JP2007296727A - Release sheet - Google Patents

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誠一 ▲高▼岡
Seiichi Takaoka
Tomoyoshi Nagayama
知義 永山
Ei Sawa
映 佐波
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Nitto Denko Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a release sheet which has releasing properties and in which both cushioning properties and thermal conductivity are easily compatible with each other. <P>SOLUTION: The release sheet 10 has a glass fiber layer 1 and a release layer 2 containing a fluororesin, and one of the main faces 21 of the release layer 2 is exposed. The release layer 2 preferably has gaps inside. As the release layer having the gaps inside, a woven fabric, a nonwoven fabric or a porous body may be used. As the woven fabric and the nonwoven fabric, a woven fabric and a nonwoven fabric made of a glass fiber are available. When these are used, from a view point of providing the release properties, an article impregnated with the fluororesin is preferably used. From the similar point of view, as the porous body, a porous body of the fluororesin is preferably used. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の圧着接合作業などに用いられる離型シートに関する。   The present invention relates to a release sheet used for crimping and joining work of electronic components.

電子部品の基板実装や配線接続などを自動化、高速化するため、テープオートメティドボンディング(Tape Automated Bonding:TAB)法を用いた圧着接合に関する技術の開発が盛んである。TAB法で用いられるボンディングテープとして、異方導電性フィルム(Anisotropic Conductive Flim:ACF)がある。ACFは、液晶系、プラズマ系、エレクトロルミネッセント系などのフラットパネルディスプレイ(FPD)の製造に際して用いられることが多い。例えば、ガラス基板と駆動用ICとの接続や、駆動用ICとプリント回路基板との接続などに用いられる。   In order to automate and speed up the mounting and wiring connection of electronic components, technology relating to pressure bonding using a tape automated bonding (TAB) method is actively developed. An example of a bonding tape used in the TAB method is an anisotropic conductive film (Anisotropic Conductive Flim: ACF). ACF is often used in the production of flat panel displays (FPD) such as liquid crystal systems, plasma systems, and electroluminescent systems. For example, it is used for connection between a glass substrate and a driving IC, or connection between a driving IC and a printed circuit board.

ACFを用いた圧着接合は、例えば次のようにして行われる。まず、図2に示すように、液晶パネル105の上に設けられた電極104と、液晶駆動用の半導体チップを実装したテープキャリアパッケージ(Tape Carrier Package:TCP)101の上に設けられた電極102との間に、ACF103を配置する。ACF103は、熱硬化性エポキシ樹脂からなるバインダー103bと、バインダー103b中に分散された導電性粒子103aとから構成されている。図4に示すように、ACF103を介して積層した液晶パネル105およびTCP101を、ステージ107の上に配置した後、約300℃に加熱した加熱ヘッド108を用いて、TCP101を上側から押圧する。この押圧により、ACF103のバインダー103bが溶融し、図3に示すように、液晶パネル105とTCP101とが接合されるとともに、導電性粒子103aによって、電極102と電極104との間が導通することとなる。   For example, the pressure bonding using the ACF is performed as follows. First, as shown in FIG. 2, an electrode 104 provided on a liquid crystal panel 105 and an electrode 102 provided on a tape carrier package (TCP) 101 on which a semiconductor chip for driving liquid crystal is mounted. The ACF 103 is disposed between the two. The ACF 103 is composed of a binder 103b made of a thermosetting epoxy resin and conductive particles 103a dispersed in the binder 103b. As shown in FIG. 4, the liquid crystal panel 105 and the TCP 101 stacked via the ACF 103 are placed on the stage 107, and then the TCP 101 is pressed from above using a heating head 108 heated to about 300 ° C. By this pressing, the binder 103b of the ACF 103 is melted, and as shown in FIG. 3, the liquid crystal panel 105 and the TCP 101 are joined together, and the conductive particles 103a cause conduction between the electrode 102 and the electrode 104. Become.

圧着接合は、図4に示すように、TCP101と加熱ヘッド108との間に離型シート106を配置して実施される。溶融したACF103が、TCP101と液晶パネル105との間からはみ出して、加熱ヘッド108に付着することを防止するためである。   As shown in FIG. 4, the pressure bonding is performed by disposing a release sheet 106 between the TCP 101 and the heating head 108. This is to prevent the melted ACF 103 from protruding from between the TCP 101 and the liquid crystal panel 105 and adhering to the heating head 108.

離型シートの離型性を向上させる観点から、その材料として、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)に代表されるフッ素系樹脂が注目されている。しかし、フッ素系樹脂の熱伝導性は他のシート材料と比べて劣る。離型シートには、離型性のみならず、加熱ヘッドの熱をACFに良好に伝達できるように、熱伝導性にも優れることが要求される。このため、離型シートをフッ素系樹脂で構成する場合は、シートの厚さを薄くするように設計されていた。   From the viewpoint of improving the releasability of the release sheet, a fluorine-based resin typified by polytetrafluoroethylene (PTFE) has attracted attention as its material. However, the thermal conductivity of the fluororesin is inferior compared to other sheet materials. The release sheet is required to have not only releasability but also excellent thermal conductivity so that the heat of the heating head can be satisfactorily transmitted to the ACF. For this reason, when the release sheet is made of a fluorine-based resin, the sheet is designed to be thin.

近年のFPDモジュールの大型化に伴い、TCP、COF(Chip On Film)、FPC(Flexible Print Circuit)などの接続ワークにおける凹凸や平行度のバラツキが拡大している。このため、フッ素系樹脂で構成した離型シートの厚さを、十分な熱伝導性が得られる程度にまで薄くすると、圧着接合に際して均一な圧力分布が得られず、換言すれば、良好なクッション性が得られず、押圧に伴う衝撃により、接続ワークやFPDのガラス基板が破損してしまう場合がある。   With the recent increase in the size of FPD modules, unevenness and variations in parallelism in connecting works such as TCP, COF (Chip On Film), and FPC (Flexible Print Circuit) are increasing. For this reason, if the release sheet made of fluororesin is thinned to such an extent that sufficient thermal conductivity is obtained, a uniform pressure distribution cannot be obtained during pressure bonding, in other words, a good cushion. In some cases, the connection work or the glass substrate of the FPD may be damaged by the impact caused by the pressing.

離型シートの離型性およびクッション性を高めることを目的として、フッ素樹脂フィルムとシリコーンゴムフィルムとを積層することにより離型シートを構成する技術が知られている(特許文献1)。この技術では、シリコーンゴムフィルムの厚さを0.2〜5mmの範囲に設定することにより、クッション性の向上が図られている。
特開2001−315248号公報
A technique for forming a release sheet by laminating a fluororesin film and a silicone rubber film for the purpose of enhancing the release property and cushioning property of the release sheet is known (Patent Document 1). In this technique, the cushioning property is improved by setting the thickness of the silicone rubber film in the range of 0.2 to 5 mm.
JP 2001-315248 A

特許文献1に開示されているような従来の離型シートは、熱伝導性に劣るという問題がある。熱伝導性を確保するために、離型シートを薄くしたのでは、クッション性が低下する。本発明は、離型性を有し、クッション性および熱伝導性の両立が容易な離型シートを提供することを目的とする。   The conventional release sheet as disclosed in Patent Document 1 has a problem that it is inferior in thermal conductivity. If the release sheet is made thin in order to ensure thermal conductivity, the cushioning property is lowered. An object of this invention is to provide the release sheet which has mold release property and is easy to make cushion property and heat conductivity compatible.

本発明は、ガラス繊維層と、フッ素樹脂を含む離型層とを有し、前記離型層の一方の主面が露出した、離型シートを提供する。   The present invention provides a release sheet having a glass fiber layer and a release layer containing a fluororesin, wherein one main surface of the release layer is exposed.

本発明では、フッ素樹脂を含む離型層により離型性を確保し、主としてガラス繊維層によりクッション性を確保することとした。ガラス繊維層は、クッション性と、押圧した状態での熱伝導性との両立に適している。こうして、本発明によれば、離型性を有し、クッション性および熱伝導性の両立が容易な離型シートを提供できる。   In the present invention, release properties are secured by a release layer containing a fluororesin, and cushion properties are secured mainly by a glass fiber layer. The glass fiber layer is suitable for both cushioning properties and thermal conductivity in a pressed state. Thus, according to the present invention, it is possible to provide a release sheet having releasability and easy compatibility between cushioning properties and thermal conductivity.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の離型シート10の一例の断面図である。離型シート10は、ガラス繊維層1と、ガラス繊維層1上に配置された離型層2とを有する。離型層2の一方の主面21は露出し、他方の主面22は接着剤層3を介してガラス繊維層1に接合されている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of an example of the release sheet 10 of the present invention. The release sheet 10 has a glass fiber layer 1 and a release layer 2 disposed on the glass fiber layer 1. One main surface 21 of the release layer 2 is exposed, and the other main surface 22 is bonded to the glass fiber layer 1 through the adhesive layer 3.

離型シート10は、ACFを介した圧着接合の用途に用いることが好ましい。この場合、離型シート10は、離型層2を、ACF上に配置された、TCPに代表される被押圧物に向けた状態で、加熱ヘッドと被押圧物との間に配置して使用することとなる。   The release sheet 10 is preferably used for the purpose of pressure bonding via ACF. In this case, the release sheet 10 is used by disposing the release layer 2 between the heating head and the pressed object in a state where the release layer 2 is directed to the pressed object typified by TCP disposed on the ACF. Will be.

ガラス繊維層1は、ガラス繊維の織布(ガラスクロス)や不織布などで構成されている。ガラス繊維層は、例えば、日本板硝子社製MCペーパー、北越製紙社製S111−Aなどとして入手できる。   The glass fiber layer 1 is composed of a woven fabric (glass cloth) or a nonwoven fabric of glass fibers. The glass fiber layer can be obtained, for example, as MC paper manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd. or S111-A manufactured by Hokuetsu Paper Co., Ltd.

ガラス繊維層の厚さは、100μm以上400μm以下の範囲に設定するとよい。当該厚さが100μm未満であると、離型シートのクッション性が極度に低下する場合がある。他方、400μmを超えると、十分な圧着接合が困難となる程度にまで離型シートの熱伝導性が低下する場合がある。   The thickness of the glass fiber layer may be set in the range of 100 μm to 400 μm. If the thickness is less than 100 μm, the cushioning property of the release sheet may extremely decrease. On the other hand, if it exceeds 400 μm, the thermal conductivity of the release sheet may be lowered to such an extent that sufficient pressure bonding is difficult.

離型層2は、フッ素樹脂を含有する。フッ素樹脂は、例えば、PTFE、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)、パーフルオロエチレンプロペンコポリマー(FEP)、エチレン−テトラフルオロエチレンコポリマー(ETFE)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)、ポリクロロトリフルオロエチン(PCTFE)、エチレン−クロロトリフルオロエチレンコポリマ(ECTFE)、ポリフッ化ビニル(PVF)などを用いるとよい。特に、PTFEの使用が好ましい。他のフッ素樹脂を用いた場合と比べて、離型層の柔軟性を向上することが容易となるためである。離型層の柔軟性が高まると、圧着接合に際して、TCPに代表される被押圧物の表面形状に沿って離型シートが密着しやすくなり、均一な圧力分布が得られやすくなる。   The release layer 2 contains a fluororesin. Examples of the fluororesin include PTFE, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA), perfluoroethylene propene copolymer (FEP), ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), polyvinylidene fluoride (PVDF), poly Chlorotrifluoroethine (PCTFE), ethylene-chlorotrifluoroethylene copolymer (ECTFE), polyvinyl fluoride (PVF), or the like may be used. In particular, the use of PTFE is preferred. This is because it becomes easier to improve the flexibility of the release layer as compared with the case where other fluororesins are used. When the flexibility of the release layer is increased, the release sheet is more likely to adhere along the surface shape of the pressed object typified by TCP during pressure bonding, and a uniform pressure distribution is easily obtained.

離型層の厚さは、20μm以上100μm以下、場合によっては50μm以上100μm以下の範囲に設定するとよい。当該厚さが20μm未満であると、離型層が破損しやすくなり、離型シートを繰り返し使用できる回数が極度に低下する場合がある。他方、100μmを超えると、十分な圧着接合が困難となる程度にまで離型シートの熱伝導性が低下する場合がある。   The thickness of the release layer is preferably set in the range of 20 μm to 100 μm, and in some cases, in the range of 50 μm to 100 μm. When the thickness is less than 20 μm, the release layer tends to be damaged, and the number of times the release sheet can be used repeatedly may be extremely reduced. On the other hand, if it exceeds 100 μm, the thermal conductivity of the release sheet may be lowered to such an extent that sufficient pressure bonding is difficult.

離型層は、内部に空隙を有することが好ましい。後述する実施例に示すように、離型層の内部に空隙が形成されていると、押圧した状態においては、離型シートの熱伝導性が向上するためである。内部に空隙を有する離型層としては、織布、不織布または多孔体を用いればよい。織布や不織布としては、ガラス繊維の織布や不織布があるが、これらを用いる場合は、離型性を与える観点から、フッ素樹脂を含浸させたものを用いることが好ましい。この場合、離型層は、フッ素樹脂を含浸させたガラス繊維層となる。同様の観点から、多孔体としては、フッ素樹脂の多孔体を用いることが好ましい。   The release layer preferably has voids inside. This is because, as shown in Examples to be described later, when a void is formed inside the release layer, the thermal conductivity of the release sheet is improved in the pressed state. As the release layer having voids inside, a woven fabric, a nonwoven fabric or a porous body may be used. Examples of the woven fabric and nonwoven fabric include glass fiber woven fabric and nonwoven fabric. When these are used, it is preferable to use those impregnated with a fluororesin from the viewpoint of providing releasability. In this case, the release layer is a glass fiber layer impregnated with a fluororesin. From the same viewpoint, it is preferable to use a fluororesin porous body as the porous body.

フッ素樹脂を含浸させたガラスクロスは、例えば、日本バルカー工業社製No.7921、日東電工社製No.971などとして入手できる。フッ素樹脂の多孔体は、例えば、住友電工ファインポリマー社製ポアフロンメンブレンHP−045−30、日東電工社製NTF1026などとして入手できる。なお、離型層は、内部に空隙が形成されていなくてもよい。この場合、離型層は、例えば、日本バルカー工業社製No.7991、日東電工社製No.901などのフッ素樹脂フィルムとして入手できる。   Glass cloth impregnated with fluororesin is, for example, No. manufactured by Nippon Valqua Industries, Ltd. 7921, Nitto Denko No. 971 etc. are available. The porous body of a fluororesin can be obtained as, for example, pore-flon membrane HP-045-30 manufactured by Sumitomo Electric Fine Polymer, NTF1026 manufactured by Nitto Denko. Note that the release layer may not have voids formed therein. In this case, the release layer is, for example, No. manufactured by Nippon Valqua Industries, Ltd. 7991, Nitto Denko No. It can be obtained as a fluororesin film such as 901.

離型層とガラス繊維層との間は、接着剤によって接合することが好ましい。離型層とガラス繊維層との接合性を高めることができ、離型シートの耐久性を向上できるためである。接合は、例えば図1に示すように、接着剤層3を形成した状態で行ってもよいし、また例えば図5に示すように、ガラス繊維層1の一部に、具体的には、ガラス繊維層1の離型層2側の主面11の近傍に、接着剤4を含浸させた状態で行ってもよい。接着剤は、離型シートの耐熱性を向上させる観点から、シリコーンゴムペーストに代表されるシリコーン系の接着剤を使用することが好ましい。場合によっては、PFAディスパージョンを用いてもよい。これらの接着剤は、例えば、東レ・ダウコーニング社製JCR6160、GE東芝シリコーン社製TSE392、信越シリコーン社製KE−1842として、また例えば、ダイキン工業社製ネオフロンAD−2CREとして入手できる。接着剤は、例えば、窒化ボロン、窒化アルミニウム、酸化マグネシウム、炭化ケイ素などの熱伝導性フィラーをさらに含有してもよい。離型シート中の接着剤の厚さ、具体的には、接着剤層3の厚さ、ガラス繊維層において接着剤4が含浸された部分の厚さは、5μm以上50μm以下の範囲に設定するとよい。当該厚さが5μm未満であると、接着剤による接合力が極度に低下する場合がある。他方、50μmを超えると、十分な圧着接合が困難となる程度にまで離型シートの熱伝導性が低下する場合がある。   The release layer and the glass fiber layer are preferably joined with an adhesive. This is because the bondability between the release layer and the glass fiber layer can be improved, and the durability of the release sheet can be improved. For example, as shown in FIG. 1, the bonding may be performed in a state where the adhesive layer 3 is formed, or, for example, as shown in FIG. You may carry out in the state which impregnated the adhesive 4 in the vicinity of the main surface 11 by the side of the release layer 2 of the fiber layer 1. FIG. From the viewpoint of improving the heat resistance of the release sheet, it is preferable to use a silicone-based adhesive typified by a silicone rubber paste. In some cases, a PFA dispersion may be used. These adhesives can be obtained, for example, as JCR6160 manufactured by Toray Dow Corning, TSE392 manufactured by GE Toshiba Silicone, KE-1842 manufactured by Shin-Etsu Silicone, or as neoflon AD-2CRE manufactured by Daikin Industries. The adhesive may further contain, for example, a thermally conductive filler such as boron nitride, aluminum nitride, magnesium oxide, or silicon carbide. When the thickness of the adhesive in the release sheet, specifically, the thickness of the adhesive layer 3 and the thickness of the portion of the glass fiber layer impregnated with the adhesive 4 are set in the range of 5 μm to 50 μm. Good. If the thickness is less than 5 μm, the bonding force by the adhesive may be extremely reduced. On the other hand, if it exceeds 50 μm, the thermal conductivity of the release sheet may be lowered to such an extent that sufficient pressure bonding is difficult.

上記のとおり、離型シートは、ACFを介した圧着接合の用途に用いることが好ましい。この用途では、離型シートにおいて、加熱ヘッド側の表面には離型性を与える必要がないので、ガラス繊維層の加熱ヘッド側の主面は、離型層をその上に配置せず、露出させておけばよい。当該主面上にも離型層を配置すると、離型シートの熱伝導性が低下する場合がある。   As described above, the release sheet is preferably used for the purpose of pressure bonding via ACF. In this application, in the release sheet, since it is not necessary to give release properties to the surface on the heating head side, the main surface on the heating head side of the glass fiber layer is exposed without placing the release layer thereon. You can let it go. If a release layer is also disposed on the main surface, the thermal conductivity of the release sheet may be reduced.

以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれによって限定されない。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated further more concretely using an Example, this invention is not limited by this.

(実施例1)
接着処理PTFEフィルム(日東電工社製No.901、厚さ:25μm)の接着処理面上に、シリコーンゴムペースト(信越シリコーン社製KE−1842)を、厚さが50μmとなるように塗布した後、その上に、ガラス繊維不織布(北越製紙社製S111−A、厚さ:200μm)を載置した。続いて、一対の圧着ロールの間を通過させ、PTFEフィルムとガラス繊維不織布とを仮接着した。仮接着は、圧着ロールの表面温度を160℃に設定し、圧着ロールの間の線圧を20kg/cm2に設定して行った。この場合、シリコーンペーストは、ガラス繊維不織布の一部に含浸されることとなる。最後に、120℃で1時間加熱し、シリコーンゴムペーストを硬化させることにより、PTFEフィルムとガラス繊維不織布とを本接着し、総厚225μmの離型シートを得た。本例では、PTFEフィルムにより離型層が、また、ガラス繊維不織布によりガラス繊維層(クッション層)が形成される。
Example 1
After applying a silicone rubber paste (KE-1842 made by Shin-Etsu Silicone) on the adhesion-treated surface of the adhesion-treated PTFE film (Nitto Denko No.901, thickness: 25 μm) to a thickness of 50 μm Further, a glass fiber nonwoven fabric (S111-A manufactured by Hokuetsu Paper Co., Ltd., thickness: 200 μm) was placed thereon. Then, it passed between a pair of crimping | compression-bonding rolls, and the PTFE film and the glass fiber nonwoven fabric were temporarily bonded. The temporary bonding was performed by setting the surface temperature of the pressure-bonding roll to 160 ° C. and the linear pressure between the pressure-bonding rolls to 20 kg / cm 2 . In this case, the silicone paste is impregnated into a part of the glass fiber nonwoven fabric. Finally, by heating at 120 ° C. for 1 hour to cure the silicone rubber paste, the PTFE film and the glass fiber nonwoven fabric were finally bonded to obtain a release sheet having a total thickness of 225 μm. In this example, a release layer is formed by the PTFE film, and a glass fiber layer (cushion layer) is formed by the glass fiber nonwoven fabric.

(実施例2)
接着処理PTFEフィルム(日東電工社製No.901)に代えて、PTFE含浸ガラスクロス(日東電工社製No.971、厚さ:50μm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして総厚250μmの離型シートを得た。本例では、PTFE含浸ガラスクロスにより離型層が形成される。
(Example 2)
In the same manner as in Example 1, except that PTFE-impregnated glass cloth (Nitto Denko No. 971, thickness: 50 μm) was used instead of the adhesion-treated PTFE film (Nitto Denko No. 901). A release sheet having a thickness of 250 μm was obtained. In this example, the release layer is formed of PTFE-impregnated glass cloth.

(実施例3)
接着処理PTFEフィルム(日東電工社製No.901)に代えて、PTFE多孔体(日東電工社製NTF1026、厚さ:25μm)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして総厚225μmの離型シートを得た。本例では、PTFE多孔体により離型層が形成される。
(Example 3)
A total thickness of 225 μm was used in the same manner as in Example 1 except that a PTFE porous body (NTF1026 manufactured by Nitto Denko Corporation, thickness: 25 μm) was used instead of the adhesive-treated PTFE film (Nitto Denko Corporation No. 901). A release sheet was obtained. In this example, the release layer is formed of the PTFE porous body.

(比較例1)
PTFEフィルム(日東電工社製No.900、厚さ:50μm)のみからなるシートを準備した。
(Comparative Example 1)
A sheet consisting only of a PTFE film (Nitto Denko No. 900, thickness: 50 μm) was prepared.

(比較例2)
比較例2は、シリコーンゴムでクッション層を形成した、従来型の離型シートである。この離型シートは、以下のようにして作製した。
(Comparative Example 2)
Comparative Example 2 is a conventional release sheet in which a cushion layer is formed of silicone rubber. This release sheet was produced as follows.

接着処理PTFEフィルム(日東電工社製No.901、厚さ:25μm)の接着処理面上に、シリコーンゴムペースト(信越シリコーン社製KE−1842)を塗布した。その後、120℃で1時間加熱して、塗布したシリコーンゴムペーストを硬化させ、厚さ200μmのシリコーンゴム層(クッション層)を形成し、総厚225μmの離型シートを得た。   A silicone rubber paste (KE-1842, manufactured by Shin-Etsu Silicone) was applied on the adhesive-treated surface of an adhesive-treated PTFE film (No. 901, manufactured by Nitto Denko Corporation, thickness: 25 μm). Then, it heated at 120 degreeC for 1 hour, the apply | coated silicone rubber paste was hardened, the 200-micrometer-thick silicone rubber layer (cushion layer) was formed, and the release sheet with a total thickness of 225 micrometers was obtained.

(比較例3)
厚さ50μmのシリコーンゴム層を形成したこと以外は、比較例2と同様にして総厚75μmの離型シートを得た。
(Comparative Example 3)
A release sheet having a total thickness of 75 μm was obtained in the same manner as in Comparative Example 2 except that a silicone rubber layer having a thickness of 50 μm was formed.

実施例1〜3および比較例1〜3のシートについて、以下のようにして、離型性、クッション性および熱伝導性を検査した。結果を表1に示す。   About the sheet | seat of Examples 1-3 and Comparative Examples 1-3, mold release property, cushion property, and heat conductivity were test | inspected as follows. The results are shown in Table 1.

〔離型性の検査方法〕
アニソルム熱圧着機(日化設備エンジニアリング社製AC−S50)にガラス基板、ACF(日立化成工業株式会社製AC7206U−18)、FPC、検査対象のシートを下からこの順に積層した後、300℃に加熱した加熱ヘッドを、検査対象のシートに3MPaの圧力で20秒間押圧した。検査対象の各シートは、サイズを25mm×100mmとし、離型層の主面がFPCと接触するように配置した。押圧後、検査対象のシートとFPCとの剥離に際して、両者間に接着が確認された場合には離型性に劣る(×)とし、接着が確認されなければ離型性が良好(○)であると判断した。
[Inspection method for releasability]
After laminating a glass substrate, ACF (AC7206U-18 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), FPC, and sheet to be inspected in this order from the bottom to an anisolum thermocompression bonding machine (AC-S50 manufactured by Nikka Equipment Engineering Co., Ltd.) The heated heating head was pressed against the inspection target sheet at a pressure of 3 MPa for 20 seconds. Each sheet to be inspected was 25 mm × 100 mm in size, and was arranged so that the main surface of the release layer was in contact with the FPC. After the pressing, when peeling between the sheet to be inspected and the FPC, if the adhesion is confirmed between the two, the release property is inferior (x), and if the adhesion is not confirmed, the release property is good (○). Judged that there was.

〔クッション性の検査方法〕
圧着接合時の圧力分布を調べるため、離型性の検査方法と同様にして押圧を実施した。FPC上に設けられた高さの異なる複数の電極と、ガラス基板との間に配置された、ACF中のそれぞれの導電性粒子における押圧中の形状を、ガラス基板側から顕微鏡を用いて観察した。それぞれの導電性粒子の変形した形状のバラツキがほとんどない場合にはクッション性が良好(○)とし、変形した形状のバラツキが大きい場合にはクッション性に劣る(×)と判断した。なお、押圧を実施する前のACF中の各導電性粒子の形状はほぼ一致していた。
[Cushioning inspection method]
In order to investigate the pressure distribution at the time of pressure bonding, pressing was performed in the same manner as the method for inspecting releasability. The shape during pressing of each conductive particle in the ACF arranged between the plurality of electrodes provided on the FPC and having different heights and the glass substrate was observed from the glass substrate side using a microscope. . When there was almost no variation in the deformed shape of each conductive particle, it was judged that the cushioning property was good (◯), and when the variation in the deformed shape was large, the cushioning property was inferior (×). In addition, the shape of each electroconductive particle in ACF before implementing pressing was substantially in agreement.

〔熱伝導性の検査方法〕
FPCとACFとの間に温度センサ(理化工業社製DP−500)を配置した状態で、離型性の検査方法と同様にして押圧を実施し、押圧開始から20秒後の温度を、当該温度センサで検出した。
[Thermal conductivity inspection method]
In a state where a temperature sensor (DP-500 manufactured by Rika Kogyo Co., Ltd.) is disposed between the FPC and the ACF, pressing is performed in the same manner as the method for inspecting releasability, and the temperature after 20 seconds from the start of pressing is Detected with a temperature sensor.

Figure 2007296727
Figure 2007296727

表1に示すように、実施例1〜3の離型シートは、いずれも良好な離型性が確保されるとともに、良好な熱伝導性とクッション性とを両立して得られることがわかった。また、実施例2および3は、実施例1と比べてさらに優れた熱伝導性を発揮することがわかった。他方、比較例1〜3のシートでは、いずれも、実施例1〜3のシートと同程度には、クッション性および熱伝導性が両立して得られなかった。   As shown in Table 1, it was found that all of the release sheets of Examples 1 to 3 were obtained while ensuring good release properties and at the same time achieving good thermal conductivity and cushioning properties. . Moreover, it turned out that Example 2 and 3 exhibits the further outstanding thermal conductivity compared with Example 1. FIG. On the other hand, in the sheets of Comparative Examples 1 to 3, none of the cushioning properties and the thermal conductivity were obtained in the same degree as the sheets of Examples 1 to 3.

本発明は、離型性を有し、クッション性および熱伝導性の両立が容易な離型シートを提供することに適用できる。   The present invention can be applied to providing a release sheet having releasability and easy to satisfy both cushioning properties and thermal conductivity.

本発明の離型シートの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the release sheet of this invention. ACFを用いた圧着接合について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the crimping | compression-bonding using ACF. ACFを用いた圧着接合について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the crimping | compression-bonding using ACF. ACFを用いた圧着接合について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the crimping | compression-bonding using ACF. 本発明の離型シートの別例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows another example of the release sheet of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 ガラス繊維層
2 離型層
3 接着剤層
4 (ガラス繊維層に含浸された)接着剤
10 離型シート
11 ガラス繊維層の離型層側の主面
21 離型層の一方の主面
22 離型層の他方の主面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass fiber layer 2 Release layer 3 Adhesive layer 4 Adhesive (Impregnated into the glass fiber layer) 10 Release sheet 11 Main surface on the release layer side of the glass fiber layer 21 One main surface 22 of the release layer The other main surface of the release layer

Claims (14)

ガラス繊維層と、フッ素樹脂を含む離型層とを有し、前記離型層の一方の主面が露出した、離型シート。   A release sheet having a glass fiber layer and a release layer containing a fluororesin, wherein one main surface of the release layer is exposed. 前記ガラス繊維層の厚さが、100μm以上400μm以下の範囲にある、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein the glass fiber layer has a thickness in the range of 100 μm to 400 μm. 前記離型層の厚さが、20μm以上100μm以下の範囲にある、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein the release layer has a thickness in the range of 20 μm to 100 μm. 前記ガラス繊維層の一方の主面が露出した、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein one main surface of the glass fiber layer is exposed. 前記離型層が、内部に空隙を有する、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein the release layer has voids therein. 前記離型層が、織布、不織布または多孔体である、請求項5に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 5, wherein the release layer is a woven fabric, a nonwoven fabric or a porous body. 前記離型層が、フッ素樹脂を含浸させたガラス繊維層である、請求項5に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 5, wherein the release layer is a glass fiber layer impregnated with a fluororesin. 前記離型層が、フッ素樹脂の多孔体である、請求項6に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 6, wherein the release layer is a porous body of a fluororesin. 前記フッ素樹脂が、ポリテトラフルオロエチレンである、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein the fluororesin is polytetrafluoroethylene. 前記ガラス繊維層が、ガラス繊維の不織布である、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein the glass fiber layer is a glass fiber nonwoven fabric. 前記ガラス繊維層と前記離型層との間に配置された接着剤層をさらに有し、前記接着剤層が、シリコーンゴムまたはテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体を含む、請求項1に記載の離型シート。   The adhesive layer further disposed between the glass fiber layer and the release layer, wherein the adhesive layer includes silicone rubber or a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer. Release sheet as described in 1. 前記接着剤層が、シリコーンゴムを含む、請求項11に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 11, wherein the adhesive layer contains silicone rubber. 前記ガラス繊維層の一部に、シリコーンゴムまたはテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体を含む接着剤が含浸された、請求項1に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 1, wherein a part of the glass fiber layer is impregnated with an adhesive containing silicone rubber or a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer. 前記接着剤が、シリコーンゴムを含む、請求項13に記載の離型シート。   The release sheet according to claim 13, wherein the adhesive contains silicone rubber.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2011005767A (en) * 2009-06-26 2011-01-13 Chuko Kasei Kogyo Kk Release sheet

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