットＳａ乃至Ｓｄとほぼ同一形状及び寸法で重なり合う配置関係で形成されている。

図３（ｃ）には、静電センサの静電電極を備えた第２回路フィルム２０が示されている。この第２回路フイルム２０の基板材料としての可撓性の第２絶縁フィルム２１は、その平面外形が前記第１絶縁フィルム２とほぼ同一の形状及び寸法に形成され、矩形平板状の広面積のセンサ部２１ａ及びリボン状の配線引出部２１ｂを有している。

前記センサ部２１ａの表面上には、矩形状の単一の静電電極層２２が前記センサ部２１ａの矩形周縁部を避けたほぼ全面に亘る広面積に形成されている。前記配線引出部２１ｂの先端部分には、外部コネクタ（図示せず）との電気的接続用の第２端子５ｂが配置され、この第２端子５ｂと前記センサ部の静電電極層２２とを接続する配線幅約１ｍｍの第２引出配線層６ｂが、前記配線引出部２１ｂの一側縁にほぼ沿って配置されている。

なお、前記第２端子５ｂ、第２引出配線層６ｂ及び静電電極層２２は、紙面裏向きにて示された前記第２絶縁フィルム２１の一表面上に配置して示されているために、図中にて破線で表されている。

前記静電電極層２２には、図３（ａ）に示された前記各接点電極３ａ乃至３ｄにそれぞれ対向する位置関係をもって複数の例えば４つの対向接点電極２２ａ乃至２２ｄを構成する部分が設けられている。言い換えると、前記対向接点電極２２ａ乃至２２ｄは、ここでは、前記静電電極層２２の一部分を構成する一体形のもので、前記静電電極層２２が前記対向接点電極２２ａ乃至２２ｄを兼ね備えていることになる。

前記第２絶縁フィルム２に形成された複数の貫通スリットＳａ２乃至Ｓｄ２は前記スペーサのスリットＳａ１乃至Ｓｄ１や前記第１絶縁フィルム２の各スリットＳａ乃至Ｓｄとほぼ同一形状及び寸法で重なり合う配置関係とされている。

これらのスリットは、前記第１及び第２回路フィルム１、２０及びスペーサ１０の比較的広面積の各セル部の剛性を柔らげ、例えば着座者の体型に応じて柔軟に変形して接触感覚上の違和感や異物感を低減させる。

前記各フィルム及びスペーサの少なくとも一つに前記スリットを設ければ、前記違和感や異物感の低減が充分得られることもあり、その場合はいずれかのスリット形成を省略することも可能である。ところで、前記静電電極２２が広面積になるほどフィルム状センサ全体の剛性が高まる傾向がみられるが、このスリットの形成は、その傾向を柔らげるので、より効果的である。

また、前記第１及び第２絶縁フィルム２、２０、絶縁スペーサ１０には、例えばＰＥＴやＰＥＮなどのポリエチレン系樹脂が使用され、前記静電電極層２２及び第２引出配線層６ｂは、前記第１絶縁フィルム２表面上に例えば銀ペーストをスクリーン印刷して形成されていて、前記各接点電極表面には更にカーボン層が被覆されている。

なお、前記第１絶縁フィルム２の引出部２ｂは、その先端部が前記第２端子５ｂと重ならないように切欠部を有し（図３（ａ）参照）、前記第２絶縁フィルム２１の引出部２１ｂは、その先端部が前記第１端子５ａに重ならないように切欠部を有し（図３（ｃ）参照）、前記スペーサの引出部１０ｂは、その先端部が前記第１及び第２端子５ａ、５ｂと重ならないように切欠部を有する（図３（ｂ）参照）か短尺とされる。

そして、この実施形態におけるハイブリッドセンサは、図３（ａ）に示された第１回路フィルム１の上に、図３（ｂ）に示された前記スペーサ１０を重ね、その上に、図３（ｃ）に示された前記第２回路フィルム２０を重ねて、これらを相互に粘着材で一体化することにより、図１の平面図及び図２の断面図に示すような形状に組立てられている。

次に、この組立後の前記ハイブリッドセンサの構造について、図１及び図２を参照して説明を加えると、センサ部ＳＥは、前記各部材のセンサ部２ａ、１０ａ及び２１ａの重ね合わせにより、配線引出部ＴＥは、前記各部材の配線引出部２ｂ、１０ｂ及び２１ｂの重ね合わせによりそれぞれ構成されている。

そして、荷重センサは、前記第１回路フィルム１に分散配置された前記各接点電極３ａ乃至３ｄと各々対向する前記第２回路フィルム２０の前記各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄとによる複数の電極対で構成された複数のスイッチセルを有する。

これらのスイッチセルは、前記第１回路フィルム１の前記配線層４の配線パターンに応じた形態のスイッチング回路網によって接続されている。この第１実施形態では前記各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄが静電電極層２２の一部分であるので、この静電電極層２２は前記各スイッチセルの一方の電極を兼ねる。

次に、前記ハイブリッドセンサの使用方法及び機能について説明する。このセンサを例えば自動車の座席シート部に装着して着座スイッチとして使用する場合は、前記第１端子５ａ及び前記第２端子５ｂを、スイッチング（オンオフ）検出回路（図示せず）のＧＮＤ端子及びプラス端子にそれぞれ接続することによって荷重センサをセットしておけば、着座有無に応じた前記スイッチセルのスイッチング作用による検知或いは検出が行える。

また、座席上の配置対象（人体のパーソナリティや物体）の判別のために前記ハイブリッドセンサの静電センサを機能させる場合は、前記ハイブリッドセンサを座席の座席シート部、背当て部及びヘッドレストなどの所望の位置に装着し、前記静電電極層２２に接続された第２端子５ｂを静電容量検出回路（図示せず）の検出端子に接続する。

前記静電センサは、ここでは、前記静電電極層２２を一方の静電電極、車体を他方の静電電極としてそれぞれ機能させるように構成される。この静電センサ作動時には、前記第１端子５ａがＧＮＤに接続されていると、前記スイッチング回路網との間で不所望な容量結合が生じ易いので、前記第１端子５ａは電気的にオープン状態とされる。

そこで、前記センサを例えば座席のヘッドレストに装着した場合は、前記第１端子５ａを電気的にオープンにし、前記第２端子５ｂを前記静電容量検出回路に接続することによって着座者の頭部位置による静電容量の変化をとらえて頭部位置を検出する。その後、前記第１及び第２端子５ａ、５ｂを前記スイッチング検出回路のＧＮＤ端子及びプラス端子にそれぞれ切り替え接続すれば、前記頭部がヘッドレストに接触したか否かを検出することもできる。

このように、前記第１及び第２端子５ａ、５ｂを前記容量検出回路及びスイッチング検出回路に対して、切替え接続できるようにしておけば、同一構造のハイブリッドセンサを用いて、所望の検知場所や検知機能等の使用目的に応じて、前記静電センサと荷重センサを使い分けることができる。

この第１実施形態のハイブリッドセンサによれば、第１絶縁フィルム２のセンサ部２ａに対して、前記従来技術のような静電電極の割込み配置がなく、荷重センサの主要な構成部材である複数の接点電極３ａ乃至３ｄ及び回路配線層４を含むスイッチング回路網が専用的に設けられている。

そのために、パターン設計の自由度が高く、前記スイッチング回路網が前記センサ部２ａの広い範囲に亘って形成でき、前記複数の接点電極は、４つに限らず、更にその数を増加し、また、高密度に広い検出エリアをもって分布（分散配置）させることができる。

第２絶縁フィルム２１のセンサ部２１ａのほぼ全面に亘って静電電極層２２が占有する状態で設けられるために、前記静電電極層２２が高いパターン設計の自由度をもって広面積に形成され、容量検出エリアを容易に拡大できる。また、前記対向接点電極部２２ａ乃至２２ｄを有する前記静電電極層２２は、荷重センサ作動時のスイッチ接点電極を兼用することができ、その面積を最大限に大きくすることができる。その上、ハイブリッドセンサの入出力端子は、前記第１及び第２端子５ａ、５ｂの２端子の簡単な構成にできるために、コネクタコストを低減できると共に、配線層数を少なくできる分だけ回路配線層４及び引出配線層６ａ、６ｂの配線幅を広くして断線を低減させることができる。

従って、前記両センサは、いずれもパターン設計の自由度が高く、検出精度や感度などの検出機能を共に高くできる。

また、前記ハイブリッドセンサは、その用途目的や装着場所に応じて、その使用形態を定めることも可能であり、例えば、静電センサを構成する場合、前記静電電極層２２を一方の静電電極とし、前記各接点電極３ａ乃至３ｄ及び回路網用の前記配線層４を他方の静電電極として使用することもできる。

次に、第２の実施形態及び第３の実施形態のハイブリッドセンサについて図４及び図５を参照してそれぞれ説明する。いずれの実施形態においても、そのセンサの絶縁スペーサ及び第２回路フィルムは、前記第１実施形態に係る図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示されたものとそれぞれ同一であるためその説明を省略する。そして、これら実施形態はいずれも第１回路フィルムの構造が前記第１実施形態と一部異なっているが、同一構造部分は同一符号を付してその説明を省略し、異なる構造部分について説明を加える。

まず、第２実施形態における第１回路フィルム１について、図４を参照して説明する。即ち、第１絶縁フィルム２の矩形状のセンサ部２ａの表面上には、複数対の例えば４組の櫛形接点電極対３ａ１−３ａ２乃至３ｄ１−３ｄ２が前記矩形の４隅にほぼ対向する位置にできるだけ広い範囲に亘って分散配置されている。

前記各組の電極対の一方の各電極３ａ１乃至３ｄ１が一方の回路配線層４ａに接続され、他方の各電極３ａ２乃至３ｄ２が他方の回路配線層４ａ１に接続されることによって、スイッチング回路網が前記センサ部２ａの表面上に形成されている。

前記一方の回路配線層４ａは引出配線層６ａを通じて第１端子５ａに接続され、引出配線部２ｂの先端部に設けられた他の端子５ａ１は、前記引出配線層６ａと並行配置された他の引出配線層６ａ１を通じて前記他方の回路配線層４ａ１に接続されている。

そして、前記第１回路フィルム１上に、図３（ｂ）に示されたスペーサ１０を、更にその上に図３（ｃ）に示された第２回路フィルム２０を重ね合わせてセンサが組み立てられ、前記櫛形接点電極対（３ａ１−３ａ２）乃至（３ｄ１−３ｄ２）は、各スイッチ用貫通孔１１ａ乃至１１ｄを通じて、各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄとそれぞれ離間して対向配置されている。

そこで、前記各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄのうち外部から荷重が負荷された対向接点電極は、前記櫛形接点電極対（３ａ１−３ａ２）乃至（３ｄ１−３ｄ２）のいずれかに接触することにより対応する接点電極対をバースイッチの如く短絡してオン作動する。

この第２実施形態においては、前記端子５ａと５ａ１との間でスイッチング回路網の閉ループを構成するので、前記各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄを前記静電電極層２２から分離独立して形成し、前記静電電極層２２をスイッチング回路網からその接続を切り離しても良い。

このように前記静電電極層２２が前記各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄと別体である場合は、必要に応じて、その前記静電電極層２２を前記第２絶縁フィルム２１の外側表面に設けるも、更に、その静電電極層２２の表面に保護絶縁被膜をコーティングするも自由である。

ここで、前記静電電極層２２と前記各対向接点電極２２ａ乃至２２ｄとの関係が一体である第１実施形態と、別体である第２実施形態とを比較すると、前記第１実施形態の方が第２実施形態よりも、その電極のパターンニングが容易である。

また、スイッチング回路網に断線検知機能を持たせたい場合は、前記端子５ａと５ａ１との間のスイッチング回路網中に高抵抗値の断線検知抵抗を接続したループ回路を設けるとよい。

次に、第３実施形態における第１回路フィルム１について、図５を参照して説明する。

即ち、第１絶縁フィルム２の矩形状のセンサ部２ａの表面上に分散配置された複数の接点電極３ａ乃至３ｄに個別の独立した回路配線層４ｂ１乃至４ｂ４をそれぞれ接続することによってスイッチング回路網が構成されている。このスイッチング回路網は、各接点電極３ａ乃至３ｄをマトリックス状スイッチ配列として機能させ各接点毎のセンス入出力の動作を可能とする。

この第３実施形態において、前記接点電極３ａ乃至３ｄの群、及び図３（ｃ）中の対向接点電極２２ａ乃至２２ｄの群の少なくとも一方の群に感圧インクを被覆しておけば、スイッチ動作に限らず、前記マトリックス配列を有するセンサ部２ａ内の各位置での荷重或いは圧力の分布値を検出することができる。

ここで、前記ハイブリッドセンサの内の各センサの異常検知について説明する。荷重センサのスイッチング回路網の断線検知は、前記第２実施形態において説明したように、前記入出力端子間及びスイッチング回路網の所望の位置に断線検知抵抗を挿入しその配線ループを構成することによって得られる。

前記静電センサの異常検知は、前記静電容量検出回路に異常判定基準となる静電容量の閾値Ｃｔｈを設定しておき、前記端子５ｂを通じてその静電電極層２２の静電容量値を前記静電容量検出回路によって測定すればよく、もし、引出配線層６ｂの断線や端子５ｂの接触不良が生じている場合は、その容量値が前記閾値Ｃｔｈ以下となり、その断線や接触不良などの異常が容易に判定できる。

ところで、前記各実施形態において複数の接点電極及び対向接点電極は、それぞれ３ａ乃至３ｄ及び対向接点電極２２ａ乃至２２ｄの各４個に限らず、用途目的に応じて、各個数は少なくしてもよいし多くしてもよい。例えばセンサ部全体の多点位置の荷重分布をセンスしたい場合は、これらの電極を数十個に及ぶ数に増加しておいてもよい。

なお、前記スイッチング回路網は、用途目的によって異なるスイッチング用の接点電極の数や配置に応じて様々なパターン形状の回路が構成されることを表すものであり、前記実施形態に限定されることなく、本発明の目的にてらして様々なパターン形状をとり得る。

本発明の第１の実施形態に係るハイブリッドセンサを示す一部切欠平面図である。 図１のＡ−Ａ線に沿う断面で、矢印方向に見たハイブリッドセンサを示す拡大断面図である。 （ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は本発明の第１の実施形態に係るハイブリッドセンサを分解して示す平面図である。 本発明の第２の実施形態に係るである。 本発明の第３の実施形態に係るハイブリッドセンサの第１回路フィルムを示す平面図である。

符号の説明

１ 第１回路フィルム
２ 第１絶縁フィルム
２ａ 第１絶縁フィルムのセンサ部
２ｂ 第１絶縁フィルムの配線引出部
３ａ乃至３ｄ 接点電極
３ａ１乃至３ｄ１と３ａ２乃至３ｄ２ 接点電極対
４、４ａ、４ａ１、４ｂ１乃至４ｂ４ 回路配線層
５ａ 第１端子
５ｂ 第２端子
６ａ、６ａ１、６ｂ、７ａ乃至７ｄ 引出配線層
１０ 絶縁スペーサ
１０ａ 絶縁スペーサのセンサ部
１０ｂ 絶縁スペーサの配線引出部
１１ａ乃至１１ｄ スイッチ用貫通孔
２０ 第２回路フィルム
２１ 第２絶縁フィルム
２１ａ 第２絶縁フィルムのセンサ部
２１ｂ 第２絶縁フィルムの配線引出部
２２ 静電電極層
２２ａ乃至２２ｄ 対向接点電極
Ｓａ乃至Ｓｄ、Ｓａ１乃至Ｓｄ１、Ｓａ２乃至Ｓｄ２ スリット
ＳＥ ハイブリッドセンサのセンサ部
ＴＥ ハイブリッドセンサの配線引出部

Claims (4)

1. 第１絶縁フィルムのセンサ部の表面に分散配置された複数の接点電極及びこれら電極に接続された配線層を有するスイッチング回路網が設けられた第１回路フィルムと、前記第１絶縁フィルムと離間して対向された第２絶縁フィルムのセンサ部に、前記各接点電極と離間して対向された対向接点電極及び静電電極層が設けられた第２回路フィルムと、前記第１及び第２回路フィルム相互間に配置され前記接点電極及び対向接点電極に対するスイッチ用貫通孔を有する絶縁スペーサとを備え、前記各接点電極と前記対向接点電極とのスイッチ作用による荷重センサ、及び前記静電電極層を含む静電センサを有することを特徴とするハイブリッドセンサ。
2. 請求項１に記載のハイブリッドセンサにおいて、前記対向接点電極は前記静電電極層の一部分として一体になっていることを特徴とするハイブリッドセンサ。
3. 請求項１または請求項２に記載のハイブリッドセンサにおいて、前記接点電極からフィルム面に沿った横方向に離間した位置に、前記接点電極の一部周辺に沿うスリットを、前記第１絶縁フィルム、第２絶縁フィルム及び前記絶縁スペーサの少なくとも１つを貫通するように形成したことを特徴とするハイブリッドセンサ。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載のハイブリッドセンサにおいて、前記静電電極層は前記第２絶縁フイルムのセンサ部のほぼ全面に亘って形成されていることを特徴とするハイブリッドセンサ。

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