JP2007194375A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体装置を実装するときのハンダの濡れ状態を確認することができ、半導体装置の実装性を高めることができる半導体装置を提供する。
【解決手段】 ベース基板60上に形成された電鋳電極10上に半導体素子20を接合する工程と、半導体素子20とベース基板60上に形成された電鋳電極30をボンディングワイヤ40で接続する工程と、半導体素子20とボンディングワイヤ40を覆うように樹脂封止する工程と、電鋳電極10、30を残してベース基板60を取り除く工程と、電鋳電極10、30と一体となった半導体素子20毎に、樹脂封止体50をダイシングすると共に電鋳電極10、30の一部もダイシングする工程を備える。また、半導体素子20毎の電鋳電極10、30間隔がダイシングライン幅よりも狭いので、ダイシングライン70側の電鋳電極10、30の一部が樹脂封止体50から露出することを特徴としている。
【選択図】 図5
【解決手段】 ベース基板60上に形成された電鋳電極10上に半導体素子20を接合する工程と、半導体素子20とベース基板60上に形成された電鋳電極30をボンディングワイヤ40で接続する工程と、半導体素子20とボンディングワイヤ40を覆うように樹脂封止する工程と、電鋳電極10、30を残してベース基板60を取り除く工程と、電鋳電極10、30と一体となった半導体素子20毎に、樹脂封止体50をダイシングすると共に電鋳電極10、30の一部もダイシングする工程を備える。また、半導体素子20毎の電鋳電極10、30間隔がダイシングライン幅よりも狭いので、ダイシングライン70側の電鋳電極10、30の一部が樹脂封止体50から露出することを特徴としている。
【選択図】 図5
Description
本発明は、半導体装置及びその製造方法に関するものである。
従来、樹脂封止型の半導体装置は、基板上に半導体素子搭載用の金属層と外部導出用の電極層を電鋳製のリード材を用いて形成し、この金属層上に半導体素子を搭載したあと、半導体素子と電極層を結線処理して、基板上に樹脂封止を行い、基板だけを除去し、半導体素子ごとに個々に切断することにより、構成されていた(例えば、特許文献1参照。)。
このように、電鋳製のリード材を用いることにより、容易にフラットな配線を樹脂封止体表面に露出するように形成することができる。
しかしながら、この樹脂封止型の半導体装置は、半導体素子搭載用の金属層や外部導出用の電極層が半導体装置の裏面かつ樹脂に覆われた内側にあり、この半導体装置を実装するときに、金属層や電極層と、実装先のハンダとの実装の濡れ状態を確認することが困難であるという問題点がある。
特開2004−214265号公報(第7頁、図1)
本発明は、半導体装置を実装するときのハンダの濡れ状態を確認することができ、半導体装置の実装性を高めることができる半導体装置を提供する。
上記目的を達成するために、本発明の一態様の半導体装置は、半導体素子と、前記半導体素子と接合し、電解メッキ層からなるフラットな配線から構成された第1の電極と、前記半導体素子と導電性部材を介して接続され、電解メッキ層からなるフラットな配線から構成される第2の電極と、前記半導体素子、前記導電性部材を覆うように形成された樹脂封止体と、を備え、前記第1の電極及び前記第2の電極の各一面及び前記各一面の側部が、前記樹脂封止体から露出していることを特徴としている。
また、本発明の他の態様の半導体装置の製造方法は、導電性基板上に形成された第1の電鋳電極上に半導体素子を接合する工程と、前記半導体素子と前記導電性基板上に形成された第2の電鋳電極を導電性部材を介して接続する工程と、前記半導体素子及び前記導電性部材を覆うように樹脂封止する工程と、前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極を残して前記導電性基板を取り除く工程と、前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極と一体となった前記半導体素子毎に、前記樹脂をダイシングすると共に前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部もダイシングする工程と、を備え、ダイシングライン側の前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部が前記樹脂から露出することを特徴としている。
また、本発明の他の態様の半導体装置の製造方法は、第1の導電性基板上に形成された第1の電鋳電極上に半導体素子を接合する工程と、前記半導体素子と第2の導電性基板上に形成された第2の電鋳電極を導電性部材を介して接続する工程と、前記半導体素子及び前記導電性部材を覆うように樹脂封止する工程と、前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極を残して前記第1の導電性基板及び前記第2の導電性基板を取り除く工程と、前記第1の電鋳電極及び善意第2の電鋳基板と一体となった前記半導体素子毎に、前記樹脂をダイシングすると共に前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部もダイシングする工程と、を備え、ダイシングライン側の前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部が前記樹脂から露出することを特徴としている。
本発明によれば、半導体装置を実装するときのハンダの濡れ状態を確認することができ、半導体装置の実装性を高めることができる半導体装置を提供することができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施例1に係る半導体装置であるダイオードを示す(a)平面図及び(b)断面図である。図1(b)は、図1(a)の平面図のA−A’線に沿った断面図である。
図1(b)に示すように、本実施例に係るダイオードは、第1の電極層である半導体素子搭載用の電鋳電極10上に、例えば、ダイオードなどの半導体素子20が搭載され、この半導体素子20は、第2の電極層である電鋳電極30と、例えば、Auなどのボンディングワイヤ40により電気的に接続されている。そして、これら半導体素子20、電鋳電極10、30及びボンディングワイヤ40は、例えば、エポキシ樹脂などの樹脂封止体50に覆われ、図1(a)に示すように、電鋳電極10、30の半導体素子搭載側の裏側と側面の一部が樹脂封止体50から露出している。
ここで、電鋳電極10、30は、NiやCuなどで電解メッキにより形成される。また、電鋳電極10、30の樹脂封止体50から露出した面は、電鋳電極10、30共にフラットな構成をしている。この電鋳電極10、30の樹脂封止体50から露出したフラットな面が本実施例の半導体装置を実装するときに、それぞれが外部接続端子となる。また、半導体装置の側面の一部に電鋳電極10、30が樹脂封止体50から露出した構成をしているので、半導体装置実装時のハンダの濡れ状態が容易に確認することができる。
このように構成される本実施例に係るダイオードは、以下のように形成することができる。図2乃至図7は、その本発明の実施例1に係る半導体装置であるダイオードを形成する製造方法を示す(a)平面図及び(b)断面図である。ここで、図2(b)乃至図7(b)は、図2(a)乃至図7(a)の各B−B’線に沿った断面図である。
まず、図2に示すように、例えば、ステンレス等を材料とするベース基板60上に、予め、電解メッキにより、CuやNiなどの導電パターンである、半導体素子搭載用の電鋳電極10及び電鋳電極30を形成する。このとき、異なる半導体装置同士の電鋳電極10、30の導電パターンの間隔は、後の工程で行うダイシングのダイシングライン幅よりも狭い間隔にする。
次に、図3に示すように、ベース基板60上に形成された半導体素子搭載用の電鋳電極10上に半導体素子を搭載する。このとき、電鋳電極10と半導体素子20は、Sn−Pbなどの共晶はんだなどにより接合される。ここで、半導体素子20は、ダイオードなどを用いている。
次に、図4に示すように、半導体素子20上面に露出した表面電極と電鋳電極30を、例えば、金などのボンディングワイヤ40を用いて接続する。
次に、図5に示すように、モールド金型を用いてベース基板60上に半導体素子20、電鋳電極10、30及びボンディングワイヤ40を覆うように樹脂封止体50を用いて樹脂封止を行う。ここで、樹脂封止に用いる樹脂封止体50として、エポキシ樹脂やビスマレイミド・トリジアン樹脂などが用いられる。
次に、図6に示すように、ベース基板60上に形成される電鋳電極10、30を残して、ベース基板60を取り除く。このとき、電鋳電極10、30は、ベース基板60のおかげでフラットな配線ととなり、樹脂封止体50から露出する。この露出した電鋳電極部が外部端子として用いられる。
次に、図7に示すように、ダイシングライン70に沿ってダイシングを行い、半導体素子20ごとに個々に半導体装置の分離を行う。このとき、異なる半導体装置同士の電鋳電極10、30間の間隔は、ダイシングライン幅よりも狭く形成されている。そのため、ダイシングを行うことより、樹脂封止体50と共に、電鋳電極10、30の一部も切断され、半導体素子搭載側の裏面にフラットな電鋳電極10、30が露出するだけでなく、半導体装置の側面の一部にも電鋳電極10、30が露出する。
以上より構成される半導体装置は、電鋳電極が形成されたベース基板を用いることにより、容易に、外部端子である電解メッキからなるフラットな配線を樹脂封止体表面から露出させることができる。また、ベース基板上の電鋳電極の半導体装置ごとの間隔をダイシングライン幅よりも狭く形成することにより、ダイシングにより樹脂封止体とともに電鋳電極も切断することができる。そのため、半導体装置の側部にも電鋳電極を樹脂封止体から露出させることができ、半導体装置実装時のハンダの濡れ状態の確認を容易にすることができる。また、ハンダの濡れ状態の確認が容易になることにより、半導体装置の実装性を向上させることができる。
ここで、本実施例では、半導体素子上面から1端子をワイヤボンディングで電鋳電極に接続させていたが、半導体素子がトランジスタのような2端子以上を有する場合にでも適用できる。その場合、ワイヤボンディングに接続する電鋳電極を2分割、3分割することにより、本実施例の半導体装置を形成することができる。
図8は、本発明の実施例2に係る半導体装置であるダイオードを示す(a)平面図及び(b)断面図である。図8(b)は、図1(a)の平面図のC−C’線に沿った断面図である。
図8(b)に示すように、本実施例に係るダイオードは、第1の電極層である半導体素子搭載用の電鋳電極15上に、例えば、ダイオードなどの半導体素子25が搭載され、この半導体素子25上に、例えば、Auなどのバンプ80が設けられている。そして、このバンプ80上に第2の電極層である電鋳電極35が設けられ、半導体素子25は、バンプ80を介して電鋳電極35と電気的に接続されている。そして、電鋳電極15、35との間には、エポキシ樹脂などの樹脂封止体55が樹脂封止され、半導体素子25及びバンプ80を覆っている。また、図8(a)に示すように、電鋳電極15の半導体素子搭載側の裏側、電鋳電極35のバンプ80と接続している面の裏側及び半導体装置側面の一部の電鋳電極15、35が樹脂封止体55から露出している。
ここで、電鋳電極15、35は、NiやCuなどで電解メッキにより形成される。また、電鋳電極15、35の樹脂封止体55から露出した面は、電鋳電極15、35共にフラットな配線構成をしている。この電鋳電極15、35の樹脂封止体55から露出したフラットな面が本実施例の半導体装置を実装するときに、それぞれが外部接続端子となる。また、半導体装置の側面の一部に電鋳電極15、35が樹脂封止体55から露出した構成をしているので、半導体装置実装時のハンダの濡れ状態が容易に確認することができる。
このように構成される本実施例に係るダイオードは、以下のように形成することができる。図9乃至図14は、その本発明の実施例2に係る半導体装置であるダイオードを形成する製造方法を示す(a)平面図及び(b)断面図である。ここで、図9(b)乃至図14(b)は、図9(a)乃至図14(a)の各D−D’線に沿った断面図である。
まず、図9に示すように、例えば、ステンレス等を材料とするベース基板62上に、予め、電解メッキにより、CuやNiなどの導電パターンである、半導体素子搭載用の電鋳電極15を形成する。このとき、異なる半導体装置同士の電鋳電極15の導電パターンの間隔は、後の工程で行うダイシングのダイシングライン幅よりも狭い間隔にする。
次に、図10に示すように、ベース基板62上に形成された半導体素子搭載用の電鋳電極15上に半導体素子25を搭載する。このとき、電鋳電極15と半導体素子25は、Sn−Pbなどの共晶はんだなどにより接合される。ここで、半導体素子25は、ダイオードなどを用いている。
次に、図11に示すように、半導体素子25上面に露出した表面電極上に、例えば、金などのバンプ80を形成する。このとき、バンプ80は、図11(b)に示すように、複数段のバンプを形成しても、一段のバンプを形成してもどちらでもよい。
次に、図12に示すように、バンプ80上に、新たに電解メッキによって、例えば、NiやCuなどの電鋳電極35を形成したベース基板64をバンプ80と電鋳電極35が電気的に接続するようにマウントする。そして、モールド金型を用いてベース基板62、64間に半導体素子25、電鋳電極15及びバンプ80を覆うように樹脂封止体55を樹脂封止する。このとき、ベース基板64上に形成される電鋳電極35は、上記したベース基板62と同じ導電パターンを形成することが望ましい。
ここで、樹脂封止に用いる樹脂封止体として、エポキシ樹脂やビスマレイミド・トリジアン樹脂などが用いられる。
次に、図13に示すように、ベース基板62、64上に形成される電鋳電極15、35を残して、ベース基板62、64を取り除く。このとき、電鋳電極15、35は、ベース基板62、64のおかげでフラットな配線ととなり、樹脂封止体55から露出する。この露出した電鋳電極部が外部端子として用いられる。
次に、図14ように、ダイシングライン75に沿ってダイシングを行い、半導体素子25ごとに個々に半導体装置の分離を行う。このとき、異なる半導体装置同士の電鋳電極15、35間の間隔は、ダイシングライン幅よりも狭く形成されている。そのため、ダイシングを行うことより、樹脂封止体55と共に、電鋳電極15、35の一部も切断され、半導体素子搭載側の裏面のフラットな電鋳電極15、35だけでなく、半導体装置の側面の一部にも電鋳電極15、35が露出する。
以上より構成される半導体装置は、電鋳電極が形成されたベース基板を用いることにより、容易に、外部端子である、電解メッキからなるフラットな配線を樹脂封止体表面から露出させることができる。また、ベース基板上の電鋳電極の半導体装置ごとの間隔をダイシングライン幅よりも狭く形成することにより、ダイシングにより樹脂封止体とともに電鋳電極も切断することができる。そのため、半導体装置の側部にも電鋳電極を樹脂封止体から露出させることができ、半導体装置実装時のハンダの濡れ状態の確認を容易にすることができる。また、ハンダの濡れ状態の確認が容易になることにより、半導体装置の実装性を向上させることができる。
なお、本発明は、上述したような各実施例に何ら限定されるものではなく、発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施することができる。
10、15 半導体素子搭載用の電鋳電極(第1の電極)
20、25 半導体素子
30、35 電鋳電極(第2の電極)
40 ボンディングワイヤ
50、55 樹脂
60、62、64 ベース基板
70、75 ダイシングライン
80 バンプ
20、25 半導体素子
30、35 電鋳電極(第2の電極)
40 ボンディングワイヤ
50、55 樹脂
60、62、64 ベース基板
70、75 ダイシングライン
80 バンプ
Claims (5)
- 半導体素子と、
前記半導体素子と接合し、電解メッキ層からなるフラットな配線から構成された第1の電極と、
前記半導体素子と導電性部材を介して接続され、電解メッキ層からなるフラットな配線から構成される第2の電極と、
前記半導体素子、前記導電性部材を覆うように形成された樹脂封止体と、
を備え、前記第1の電極及び前記第2の電極の各一面及び前記各一面の側部が、前記樹脂封止体から露出していることを特徴とする半導体装置。 - 導電性基板上に形成された第1の電鋳電極上に半導体素子を接合する工程と、
前記半導体素子と前記導電性基板上に形成された第2の電鋳電極を導電性部材を介して接続する工程と、
前記半導体素子及び前記導電性部材を覆うように樹脂封止する工程と、
前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極を残して前記導電性基板を取り除く工程と、
前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極と一体となった前記半導体素子毎に、前記樹脂をダイシングすると共に前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部もダイシングする工程と、
を備え、ダイシングライン側の前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部が前記樹脂から露出することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1の導電性基板上に形成された第1の電鋳電極上に半導体素子を接合する工程と、
前記半導体素子と第2の導電性基板上に形成された第2の電鋳電極を導電性部材を介して接続する工程と、
前記半導体素子及び前記導電性部材を覆うように樹脂封止する工程と、
前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極を残して前記第1の導電性基板及び前記第2の導電性基板を取り除く工程と、
前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳基板と一体となった前記半導体素子毎に、前記樹脂をダイシングすると共に前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部もダイシングする工程と、
を備え、ダイシングライン側の前記第1の電鋳電極及び前記第2の電鋳電極の一部が前記樹脂から露出することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子毎の前記第1の電鋳電極間の間隔は、前記ダイシングする工程のダイシングライン幅よりも狭いことを特徴とする請求項2又は請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体素子毎の前記第2の電鋳電極間の間隔は、前記ダイシングする工程のダイシングライン幅よりも狭いことを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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