JP2007204832A - 電極組立体およびめっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カソード電極組立体1Aは、被めっき物4と電気的に接続された主電極の近傍に配置されると共に、めっき処理の進行に伴う表面積の拡大を防止し得る構造を有する補助電極を備えている。すなわち、電極板12の内周縁12T1を覆うように立設する絶縁壁13を設けると共に、電極板12の外周縁12T2を取り囲むように立設する凸部11Tを設けるようにしている。これにより、電極板12およびめっき膜M12が補助電極として良好な機能を発揮し、経時変化せずに安定した電界分布を被めっき物4の周辺に形成することができる。
【選択図】図2
Description
最初に、図1から図4を参照して、本発明の第1の実施の形態としてのめっき装置およびこれに搭載された電極組立体について以下に説明する。
続いて、図6〜図8を参照して、本発明の第2の実施の形態としての電極組立体について以下に説明する。なお、本実施の形態の電極組立体は、上記第1の実施の形態と同様のめっき装置に搭載されるものであるので、第1の実施の形態と実質的に同等の構成部材については同じ符号を付し、その説明については適宜省略する。
続いて、図9および図10を参照して、本発明の第3の実施の形態としての電極組立体について以下に説明する。なお、本実施の形態の電極組立体は、上記第1の実施の形態と同様のめっき装置に搭載されるものであるので、第1の実施の形態と実質的に同等の構成部材については同じ符号を付し、その説明については適宜省略する。
続いて、図11および図12を参照して、本発明の第4の実施の形態としての電極組立体について以下に説明する。なお、本実施の形態の電極組立体は、上記第1の実施の形態と同様のめっき装置に搭載されるものであるので、第1の実施の形態と実質的に同等の構成部材については同じ符号を付し、その説明については適宜省略する。
{(Tmax−Tmin)/Tave}×100 ……(1)
Claims (13)
- 被めっき物と電気的に接続された主電極と、
前記主電極の近傍に配置され、めっき処理の進行に伴う表面積の拡大を防止し得る拡大防止構造を有する補助電極と
を含むことを特徴とする電極組立体。 - 前記補助電極は、金属板と、前記金属板における最外縁の少なくとも一部と接するように立設した前記拡大防止構造としての絶縁部材とを有している
ことを特徴とする請求項1に記載の電極組立体。 - 前記補助電極は、前記拡大防止構造として、少なくとも1つの凹部が設けられた金属板を有している
ことを特徴とする請求項1に記載の電極組立体。 - 前記金属板は開口を有しており、前記開口に対応した位置に前記被めっき物が配置されるようになっている
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の電極組立体。 - 前記金属板は、面内方向において絶縁壁によって互いに隔てられた複数の領域に分割されている
ことを特徴とする請求項4に記載の電極組立体。 - 前記複数の領域は、前記開口を中心として同心円状または放射状に配置されている
ことを特徴とする請求項5に記載の電極組立体。 - 前記金属板および主電極は互いに導通しており、共通の引き出し導線に接続されている
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の電極組立体。 - 前記金属板および主電極は互いに絶縁されており、互いに異なる引き出し導線に各々接続されている
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の電極組立体。 - 被めっき物と電気的に接続された主電極と、
前記主電極の近傍に配置され、金属板と、前記金属板における最外縁の少なくとも一部と接するように立設した絶縁部材とを有する補助電極と
を含むことを特徴とする電極組立体。 - 被めっき物と電気的に接続された主電極と、
前記主電極の近傍に配置され、少なくとも1つの凹部が設けられた金属板を有する補助電極と
を含むことを特徴とする電極組立体。 - 少なくともめっき浴が収容されるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に設けられ、前記めっき浴を介して互いに対向配置された一対の電極組立体と
を備え、
前記一対の電極組立体のうちのいずれか一方が、
被めっき物と電気的に接続された主電極と、
前記主電極の近傍に配置され、めっき処理の進行に伴う表面積の拡大を防止し得る拡大防止構造を有する補助電極と
を含むことを特徴とするめっき装置。 - 少なくともめっき浴が収容されるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に設けられ、前記めっき浴を介して互いに対向配置された一対の電極組立体と
を備え、
前記一対の電極組立体のうちのいずれか一方が、
被めっき物と電気的に接続された主電極と、
前記主電極の近傍に配置され、金属板と、前記金属板における最外縁の少なくとも一部と接するように立設した絶縁部材とを有する補助電極と
を含むことを特徴とするめっき装置。 - 少なくともめっき浴が収容されるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に設けられ、前記めっき浴を介して互いに対向配置された一対の電極組立体と
を備え、
前記一対の電極組立体のうちのいずれか一方が、
被めっき物と電気的に接続された主電極と、
前記主電極の近傍に配置され、少なくとも1つの凹部が設けられた金属板を有する補助電極と
を含むことを特徴とするめっき装置。
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