JP2007202227A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 電気−機械エネルギ変換素子により振動が励起される振動子と、
   前記振動子に加圧状態に接触され前記振動により駆動される移動体とを備え、
   前記振動子には、前記移動体との接触箇所の法線方向に変位する振動と、前記移動体の駆動方向に変位する振動が励起され、
   前記振動子に励起される前記移動体の駆動方向に変位する振動が、少なくともｎ次の振動と３ｎ次の振動を合成した振動である（但しｎは自然数）ことを特徴とする超音波駆動装置。
2. 前記振動子に励起される前記移動体の駆動方向に変位する前記ｎ次の振動の固有振動数と前記３ｎ次の振動の固有振動数とが、略整数倍の関係となるように設定されることを特徴とする請求項１記載の超音波駆動装置。
3. 前記自然数ｎが１であることを特徴とする請求項１又は２記載の超音波駆動装置。
4. 前記振動子の振動速度を検出する検出手段と、
   前記検出手段により検出した振動速度に基づき各次数の振動の振幅を演算し、前記ｎ次の振動の振動速度の振幅と前記３ｎ次の振動の振動速度の振幅との比を１：１／３に一致させる制御手段と、
   を更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の超音波駆動装置。
5. 前記振動子に励起される前記移動体の駆動方向に変位する振動が、前記移動体の駆動方向の伸縮振動であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の超音波駆動装置。
6. 前記振動子が、前記移動体の駆動方向に略同一の断面形状を有することを特徴とする請求項５記載の超音波駆動装置。
7. 前記振動子に励起される前記移動体との接触箇所の法線方向に変位する振動の固有振動数が、前記振動子に励起される前記移動体の駆動方向に変位する振動の最低次の振動の固有振動数と一致するように設定されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載超音波駆動装置。
8. 前記振動子に励起される前記移動体との接触箇所の法線方向に変位する振動が、曲げ振動であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の超音波駆動装置。
9. 前記移動体の駆動方向は、直交座標系の軸方向、円筒座標系の周方向を含む群から選択されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の超音波駆動装置。