JP2007190802A - Composite sheet - Google Patents

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知義 永山
誠一 ▲高▼岡
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a composite sheet having excellent releasing, cushioning and heat-conducting properties. <P>SOLUTION: The composite sheet 10 has a silicone gel sheet layer 1 and a release sheet layer 2 formed on at least one principal surface of the silicone gel sheet layer 1. The release sheet layer 2 contains a fluorine resin, and one principal surface of the release sheet layer 2 is exposed. The silicone gel sheet layer 1 is composed of a composition based on an organopolysiloxane which has glass adhesion force, specified by JIS A 5759, of ≥35g/cm and a JIS-A hardness, specified by JIS K 6253, of lower than 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の圧着接合作業などに用いられる複合シートに関する。   The present invention relates to a composite sheet that is used for crimping and joining operations of electronic components.

電子部品の基板実装や配線接続などを自動化、高速化するため、テープオートメティドボンディング（Tape Automated Bonding:ＴＡＢ）法を用いた圧着接合技術の開発が盛んである。ＴＡＢ法で用いられるボンディングテープとしては、例えば、異方性導電フィルム（Anisotropic Conductive Flim:ＡＣＦ）がある。このＡＣＦは、液晶系、プラズマ系、エレクトロルミネッセント系などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に際して用いられることが多い。例えば、ＦＰＤにおけるガラス基板と駆動用ＩＣとの接続や、駆動用ＩＣとプリント回路基板との接続に用いられる。   In order to automate and speed up the board mounting and wiring connection of electronic components, development of a crimp bonding technique using a tape automated bonding (TAB) method is active. As a bonding tape used in the TAB method, for example, there is an anisotropic conductive film (ACF). This ACF is often used in the production of flat panel displays (FPD) such as liquid crystal systems, plasma systems, and electroluminescent systems. For example, it is used for connection between a glass substrate and a driving IC in an FPD, or between a driving IC and a printed circuit board.

ＡＣＦを用いた圧着接合は、例えば次のようにして行われる。まず、図２で示すように、液晶パネル１０５の上に設けられた電極１０４と、液晶駆動用の半導体チップを実装したテープキャリアパッケージ（Tape Carrier Package:ＴＣＰ）１０１の上に設けられた電極１０２との間に、ＡＣＦ１０３を配する。なお、このＡＣＦ１０３は、熱硬化性エポキシ樹脂などのバインダー１０３ｂ中に、導電性粒子１０３ａが分散されたものである。その後、図４で示すように、ステージ１０７の上に、ＡＣＦ１０３を介して積層した液晶パネル１０５およびＴＣＰ１０１を配置し、加熱ヘッド１０８を用いて、ＴＣＰ１０１を上側から押圧する。これにより、ＡＣＦ１０３を溶融させ、図３で示すように、液晶パネル１０５とＴＣＰ１０１とを熱溶着させることができ、また、ＡＣＦ１０３中の導電性粒子１０３ａによって、電極１０２と電極１０４との間を導通させることができる。   For example, the pressure bonding using the ACF is performed as follows. First, as shown in FIG. 2, an electrode 104 provided on a liquid crystal panel 105 and an electrode 102 provided on a tape carrier package (TCP) 101 on which a liquid crystal driving semiconductor chip is mounted. ACF 103 is arranged between the two. The ACF 103 is obtained by dispersing conductive particles 103a in a binder 103b such as a thermosetting epoxy resin. After that, as shown in FIG. 4, the liquid crystal panel 105 and the TCP 101 that are stacked via the ACF 103 are disposed on the stage 107, and the TCP 101 is pressed from above using the heating head 108. As a result, the ACF 103 can be melted and the liquid crystal panel 105 and the TCP 101 can be thermally welded as shown in FIG. 3, and the conductive particles 103a in the ACF 103 are electrically connected between the electrode 102 and the electrode 104. Can be made.

ところで、圧着接合に際して、溶融したＡＣＦ１０３がはみ出して、加熱ヘッド１０８を汚してしまうことがある。そのため、一般には、図４で示すように、ＴＣＰ１０１と加熱ヘッド１０８との間に離型シート１０６を配置することにより、ＡＣＦ１０３の加熱ヘッド１０８への付着を防止している。   By the way, at the time of pressure bonding, the melted ACF 103 may protrude and stain the heating head 108. Therefore, generally, as shown in FIG. 4, the release sheet 106 is disposed between the TCP 101 and the heating head 108 to prevent the ACF 103 from adhering to the heating head 108.

圧着接合を円滑に行うには、加熱ヘッドの熱がＡＣＦに良好に伝達されなければならない。そのため、離型シートには、離型性に優れるだけでなく、熱伝導性にも優れることが要求されている。   In order to perform the pressure bonding smoothly, the heat of the heating head must be transferred to the ACF well. Therefore, the release sheet is required not only to have excellent releasability but also to have excellent thermal conductivity.

離型シートの離型性を向上させる側面から、その材料として、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素系樹脂が注目されている。しかし、フッ素系樹脂の熱伝導性は他のシート材料と比べて劣るため、離型シートとして用いる場合には、十分な熱伝導性を得るために、その厚みを極端に薄くしなければならない。   From the aspect of improving the releasability of the release sheet, a fluorine-based resin such as polytetrafluoroethylene (PTFE) has attracted attention as its material. However, since the thermal conductivity of the fluororesin is inferior to that of other sheet materials, when used as a release sheet, the thickness must be extremely reduced in order to obtain sufficient thermal conductivity.

ところが、近年のＦＰＤモジュールの大型化に伴い、ＴＣＰ、ＣＯＦ（Chip On Film）、ＦＰＣ（Flexible Print Circuit）などの接続ワークにおける凹凸や平行度のバラツキが拡大している。このため、十分な熱伝導性が得られる程度にまで、フッ素系樹脂からなる離型シートの厚みを薄くすると、圧着接合に際して均一な圧力分布が得られにくく、押圧作業に伴う衝撃で、接続ワークやＦＰＤのガラス基板が破損してしまう場合がある。   However, with the recent increase in size of FPD modules, unevenness and variations in parallelism in connecting works such as TCP, COF (Chip On Film), and FPC (Flexible Print Circuit) are increasing. For this reason, if the release sheet made of a fluororesin is thinned to such an extent that sufficient thermal conductivity is obtained, it is difficult to obtain a uniform pressure distribution at the time of pressure bonding. Or the glass substrate of the FPD may be damaged.

そこで、フッ素系樹脂を用いた離型シートのクッション性を高めることを目的として、フッ素樹脂シートとシリコーンゴムシートとを積層一体化して、離型シートを構成する技術がある（特許文献１参照）。この技術では、シリコーンゴムシートの厚さを０．２〜５ｍｍの範囲とすることにより、クッション性の向上が図られている。   Therefore, for the purpose of enhancing the cushioning property of the release sheet using a fluorine-based resin, there is a technique for forming a release sheet by laminating and integrating a fluororesin sheet and a silicone rubber sheet (see Patent Document 1). . In this technique, the cushioning property is improved by setting the thickness of the silicone rubber sheet in the range of 0.2 to 5 mm.

特開２００１−３１５２４８号公報JP 2001-315248 A

しかしながら、本発明者らが検討したところ、上記特許文献１に記載の離型シートは、熱伝導性に劣るという問題がある。   However, as a result of investigations by the present inventors, the release sheet described in Patent Document 1 has a problem that it is inferior in thermal conductivity.

そこで本発明は、離型性、クッション性および熱伝導性の全てに優れた複合シートを提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the composite sheet excellent in all of mold release property, cushioning property, and heat conductivity.

本発明者らは上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、フッ素樹脂を含むシート層と、シリコーンゲルからなるシート層とを積層することにより、離型性、クッション性および熱伝導性の全てに優れた複合シートが得られることを見出し、本発明を完成するに到った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have laminated a sheet layer containing a fluororesin and a sheet layer made of silicone gel, so that the mold release property, cushioning property, and thermal conductivity are improved. The inventors have found that excellent composite sheets can be obtained for all, and have completed the present invention.

本発明は、シリコーンゲルシート層と、前記シリコーンゲルシート層の少なくとも一方の主面上に設けられた離型シート層と、を含む複合シートであって、前記離型シート層がフッ素樹脂を含み、前記離型シート層の一方の主面が露出している、複合シートを提供する。   The present invention is a composite sheet comprising a silicone gel sheet layer and a release sheet layer provided on at least one main surface of the silicone gel sheet layer, wherein the release sheet layer contains a fluororesin, Provided is a composite sheet in which one main surface of a release sheet layer is exposed.

本発明によれば、離型性、クッション性および熱伝導性の全てに優れた複合シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the composite sheet excellent in all of mold release property, cushioning property, and heat conductivity can be provided.

本発明の複合シート１０は、図１で示すように、シリコーンゲルシート層１と、離型シート層２とを含んでいる。離型シート層２の一方の主面は露出しており、複合シート１０の一方の主面を構成している。   As shown in FIG. 1, the composite sheet 10 of the present invention includes a silicone gel sheet layer 1 and a release sheet layer 2. One main surface of the release sheet layer 2 is exposed and constitutes one main surface of the composite sheet 10.

本明細書において、シリコーンゲルシート層とは、ＪＩＳ Ａ ５７５９に規定される対ガラス粘着力が３５ｇ／ｃｍ以上の範囲にあり、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に規定されるＪＩＳ−Ａ硬度が１０未満の範囲にある、オルガノポリシロキサンを主成分とする組成物からなる層を意味する。上記シリコーンゲルシート層は、上記対ガラス粘着力の範囲および上記ＪＩＳ−Ａ硬度の範囲に加えて、ＪＩＳ Ｋ ２２０７に規定される針入度が１５０〜２０ｍｍ／１０の範囲にある、オルガノポリシロキサンを主成分とする組成物からなる層とすることが好ましい。   In the present specification, the silicone gel sheet layer has a glass adhesion strength specified in JIS A 5759 of 35 g / cm or more and a JIS-A hardness specified in JIS K 6253 of less than 10. And a layer made of a composition containing organopolysiloxane as a main component. The silicone gel sheet layer comprises an organopolysiloxane having a penetration of 150 to 20 mm / 10 as defined in JIS K 2207, in addition to the range of adhesion to glass and the range of JIS-A hardness. It is preferable to use a layer made of a composition containing the main component.

上記オルガノポリシロキサンの分子構造は、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、環状、分岐鎖状などであってよい。上記組成物は、本発明の目的を損なわない範囲において、その他の成分を含んでいてもよく、石英、アルミナ、窒化ホウ素などの公知の熱伝導性充填剤を含んでもよい。   The molecular structure of the organopolysiloxane may be linear, partially branched, cyclic, branched, or the like. The above composition may contain other components as long as the object of the present invention is not impaired, and may contain a known heat conductive filler such as quartz, alumina, boron nitride and the like.

上記シリコーンゲルシート層は、例えば、公知のシリコーンゲルペーストを硬化させ、成形することにより得ることができる。このようなシリコーンゲルペーストは、例えば、東レ・ダウコーニング社製ＳＥ４４４０ＬＰ、ＧＥ東芝シリコーン社製ＴＳＥ３０８１、信越シリコーン社製Ｘ−３２−２１２９として入手できる。   The silicone gel sheet layer can be obtained, for example, by curing and molding a known silicone gel paste. Such silicone gel pastes are available, for example, as SE4440LP manufactured by Toray Dow Corning, TSE3081 manufactured by GE Toshiba Silicone, and X-32-2129 manufactured by Shin-Etsu Silicone.

上記シリコーンゲルシート層は、例えば、その厚さを１００μｍ以上３００μｍ以下の範囲とすることができる。当該厚さが１００μｍ未満であると複合シートのクッション性が極度に低下する場合がある。他方、３００μｍを超えると十分な圧着接合が困難となる程度にまで複合シートの熱伝導性が低下する場合がある。   For example, the silicone gel sheet layer can have a thickness in the range of 100 μm to 300 μm. When the thickness is less than 100 μm, the cushioning property of the composite sheet may extremely decrease. On the other hand, if it exceeds 300 μm, the thermal conductivity of the composite sheet may be lowered to such an extent that sufficient pressure bonding is difficult.

上記離型シート層は、例えば、その厚さを２０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることができる。当該厚さが２０μｍ未満であると離型シート層が破損し、複合シートを繰り返し使用できる回数が極度に低下する場合がある。他方、１００μｍを超えると十分な圧着接合が困難となる程度にまで複合シートの熱伝導性が低下する場合がある。ＰＴＦＥ含浸ガラスクロスを用いる場合には、その厚さを５０μｍ以上１００μｍ以下の範囲とすることが好ましい。上記範囲の厚みを有する離型シート層を複数層積層して用いてもよい。この場合も、その総厚が１００μｍ以下の範囲となるように調整すればよい。また、シリコーンゲルシート層の両面上に離型シート層を配置してもよい。   The release sheet layer can have a thickness in the range of 20 μm to 100 μm, for example. If the thickness is less than 20 μm, the release sheet layer may be damaged, and the number of times the composite sheet can be used repeatedly may be extremely reduced. On the other hand, if it exceeds 100 μm, the thermal conductivity of the composite sheet may be lowered to the extent that sufficient pressure bonding is difficult. When PTFE-impregnated glass cloth is used, the thickness is preferably in the range of 50 μm to 100 μm. A plurality of release sheet layers having a thickness in the above range may be laminated. In this case as well, the total thickness may be adjusted to be in the range of 100 μm or less. Moreover, you may arrange | position a release sheet layer on both surfaces of a silicone gel sheet layer.

上記離型シート層の材料としては、例えば、ＰＴＦＥ、パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフルオロエチレンコポリマー（ＥＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリクロロトリフルオロエチン（ＰＣＴＦＥ）、エチレン−クロロトリフルオロエチレンコポリマー（ＥＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）などを用いることができる。ＰＴＦＥシートにより離型シート層を構成すると、複合シートの柔軟性が高まる。このようなＰＴＦＥシートとしては、例えば、スカイブシート、ＰＴＦＥ含浸ガラスクロス、ＰＴＦＥ多孔体フィルムなどが挙げられる。スカイブシートとしては、例えば、ＰＴＦＥフィルムの一方の主面がナトリウム処理などにより接着処理された、接着処理ＰＴＦＥフィルムを用いることができる。このようなフィルムは、例えば、日本バルカー工業社製Ｎｏ．７９９１、日東電工社製Ｎｏ．９０１として入手できる。ＰＴＦＥ含浸ガラスクロスとしては、例えば、ＰＴＦＥ含浸ガラスクロスの一方の主面が接着処理された、接着処理ＰＴＦＥ含浸ガラスクロスを用いることができる。このようなガラスクロスは、例えば、日本バルカー工業社製Ｎｏ．７９２１、日東電工社製Ｎｏ．９７１として入手できる。ＰＴＦＥ多孔体フィルムは、例えば、住友電工ファインポリマー社製ポアフロンメンブレンＨＰ−０４５−３０、日東電工社製ＮＴＦ１０２６として入手できる。   Examples of the material for the release sheet layer include PTFE, perfluoroalkoxyalkane (PFA), perfluoroethylene propene copolymer (FEP), ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), polyvinylidene fluoride (PVDF), and polychloro. Trifluoroethyne (PCTFE), ethylene-chlorotrifluoroethylene copolymer (ECTFE), polyvinyl fluoride (PVF), or the like can be used. When the release sheet layer is composed of the PTFE sheet, the flexibility of the composite sheet is increased. Examples of such a PTFE sheet include a skive sheet, a PTFE-impregnated glass cloth, and a PTFE porous film. As the skive sheet, for example, an adhesion-treated PTFE film in which one main surface of the PTFE film is subjected to adhesion treatment by sodium treatment or the like can be used. Such a film is, for example, No. manufactured by Nippon Valqua Industries, Ltd. 7991, Nitto Denko No. Available as 901. As the PTFE-impregnated glass cloth, for example, an adhesion-treated PTFE-impregnated glass cloth in which one main surface of the PTFE-impregnated glass cloth is subjected to an adhesion treatment can be used. Such glass cloth is, for example, No. manufactured by Nippon Valqua Industries, Ltd. 7921, Nitto Denko No. 971 available. The PTFE porous film can be obtained, for example, as a pore-flon membrane HP-045-30 manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer Co., Ltd. or NTF1026 manufactured by Nitto Denko Corporation.

シリコーンゲルシート層と離型シート層とを積層する方法としては、例えば、成形した離型シート上に上記シリコーンゲルペーストを塗布した後、シリコーンゲルの硬化温度以上で加熱する方法を用いてもよいし、それぞれのシートを成形して得た後に、公知の接着剤で両シートを貼り合わせる方法を用いてもよい。   As a method of laminating the silicone gel sheet layer and the release sheet layer, for example, a method of heating the silicone gel paste on the molded release sheet and then heating at a temperature higher than the curing temperature of the silicone gel may be used. Alternatively, a method of bonding both sheets with a known adhesive may be used after the respective sheets are obtained by molding.

以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれによって限定されない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further more concretely using an Example, this invention is not limited by this.

（実施例１）
シリコーンゲルペースト（信越シリコーン社製Ｘ−３２−２１２９）を、一方の主面に接着処理が施されたＰＴＦＥフィルムである、接着処理ＰＴＦＥフィルム（日東電工社製Ｎｏ．９０１、厚さ：２５μｍ）の接着処理面上に塗布した。その後、１２０℃で１時間加熱して、塗布したシリコーンゲルペーストを硬化させ、厚さ２００μｍのシリコーンゲルシート層を形成し、総厚２２５μｍの複合シートを得た。本例では上記ＰＴＦＥフィルムが離型シート層に相当する。 Example 1
Adhesion-treated PTFE film (Nitto Denko No.901, thickness: 25 μm), which is a PTFE film obtained by subjecting a silicone gel paste (X-32-2129, manufactured by Shin-Etsu Silicone) to one main surface. It apply | coated on the adhesion | attachment processing surface. Then, it heated at 120 degreeC for 1 hour, the apply | coated silicone gel paste was hardened, the 200-micrometer-thick silicone gel sheet layer was formed, and the composite sheet with a total thickness of 225 micrometers was obtained. In this example, the PTFE film corresponds to a release sheet layer.

（実施例２）
接着処理ＰＴＦＥフィルム（日東電工社製Ｎｏ．９０１）に代えて、一方の主面に接着処理が施されたＰＴＦＥ含浸ガラスクロスである、接着処理ＰＴＦＥ含浸ガラスクロス（日東電工社製Ｎｏ．９７１、厚さ：５０μｍ）を用いたこと以外は、上記実施例１と同様にして総厚２５０μｍの複合シートを得た。本例では上記ＰＴＦＥ含浸ガラスクロスが離型シート層に相当する。 (Example 2)
Instead of an adhesion-treated PTFE film (Nitto Denko Corporation No. 901), an adhesion-treated PTFE-impregnated glass cloth (Nitto Denko Corporation No. 971), which is a PTFE-impregnated glass cloth with one principal surface subjected to adhesion treatment. A composite sheet having a total thickness of 250 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the thickness was 50 μm). In this example, the PTFE-impregnated glass cloth corresponds to the release sheet layer.

（実施例３）
接着処理ＰＴＦＥフィルム（日東電工社製Ｎｏ．９０１）に代えて、ＰＴＦＥ多孔体フィルム（日東電工社製ＮＴＦ１０２６、厚さ：２５μｍ）を用いたこと以外は、上記実施例１と同様にして総厚２２５μｍの複合シートを得た。本例では上記ＰＴＦＥ多孔体フィルムが離型シート層に相当する。 (Example 3)
The total thickness was the same as in Example 1 except that a PTFE porous film (NTF1026 manufactured by Nitto Denko Corporation, thickness: 25 μm) was used instead of the adhesive-treated PTFE film (Nitto Denko Corporation No. 901). A composite sheet of 225 μm was obtained. In this example, the PTFE porous film corresponds to a release sheet layer.

上記実施例１〜３にかかる複合シートにおけるシリコーンゲルシート層は、いずれも、ＪＩＳ Ａ ５７５９に規定される対ガラス粘着力が３５ｇ／ｃｍ以上の範囲にあり、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に規定されるＪＩＳ−Ａ硬度が１０未満の範囲にあった。また、ＪＩＳ Ｋ ２２０７に規定される針入度が１５０〜２０ｍｍ／１０の範囲にあった。   As for the silicone gel sheet layer in the composite sheet concerning the said Examples 1-3, all have the adhesive force with respect to glass prescribed | regulated to JISA5759 in the range of 35 g / cm or more, and JIS-A prescribed | regulated to JISK6253. The hardness was in the range of less than 10. Further, the penetration specified in JIS K 2207 was in the range of 150 to 20 mm / 10.

（比較例１）
離型シート層のみからなるシートを準備した。この離型シート層には、ＰＴＦＥフィルム（日東電工社製Ｎｏ．９００、厚さ：５０μｍ）を用いた。 (Comparative Example 1)
A sheet consisting only of a release sheet layer was prepared. As the release sheet layer, a PTFE film (Nitto Denko No. 900, thickness: 50 μm) was used.

（比較例２）
比較例２は、フッ素樹脂シートとシリコーンゴムシートとを積層一体化してなる、従来の技術にかかる複合シートである。この複合シートを以下のようにして得た。 (Comparative Example 2)
Comparative Example 2 is a composite sheet according to a conventional technique, in which a fluororesin sheet and a silicone rubber sheet are laminated and integrated. This composite sheet was obtained as follows.

シリコーンゴムペースト（信越シリコーン社製ＫＥ−１８４２）を、接着処理ＰＴＦＥフィルム（日東電工社製Ｎｏ．９０１、厚さ：２５μｍ）の接着処理面上に塗布した。その後、１２０℃で１時間加熱して、塗布したシリコーンゴムペーストを硬化させ、厚さ２００μｍのシリコーンゴムシート層を形成し、総厚２２５μｍの複合シートを得た。本例では上記ＰＴＦＥフィルムが離型シート層に相当する。   A silicone rubber paste (KE-1842 manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd.) was applied onto the adhesion-treated surface of an adhesion-treated PTFE film (Nitto Denko Corporation No. 901, thickness: 25 μm). Then, it heated at 120 degreeC for 1 hour, the apply | coated silicone rubber paste was hardened, the 200-micrometer-thick silicone rubber sheet layer was formed, and the composite sheet with a total thickness of 225 micrometers was obtained. In this example, the PTFE film corresponds to a release sheet layer.

（比較例３）
厚さ５０μｍのシリコーンゴムシート層を形成したこと以外は、上記比較例２と同様にして総厚７５μｍの複合シートを得た。 (Comparative Example 3)
A composite sheet having a total thickness of 75 μm was obtained in the same manner as in Comparative Example 2 except that a 50 μm-thick silicone rubber sheet layer was formed.

上記比較例２および３にかかる複合シートにおけるシリコーンゴムシート層は、いずれも、ＪＩＳ Ａ ５７５９に規定される対ガラス粘着力が３４ｇ／ｃｍ以下の範囲にあり、ＪＩＳ Ｋ ６２５３に規定されるＪＩＳ−Ａ硬度が１０以上２００以下の範囲にあった。   The silicone rubber sheet layers in the composite sheets according to Comparative Examples 2 and 3 all have a glass adhesion strength defined in JIS A 5759 of 34 g / cm or less, and are defined in JIS K 6253. The A hardness was in the range of 10 to 200.

上記実施例１〜３および比較例１〜３にかかるシートについて、以下のようにして、離型性、クッション性および熱伝導性を検査した。その結果を表１に示す。   About the sheet | seat concerning the said Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3, mold release property, cushioning property, and heat conductivity were test | inspected as follows. The results are shown in Table 1.

〔離型性の検査方法〕
アニソルム熱圧着機（日化設備エンジニアリング社製ＡＣ−Ｓ５０）にガラス基板、ＡＣＦ（日立化成工業株式会社製ＡＣ７２０６Ｕ−１８）、ＦＰＣ、検査対象のシートを下から上記の順に積層した後、３００℃に加熱した加熱ヘッドを、検査対象のシートに３ＭＰａの圧力で２０秒間押圧した。検査対象の各シートは、サイズを２５ｍｍ×１００ｍｍとし、離型シート層の主面がＦＰＣと接触するように配置した。押圧後、検査対象のシートとＦＰＣとの剥離に際して、両者間に接着が確認された場合には離型性に劣る（×）とし、接着が確認されなければ離型性が良好（○）であると判断した。 [Inspection method for releasability]
After laminating a glass substrate, an ACF (AC7206U-18 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), an FPC, and a sheet to be inspected in this order from the bottom to an anisolum thermocompression bonding machine (AC-S50 manufactured by Nikka Equipment Engineering Co., Ltd.), 300 ° C. The heating head heated to 1 mm was pressed against the sheet to be inspected at a pressure of 3 MPa for 20 seconds. Each sheet to be inspected was 25 mm × 100 mm in size, and was arranged so that the main surface of the release sheet layer was in contact with the FPC. After the pressing, when peeling between the sheet to be inspected and the FPC, if the adhesion is confirmed between the two, the release property is inferior (x), and if the adhesion is not confirmed, the release property is good (○). Judged that there was.

〔クッション性の検査方法〕
圧着接合時の圧力分布の均一性を調べるため、上記離型性の検査方法と同様にして押圧を実施した。押圧中の、ＦＰＣ上に設けられた高さの異なる複数の電極のそれぞれと、ガラス基板との間に配置された、ＡＣＦ中のそれぞれの導電性粒子の形状を、ガラス基板側から顕微鏡を用いて観察した。それぞれの導電性粒子の変形した形状のバラツキがほとんどない場合にはクッション性が良好（○）とし、変形した形状のバラツキが大きい場合にはクッション性に劣る（×）と判断した。なお、押圧を実施する前の上記ＡＣＦ中に含有された各導電性粒子の形状はほぼ一致していた。 [Cushioning inspection method]
In order to investigate the uniformity of the pressure distribution during the pressure bonding, pressing was carried out in the same manner as the above-described mold release inspection method. Using a microscope from the glass substrate side, the shape of each conductive particle in the ACF placed between each of the electrodes of different height provided on the FPC during pressing and the glass substrate And observed. When there was almost no variation in the deformed shape of each conductive particle, it was judged that the cushioning property was good (◯), and when the variation in the deformed shape was large, the cushioning property was inferior (×). In addition, the shape of each electroconductive particle contained in the ACF before the pressing was almost the same.

〔熱伝導性の検査方法〕
ＦＰＣとＡＣＦとの間に温度センサ（理化工業社製ＤＰ−５００）を配置した状態で、上記離型性の検査方法と同様にして押圧を実施し、押圧開始から２０秒後の温度を当該温度センサで検出した。 [Thermal conductivity inspection method]
In a state where a temperature sensor (DP-500 manufactured by Rika Kogyo Co., Ltd.) is disposed between the FPC and the ACF, pressing is performed in the same manner as the above-described test method for releasability, and the temperature after 20 seconds from the start of pressing is Detected with a temperature sensor.

Figure 2007190802
Figure 2007190802

表１で示すように、実施例１〜３は、いずれも離型性およびクッション性に優れており、また、いずれも２０２℃以上の検出温度を示し熱伝導性に優れることがわかった。他方、比較例１〜３は、いずれも、実施例１〜３と同程度には、離型性、クッション性および熱伝導性を同時に充足できないことがわかった。   As shown in Table 1, it was found that Examples 1 to 3 were all excellent in releasability and cushioning properties, and all showed a detection temperature of 202 ° C. or higher and excellent thermal conductivity. On the other hand, it was found that Comparative Examples 1 to 3 could not satisfy the mold release property, cushioning property and thermal conductivity at the same time as in Examples 1 to 3.

本発明によれば、離型性、クッション性および熱伝導性に優れた複合シートを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the composite sheet excellent in mold release property, cushioning property, and heat conductivity can be provided.

本発明の複合シートの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the composite sheet of this invention. ＡＣＦを用いた圧着接合について説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the crimping | compression-bonding using ACF. ＡＣＦを用いた圧着接合について説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the crimping | compression-bonding using ACF. 従来の技術にかかる、ＡＣＦを用いた圧着接合について説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the crimping | compression-bonding using ACF concerning a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

１ シリコーンゲルシート層
２ 離型シート層
１０ 複合シート
１０１ テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）
１０２ 電極
１０３ 異方導電性フィルム（ＡＣＦ）
１０３ａ 導電性粒子
１０３ｂ バインダー
１０４ 電極
１０５ 液晶パネル
１０６ 離型シート
１０７ ステージ
１０８ 加熱ヘッド DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Silicone gel sheet layer 2 Release sheet layer 10 Composite sheet 101 Tape carrier package (TCP)
102 Electrode 103 Anisotropic conductive film (ACF)
103a conductive particles 103b binder 104 electrode 105 liquid crystal panel 106 release sheet 107 stage 108 heating head

Claims (4)

シリコーンゲルシート層と、前記シリコーンゲルシート層の少なくとも一方の主面上に設けられた離型シート層と、を含む複合シートであって、前記離型シート層がフッ素樹脂を含み、前記離型シート層の一方の主面が露出している、複合シート。   A composite sheet comprising a silicone gel sheet layer and a release sheet layer provided on at least one main surface of the silicone gel sheet layer, wherein the release sheet layer contains a fluororesin, and the release sheet layer A composite sheet with one main surface exposed. 前記シリコーンゲルシート層の厚さが１００μｍ以上３００μｍ以下の範囲にある、請求項１に記載の複合シート。   The composite sheet according to claim 1, wherein the silicone gel sheet layer has a thickness in the range of 100 μm to 300 μm. 前記離型シート層の厚さが２０μｍ以上１００μｍ以下の範囲にある、請求項１に記載の複合シート。   The composite sheet according to claim 1, wherein the release sheet layer has a thickness in the range of 20 μm to 100 μm. 前記フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレンである、請求項１に記載の複合シート。   The composite sheet according to claim 1, wherein the fluororesin is polytetrafluoroethylene.
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