JP2007198966A - プレート温調型の環境試験装置 - Google Patents

Abstract

【課題】プレート温調方式の環境試験装置において、ワークをプレートに載せる作業、ワークをプレートから引き取る作業を簡単な機構により効率良く行い得るようにすること。
【解決手段】環境試験装置１では、パレット載置面１３に載っているワーク搬送用のパレット１２は、プレート１１に載っているワーク３０の下側に離れており、ワーク３０はプレート１１に直接に接触しており効率良く所定温度に加熱あるいは冷却される。送りシャフト１４を回転すると送り爪４１が下側からパレット１２を持ち上げる。ワーク３０の両側の端部３４、３５が持ち上がるパレット１２の左右の端板１２ｃ、１２ｄに載り、プレート表面１１ａから浮き上がる。送りシャフト１４を送り出すと、パレット１２に載ったワーク３０も送り出されて前側のプレート１１の真上に位置決めされる。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体素子などの電気、電子部品に対して様々な温度環境の下で通電などの環境試験を行うために用いる環境試験装置に関するものである。

電気、電子部品などのワークを所望の温度に保持した状態で各種の環境試験を行うために用いる環境試験装置としては、独立した恒温槽にワークを入れて環境試験を行うものや、複数の検査部を経由する搬送ラインに沿ってワークを搬送して、各検査部において異なる温度状態で各種の環境試験を行う、所謂ライン型環境試験装置と呼ばれるものが知られている。これらの環境試験装置においては、被試験品を所定の試験温度に到達させるために、空気温調方式、あるいは、プレート温調方式が一般的に採用されている。

前者の空気温調方式は、試験槽内に温度制御された空気を循環させることにより、試験槽に入れたワークを所定の試験温度に加熱あるいは冷却して、その温度状態に保持する方式である。例えば、特許文献１(特公平８−１４１９号公報)にこのような空気温調方式のライン型環境試験装置が開示されており、特許文献２(特開平７−２０９３７３号公報)にはドライエアを供給してワークであるＩＣを所定の試験温度まで冷却する冷却試験装置が開示されている。

空気温調方式の環境試験装置では、被試験品を加熱、冷却するための媒体である空気の熱容量が小さいので、被試験品を所定の試験温度に到達させるまでに時間が掛かる。このため、環境試験にかかる時間が長くなってしまうという問題点がある。

特に、熱容量の大きな被試験品の場合には、被試験品を所定の試験温度状態に到達させるための時間が長く掛かってしまう。また、熱容量の大きな被試験品を載せてあるワーク載置台の側が被試験品との間の熱交換によって冷却あるいは加熱されて所定温度から外れた温度状態に遷移する可能性が高く、このような状態になると、被試験品を所定の試験温度状態に保持することが困難になってしまう。

後者のプレート温調方式は、試験槽内に配置されているワークを載せるためのプレートを直接に冷却機構あるいは加熱機構によって冷却あるいは加熱して所定の温度状態に保持し、このプレートによって、そこに載せたワークを冷却あるいは加熱して所定の試験温度状態に保持する方式である。特許文献３(特公平６−２７６９８号公報)、特許文献４(特開平１１−２８４０３７号公報)にプレート温調方式の環境試験装置が開示されている。

プレート温調方式の環境試験装置では、被試験品を載せた冷却あるいは加熱プレートにより直接に被試験品を冷却あるいは加熱するので、空気温調方式に比べ、被試験品を冷却あるいは加熱して所定の試験温度状態にするための所要時間が短くて済む。
特公平８−１４１９号公報 特開平７−２０９３７３号公報 特公平６−２７６９８号公報 特開平１１−２８４０３７号公報

本発明の課題は、簡単な機構によって、プレートにワークを引き渡す作業およびプレートからワークを引き取る作業を効率良く行うことのできるプレート調温型の環境試験装置を提案することにある。

上記の課題を解決するために、本発明は、所定の温度状態に保持されたプレートに試験対象のワークを直接接触させて、当該ワークを所定の試験温度状態となるように加熱あるいは冷却するプレート調温型の環境試験装置において、
前記プレートが上下方向に通過可能な開口部、および、当該開口部を跨ぐ状態にワークを載せるワーク載置面を備えているワーク搬送用のパレットと、
前記開口部から前記プレートが上方に突出した状態で前記パレットが載るパレット載置面と、
前記パレット載置面に載っている前記パレットに下側から係合して、当該パレットを前記プレートより高い位置まで持ち上げ可能なパレット昇降部材とを有し、
前記プレートより高い位置に持ち上げた前記パレットにワークを載せ、当該パレットを前記パレット載置面まで下げることにより、前記ワークが前記プレートの表面に接触した状態が形成されることを特徴としている。

本発明の環境試験装置では、ワーク搬送用のパレットに、プレートが上下方向に通過可能な開口部を形成すると共に、当該パレットをプレートよりも下側のパレット載置面に置くようにしている。

パレット昇降部材によってパレットをプレートよりも高い位置に持ち上げて、当該パレットに試験対象のワークを載せ、しかる後に、パレットを下降させると、そこに載っているワークがプレートの表面に載り、パレットだけが更に低い位置にあるパレット載置面まで下降してそこに載る。したがって、ワークのみがプレートに接触して所定の温度状態となるように効率良く加熱あるいは冷却される。

ワークが所定の温度状態に到達した後に、パレット載置面に載っているパレットを持ち上げると、その上昇途中においてプレート表面に載っているワークがパレットのワーク載置面に載り、ワークがパレットに引き渡される。

このように、パレットを持ち上げてワークを載せた後に、パレットをパレット載置面に下降させることにより、ワークがプレートに引き渡され、パレットをパレット載置面から持ち上げることによりワークがプレートからパレットに引き渡される。よって、パレットを昇降するという簡単な機構を用いて、ワークをプレートに載せる作業、およびワークをプレートから引き取る作業を効率良く行うことができる。

ここで、本発明をライン型の環境試験装置に適用する場合には、複数枚の前記プレートを予め定めた送り方向に沿って一定のピッチで配列し、前記パレット昇降部材を、前記プレートの配列ピッチと同一の送りピッチで前記送り方向に前進および後退できるようにすればよい。

この構成においては、パレット昇降部材によって持ち上げられているパレットに試験対象のワークを載せ、パレットを下降させてワークをプレートに載せる。ワークが所定温度に加熱あるいは冷却された後は、パレットを持ち上げてワークをプレートよりも上に持ち上げ、この状態でパレット昇降部材を１ピッチ分だけ送り出す。この結果、パレットは次のプレートの真上に位置するので、パレットを下降させると、そこに載っているワークを当該プレートに載せることができる。このようにして、ワークを順次に各プレートに移送して加熱あるいは冷却することができる。

この場合、前記送り方向に沿って送りシャフトを配置し、当該送りシャフトに、前記プレートの配列ピッチと同一のピッチで、前記パレット昇降部材として機能する送り爪を取り付け、前記送りシャフトをその中心軸線回りに回転可能とし、且つ、当該送りシャフトを前記中心軸線の方向に沿って前記プレートの配列ピッチと同一の送りピッチで前進および後退可能とすればよい。この代わりに、前記送りシャフトを昇降可能とし、且つ、前記中心軸線の方向に沿って前進および後退可能としてもよい。

この構成においては、送りシャフトを回転することにより、そこに形成されている各送り爪が回転して、パレット載置面に載っているパレットに下側から係合して当該パレットをプレートよりも上方の位置まで持ち上げることができ、送りシャフトを逆回転させると、持ち上げたパレットを再びパレット載置面まで下ろすことができる。送りシャフトを回転させる代わりに昇降させる場合においても、送りシャフトの昇降により、そこに形成されている各送り爪が昇降して、パレットを昇降させることができる。

また、送り爪によってパレットを持ち上げた状態で送りシャフトを送り出すと、各送り爪によって持ち上げられているパレットを前側のプレートの真上に移動させることができる。パレットをパレット載置面に載せた後に、送りシャフトを後退させると、各送り爪が元のプレートの位置に戻る。

よって、送りシャフトの回転、前進、逆回転、および後退を行うことにより、あるいは、送りシャフトの上昇、前進、下降、および後退を行うことにより、各パレットを順次に次のプレートに移送することができる。

ここで、ライン型の環境試験装置においては、一般に、異なる試験温度状態となるようにワークを加熱あるいは冷却するための複数の検査部を備えた検査部が配置されており、ワークに対して恒温試験、低温試験、高温試験などが順次に行われる。この場合には、各検査部を経由する直線状の経路に沿って、前記プレート、前記パレット載置面、および、前記送り爪が形成されている前記送りシャフトを配置し、ワークを載せた各パレットを、前記送り方向の上流端に位置する前記プレートから下流端に位置する前記プレートに向けて間欠的に順次に搬送すればよい。

本発明をパッケージ封入ＩＣなどの矩形のワークを試験するための環境試験装置に適用する場合には、前記パレットとして、矩形のワークを載せるワーク載置面を備えた矩形枠状のものを採用し、各プレートの左右に、前記パレット載置面および前記送りシャフトを配置し、左右の前記送りシャフトに形成されている左右の前記送り爪によって各プレートの持ち上げ、および送りを行うようにすればよい。

本発明の環境試験装置では、試験対象のワークを搬送するためのパレットを、プレートより上に持ち上げ、ワークを載せた状態でプレートより下側のパレット載置面まで下ろすことにより、ワークをプレートに引き渡すことができる。また、パレット載置面に載っているパレットをプレートより上に持ち上げると、プレート上のワークをパレットに引き取ることができる。パレットを昇降させるという簡単な機構により、ワークをプレートに載せる作業および、そこから引き取る作業を効率良く行うことができる。

以下に、図面を参照して、本発明を適用した環境試験装置の実施の形態を説明する。

図１は本発明を適用したプレート温調方式によるライン型の環境試験装置を示す図であり、(ａ)はその概略側面図、(ｂ)は概略平面図、および(ｃ)はワーク搬送ライン上の各位置を示す説明図である。

本例の環境試験装置１は、パッケージ封入ＩＣなどの矩形のワークの環境試験を行うためのものであり、装置架台２と、この装置架台２の上面に配置された試験槽３とを有している。試験槽３は、常温検査部４、低温検査部５、高温検査部６および常温戻し部７がこの順序に配列された構成となっている。常温検査部４の手前には、試験対象のワークを供給するためのワーク供給部８が配置され、常温戻し部７の後側には試験後のワークを排出するためのワーク排出部９が配置されている。ワーク供給部８には吸着パッドを備えた不図示のロボットハンドなどを用いて試験対象のワークが外部から供給される。ワーク排出部９からは、同じく吸着パッドを備えた不図示のロボットハンドなどを用いて、試験に合格したワークおよび不合格のワークが外部に選別回収される。

試験槽３は断熱パネルによって囲まれており、その前後のワーク供給部８およびワーク排出部９も、上面側を除き、断熱パネルによって囲まれている。ワーク供給部８から試験槽３の各検査部４〜６および常温戻し部７を貫通してワーク排出部９に到る直線状の水平なワーク搬送ラインが形成されている。

ワーク搬送ラインは、一定のピッチｐで直線状に配列した複数枚の長方形のプレート１１(１１(１)〜１１(２４))によって規定されている。各プレート１１にはワーク搬送用のパレット１２がそれぞれ配置されている。後述の図２〜４に示すように、パレット１２は矩形枠状のものであり、その矩形開口部１２ａは、プレート１１が上下方向に通過可能な大きさとされている。各プレート１１の両側にはそれぞれパレット載置面１３が配置されており、矩形開口部１２ａからプレート１１が上方に突出した状態で、各パレット１２の両側の部位がパレット載置面１３に載っている。これらパレット載置面１３の両側には送りシャフト１４が平行に配置されており、これらの送りシャフト１４の中心軸線回りの回転および中心軸線方向への前進および後退によって、ワークを載せたパレット１２が隣接するプレート１１に順次に移送されるようになっている。図においては、送りシャフト１４の回転機構および送り機構を省略してある。

図１(ｃ)に示すように、プレート１１として、２４枚のプレート１１(１)〜１１(２４)が配列されている。勿論、プレート枚数は２４枚に制限されるものではない。ワークを載せたパレット１２はプレート１１(１)の側からプレート１１(２４)に向けて間欠的に順次に移送される。ワーク送り方向の上流端に位置するプレート１１(１)に試験対象のワークが投入される。また、３番目のプレート１１(３)の上方にはＱＲコードリーダ(図示せず)が配置されており、このプレート１１(３)においてワークに貼付されているＱＲコード(ワーク識別番号)が読み込まれる。これらの３枚のプレート１１(１)〜１１(３)がワーク供給部８に位置している。

４番目のプレート１１(４)は常温検査部４内に位置し、当該プレート１１(４)の真上には常温検査用のプローブ１５が配置されている。５番目のプレート１１(５)は常温検査部４と低温検査部５の境界に位置し、６番目から１１番目までのプレート１１(６)〜１１(１１)は低温検査部５内に位置し、プレート１１(１１)が低温検査位置であり、この真上には低温検査用のプローブ１６が配置されている。プレート１１(６)〜１１(１０)の温度は、プレート１１(１１)に向けて段階的に低くなるように設定されており、プレート１１(１１)の温度は低温検査用の温度に設定されている。これらの冷却用のプレート１１(６)〜１１(１１)はペルチエ素子などの冷却機構１７によって所定の冷却温度状態に保持されるようになっている。

プレート１１(１２)は低温検査部５と高温検査部６の境界に位置し、１３番目から１９番目までのプレート１１(１３)〜１１(１９)は高温検査部６内に位置し、プレート１１(１３)は常温戻し用のプレートであり、プレート１１(１９)が高温検査位置であり、この真上には高温検査用のプローブ１８が配置されている。プレート１１(１４)〜１１(１８)の温度は、プレート１１(１９)に向けて段階的に高くなるように設定され、プレート１１(１９)の温度は高温検査用の温度に設定されている。これらの加熱用のプレート１１(１４)〜１１(１９)は加熱機構１９によって所定の加熱温度状態に保持されるようになっている。

２０番目および２１番目のプレート１１(２０)、１１(２１)は常温戻し部７内に位置し、試験後のワークを常温に戻すためのプレートである。２２〜２４番目のプレート１１(２２)〜１１(２４)は常温に戻した後のワークを排出するための排出用のプレートであり、下流端のプレート１１(２４)からワークが外部に取り出される。

ここで、ワーク供給部８から各検査部４〜６、常温戻し部７を介してワーク排出部９に到る部位の下側には、水平にリターンコンベア２１が配置されている。リターンコンベア２１の両端には、入口側リフタ２２および出口側リフタ２３が配置されている。ワーク排出部９のプレート１１(２４)の位置から送り出されたパレット１２は、図１(ｂ)に示す上昇位置に待機している出口側リフタ２３に引き渡される。出口側リフタ２３はパレット１２を受け取ると、下降して、リターンコンベア２１にパレット１２を引き渡す。リターンコンベア２１によってパレット１２はワーク供給部８の側の端まで戻され、ここに待機している入口側リフタ２２に引き渡される。パレット１２を受け取った入口側リフタ２２は図１(ｂ)に示す上昇位置まで上昇する。この位置の入口側リフタ２２に載っているワークは、送りシャフト１４によって、上流端のプレート１１(１)の真上の位置まで送り出されるようになっている。

図２(ａ)および(ｂ)はワークを示す平面図および側面図であり、図３(ａ)および(ｂ)はワーク搬送用のパレットを示す平面図および側面図である。本例の試験対象のワーク３０はパッケージ封入ＩＣであり、長方形のパッケージ本体３１と、その長辺側の両端面から突出している複数本のリード端子群３２、３３とを備え、パッケージ本体３１の内部にＩＣが内蔵されている。

この形状のワーク３０を搬送するためのパレット１２は、長方形の枠板１２ｂと、この枠板１２ｂの左右に取り付けた長方形の端板１２ｃ、１２ｄとを備えている。枠板１２ｂには、ワーク３０が上下方向に通過可能な矩形開口部１２ａが形成されている。ここで、左右の端板１２ｃ、１２ｄの内側端部分１２ｅ、１２ｆは矩形開口部１２ａ内に突出しており、これらの上に、ワーク３０の左右の短辺側の端部３４、３５が載るようになっている。

次に、図４および図５はワーク搬送ラインの一部を示す図であり、それぞれ、(ａ)はその部分横断面図、(ｂ)はその部分平面図、および(ｃ)はその部分側面図である。図４はワークがプレート１１に載っている状態(接触している状態)を示し、図５はワークがプレート１１から浮き上がった状態を示している。

図４に示すように、装置架台２の側に配置されているプレート１１は、ワーク３０のパッケージ本体３１に対応した矩形の表面１１ａを備えた熱伝導率の高いアルミニウムなどの金属からなるブロックである。このプレート１１を取り囲む状態に断熱ブロック１３ａが配置されており、当該断熱ブロック１３ａの左右の上面部分がパレット載置面１３とされている。これら左右のパレット載置面１３に、パレット１２の左右の端板１２ｃ、１２ｄが載るようになっている。プレート１１は冷却機構１７あるいは加熱機構１９によって所定の温度状態に冷却あるいは加熱される。

次に、左右のパレット載置面１３の外側には、それぞれ、送りシャフト１４が平行に配置されている。送りシャフト１４は、中心軸線１４ａを中心として回転可能な状態で、且つ、中心軸線１４ａの方向に移動可能な状態で、装置架台２によって支持されている。また、モータ、シリンダなどの不図示の回転駆動機構によって回転され、不図示の送り機構によって前進および後退するようになっている。

各送りシャフト１４には、プレート１１の配列ピッチと同一のピッチで、一定幅の送り爪４１が取り付けられている。各送り爪４１は、送りシャフト１４の外周面からその接線方向に延びる状態に取り付けられた部分と、当該部分の先端から直角に上方に折れ曲がって延びている部分を備えたＬ形の金属板から形成されており、その先端がパレット載置面１３に載っているパレット１２の左右の端板１２ｃ、１２ｄの下側に位置している。

各送り爪４１が下側から上方に旋回するように、送りシャフト１４を回転すると、図５に示すように、各送り爪４１がパレット１２をパレット載置面１３から上方に持ち上げる。この結果、パレット１２に載っているワーク３０もプレート１１の表面１１ａから浮き上がる。

このように構成した本例の環境試験装置１においては、次のようにして、プレート１１に載っているワーク３０が下流側のプレート１１に移送される。例えば、ワーク３０が低温検査部における低温検査用のプレート１１(１１)の手前のプレート１１(１０)に載っているものとする。この状態では、図４に示すように、プレート１１(１０)の表面１１ａにワーク３０が載っており、パレット１２はパレット載置台１３に載っている。この状態では、ワーク３０の左右の端部３４、３５の裏面部分がパレット１２から離れている。また、送りシャフト１４の送り爪４１はパレット１２から離れてその下側に位置している。

この状態でプレート１１(１０)によってワーク３０は所定の冷却温度状態に冷却される。冷却後には、左右の送りシャフト１４が中心軸線１４ａを中心として図５(ａ)の実線矢印で示すように、相互に逆向きに所定の角度だけ回転させられる。この結果、左右の送り爪４１によって、パレット１２がパレット載置面１３から持ち上げられる。パレット１２が持ち上げられると、その左右の端板１２ｃ、１２ｄの内側端部分１２ｅ、１２ｆが下側からプレート１１の表面１１ａに載っているワーク３０の左右の端部３４、３５に当り、ワーク３０を持ち上げる。換言すると、ワーク３０がプレート１１(１０)からパレット１２に引き渡され、プレート１１(１０)の表面から浮き上がる。

図５に示すようにワーク３０がプレート１１から浮き上がった状態で、左右の送りシャフト１４がプレートの配列ピットと同一の送りピッチで送り出される。この結果、左右の送り爪４１によって持ち上げられているパレット１２が前側のプレート１１(１１)の真上に位置決めされる。

この後は、左右の送りシャフト１４が図５(ａ)の破線矢印で示すように、逆向きに所定角度だけ回転させられる。この結果、ワーク３０が載っているパレット１２が下降して、パレット載置面１３に載る。ここで、パレット１２がパレット載置面１３に載る前の時点で、パレット１２に載っているワーク３０が低温検査用のプレート１１(１１)の表面１１ａに載り、ワーク３０をそこに引き渡して、パレット１２のみが下降してパレット載置面１３に載る。これより、再び、図４に示す状態になり、ワーク３０がプレート１１(１１)の表面１１ａに載り、低温試験用の温度まで冷却される。

なお、低温試験用のプローブ１７を降下させて、ワーク３０のリード端子群３２、３３に押し付けて導通試験を行う際に、ワーク３０をシリンダなどの押圧機構を用いてプレート１１(１１)の表面に押さえ付けることが望ましい。同様に、常温検査部および高温検査部における試験においても同様にして、ワーク３０をプレート表面１１ａに押さえ付けた状態で行うことが望ましい。

以上説明したように、本例の環境試験装置１では、ワーク搬送用のパレット１２に、プレート１１が上下に通過可能な開口部１２ａを形成しておき、ワーク３０の左右の端部３４、３５をパレット１２に載せた状態で、ワーク３０を搬送するようにしている。また、パレット１２を載せるパレット載置面１３をプレート１１よりも低い位置に形成してある。

したがって、ワーク３０を載せたパレット１２を、プレート１１の真上から下降させると、ワーク３０のみをプレート１１の表面１１ａに載せることができ、また、ワーク３０から離れた状態でパレット１２をパレット載置面１３に載せることができる。この状態でワーク３０がプレート１１によって効率良く所定の温度状態となるように加熱あるいは冷却される。

また、パレット１２を持ち上げると、ワーク３０がプレート１１の表面１１ａからパレット１２に引き渡されて、表面１１ａから浮き上がる。したがって、パレット１２を持ち上げて送り出せば、前側のプレートの真上にワーク３０が位置決めされる。よって、ワーク３０の移送も簡単に行うことができる。

なお、本例では、送りシャフト１４の回転動作および軸線方向への送り動作によって、１ピッチずつパレット１２を移送している。この代わりに、送りシャフト１４を、上昇、前進、下降および後退の順序で動作させることにより、パレット１２を１ピッチずつ送り出すようにしてもよい。

本発明を適用したプレート温調方式によるライン型の環境試験装置を示す図であり、(ａ)はその概略側面図、(ｂ)は概略平面図、および(ｃ)は各試験位置等を示す説明図である。 (ａ)はワークを示す平面図であり、(ｂ)はその側面図である。 (ａ)はワーク搬送用のパレットを示す平面図であり、(ｂ)はその側面図である。 (ａ)は図１の環境試験装置のワーク搬送経路の部分を示す部分横断面図、(ｂ)はその部分平面図、および(ｃ)はその部分側面図であり、ワークがプレートに載っている状態を示すものである。 (ａ)は図１の環境試験装置のワーク搬送経路の部分を示す部分横断面図、(ｂ)はその部分平面図、および(ｃ)はその部分側面図であり、ワークがプレートから浮き上がった状態を示すものである。

符号の説明

１ 環境試験装置
２ 装置架台
３ 試験槽
４ 常温検査部
５ 低温検査部
６ 高温検査部
７ 常温戻し部
８ ワーク供給部
９ ワーク排出部
１１、１１(１)〜１１(２４) プレート
１１ａ 表面
１２ パレット
１２ａ 開口部
１２ｂ 枠板
１２ｃ、１２ｄ 端板
１２ｅ、１２ｆ 内側端部分
１３ パレット載置面
１４ 送りシャフト
１４ａ 中心軸線
１５、１６、１８ プローブ
１７ 冷却機構
１９ 加熱機構
３０ ワーク
３１ パッケージ本体部分
３２、３３ リード端子群
３４、３５ ワークの端部
４１ 送り爪

Claims (5)

1. 所定の温度状態に保持されたプレートに試験対象のワークを直接接触させて、当該ワークを所定の試験温度状態となるように加熱あるいは冷却するプレート温調型の環境試験装置において、
   前記プレートが上下方向に通過可能な開口部、および、当該開口部を跨ぐ状態にワークを載せるワーク載置面を備えているワーク搬送用のパレットと、
   前記開口部から前記プレートが上方に突出した状態で前記パレットが載るパレット載置面と、
   前記パレット載置面に載っている前記パレットに下側から係合して、当該パレットを前記プレートより高い位置まで持ち上げ可能なパレット昇降部材とを有し、
   前記プレートより高い位置に持ち上げた前記パレットにワークを載せ、当該パレットを前記パレット載置面まで下げることにより、前記ワークが前記プレートの表面に接触した状態が形成されることを特徴とする環境試験装置。
2. 請求項１に記載の環境試験装置において、
   複数枚の前記プレートが、予め定めた送り方向に沿って一定のピッチで配列されており、
   前記パレット昇降部材は、前記プレートの配列ピッチと同一の送りピッチで前記送り方向に前進および後退が可能であることを特徴とする環境試験装置。
3. 請求項２に記載の環境試験装置において、
   前記送り方向に沿って配列された送りシャフトを有し、
   当該送りシャフトには、前記プレートの配列ピッチと同一のピッチで、前記パレット昇降部材として機能する送り爪が取り付けられており、
   前記送りシャフトは、その中心軸線回りに回転可能、または、昇降可能であり、
   前記送りシャフトは前記中心軸線の方向に沿って前記プレートの配列ピッチと同一の送りピッチで前進および後退が可能であることを特徴とする環境試験装置。
4. 請求項３に記載の環境試験装置において、
   異なる試験温度状態となるようにワークを加熱あるいは冷却するための複数の検査部を備えた試験槽を有し、
   各検査部を経由する直線状の経路に沿って、前記プレート、前記パレット載置面、および、前記送り爪を備えた前記送りシャフトが配置されており、
   ワークを載せた各パレットが、前記送り方向の上流端に位置する前記プレートから下流端に位置する前記プレートまで間欠的に順次に移送されることを特徴とする環境試験装置。
5. 請求項３または４に記載の環境試験装置において、
   前記パレットは、矩形のワークを載せるワーク載置面を備えた矩形枠状のものであり、
   各プレートの左右に、前記パレット載置面および前記送りシャフトが配置されており、
   左右の前記送りシャフトに形成されている左右の前記送り爪によって各プレートの持ち上げ、および送りが行われることを特徴とする環境試験装置。

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