JP2007197237A - 低放射複層ガラス - Google Patents

Abstract

【目的】 低放射性膜の特徴である遮熱性能を維持しながら、高い可視光透過率を発現する低放射複層ガラスを提供する。
【構成】 本発明に係る低放射複層ガラスは、対向する二枚のガラス板の一方のガラス板の表面に、第一の酸化物膜，Ａｇ膜，金属膜，第二の酸化物膜をこの順に積層したものであり、第一の酸化物膜の厚さが３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下、Ａｇ膜の厚さが８ｎｍ以上１０ｎｍ以下、金属膜の厚さが１ｎｍ以上８ｎｍ以下、および第二の酸化物膜の厚さが３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。本発明に係る低放射複層ガラスを室内外境界に設置したときの室外側面において、ＪＩＳ Ｒ ３１０６で規定する可視光反射率は８〜２５％であり、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊は−３．０以上０．０以下、ｂ^＊は−９．０以上０．０以下のほぼ中性色の反射色調を呈し、かつ、遮蔽係数が０．５７以下である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、熱線遮蔽積層膜を有する低放射（Ｌｏｗ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ，Ｌｏｗ−Ｅ）複層ガラスに関する。

熱線遮蔽積層体（以下Ｌｏｗ−Ｅ膜とも称する）は、熱線（赤外光）を反射する機能を有することから、夏季の冷房負荷や冬期の暖房負荷の緩和を目的として、住宅やビルなどの建築用ガラスの表面に形成されてきた。

Ｌｏｗ−Ｅ膜は、ガラス等の基体上に酸化亜鉛（ＺｎＯ）膜／銀（Ａｇ）等を主成分とする貴金属膜／酸化亜鉛膜をこの順に積層した膜構成を有する積層体である。このうち、銀等を主成分とする貴金属膜は耐湿性、耐酸性などの化学耐久性が劣悪であり、酸化亜鉛膜被覆によっても十分な改善がなされないという問題があった。そこで、貴金属膜と外気を遮断するため、積層膜は複層ガラスの内側、すなわち、二枚のガラスによって形成される間隙側に配置されていた。しかし、この手段では単板の取り扱い時の耐久性や保存期間中の耐久性については解決されず、依然として問題は残されている。

上記問題を解決するため、たとえば特許文献１では、銀層の直下層に酸化亜鉛層を、銀層の直上層には亜鉛または亜鉛を主成分とした保護金属層がそれぞれ成膜されたものが開示されている。
特開平１１−１５７８８１号公報

しかしながら、Ｌｏｗ−Ｅ膜には、その他の問題点も存在している。即ち、前記したようにＬｏｗ−Ｅ膜は通常複層ガラスの状態で用いられているが、Ｌｏｗ−Ｅ膜を使用しない複層ガラスと比較して反射率が高い。したがって複層ガラスに特有の反射像が二重となる現象が、Ｌｏｗ−Ｅ膜を使用しない複層ガラスと比較してより強く現れ、これが利用者に不快感を与えている。

二重反射像がより強く現れる原因は、Ｌｏｗ−Ｅ膜が反射率の高い銀膜を有するためである。銀膜が厚くなると反射率が高くなり、さらに、反射色が赤みを帯びるようになる。このように、遮熱性能をより高くするためには銀膜を厚くしなければならず、厚くすると二重反射像がより強く現れるという矛盾がある。この矛盾は前記特許文献１では解決されていない。

上記課題を解決するため本発明は、二枚のガラス板を対向配置した複層ガラスであって、前記二枚のガラス板のうち一方のガラス板の他方のガラス板に対向する表面には、第一の酸化物膜／Ａｇ膜／金属膜／第二の酸化物膜をこの順に積層した熱線遮蔽積層体が形成され、前記第一の酸化物膜の膜厚は３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下、前記第二の酸化物膜の膜厚は３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下、前記Ａｇ膜の厚さは８ｎｍ以上１０以下、前記金属膜の厚さは１ｎｍ以上８ｎｍ以下であり、且つ前記第一の酸化物膜と第二の酸化物膜の膜厚比は０．９以上１．７以下である構成とした。

第一の酸化物膜と第二の酸化物膜の膜厚比を上記のようにほぼ等しいかまたは第一の酸化物膜厚を１とした際の第二の酸化物膜厚が１．７倍以下の厚みとすることで、外観だけでなく内観においても視感度の最も大きい波長５５０ｎｍ付近の反射率を低減でき、反射色を中性にすることができる。

また、本発明に係る複層ガラスは、室内外境界に設置したときの室外側において、ＪＩＳＲ３１０６で規定する可視光反射率が８％以上２５％以下であり、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊が−３．０以上０．０以下、ｂ^＊が−９．０以上０．０以下（ほぼ中性色の反射色調）で、且つ遮蔽係数が０．５７以下とすることができる。

また、本発明に係る複層ガラスは、室内外境界に設置したときの室外側において、ＪＩＳＲ３１０６で規定する可視光反射率が８％以上１５％以下であり、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊が−１．０以上５．０以下、ｂ^＊が−２０．０以上０．０以下とすることができる。また、ＪＩＳ Ｒ３１０６で規定する可視光透過率が５０％以上７５％以下であることも望ましい。

また、前記第一および第二の酸化物膜が、酸化錫膜とＡｌドープ酸化亜鉛膜との積層体であって、Ａｌドープ酸化亜鉛膜が前記Ａｇ膜側に配置され、かつ、酸化物膜の全膜厚に対するＡｌドープ酸化亜鉛膜厚の比率が１０％より大きく４０％以下であることが好ましい。

前記Ａｌドープ酸化亜鉛膜のＡｌ含有量は、Ｚｎに対する原子比で１０％より大きく２５％以下であることが好ましく、前記金属膜はＴｉ膜、または、Ａｌ含有量がＺｎに対する原子比で１％以上２５％以下であるＺｎＡｌ合金膜であることも好ましい。

本発明によれば、Ｌｏｗ−Ｅ膜として、第一の酸化物膜と第二の酸化物膜との間に、薄いＡｇ膜と少し厚めの金属膜を配置したことにより、可視光反射率を低減し、ぎらつきを抑え、好ましい中間色の複層ガラスとすることができる。しかも、熱遮蔽機能も十分に保持することができる。

Ｌｏｗ−Ｅ膜の耐久性はＡｇ膜上層の誘電体の膜応力と関係しており、Ａｌを酸化亜鉛膜中に多くドープすることで、膜応力を低減でき、耐久性が向上する。また膜作製時の放電安定性も一層向上できるが、ドープ量が過多であると生産時に材料が酸化アルミニウムにより被膜されることで成膜速度が遅くなる。よって生産と品質のバランスから、前記Ａｌドープ酸化亜鉛膜のさらに好ましいＡｌ含有量は、Ｚｎに対する原子比で１０％より大きく１５％以下である。

また前記Ａｌドープ酸化亜鉛膜中のＡｌ含有量とＬｏｗ−Ｅ膜の紫外線透過率が比例であり、屈折率と反比例している。Ａｌ含有量が多い場合、屈折率が小さくＬｏｗ−Ｅ膜の反射率を低減できるが、紫外線透過率が増加する。よって紫外線透過率と膜屈折率のバランスに関しても前記Ａｌドープ酸化亜鉛膜のさらに好ましいＡｌ含有量は、Ｚｎに対する原子比で１０％より大きく１５％以下である。

以下に本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る複層ガラスの断面図であり、複層ガラス１は、対向する一方のガラス板２の表面に、第一の酸化物膜３、Ａｇ膜４、金属膜５および第二の酸化物膜６をこの順に積層し、間隙７を介して二枚組合せたものである。

これらガラス板２は、通常の窓ガラス等に使用する強化ガラスや平板ガラスを使用することができ、その厚さにも制限はないが、例えば４ｍｍ、６ｍｍ、８ｍｍのものを使用することができる。

ガラス板２の上に形成する第一の酸化物膜３、および、最外層として形成する第二の酸化物膜６の材料としては、酸化錫膜、酸化亜鉛膜等を使用することができるが、酸化錫膜／Ａｌドープ酸化亜鉛膜の積層体を採用し更に酸化錫膜を最下層及び最上層に形成することで、酸化錫膜の緻密性より、耐湿性、化学耐久性の点で好ましく、さらには、Ａｌドープ酸化亜鉛膜がＡｇ膜４側に配置され、かつ、酸化物膜の全膜厚に対するＡｌドープ酸化亜鉛膜厚の比率を１０以上４０％以下とすることが、Ａｇの結晶性を低減させず、酸化錫膜による耐久性向上を維持することができる点で好ましい。また、Ａｌドープ酸化亜鉛膜のＡｌ含有量は、Ｚｎに対する原子比で１０％より大きく２５％以下とすることが、酸化亜鉛膜の光学特性を維持しながら、耐久性が悪くなる原因である膜の応力を効果的に低減できる点で望ましい。

第一の酸化物膜３および第二の酸化物膜６の厚さはそれぞれ３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下、３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下とすることが、低反射・中性色という点で好ましい。また、第一の酸化物膜３の厚みを１としたとき、第二の酸化物膜６の厚みは０．９から１．７の範囲に設定することが好ましい。このような膜厚比にすることで外気側からの視感度だけでなく、室内側から見た際の好感度を阻害する５５０ｎｍ付近の波長を有する可視光線の反射率をより効率的に低減し、反射色調を中性色にすることができる。同時に、ＪＩＳ Ｒ３１０６に規定する可視光透過率を高くする効果も期待できる。なお、本発明において中性色とは、色相、彩度および明度がほぼ中間的、すなわち、中間的な明るさ、濁度のグレーをいう。

本発明に係るＡｇ膜４の厚さは８ｎｍ以上１０ｎｍ以下であり、従来のＬｏｗ−Ｅ膜に使用するＡｇ膜よりも薄くしてある。Ａｇ膜４をこの範囲に設計することで、赤みのある好ましくない光の反射率を低く抑えながら赤外光は反射させることができる。

金属膜５としては、各種金属膜を使用することができるが、特に、Ｔｉ膜、または、Ａｌ含有量がＺｎに対する原子比で１％以上２５％以下であるＺｎＡｌ合金膜を使用することが好ましい。また、ＺｎＡｌ合金膜の組成をＡｌ含有量がＺｎに対する原子比で１％以上６％以下とすると、Ｌｏｗ−Ｅ膜の紫外線透過率を低減できるため、さらに好ましい。金属膜５の酸化されずに金属として膜構成中に存在する部分の厚みは１ｎｍ以上８ｎｍ以下であり、従来のＬｏｗ−Ｅ膜に使用する金属膜よりも厚くなるようにしている。金属膜５をこの範囲の厚さで配置すれば、十分に日射吸収を行うことができるため、反射率を上げずに遮熱性能を向上し、遮熱係数を０．５７以下とすることができる。

本発明の複層ガラス１を図１の要領で室内外境界に設置したとき、室外側面におけるＪＩＳ Ｒ３１０６に規定の可視光反射率を８％以上２５％以下の範囲に収めることができる。また、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊を−３．０以上０．０以下、ｂ^＊を−９．０以上０．０以下の範囲とすることが可能となり、ほぼ中性色の反射色調を呈するようにできる。

また、室内側面においても、可視光反射率を８％以上１５％以下の範囲に収めることができ、またＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊を−１．０以上〜５．０以下、ｂ^＊を−２０．０以上−８．０以下の範囲とすることが可能となる。さらに、本発明のＬｏｗ−Ｅ複層ガラスの構成をとれば、ＪＩＳ Ｒ３１０６に規定の可視光透過率を５０％以上７５％以下の範囲とすることができ、高い可視光透過率を確保することができる。

以下に具体的な実施例（図２）および比較例にもとづいて本発明を詳細に説明する。

寸法３００ｍｍ×３００ｍｍ、厚さ６ｍｍのソーダライムガラスを洗浄、乾燥してガラス基体として用いた。前記ガラス基体をスパッタリング成膜装置内に設置し、真空度が５×１０^−４Ｐａ以下になるまで排気を行い、以下のようにしてガラス基体表面に熱線反射積層体を成膜した。

（第１層の成膜）
装置内に酸素ガスを導入し、真空度を０．２６Ｐａ以上０．８Ｐａ以下に調整した後、錫ターゲットが備えられたカソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、酸素とＳｎを反応させて酸化錫膜を作製できるようにし、電力を０．９ｋＷに調節した。その後、カソード上方を１０．３×１０^−３ｍ／ｓの速度でガラス基体を搬送し、膜厚３２．２ｎｍの酸化錫膜を作製した。

（第２層の成膜）
次に装置内に酸素ガスを導入し、真空度を０．２６Ｐａ以上０．８Ｐａ以下に調整した後、Ｚｎに対する原子比でＡｌが１３．１％（Ｚｎとの合計量に対する原子比でＡｌが１１．６％）ドープされた亜鉛ターゲットが備えられたカソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、酸素と亜鉛を反応させて酸化亜鉛膜を作製できるようにし、電力を１ｋＷに調節した。その後、カソード上方を１０．４×１０^−３ｍ／ｓの速度でガラス基体を搬送し、第２層として膜厚４．５ｎｍの、Ｚｎに対する原子比でＡｌが１３．１％ドープされた酸化亜鉛膜を作製した。

（第３層の成膜）
次に装置内にアルゴンガスを導入し、真空度を０．２６Ｐａ以上０．８Ｐａ以下に調整した後、銀ターゲットが備えられたカソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、電力を０．２５ｋＷに調節した。その後、カソード上方を１６．５×１０^−３ｍ／ｓの速度でガラス基体を搬送させ、第３層として膜厚９．６ｎｍの銀膜を作製した。

（第４層の成膜）
次に装置内にアルゴンガスを導入し、真空度を０．２６Ｐａ以上０．８Ｐａ以下に調整した後、Ｚｎに対する原子比でＡｌが３．５％（Ｚｎとの合計量に対する原子比でＡｌが３．４％）ドープされた亜鉛ターゲットが備えられたカソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、電力を０．２ｋＷに調節した。その後、カソード上方を２１．１×１０^−３ｍ／ｓの速度でガラス基体を搬送させ、膜厚約５ｎｍの、Ｚｎに対する原子比でＡｌが３．５％ドープされた亜鉛アルミ膜を作製した。

（第５層の成膜）
次に装置内に酸素ガスを導入し、真空度を０．２６Ｐａ以上０．８Ｐａ以下に調整した後、Ｚｎとの合計量に対し原子比でＡｌが１１．６％ドープされた亜鉛ターゲットが備えられたカソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、酸素とＺｎを反応させて酸化亜鉛膜を作製できるようにし、電力を１ｋＷに調節した。その後、カソード上方を６．７×１０^−３ｍ／ｓの速度でガラス基体を搬送させ、膜厚１０ｎｍの、Ｚｎに対する原子比でＡｌが１３．１％（Ｚｎとの合計量に対する原子比でＡｌが１１．６％）ドープされた酸化亜鉛膜を作製した。
Ｚｎに対する原子比でＡｌが１３．１％ドープされた酸化亜鉛膜の作製時における第四層金属膜の亜鉛アルミ膜が酸化された膜厚は約３〜５ｎｍであった。

（第６層の成膜）
次に装置内に酸素ガスを導入し、真空度を０．２６Ｐａ以上０．８Ｐａ以下に調整した後、錫ターゲットが備えられたカソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、酸素と錫を反応させて酸化錫膜を作製できるようにし、電力を１ｋＷに調節した。その後、カソード上方を８．５×１０^−３ｍ／ｓの速度でガラス基体を搬送させ、膜厚２４．５ｎｍの酸化錫膜を作製した。

形成した熱線反射積層体の膜構成を表１に示す。本実施例において、第１層の酸化錫（ＳｎＯ_２）と第２層のＡｌドープ酸化亜鉛層を組み合わせたものが前記第一の酸化物膜に相当し、第５層のＡｌドープ酸化亜鉛層と第６層の酸化錫層を組み合わせたものが前記第二の酸化物膜に相当する。以下、第一の酸化物層、第二の酸化物層は同様に解釈される。

前記の熱線遮蔽積層体を形成したガラス基体と、同じ寸法で同じ厚みのガラス基体を用い、常法により図１に示す構成の低放射複層ガラスを製造した。ここで、前記低放射複層ガラスのガラス基体の間隔を１２ｍｍとし、その内部（図１中７の部分）には乾燥空気を充填した。前記低放射複層ガラスについて、以下の評価を行った。結果を表２に示す。

（可視光反射率）
日立製作所製Ｕ−４０００型分光光度計を使用して、実施例１の低放射複層ガラスの室外側面と室内側面の反射スペクトルを測定し、ＪＩＳ Ｒ３１０６に基づいて可視光反射率（単位％）を算出した。

（色度）
日立製作所製Ｕ−４０００型分光光度計を使用して、前記低放射複層ガラスの室外側面と室内側面の反射スペクトルを測定し、ＪＩＳ Ｚ８７２２に基づいて前記低放射複層ガラスのそれぞれの面についてのＬ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊およびｂ^＊を算出した。

（可視光透過率）
日立製作所製Ｕ−４０００型分光光度計を使用して、前記低放射複層ガラスの透過スペクトルを測定し、ＪＩＳ Ｒ３１０６に基づいて前記低放射複層ガラスの可視光透過率（単位％）を算出した。

（紫外線透過率）
日立製作所製Ｕ−４０００型分光光度計を使用して、前記低放射複層ガラスの透過スペクトルを測定し、ＩＳＯ ９０５０：２００３に基づいて前記低放射複層ガラスの紫外線透過率（単位％）を算出した。

（遮蔽係数）
前記低放射複層ガラスについて、ＪＩＳ Ｒ３１０６に基づいて遮蔽係数を測定した。ここで遮蔽係数とは、３ｍｍの透明板ガラス（単板）の透過、及び再放射による室内流入熱量を１とした時の流入熱量を表す相対値であり、ＪＩＳ Ｒ３１０６で規定される日射熱取得率との間には、遮蔽係数＝日射熱取得率／０．８８の関係がある。

（耐久性）
実施例１の熱線反射積層体の耐久性を評価するため、前記熱線反射積層体を形成したガラス基体を、環境試験機（スガ製作所製)を用いて８５℃、湿度９５％の環境に４８時間保持し、膜の劣化度合いを観察た。ここで劣化とは、銀層が凝集し、膜に白点が生じることをいう。白点を目視で判別した結果を表に示す。凝集数が２個／１ｃｍ^２以下であれば耐久性が良として○で示し、３個／１ｃｍ^２以上であれば耐久性が劣るとして×と表示した。

各層の膜厚が異なる以外は実施例１と同様に、ガラス基体上に熱線反射積層体を形成した。各層の膜厚は放電電力を調整することにより変更した。膜構成は表１に記載の通りであった。また、実施例１と同様に、低放射複層ガラスを製造した。前記低放射複層ガラスについて実施例１と同様に評価した結果を表２に示す。

（実施例３〜６）
実施例２と同様に、膜構成の異なる低放射複層ガラスを製造し、評価した。膜構成は表１に記載の通りである。評価結果を表２に示す。

（比較例１〜６）
膜構成が異なる以外は実施例１と同様に、ガラス基体上に熱線反射積層体を形成した。各層の厚みは放電電力を調整することにより変更した。膜構成は表１に記載の通りであった。また、実施例１と同様に、低放射複層ガラスを製造した。前記低放射複層ガラスについて実施例１と同様に評価した結果を表２に示す。

実施例１〜６においては、前記第一の酸化物膜に相当する部分と前記第二の酸化物膜に相当する部分の厚さを、それぞれ３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下と３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲にしたため、非膜面側の可視光反射率、特に視感度の最も高い５５０ｎｍの反射率を低く抑えることができた。これにより、非膜面側の反射によるぎらつき感を抑え、中性反射色を実現することができた。

また、第３層のＡｇ膜の厚さを８ｎｍ以上１０ｎｍ以下の範囲にすることにより反射率を低減し、さらに第４層の金属膜の厚さを１ｎｍ以上８ｎｍ以下の範囲にすることによって遮蔽係数を０．５７以下に抑えることができ、中性反射色と遮熱性能向上を同時に満たすことができた。

実施例２および５の結果から、金属膜として、Ａｌ含有量がＺｎに対する原子比で１％以上６％以下の範囲のＺｎＡｌ合金膜を使用することで、紫外線透過率を低減できることがわかる。

一方、比較例１においては酸化物の膜厚が薄いため、また比較例３では酸化物の膜厚が厚いために、非膜面色調が中性色から外れて不快感を与える色合いとなった。

また、比較例２においては、Ａｇ膜を厚く、金属膜を薄くしたが、遮蔽係数を効果的に低減することはできず、非膜面色調が中性色から外れることとなった。

比較例４においては、Ａｇ膜厚を薄くすることにより色調を中性色として不快感を低減することができたが、遮蔽係数が高くなった。

比較例５においては、Ａｇ膜に接するようにＡｌドープ酸化亜鉛膜を作製していないために、耐久性が悪い結果となった。

比較例６においては、Ａｇ層の上に酸化錫膜のみを成膜したために、耐久性が悪い結果となった。

本発明の低放射複層ガラスによれば、遮熱性能を維持しながら、高い可視光透過率を確保することが可能なため、好適に窓等の室内外境界に設置することができる。

本発明に係る複層ガラスの断面図 実施例１に係るガラス板の断面図

符号の説明

１ 複層ガラス
２ ガラス板
３ 第一の酸化物膜
４ Ａｇ膜
５ 金属膜
６ 第二の酸化物膜
７ 間隙

Claims (9)

1. 二枚のガラス板を対向配置した複層ガラスであって、前記二枚のガラス板のうち一方のガラス板の他方のガラス板に対向する表面には、第一の酸化物膜／Ａｇ膜／金属膜／第二の酸化物膜をこの順に積層した熱線遮蔽積層体が形成され、前記第一の酸化物膜の膜厚は３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下、前記第二の酸化物膜の膜厚は３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下、前記Ａｇ膜の厚さは８ｎｍ以上１０ｎｍ以下、前記金属膜の厚さは１ｎｍ以上８ｎｍ以下であり、且つ前記第一の酸化物膜と第二の酸化物膜の膜厚比は０．９以上１．７以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
2. 請求項１に記載の低放射複層ガラスにおいて、前記複層ガラスを室内外境界に設置したときの室外側において、ＪＩＳ Ｒ３１０６で規定する可視光反射率が８％以上２５％以下であり、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊が−３．０以上０．０以下、ｂ^＊が−９．０以上０．０以下であり、遮蔽係数が０．５７以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
3. 請求項１または請求項２に記載の低放射複層ガラスにおいて、前記室内外境界に設置したときの室内側において、ＪＩＳ Ｒ３１０６で規定する可視光反射率が８％以上１５％以下であり、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるａ^＊が−１．０以上５．０以下、ｂ^＊が−２０．０以上０．０以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、ＪＩＳ Ｒ３１０６で規定する可視光透過率が５０％以上７５％以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、前記第一および第二の酸化物膜が、酸化錫膜とＡｌドープ酸化亜鉛膜との積層体であって、Ａｌドープ酸化亜鉛膜が前記Ａｇ膜側に配置され、かつ、酸化物膜の全膜厚に対するＡｌドープ酸化亜鉛膜厚の比率が１０％より大きく４０％以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、前記Ａｌドープ酸化亜鉛膜のＡｌ含有量は、Ｚｎに対する原子比で１０％より大きく２５％以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
7. 請求項６に記載のＡｌドープ酸化亜鉛膜のＡｌ含有量は、Ｚｎに対する原子比で１０％より大きく１５％以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。
8. 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、前記金属膜はＴｉ膜、またはＡｌ含有量がＺｎに対する原子比で１％以上２５％以下であるＺｎＡｌ合金膜であることを特徴とする低放射複層ガラス。
9. 請求項８に記載の合金金属膜組成はＡｌ含有量がＺｎに対する原子比で１％以上６％以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。