JP2013013218A5 - 圧電アクチュエーターの駆動方法、及び、駆動ユニット - Google Patents

Claims (9)

1. 圧電素子を有する振動体を備え、前記振動体の振動を被駆動体に伝えて前記被駆動体を駆動させる圧電アクチュエーターの駆動方法であって、
   前記振動体が、前記被駆動体の駆動方向と交差する方向に前記振動体を伸縮させる第１振動モードと、前記被駆動体の駆動方向に前記振動体を屈曲させる第２振動モードであって、前記第１振動モードとは独立した第２振動モードと、で同時に振動し、
   前記被駆動体の駆動を加速又は減速させる場合には、前記被駆動体を定速で駆動させる場合よりも、前記第１振動モードの振動の振幅を大きくし、且つ、前記第２振動モードの振動の振幅を小さくする、
   ことを特徴とする圧電アクチュエーターの駆動方法。
2. 請求項１に記載の圧電アクチュエーターの駆動方法であって、
   前記被駆動体の駆動速度を検出し、当該駆動速度の検出結果に応じて、前記第１振動モードの振動の振幅、及び、前記第２振動モードの振動の振幅をそれぞれ変更する、
   ことを特徴とする圧電アクチュエーターの駆動方法。
3. 請求項２に記載の圧電アクチュエーターの駆動方法であって、
   前記第２振動モードの振動の振幅は、前記駆動速度に依存するように変更する
   ことを特徴とする圧電アクチュエーターの駆動方法。
4. 請求項１〜３の何れかに記載の圧電アクチュエーターの駆動方法であって、
   前記被駆動体の駆動を加速又は減速させるときの前記第１振動モードの振動の振幅は、所定値以下である
   ことを特徴とする圧電アクチュエーターの駆動方法。
5. 圧電素子を有し、前記圧電素子に駆動信号が供給されることに基づいて振動する振動体と、前記振動を被駆動体に伝える伝達部とを備えた、圧電アクチュエーターと、
   前記駆動信号を前記圧電アクチュエーターに供給する駆動部と、
   を備え、
   前記駆動部は、前記振動体を前記被駆動体の駆動方向と交差する方向に伸縮させる第１振動モードで振動させるための第１駆動信号と、前記振動体を前記被駆動体の駆動方向に前記振動体を屈曲させる第２振動モードで振動させるための第２駆動信号とを、同時に供給する、
   ことを特徴とする駆動ユニット。
6. 請求項５に記載の駆動ユニットであって、
   前記駆動部は、前記被駆動体の駆動を加速又は減速させる場合には、前記被駆動体を定速で駆動させる場合よりも、大きい振幅の前記第１駆動信号を供給し、且つ、小さい振幅の前記２駆動信号を供給する、
   ことを特徴とする駆動ユニット。
7. 請求項６に記載の駆動ユニットであって、
   前記被駆動体の駆動速度を検出する速度検出部をさらに備え、
   前記駆動部は、前記駆動速度の検出結果に応じて振幅が変更された、前記第１駆動信号、及び、前記第２駆動信号を供給する、
   ことを特徴とする駆動ユニット。
8. 請求項７に記載の駆動ユニットであって、
   前記駆動部は、前記駆動速度に依存するように振幅が変更された、前記第２駆動信号を供給する、
   ことを特徴とする駆動ユニット。
9. 請求項５〜８の何れかに記載の駆動ユニットであって、
   前記駆動部は、前記被駆動体の駆動を加速又は減速させるときには、所定値以下の振幅の前記第１駆動信号を供給する、
   ことを特徴とする駆動ユニット。