JP2007196258A - 光学表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】従来の加工装置を使用しレーザ光の分岐数を多くしても、より小さなレーザ光のパワーで加工が可能な光学表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】光学表示装置の製造方法は、基板12上に第1の層としての反射層14を形成する。反射層14の少なくとも一部にオーバーラップするように第2の層としての電極層22を形成する。及び、電極層22の反射層14にオーバーラップする部分にレーザ光(入射光40)を照射し、電極層22に入射する入射光40と電極層22を透過し反射層14で反射する反射光42とを電極層22の位置又はその近傍で重ねることにより2光子吸収又は多光子吸収を起こし、2光子吸収又は多光子吸収のエネルギーによって電極層22を加工する。
【選択図】図4
【解決手段】光学表示装置の製造方法は、基板12上に第1の層としての反射層14を形成する。反射層14の少なくとも一部にオーバーラップするように第2の層としての電極層22を形成する。及び、電極層22の反射層14にオーバーラップする部分にレーザ光(入射光40)を照射し、電極層22に入射する入射光40と電極層22を透過し反射層14で反射する反射光42とを電極層22の位置又はその近傍で重ねることにより2光子吸収又は多光子吸収を起こし、2光子吸収又は多光子吸収のエネルギーによって電極層22を加工する。
【選択図】図4
Description
本発明は、光学表示装置の製造方法に関する。
光学表示装置の製造方法において、電極パターニング等にレーザ加工を適用する場合、レーザ光を複数のレーザ光に分岐して被加工物に照射し、短時間で加工を行う方法がある。レーザ光の分岐数を多くすれば加工時間をより短くすることができるが、分岐数を多くするとレーザ光1本あたりのパワーは小さくなる。レーザ光1本あたりのパワーを大きくするには、大出力のレーザ発振器が必要となるため、レーザ加工装置が高価なものとなる。
大出力のレーザ発振器を必要とせず、効果的にレーザ加工を行う方法として、光学系部品を用いて被加工物に入射する入射光と被加工物を透過し反射する反射光とを被加工部分の位置で重ねることにより被加工部分を加工する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかし、上述の加工方法においては、入射光を反射するための光学系部品を必要とする。また、被加工物に入射するレーザ光は被加工物の基板を透過し光学系部品で反射した後再び被加工物の基板を透過して被加工部分に到達するため、被加工部分に到達する反射光は被加工物の基板を透過する過程でレーザ光のパワーが減衰してしまう。さらに、被加工物の基板はレーザ光を透過する材料に限定される。
本発明の目的は、上記の問題点を解決するものであり、従来の加工装置を使用しレーザ光の分岐数を多くしても、より小さなレーザ光のパワーで加工が可能な光学表示装置の製造方法を提供することにある。
(1)本発明に係る光学表示装置の製造方法は、基板上に第1の層を形成する工程と、前記第1の層の少なくとも一部にオーバーラップするように第2の層を形成する工程と、及び、前記第2の層の前記第1の層にオーバーラップする部分にレーザ光を照射し、前記第2の層に入射する入射光と前記第2の層を透過し前記第1の層で反射する反射光とを前記第2の層の位置又はその近傍で重ねることにより前記第2の層を加工する工程と、を含む。本発明によれば、入射光を第1の層で反射することにより、反射するための光学系部品を必要としない。また、入射光と反射光とは基板を透過しないため、レーザ光のパワーの減衰を抑えることができる。さらに、基板は、入射光と反射光とを透過させる必要がないため、レーザ光を透過する材料に限定されない。
(2)この光学表示装置の製造方法において、前記第2の層を加工する工程では、集光素子を通して前記第2の層の位置又はその近傍に集光して前記レーザ光を照射してもよい。
(3)この光学表示装置の製造方法において、前記第1の層を形成する工程は、前記基板上に前記第1の層を形成した後に、前記第1の層の少なくとも一部にオーバーラップするように第3の層を形成する工程を含み、前記第2の層を形成する工程は、前記第3の層の前記第1の層にオーバーラップする部分の、前記第3の層の少なくとも一部にオーバーラップするように前記第2の層を形成する工程を含み、及び、前記第2の層を加工する工程は、前記第2の層の、前記第1の層と前記第3の層と前記第2の層とがオーバーラップする部分に前記レーザ光を照射し、前記第2の層に入射する入射光と前記第2の層と前記第3の層とを透過し前記第1の層で反射し前記第3の層を透過する反射光とを前記第2の層の位置又はその近傍で重ねることにより前記第2の層を加工する工程を含んでもよい。
(4)この光学表示装置の製造方法において、前記第3の層の厚みAは、前記集光素子の焦点深度Bに対して、0<A<B/2の関係が成立することが好ましい。
(5)この光学表示装置の製造方法において、前記第3の層の厚みAは、前記レーザ光の波長Cに対して、A=n×C/2(nは1以上の自然数)の関係が成立することが好ましい。
(6)この光学表示装置の製造方法において、前記レーザ光を回折光学素子を通して複数のレーザ光に分岐して照射してもよい。
(7)この光学表示装置の製造方法において、前記第1の層が集光機能を有していてもよい。
(8)この光学表示装置の製造方法において、前記第1の層が分散補償機能を有していてもよい。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
(光学表示装置)
図1は、本発明の実施の形態に係る光学表示装置を示す概略平面図である。図2は、図1のII−II線における断面を示す図である。
(光学表示装置)
図1は、本発明の実施の形態に係る光学表示装置を示す概略平面図である。図2は、図1のII−II線における断面を示す図である。
本実施の形態に係る光学表示装置10は、図2に示すように、基板12と、第1の層としての反射層14と、第3の層としての層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20と、第2の層を加工して形成された共通電極24と、を含んでいる。
なお、本実施の形態においては、光学表示装置10が、基板12側から光を取り出すボトムエミッション型の有機EL装置である場合を例にとり説明する。まず、本実施の形態に係る光学表示装置10の各構成要素について説明する。
なお、本実施の形態においては、光学表示装置10が、基板12側から光を取り出すボトムエミッション型の有機EL装置である場合を例にとり説明する。まず、本実施の形態に係る光学表示装置10の各構成要素について説明する。
基板12は透明又は半透明な基板である。基板12は、例えば、ガラスである。基板12の材料は、石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等であってもよい。光学表示装置10が基板12の反対側の面の共通電極24側から光を取り出すトップエミッション型の有機EL装置である場合は、基板12は透明な基板、半透明な基板、及び不透明な基板のいずれも使用することができる。基板12の上面には、保護層26が形成されている。基板12の上面には、保護層26は形成されていなくてもよい。
反射層14は、保護層26の上面に、例えば、格子状に形成されている(図1参照)。反射層14は、レーザ光を反射する材料で構成されている。反射層14は、例えば、アルミニウムである。反射層14は、集光機能を有していてもよい。反射層14は、分散補償機能を有していてもよい。
層間絶縁層16は、反射層14と保護層26との全面を覆うように形成されている。層間絶縁層16は、レーザ光を透過する材料で構成されている。層間絶縁層16は、例えば、酸化シリコンである。層間絶縁層16の上面には、反射層14にオーバーラップする部分で分断されるように、画素電極28と正孔輸送層30と有機EL層32とが順番に積層され形成されている。
画素電極間絶縁層18は、層間絶縁層16と画素電極28との上面に、反射層14の全面にオーバーラップするように形成されている。画素電極間絶縁層18は、画素電極28と正孔輸送層30と有機EL層32と、の各々を区画している。画素電極間絶縁層18は、レーザ光を透過する材料で構成されている。画素電極間絶縁層18は、例えば、酸化シリコンである。
バンク20は、画素電極間絶縁層18の上面に、反射層14の全面にオーバーラップするように形成されている。バンク20は、レーザ光を透過する材料で構成されている。バンク20は、例えば、アクリル樹脂である。
共通電極24は、画素電極間絶縁層18とバンク20と有機EL層32との上面に形成されている。共通電極24は、反射層14と層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20とにオーバーラップする部分で分断されている。共通電極24は、レーザ光を透過する材料で構成されている。共通電極24は、光学表示装置10がボトムエミッション型の有機EL装置であることから、透明な導電材料及び不透明な導電材料のいずれも使用することができる。共通電極24は、例えば、アルミニウムである。共通電極24は、ITO(Indium Tin Oxide)であってもよい。
(光学表示装置の製造方法)
次に、本実施の形態に係る光学表示装置の製造方法について、図3及び図4を参照して説明する。図3及び図4は、本実施の形態に係る光学表示装置の製造方法を説明する図である。
(光学表示装置の製造方法)
次に、本実施の形態に係る光学表示装置の製造方法について、図3及び図4を参照して説明する。図3及び図4は、本実施の形態に係る光学表示装置の製造方法を説明する図である。
本実施の形態に係る光学表示装置10の製造方法は、まず図3(A)に示すように、基板12を用意し、基板12の上面に保護層26を形成する。基板12の上面には、保護層26は形成しなくてもよい。
次に、基板12の上に反射層14を形成する。本実施の形態では、保護層26の上面に、格子状に反射層14を形成する(図1参照)。反射層14を形成する方法は、例えば、スパッタリング法を適用する。反射層14は、アルミニウム等の配線(図示しない)を形成する際に同時に形成してもよい。反射層14は、レーザ光の反射光を集光させる集光機能を有していてもよい。反射層14が集光機能を有していると、反射層14で反射する反射光42を集光する(図4(C)参照)。これにより、反射光42の光束の密度が高められ、より小さなレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーでも2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる(図4(C)参照)。また、反射層14は、レーザ光のパルス幅の広がりを補償する分散補償機能を有していてもよい。反射層14が分散補償機能を有していると、レーザ光源として超短パルスレーザを使用する場合に、電極層22と層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20との屈折率分散により入射光40のパルス幅が伸びてしまっても、反射光42のパルス幅を再び短くする(図4(C)参照)。これにより、反射光42のパワーの減衰を抑えることができる。
次に、図3(B)に示すように、反射層14と保護層26との少なくとも一部にオーバーラップするように、層間絶縁層16を形成する。
次に、図3(C)に示すように、層間絶縁層16の上面に、反射層14にオーバーラップする部分で分断されるように、画素電極28を形成する。
次に、図3(D)に示すように、層間絶縁層16と画素電極28との上面に、反射層14の少なくとも一部にオーバーラップするように、画素電極間絶縁層18を形成する。
次に、図4(A)に示すように、画素電極間絶縁層18の上面に、反射層14の少なくとも一部にオーバーラップするように、バンク20を形成する。
次に、図4(B)に示すように、画素電極28の上面の画素電極間絶縁層18に区画された領域に、正孔輸送層30と有機EL層32とを、正孔輸送層30、有機EL層32の順に積層し形成する。
次に、図4(C)に示すように、層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20との反射層14にオーバーラップする部分の、バンク20(第3の層の最上層)の少なくとも一部にオーバーラップするように、第2の層としての電極層22を形成する。
次に、電極層22の、反射層14と層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20と電極層22とがオーバーラップする部分にレーザ光(入射光40(図では下向きの矢印))を照射する。入射光40は、集光素子44(図5参照)を通して電極層22の位置又はその近傍に集光して照射してもよい。これにより、電極層22の位置又はその近傍における入射光40の光束の密度が高められ、レーザ光(入射光40と反射光42)のパワーが小さくても2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。入射光40は、回折光学素子48(図6参照)を通して複数の入射光40に分岐して照射してもよい。これにより、回折光学素子48を通して分岐された複数の入射光40の各々は、集光素子44を通して屈折され電極層22の複数の個所に照射され、電極層22の複数の個所の各々の位置又はその近傍で2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
次に、電極層22に入射する入射光40と、電極層22と層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20とを透過し反射層14で反射し層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20とを透過するレーザ光(反射光42(図では上向きの矢印))と、を電極層22の位置又はその近傍で重ねることにより2光子吸収又は多光子吸収を起こし、2光子吸収又は多光子吸収のエネルギーによって電極層22を加工する。これにより、入射光40は反射層14で反射されるので、入射光40を反射するための光学系部品を必要としない。また、入射光40と反射光42とは基板12を透過しないため、入射光40と反射光42とのパワーの減衰を抑えることができる。さらに、基板12の材料は、入射光40と反射光42とを透過させる必要がないため、レーザ光(入射光40と反射光42)を透過する材料に限定されない。
次に、図2に示すように、前述の2光子吸収又は多光子吸収のエネルギーによって、電極層22の反射層14と層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20とがオーバーラップする部分を分断し、共通電極24を形成する。そして、必要であれば、封止工程を行い、検査工程等を行う。以上により、光学表示装置10を製造することができる。なお、以上の各工程で説明されていない加工方法は、公知の方法を適用すればよい。
なお、層間絶縁層16の厚みと画素電極間絶縁層18の厚みとバンク20の厚みとの合計の厚みAは、集光素子44の焦点位置46(図5参照)前後のほぼ焦点が合っている奥行き範囲である焦点深度B(図示しない)に対して、0<A<B/2の関係が成立することが好ましい。これにより、入射光40と反射光42との光束の密度が高い状態で入射光40と反射光42とが重なるため、より小さなレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーでも2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
また、層間絶縁層16の厚みと画素電極間絶縁層18の厚みとバンク20の厚みとの合計の厚みAは、レーザ光(入射光40と反射光42)の波長C(図示しない)に対して、A=n×C/2(nは1以上の自然数)の関係が成立することが好ましい。これにより、電極層22の位置又はその近傍で入射光40と反射光42との干渉条件が満たされ、入射光40と反射光42とが干渉を起こすことにより、電極層22の位置又はその近傍で入射光40と反射光42とのパワーが高められるため、より小さなレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーでも2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
(レーザ光による加工原理)
次に、本実施の形態に係るレーザ光による加工原理について、図5及び図6を参照して説明する。
(レーザ光による加工原理)
次に、本実施の形態に係るレーザ光による加工原理について、図5及び図6を参照して説明する。
図5及び図6は、本実施の形態に係るレーザ光による加工原理を説明する模式図である。図5及び図6は、レーザ光(入射光40と反射光42)により電極層22を加工する工程(図4(C)参照)を示す図であるが、加工原理を分かりやすくするため、第3の層としての層間絶縁層16と画素電極間絶縁層18とバンク20とを中間層34とし、図5においては加工する部分Dを拡大して示している。
図5において、入射光40(図では下向きの矢印)は集光素子44を通して電極層22の反射層14と中間層34とにオーバーラップする部分に照射される。集光素子44の焦点位置46は、電極層22の上面の位置に合うように設定されている。入射光40は電極層22と中間層34とを透過し反射層14で反射する。反射層14で反射する反射光42(図では上向きの矢印)は、中間層34を透過して電極層22に到達する。電極層22の位置又はその近傍では、入射光40と反射光42とが重なることによって2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
中間層34の厚みAが、集光素子44の焦点位置46の前後のほぼ焦点が合っている奥行き範囲である焦点深度B(図示しない)に対して、0<A<B/2であると、入射光40と反射光42との光束の密度が高い状態で入射光40と反射光42とが重なるため、より小さなレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーでも2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
また、中間層34の厚みAが、レーザ光(入射光40と反射光42)の波長C(図示しない)に対して、A=n×C/2(nは1以上の自然数)であると、電極層22の位置又はその近傍で入射光40と反射光42との干渉条件が満たされる。入射光40と反射光42とが干渉を起こすことにより、電極層22の位置又はその近傍で入射光40と反射光42とのパワーが高められるため、より小さなレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーでも2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
また、図6に示すように、入射光40は、回折光学素子48を通して複数の入射光40に分岐され、複数の入射光40の各々は、集光素子44を通して屈折され電極層22の複数の個所の位置又はその近傍に照射される。これにより、電極層22の複数の個所の各々の位置又はその近傍で2光子吸収又は多光子吸収を起こすことができる。
(実施例)
次に、本実施の形態に係るレーザ光による加工原理の実施例について、図7及び図8を参照して説明する。図7は、本実施例のサンプルの断面を示す図である。図8は、本実施例のサンプルの加工後の平面の写真である。
(実施例)
次に、本実施の形態に係るレーザ光による加工原理の実施例について、図7及び図8を参照して説明する。図7は、本実施例のサンプルの断面を示す図である。図8は、本実施例のサンプルの加工後の平面の写真である。
本実施例のサンプル50は、図7(A)に示すように、基板12(厚み0.7mmのガラス基板)の上に、反射層14(厚み500nmのアルミニウム層)を形成し、反射層14の少なくとも一部にオーバーラップするように、中間層34(厚み500nmの酸化シリコン層)を形成した。さらに、中間層34の反射層14にオーバーラップする部分の、中間層34の少なくとも一部にオーバーラップするように電極層22(厚み500nmのアルミニウム層)を形成した。
使用したレーザ光(入射光40)はYAGレーザであり、波長が532nm、周波数が100kHz、テーブル速度が500mm/sec、レーザ出力が0.34W、パルスエネルギーが3.4uJであった。集光素子(図示しない)の焦点距離は100mmであった。入射光40を、サンプル50の電極層22の反射層14と中間層34にオーバーラップする部分に照射し、電極層22を加工した。
比較用のサンプル60は、図7(B)に示すように、基板12(厚み0.7mmのガラス基板)の上に、電極層62(厚み500nmのアルミニウム層)を形成した。使用したレーザ光(入射光40)は、サンプル50に照射したものと同一条件であった。入射光40を、サンプル60の電極層62に照射し、電極層62を加工した。
図8(A)は、サンプル50の、電極層22が分断され共通電極24が形成された面の上側から撮影した平面写真である。図8(B)は、サンプル60の、電極層62が分断され共通電極64が形成された面の上側から撮影した平面写真である。
図8(A)及び図8(B)から明らかなように、サンプル50の電極層22が加工により分断された領域の幅Eは、サンプル60の電極層62が加工により分断された領域の幅Fよりも広くなっている。したがって、サンプル50の電極層22の位置又はその近傍におけるレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーは、サンプル60の電極層62の位置又はその近傍におけるレーザ光(入射光40)のパワーよりも高かったことがわかる。これにより、入射光40のみでなく反射光42も利用したことによる効果は明らかである。
上記の結果より、サンプル50においては、図7(A)に示すように、電極層22に入射する入射光40(図では下向きの矢印)と、電極層22と中間層34とを透過し反射層14で反射し中間層34を透過する反射光42(図では上向きの矢印)と、が電極層22の位置又はその近傍で重ねられることにより2光子吸収又は多光子吸収を起こし、2光子吸収又は多光子吸収のエネルギーによってレーザ光(入射光40と反射光42)のパワーが高められていると考察される。
また、入射光40により電極層22が上面から下方に向かって加工され、電極層22の厚みが薄くなるにしたがって電極層22を透過する入射光40の量が増加し、入射光40の量が増加するにしたがって入射光40が反射層14で反射する反射光42の量が増加していくことにより、電極層22の位置又はその近傍における2光子吸収又は多光子吸収のエネルギーが高められていくと考察される。
10…光学表示装置 12…基板 14…反射層 16…層間絶縁層 18…画素電極間絶縁層 20…バンク 22…電極層 24…共通電極 26…保護層 28…画素電極 30…正孔輸送層 32…有機EL層 34…中間層 40…入射光 42…反射光 44…集光素子 46…焦点位置 48…回折光学素子 50…サンプル 60…サンプル 62…電極層 64…共通電極。
Claims (8)
- 基板上に第1の層を形成する工程と、
前記第1の層の少なくとも一部にオーバーラップするように第2の層を形成する工程と、及び、
前記第2の層の前記第1の層にオーバーラップする部分にレーザ光を照射し、前記第2の層に入射する入射光と前記第2の層を透過し前記第1の層で反射する反射光とを前記第2の層の位置又はその近傍で重ねることにより前記第2の層を加工する工程と、
を含む光学表示装置の製造方法。 - 請求項1に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記第2の層を加工する工程では、集光素子を通して前記第2の層の位置又はその近傍に集光して前記レーザ光を照射する光学表示装置の製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記第1の層を形成する工程は、前記基板上に前記第1の層を形成した後に、前記第1の層の少なくとも一部にオーバーラップするように第3の層を形成する工程を含み、
前記第2の層を形成する工程は、前記第3の層の前記第1の層にオーバーラップする部分の、前記第3の層の少なくとも一部にオーバーラップするように前記第2の層を形成する工程を含み、及び、
前記第2の層を加工する工程は、前記第2の層の、前記第1の層と前記第3の層と前記第2の層とがオーバーラップする部分に前記レーザ光を照射し、前記第2の層に入射する入射光と前記第2の層と前記第3の層とを透過し前記第1の層で反射し前記第3の層を透過する反射光とを前記第2の層の位置又はその近傍で重ねることにより前記第2の層を加工する工程を含む光学表示装置の製造方法。 - 請求項3に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記第3の層の厚みAは、前記集光素子の焦点深度Bに対して、0<A<B/2の関係が成立する光学表示装置の製造方法。 - 請求項3又は請求項4に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記第3の層の厚みAは、前記レーザ光の波長Cに対して、A=n×C/2(nは1以上の自然数)の関係が成立する光学表示装置の製造方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記レーザ光を回折光学素子を通して複数のレーザ光に分岐して照射する光学表示装置の製造方法。 - 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記第1の層が集光機能を有する光学表示装置の製造方法。 - 請求項1から請求項7のいずれか一項に記載された光学表示装置の製造方法において、
前記第1の層が分散補償機能を有する光学表示装置の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017217335A1 (ja) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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2006
- 2006-01-26 JP JP2006017367A patent/JP2007196258A/ja not_active Withdrawn
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WO2017217335A1 (ja) * | 2016-06-13 | 2017-12-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPWO2017217335A1 (ja) * | 2016-06-13 | 2018-12-06 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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