JP2007201305A - 半導体レーザ装置、半導体レーザチップ、および半導体レーザ装置の製造方法 - Google Patents
半導体レーザ装置、半導体レーザチップ、および半導体レーザ装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】レーザ素子9が設けられた半導体レーザチップ7と、マウント材を介して当該半導体レーザチップが搭載された基台とを備えた半導体レーザ装置において、半導体レーザチップ7は、レーザ素子9における共振器端面となるフロント面7aおよびリア面7bと、これらのフロント面7aおよびリア面7bと共に半導体レーザチップ7の分割された側壁を構成する両側のペレタイズ面7c,7dとが、反射膜11,13で覆われている。反射膜11,13は、共振器端面7a,7bとペレタイズ面7c,7dとで連続した膜として設けられている。また共振器端面7a,7bに対してペレタイズ面7c,7dが斜めの角度を成している。
【選択図】図1
Description
図1は第1実施形態の半導体レーザ装置の全体構成の一例を示す斜視図であり、図2は図1を矢印方向から見た概略平面図である。
次に、図1および図2を用いて説明した半導体レーザ装置1の製造方法を図3および図4に基づいて説明する。
図6は第2実施形態の半導体レーザ装置の全体構成の一例を示す斜視図であり、図7は図1を矢印方向から見た概略平面図である。
次に、図6および図7を用いて説明した半導体レーザ装置1’の製造方法を図8および図9に基づいて説明する。
Claims (8)
- レーザ素子が設けられた半導体レーザチップと、マウント材を介して当該半導体レーザチップが搭載された基台とを備えた半導体レーザ装置において、
前記半導体レーザチップは、前記レーザ素子における共振器端面と、当該共振器端面と共に当該半導体レーザチップの分割された側壁を構成する両側のペレタイズ面とが、反射膜で覆われている
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
前記反射膜は、前記共振器端面と前記ペレタイズ面とで連続した膜として設けられている
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
半導体レーザチップは、前記レーザ素子の共振器端面に対して前記ペレタイズ面が斜めの角度を成している
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項3記載の半導体レーザ装置において、
前記両側のペレタイズ面が平行をなしている
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項3記載の半導体レーザ装置において、
前記ペレタイズ面は、前記共振器端面のうちの光の出射側となるフロント面に対して鋭角を成しており、
前記反射膜は、前記共振器端面のうちのフロント面に対向するリア面と前記両側のペレタイズ面とで連続した膜として設けられている
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
前記半導体レーザチップにおける前記ペレタイズ面間には、前記レーザ素子が複数配列した状態で設けられている
ことを特徴とする半導体レーザ装置。 - レーザ素子が設けられた半導体レーザチップであって、
前記レーザ素子における共振器端面と、当該共振器端面と共に当該半導体レーザチップの分割された側壁を構成する両側のペレタイズ面とが、反射膜で覆われている
ことを特徴とする半導体レーザチップ。 - 基板の表面側に設けられた複数のレーザ素子を横切るように当該基板を劈開し、対向する劈界面を共振器端面とすると共に、当該共振器端面を横切る方向に当該基板を分割して対向する分割面をペレタイズ面とした半導体レーザチップを形成する工程と、
前記半導体レーザチップの共振器端面とペレタイズ面とに同一工程で反射膜を成膜する工程と、
前記反射膜が成膜された半導体レーザチップを、前記共振器端面とペレタイズ面とを側壁とした底面においてマウント材を介して基台上に搭載する工程とを行う
ことを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2006
- 2006-01-30 JP JP2006019991A patent/JP2007201305A/ja active Pending
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