JP2007198836A - Fetの特性を測定する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】パルスをゲートに与えてFETの特性を測定する装置において、測定精度向上のための終端用素子を設ける必要をなくする。
【解決手段】FET500のゲートGに与えるパルスを発生し、前記パルスに応答して前記FET500に流れるドレイン電流に依存する電圧を測定することによりFET500の特性を測定する装置であって、パルスを発生するパルス発生器210と、パルス発生器210の後段に配置された方向性素子230と、前記電圧を測定する電圧測定手段250とを備える。
【選択図】図3
【解決手段】FET500のゲートGに与えるパルスを発生し、前記パルスに応答して前記FET500に流れるドレイン電流に依存する電圧を測定することによりFET500の特性を測定する装置であって、パルスを発生するパルス発生器210と、パルス発生器210の後段に配置された方向性素子230と、前記電圧を測定する電圧測定手段250とを備える。
【選択図】図3
Description
本発明は、FETのゲートにパルス信号を与え、該パルス信号に応答して流れるFETのドレイン電流を測定することによりFETの電流電圧特性を測定する技術に関する。
FETの電流電圧特性(以下、IV特性)は、FETのドレインに所定のバイアス電圧を印加した状態で、FETのゲートに所定のパルス電圧を印加することにより測定される(例えば、非特許文献1を参照。)。この測定方法によれば、SOIや歪みシリコンを使用したFETの特性を測定する際に、FET自身の発熱の影響を受けることなく測定することができる。また、High−kゲート絶縁膜を使用したMOSFETの特性を測定する際には、ドレイン電流駆動力の低下を抑制できるので、信頼性の高い測定結果を得ることができる。
上記のようにパルスを用いた測定では、パルスを送る伝送経路のインピーダンス不整合に起因して、測定精度が低下する場合がある。そこで、測定精度向上のために、パルスが入力されるFETの端子または該端子付近に終端用の素子が接続される。これにより、FETに印加するパルスの波高の測定精度が上がり、FETの特性の測定精度が向上する。ところで、測定装置とFETとの間には、ウェハー上のFETを測定するためのプローブカードなどの治具や、測定装置に接続するFETを切り換えるためのマルチプレクサが設けられる。その場合、終端用素子は、治具内のFETが接続される端子付近や、マルチプレクサ内のFET側の端子付近に備えられる。この終端用素子は、他の種類の測定や試験にとって邪魔な存在となる場合がある。例えば、Sパラメータ測定においては、このような終端用素子は、FETの網特性に含まれてしまうので、存在しないことが望ましい。従って、測定装置とFETとの間の伝送経路において終端せずとも、従来と同等以上の測定精度で、FETの特性を測定できるようにした、FETのIV特性の測定技術の提供が望まれている。
本第一の発明は、FETのゲートにパルスを与えるステップと、前記パルスの電圧を測定するステップと、前記パルスに応答して前記FETに流れるドレイン電流に依存する電圧を測定するステップとを含むFETの特性を測定する方法であって、前記パルスを与えるステップが、方向性素子を介して前記パルスを前記ゲートに与えることを特徴とするものである。
また、本第二の発明は、本第一の発明の方法において、前記方向性素子の出力インピーダンスが、前記方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とするものである。
さらに、本第三の発明は、本第一または本第二の発明の方法において、前記方向性素子の入力インピーダンスが、前記方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とするものである。
またさらに、本第四の発明は、本第一または本第二または本第三の発明の方法において、前記パルスを与えるステップが、前記方向性素子を介した後、さらにバイアスティを介して前記パルスを前記ゲートに与えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の測定方法。
また、本第五の発明は、FETのゲートに与えるパルスを発生し、前記パルスに応答して前記FETに流れるドレイン電流に依存する電圧を測定することによりFETの特性を測定する装置であって、前記パルスを発生するパルス発生器と、前記パルス発生器の後段に配置された方向性素子と、前記電圧を測定する電圧測定手段とを備えることを特徴とするものである。
さらに、本第六の発明は、本第五の発明の装置において、前記方向性素子の出力インピーダンスが、前記方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とするものである。
またさらに、本第七の発明は、本第五または本第六の発明の装置において、前記方向性素子の入力インピーダンスが、前記方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とするものである。
また、本第八の発明は、本第五または本第六または本第七の発明の装置において、本前記パルスにバイアスを付加するためのバイアスティを備え、前記方向性素子がバイアスティの前段に備えられることを特徴とするものである。
さらに、本第九の発明は、FETのゲートに与えるパルスを発生し、前記パルスに応答して前記FETに流れるドレイン電流に依存する電圧を測定することによりFETの特性を測定するシステムであって、前記パルスを発生するパルス発生器と、前記パルス発生器の後段に配置された方向性素子と、複数の前記FETから所定の前記FETを選択し、該選択した前記FETのゲートを前記方向性素子と電気的に接続するスイッチと、前記電圧を測定する電圧測定手段と、複数の前記FETから所定の前記FETを選択し、該選択した前記FETのドレインを前記電圧測定手段と電気的に接続するスイッチとを備えることを特徴とするものである。
またさらに、本第十の発明は、本第九の発明のシステムにおいて、前記方向性素子の出力インピーダンスが、前記方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とするものである。
また、本第十一の発明は、本第九または本第十の発明のシステムにおいて、前記方向性素子の入力インピーダンスが、前記方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とするものである。
さらに、本第十二の発明は、本第九または本第十または本第十一の発明のシステムにおいて、さらに、前記パルスにバイアスを付加するためのバイアスティを備え、前記方向性素子がバイアスティの前段に備えられることを特徴とするものである。
なお、方向性素子は、信号伝達について方向性を有する素子である。詳細に言えば、方向性素子は、2以上のポートあるいは端子を有する素子であって、特定の2ポート間あるいは特定の2端子間において、一方向に信号を伝達し、その逆方向では信号伝達を阻止するものである。その逆方向におけるアイソレーション特性は、測定精度を満たすために必要なだけの性能を有する。方向性素子の具体的な例としては、バッファやアイソレーション・アンプ、方向性結合器やサーキュレータなどがある。
本発明によれば、方向性素子を介してFETにパルスを与えるようにするので、測定精度向上のための終端用素子を設ける必要がなくなる。また、方向性素子の出力インピーダンスが、方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しくされるので、方向性素子と被測定物であるFETのゲートとの間におけるパルスの多重反射を抑制することができる。さらに、方向性素子の入力インピーダンスが、方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しくされるので、方向性素子の前段回路内におけるパルスの多重反射を抑制することができる。またさらに、方向性素子がバイアスティの前段に設けられているので、方向性素子は直流成分を取り扱わなくとも良くなる。
本発明の実施の形態を、添付の図面を参照しながら、以下に説明する。まず、本発明の実施形態は、FETの特性を測定する測定システム10である。ここで、図1を参照する。図1は、測定システム10の概略構成を示すブロック図である。まず、初めに測定システム10の構成について説明し、その後で、測定システム10を用いたFETの特性の測定方法について説明する。
測定システム10は、測定装置200と、マルチプレクサ300と、プローブカード400とを備える。測定装置200は、パルスを生成し、また、電流を測定する装置である。測定装置200は、パルスを出力するためのポート270と、電流の測定するためのポート271を有する。測定装置200の内部構成の詳細は、後述する。マルチプレクサスイッチ300は、単極4投(1P4T)型のスイッチ310およびスイッチ311を備える。スイッチ310は、ポート320と、ポート340〜343のいずれか1つとを選択的に電気的に接続する装置である。スイッチ311は、ポート321と、ポート330〜333のいずれか1つとを選択的に電気的に接続する装置である。ポート320は、測定装置200のポート270と接続されている。ポート321は、測定装置200のポート271と接続されている。プローブカード400は、ウェハー上の被測定物であるFET(不図示)に接触するための治具である。プローブカード400は、該FET(不図示)に接触するためのパッド410〜413および420〜423を有する。パッド410とパッド420、パッド411とパッド421、パッド412とパッド422、パッド413とパッド423、がそれぞれ対となる。パッド410〜413は、FETのドレイン(不図示)に電気的に接続される。パッド420〜423は、FETのゲート(不図示)に電気的に接続される。パッド410がポート330と、パッド411がポート331と、パッド412がポート332と、パッド413がポート333と、パッド420がポート340と、パッド421がポート341と、パッド422がポート342と、パッド423がポート343と、それぞれ接続されている。
なお、測定装置200のポート270における出力インピーダンス、および、測定装置200のポート271における入力インピーダンスは、ともに50オームである。また、測定装置200とスイッチ300との間の伝送経路、スイッチ300内の伝送経路、スイッチ300とプローブカード400との間の伝送経路、および、プローブカード400内の伝送経路の特性インピーダンスは、50オームである。
次に、図2を参照しながら、測定装置200の内部構成について説明する。測定装置200は、パルス発生器210と、スプリッタ220と、バッファアンプ230と、バイアスティ(Bias-Tee)240と、バイアスティ241と、サンプラ250と、直流電圧源260と、直流電圧源261と、ポート270と、ポート271とを備える。
パルス発生器210は、任意の幅および任意の波高を有するパルスを発生する装置である。パルス発生器210としては、例えば、アジレント・テクノロジー社製Agilent 81110Aなどのパルス・ジェネレータ等を使用することができる。スプリッタ220は、50/3オーム(=約16.7オーム)を有する3つの抵抗器がY型に接続された回路で構成される分配器である。スプリッタ220は、第一端子220aと第二端子220bと第三端子220cを有する。端子220a〜220cのいずれか1つの端子に入力される信号は、1:1の割合で分割され、分割された信号が他の2端子にそれぞれ出力される。スプリッタ220において、第一端子220aがパルス発生器210に、第二端子220bがバッファアンプ230に、第三端子220cがサンプラ250に、それぞれ接続されている。なお、スプリッタ220の分配比は、既知であれば良いので、1:1以外の比であっても良い。また、スプリッタ220は、Y型抵抗分配回路以外の分配回路(たとえば、デルタ型抵抗分配回路)で構成されても良い。バッファアンプ230は、入力された信号と等倍の電圧振幅を有する信号を出力する装置である。なお、バッファアンプ230の増幅率は、等倍である必要はなく、既知であれば他の倍率でも良い。バッファアンプ230のアイソレーション、すなわち、バッファアンプ230の出力端子からバッファアンプ230の入力端子への方向における減衰率は、40dB以上である。なお、バッファアンプ230のアイソレーションは、所望の測定精度によって下限値が定まる。
バイアスティ240において、第一端子240aがバッファアンプ230に、第二端子240bがポート270に、第三端子240cが直流電圧源260に、それぞれ接続されている。第一端子240aと第二端子240bとの間には、直流阻止用のキャパシタ240dが設けられている。また、第二端子240bと第三端子240cとの間には、交流阻止用のインダクタ240eが設けられている。バイアスティ241において、第一端子241aがサンプラ250に、第二端子241bがポート271に、第三端子241cが直流電圧源261に、それぞれ接続されている。第一端子241aと第二端子241bとの間には、直流阻止用のキャパシタ241dが設けられている。また、第二端子241bと第三端子241cとの間には、交流阻止用のインダクタ241eが設けられている。直流電圧源260および直流電圧源261は、それぞれ、所望の電圧レベルを有する直流を出力する装置である。直流電圧源260および直流電圧源261としては、例えば、アジレント・テクノロジー社製Agilent E5262AなどのSMU(ソース・メジャー・ユニット)等を使用することができる。サンプラ250は、入力された信号を標本化し、パルスの波高を電圧値として測定する装置である。サンプラ250としては、例えば、アジレント・テクノロジー社製Agilent 54854Aなどのオシロスコープ等を使用することができる。
なお、パルス発生器210の出力インピーダンス、バッファアンプ230の入力インピーダンスおよび出力インピーダンス、サンプラ250の入力インピーダンス、ならびに、測定装置200の各構成要素間の伝送経路の特性インピーダンスは、それぞれ50オームである。また、バイアスティ240の端子240aと240bとの間、および、バイアスティ241の端子241aと241bとの間の、パルスに対する特性インピーダンスは50オームとみなせるものとする。
次に、図3を参照する。図3は、パッド410とパッド420との間に電気的に接続されたFET500を測定する時の測定システムの等価回路を簡略表示した図である。図3には示されていないが、測定システム10において、FET500を測定するために、スイッチ310がポート340を、スイッチ311がポート330を、それぞれ選択している。なお、図3において、図1および図2と同一の構成要素については、詳細な説明を省略する。
ここで、図3を参照しながら、測定システム10を用いてFET500のIV特性を測定する方法について説明する。まず、パルス発生器210が所定の波高を有する電圧パルスを発生する。発生したパルスは、スプリッタ220で1対1に分配されて、バッファアンプ230とサンプラ250に入力される。バッファアンプ230に入力されたパルスは、バッファ230で増幅された後、バイアスティ240でバイアスされて、FET500のゲートGに到達する。FET500のドレインDは、バイアスティ241を通じて直流電圧源261により直流電圧が印加されている。FET500には、バイアスされたパルスに応答して、パルス状のドレイン電流が流れる。ドレイン電流のパルス状の変化は、入力インピーダンス250dにより電圧の変化に変換され、電圧計250cで測定される。サンプラ250は、ドレイン電流の測定と同時に、スプリッタ220から入力されるパルスを電圧計250aで測定する。様々の値のドレインバイアス電圧および様々の値のゲートパルス電圧に基づいて、上記のドレイン電流測定およびゲートパルス電圧測定を実施し、FET500のIV特性が得られる。
ところで、バッファアンプ230の出力端からFET500のゲートGまでの間の伝送経路の特性インピーダンスが50オームである一方、FET500のゲートGにおけるインピーダンスは1k〜数kオームである。また、図3を見て明らかなように、FET500のゲートGの近傍はもちろん、バッファアンプ230の出力端からFET500のゲートGまでの間の伝送経路のいずれの箇所においても、終端素子が備えられていない。従って、測定装置200(ポート270)から出力された電圧パルスは、マルチプレクサ300(図1)およびプローブカード400を通過し、FET500のゲートGに到達した後、ゲートGで反射される。反射された電圧パルスは、プローブカード400およびマルチプレクサ300(図1)を逆行して、測定装置200に到達する。さらに、反射電圧パルスは、バッファアンプ230に到達し、バッファアンプ230の出力インピーダンスに吸収される。
ここで、図3に加えて図4を参照する。図4は、電圧計250aの測定電圧VS、ゲートGにおける電圧VG、電圧計250cの測定電圧VDの時間変化を示すチャートである。パルス発生器210がパルスを発生すると、しばらくして電圧計250aが波高値eSを有するパルスPSを観測する。さらに、しばらくすると、ゲートGにおいて波高値eGを有するパルスPGが現れる。パルスPGに応答して、FET500にはドレイン電流が流れ、電圧計250cでは波高値eDを有するパルスPDが観測される。波高値eDは、FET500に流れるドレイン電流が入力インピーダンス250dにより電圧値に変換されたものであり、ドレイン電流量に依存する。電圧VBは、バッファアンプ230の出力端BOにおける電圧である。電圧VBは、当初、バッファアンプ230の入力端Biにおけるパルスと同じ波高値eSを示す。波高値eSは、出力端BOからゲートGへ向かう進行パルス波の波高値でもある。その後、出力端BOに、ゲートGからの反射パルス波が到達する。この時、進行パルス波(波高値eS)に反射パルス波(波高値er)が加わるので、電圧VBは波高値がeGに変化する。さらに時間が経過すると、出力端BOにおいて反射パルス波のみとなるので、電圧VBはerに変化する。図4を見て明らかなように、電圧計250aは、ゲートGからの反射パルスの影響を受けていない。なお、ゲートGにおけるFET500のインピーダンスをZLとすると、eBおよびeGは、次式で表される。
このように、バッファアンプ230の出力端からFET500のゲートGまでの伝送経路の特性インピーダンスと同じ値の出力インピーダンスを有するバッファアンプ230が、スプリッタ220の後段に備えられるので、バッファアンプ230とゲートGとの間でパルスの多重反射が起こることなく、また、反射パルスがサンプラ250に伝達することが抑制される。さらに、パルス発生器210の出力インピーダンス、スプリッタ220の特性インピーダンス、バッファアンプ230の入力インピーダンス、および、サンプラ250の入力インピーダンスが互いに等しい値を有するので、パルス発生器210とバッファアンプ230とサンプラ250との間においてパルスの反射が生じない。またさらに、バッファアンプ230はバイアスティ240の前段に設けられているので、バッファアンプ230は交流成分のみからなるパルスを増幅すれば良い。従って、バッファアンプ230に要求される帯域幅を、直流成分を含むパルスを増幅する場合と比べて狭くすることができる。
上記の実施形態において、バッファアンプ230は、方向性結合器やサーキュレータなど他の方向性素子と置き換えても良い。
上記の実施形態において、サンプラ250として使用するオシロスコープの入力インピーダンスが50オーム以上の大きさ、例えば1〜数Mオームである場合、サンプラ250の入力インピーダンスを等価的に50オームとするために、サンプラ250の入力端に並列に抵抗器が接続される。
10 測定システム
200 測定装置
210 パルス発生器
220 スプリッタ
230 バッファアンプ
240,241 バイアスティ
250 サンプラ
260,261 直流電圧源
300 マルチプレクサ
310,311 スイッチ
400 プローブカード
200 測定装置
210 パルス発生器
220 スプリッタ
230 バッファアンプ
240,241 バイアスティ
250 サンプラ
260,261 直流電圧源
300 マルチプレクサ
310,311 スイッチ
400 プローブカード
Claims (12)
- FETのゲートにパルスを与えるステップと、前記パルスの電圧を測定するステップと、前記パルスに応答して前記FETに流れるドレイン電流に依存する電圧を測定するステップとを含むFETの特性を測定する方法であって、
前記パルスを与えるステップが、方向性素子を介して前記パルスを前記ゲートに与えることを特徴とする測定方法。 - 前記方向性素子の出力インピーダンスが、前記方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とする請求項1に記載の測定方法。
- 前記方向性素子の入力インピーダンスが、前記方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の測定方法。
- 前記パルスを与えるステップが、前記方向性素子を介した後、さらにバイアスティを介して前記パルスを前記ゲートに与えることを特徴とする請求項1または請求項2または請求項3のいずれかに記載の測定方法。
- FETのゲートに与えるパルスを発生し、前記パルスに応答して前記FETに流れるドレイン電流に依存する電圧を測定することによりFETの特性を測定する装置であって、
前記パルスを発生するパルス発生器と、
前記パルス発生器の後段に配置された方向性素子と、
前記電圧を測定する電圧測定手段と
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記方向性素子の出力インピーダンスが、前記方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とする請求項5に記載の測定装置。
- 前記方向性素子の入力インピーダンスが、前記方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とする請求項5または請求項6に記載の測定装置。
- さらに、前記パルスにバイアスを付加するためのバイアスティを備え、
前記方向性素子がバイアスティの前段に備えられることを特徴とする請求項5または請求項6または請求項7のいずれかに記載の測定装置。 - FETのゲートに与えるパルスを発生し、前記パルスに応答して前記FETに流れるドレイン電流に依存する電圧を測定することによりFETの特性を測定するシステムであって、
前記パルスを発生するパルス発生器と、
前記パルス発生器の後段に配置された方向性素子と、
複数の前記FETから所定の前記FETを選択し、該選択した前記FETのゲートを前記方向性素子と電気的に接続するスイッチと、
前記電圧を測定する電圧測定手段と、
複数の前記FETから所定の前記FETを選択し、該選択した前記FETのドレインを前記電圧測定手段と電気的に接続するスイッチと、
を備えることを特徴とする測定システム。 - 前記方向性素子の出力インピーダンスが、前記方向性素子の出力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とする請求項9に記載の測定システム。
- 前記方向性素子の入力インピーダンスが、前記方向性素子の入力端に接続される回路の特性インピーダンスと等しいことを特徴とする請求項9または請求項10に記載の測定システム。
- さらに、前記パルスにバイアスを付加するためのバイアスティを備え、
前記方向性素子がバイアスティの前段に備えられることを特徴とする請求項9または請求項10または請求項11のいずれかに記載の測定システム。
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