JP2007189117A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 解像度の良い荷電粒子線光学系を実現する。
【解決手段】 試料20に照射する為の荷電粒子ビームEBが透過する薄膜と該薄膜近傍に配置された絞りとで構成される薄膜レンズ21と、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズと、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段22とを有する荷電粒子線装置において、薄膜レンズ21を最終段レンズ11の前側焦点位置近傍に配置する。
【選択図】 図1A
【解決手段】 試料20に照射する為の荷電粒子ビームEBが透過する薄膜と該薄膜近傍に配置された絞りとで構成される薄膜レンズ21と、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズと、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段22とを有する荷電粒子線装置において、薄膜レンズ21を最終段レンズ11の前側焦点位置近傍に配置する。
【選択図】 図1A
Description
本発明は、主に半導体集積回路等の露光に用いられる電子ビーム露光装置やイオンビーム露光装置、試料の分析等に用いられる電子顕微鏡、加工に用いられる収束イオンビーム装置等の荷電粒子線装置に関する。特に複数の荷電粒子線を用いてパターン描画を行う荷電粒子線装置に関する。
微小デバイスの製造、微細構造の観察、加工などを目的として荷電粒子ビームを応用した露光装置、顕微鏡、加工装置が広く用いられている。微小デバイスとは、例えばICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等である。
荷電粒子線装置は荷電粒子源から放出される荷電粒子を加速、成形、縮小し、試料上にビーム照射することによって所望のビームを試料上に形成し、試料への露光、観察、加工等を行っている。しかし、多くの形態の荷電粒子線装置においては、加工性、分解能等の点より試料上へのビームの収束を良好に行うことが要求される。
ビームの収束には電磁レンズ、もしくは静電レンズが用いられ、その多くが軸対称形をしている。しかしながら通常の軸対称形レンズは常に凸レンズとなり、球面収差係数は常に正となる。従って、通常の荷電粒子線レンズによるビームの収束には球面収差による限界が存在する。
荷電粒子線装置は荷電粒子源から放出される荷電粒子を加速、成形、縮小し、試料上にビーム照射することによって所望のビームを試料上に形成し、試料への露光、観察、加工等を行っている。しかし、多くの形態の荷電粒子線装置においては、加工性、分解能等の点より試料上へのビームの収束を良好に行うことが要求される。
ビームの収束には電磁レンズ、もしくは静電レンズが用いられ、その多くが軸対称形をしている。しかしながら通常の軸対称形レンズは常に凸レンズとなり、球面収差係数は常に正となる。従って、通常の荷電粒子線レンズによるビームの収束には球面収差による限界が存在する。
上記問題点を解決する為にさまざまな形態の収差補正レンズが考案されており、薄膜レンズもその一つである。薄膜レンズは電子ビームが透過する薄膜と絞りから形成され、薄膜と絞りとの間に電圧を印加することによって凹レンズを形成している。そしてこの薄膜レンズの凹レンズと通常の軸対称レンズの凸レンズを組み合わせることにより球面収差を除去することが出来る。
上記薄膜レンズによる球面収差除去の代表的な例が非特許文献1に示されている。本文献によればSTEMの対物レンズ内に薄膜レンズを配置し、球面収差の除去を実現している。
Journal of Electron Microscopy, Vol47, No.3, 1998 pp185−192
上記薄膜レンズによる球面収差除去の代表的な例が非特許文献1に示されている。本文献によればSTEMの対物レンズ内に薄膜レンズを配置し、球面収差の除去を実現している。
Journal of Electron Microscopy, Vol47, No.3, 1998 pp185−192
しかしながら、上記文献によれば収差の補正は出来るものの、薄膜レンズの配置に関してはその調整の容易さから対物レンズのやや上面に配置されており、それが最適位置であるかの記述はなされていない。ここでの最適位置とは1.印加電圧が低いこと、2.球面収差以外の収差に影響が少ないこと、3.レンズ交換が容易であること、である。特に軸外収差の影響を考慮する必要のある荷電粒子線露光装置などは球面収差以外の収差への影響を慎重に考慮する必要がある。また、薄膜レンズはその構造から機械強度が弱く、またビーム経路上に配置されることから、生産装置への適用を考慮すると頻繁な交換が要求されるが、上記従来例ではレンズ交換に関する記述がなされていない。本発明は以上の点を鑑み、薄膜レンズの最適配置及び容易な交換の実現を課題とする。
そこで、本発明では最適レンズ配置を実現する為以下の手段を用いた。
すなわち、本発明に係る第1の荷電粒子線装置は、試料に照射する為の荷電粒子ビームが透過する薄膜と、該薄膜近傍に配置された絞りと、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズとを有する。さらに、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段を有する、そして、前記薄膜及び絞りは前記レンズの前側焦点位置近傍に配置されされていることを特徴とする。
すなわち、本発明に係る第1の荷電粒子線装置は、試料に照射する為の荷電粒子ビームが透過する薄膜と、該薄膜近傍に配置された絞りと、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズとを有する。さらに、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段を有する、そして、前記薄膜及び絞りは前記レンズの前側焦点位置近傍に配置されされていることを特徴とする。
本発明の第1の局面において、前記薄膜及び絞りは前記レンズの前記試料に対する共役でない位置に配置されている。
本発明の第2の局面において、前記薄膜及び絞りの配置される位置は前記レンズの前側焦点位置から前記レンズの焦点距離の40%以内、より好ましくは20%以内に配置されている。
本発明の第2の局面において、前記薄膜及び絞りの配置される位置は前記レンズの前側焦点位置から前記レンズの焦点距離の40%以内、より好ましくは20%以内に配置されている。
本発明の第3の局面において、前記レンズはダブレット光学系を構成し、前記薄膜及び絞りは該ダブレット光学系の中間焦点位置近傍に配置されている。
本発明の第4の局面において、前記薄膜及び絞りの配置される位置は前記ダブレット光学系の中間焦点位置から前記ダブレット光学系第2レンズの焦点距離の40%以内、より好ましくは20%以内に配置されている。
本発明の第4の局面において、前記薄膜及び絞りの配置される位置は前記ダブレット光学系の中間焦点位置から前記ダブレット光学系第2レンズの焦点距離の40%以内、より好ましくは20%以内に配置されている。
本発明に係る第2の荷電粒子線装置は、荷電粒子ビームを収束する為のレンズと荷電粒子ビームを透過させる薄膜と、該薄膜近傍に配置された絞りと、荷電粒子ビームが照射される試料を有する。さらに、該薄膜と該絞りとの間に電位差を印加する為の手段が設けられている。そして、前記薄膜及び絞りは試料面に収束される荷電粒子ビームの軌道が最も拡がった位置に配置されることを特徴とする。
前記第2の荷電粒子線装置に係る第5の局面において、前記レンズはダブレット光学系を構成し、前記薄膜及び絞りは該ダブレット光学系の第1レンズと第2レンズとの間の前記荷電粒子ビーム軌道が最も拡がる位置に配置される。
前記第2の荷電粒子線装置に係る第5の局面において、前記レンズはダブレット光学系を構成し、前記薄膜及び絞りは該ダブレット光学系の第1レンズと第2レンズとの間の前記荷電粒子ビーム軌道が最も拡がる位置に配置される。
前記第1及び第2の荷電粒子線装置に係る第6の局面においては、前記薄膜を交換するための交換機構が設けられている。また、第7の局面において、前記交換機構は予備排気室が設けられている。
本発明によれば、前記薄膜と絞りと電位差印加手段とからなる薄膜レンズを最終段レンズの前側焦点位置近傍に配置することによって効率よく球面収差を補正することができる。また、薄膜を交換するための交換機構を設けることにより薄膜を容易に交換することができる。
以下、本発明の好ましい実施の形態を図に示す実施例により説明する。
荷電粒子線装置の一例として本実施形態ではマルチ電子ビーム露光装置の例を示す。なお、電子ビームに限らずイオンビームを用いた露光装置にも同様に適用でき、また露光装置に限らず他の荷電粒子線装置についても同様の効果を得ることができる。
荷電粒子線装置の一例として本実施形態ではマルチ電子ビーム露光装置の例を示す。なお、電子ビームに限らずイオンビームを用いた露光装置にも同様に適用でき、また露光装置に限らず他の荷電粒子線装置についても同様の効果を得ることができる。
[実施例1]
図1Aは本発明の一実施例に係るマルチ電子ビーム露光装置の要部概略図である。図1Aにおいて、電子ビームは各ビームの中心線である主光線を示している。また、図1Bは図1Aにおける中心ビームの拡散、収束を示す光線図である。
図1Aは本発明の一実施例に係るマルチ電子ビーム露光装置の要部概略図である。図1Aにおいて、電子ビームは各ビームの中心線である主光線を示している。また、図1Bは図1Aにおける中心ビームの拡散、収束を示す光線図である。
図1A及び図1Bにおいて、電子源1より放射状に放出される電子ビームはコリメータレンズ2によって所望の大きさを持った面積ビームに成形された後、マスク3にほぼ垂直入射される。マスク3は複数のパターンを持つマスクである。マスク3を通して成形された電子ビームEBはレンズ4によってそれぞれブランキングアレイ6に収束される。ブランキングアレイ6は偏向板アレイであり、個々のビームを偏向することができる。ブランキングアレイ6によって偏向されたビームはブランキング絞り9によって遮蔽される。一方、偏向されなかったビームはレンズ7により収束されてブランキング絞り9を通過し、レンズ8により収束され、レンズ10、11によって再び収束される。レンズ7、8及びレンズ10、11はそれぞれダブレットレンズを形成し、ビーム像の縮小をそれぞれ行っている。
レンズ10と11の間には薄膜レンズ21が配置される。この薄膜レンズ21は、凹レンズとして機能している。レンズ7、8、10、11及び薄膜レンズ21を通過する電子ビームは、偏向器5によって試料上への照射位置を調整された後、試料20上に照射される。偏向器5はラスタースキャンを行っており、偏向器5のスキャンタイミングとブランキングアレイ6の動作のタイミングによって所望の位置にビームが照射される。各レンズ2、4、7、8、10、11はレンズ制御回路13によって制御され、薄膜レンズ21はレンズ制御回路22によって制御される。偏向器5は偏向信号発生回路18により発生されるラスター偏向信号を偏向アンプ19に送信することによって制御される。ブランキングアレイ6はブランキング制御回路17によって制御され、ブランキング制御回路17は描画パターン発生回路14、ビットマップ変換回路15、露光時間制御回路16によって生成されるブランキング信号により制御される。
次に薄膜レンズの詳細を図2により説明する。薄膜レンズは電子ビームが透過する薄膜25、絶縁ギャップ24、絞り23より構成される。薄膜25は電子ビームが十分に透過するように15nm厚のDLC膜を使用し、絞り23は1mm径のモリブデンを使用した。絞りと薄膜との間に電圧を印加すると、図2(b)に示すように片側のみに電場が生じ、凹レンズを形成する。薄膜レンズは縮小対物光学系7、8、10、11の何れにおいても凹レンズとして機能するが、収差の補正効果を考えるとその配置により感度に大きな違いが生ずる。薄膜レンズをダブレット光学系10、11間に配置した場合の収差の補正効果を図3に示す。図によると、補正効果は瞳像近辺にて最も効果が高く、離れるに従い感度が低下する。実際の収差の補正を考えると、瞳面(前側焦点位置)から第2対物レンズ11の焦点距離の40%以内であることが効果的である。また、前側焦点位置から第2対物レンズ11の焦点距離の20%以内であるとさらに効果的である。また、薄膜レンズの追加によるその他の収差を考慮すると、瞳面に配置することが最も好ましい。瞳面付近に配置すると最も効率良く球面収差を補正できる理由は、瞳面近傍は図1Bに示すようにビームが最も広がっていることが大きな要因である。
また、薄膜は電子ビームが照射、透過する為に、コンタミネーションの付着によるレンズ性能の劣化が懸念される。さらに薄膜は機械強度が非常に弱い為に物理的に破壊されやすい。以上の2点を考慮し、本実施例では図4に示すような、薄膜レンズ交換機構を設けた。図4(a)〜(c)は、1つの交換機構の各動作過程を示していいる。交換機構は予備排気室32、バルブ31、ロッド29、真空ポンプ28から構成され、薄膜レンズ23〜25が取付けられている薄膜レンズホルダ30を鏡筒26内に移動させる。移動の方法はまず図4(a)に示す如く、薄膜レンズホルダ30を予備排気室に配置した後真空引きを行う。そして、十分に真空引きを行った後に図4(b)に示すようにバルブ31を開け、ロッド29を用いて薄膜レンズホルダ30を鏡筒26内に配置する。次に図4(c)に示すようにロッド29を引き抜きバルブ31を閉じることによって薄膜レンズのみを鏡筒内に配置することが出来る。なお、図示されていないが、鏡筒26、試料室27は真空ポンプによって常に排気されており、また薄膜レンズは然るべき機構によって電圧が印加される構成となっている。本交換機構により鏡筒を分解することなく薄膜レンズの容易な交換が可能となる。
以上説明した構成の薄膜レンズを用い電子ビームの収差の測定を行った結果、薄膜レンズに23Vを印加した際に球面収差がゼロとなることが確認された。また、本構成のマルチビーム描画装置を用いて描画を行ったところ、従来65nmであったレジスト解像度が45nmに向上した。
[実施例2]
次にシングルビーム装置に薄膜レンズを適用した実施例2を説明する。
図5は本発明の実施例2に係る電子ビーム露光装置の要部概略図である。図5において、電子源1より放射状に放出される電子ビームはレンズ7によって収束される。ビームはブランカー33によって偏向制御され、偏向されたビームはブランキング絞り9によって遮蔽される。一方、偏向されないビームはブランキング絞り9を通過し、レンズ8により収束され、偏向器5によって試料20上の所望の位置に照射される。レンズ8の前側焦点位置には薄膜レンズ21が配置され、凹レンズとして機能している。偏向器5はラスタースキャンを行っており、偏向器5のスキャンタイミングとブランカー33の動作のタイミングによって所望の位置にビームが照射される。レンズ7、8はレンズ制御回路13によって制御され、薄膜レンズ21はレンズ制御回路22によって制御される。偏向器5は偏向信号発生回路18により発生されるラスター偏向信号を偏向アンプ19に送信することによって制御される。ブランカー33はブランキング制御回路17によって制御される。また、ブランキング制御回路17は、描画パターン発生回路14、ビットマップ変換回路15、露光時間制御回路16によって生成されるブランキング信号により制御される。レンズ8の前側焦点位置に薄膜レンズ21が配置されるのは、前述したように収差補正感度が最も高いためである。
次にシングルビーム装置に薄膜レンズを適用した実施例2を説明する。
図5は本発明の実施例2に係る電子ビーム露光装置の要部概略図である。図5において、電子源1より放射状に放出される電子ビームはレンズ7によって収束される。ビームはブランカー33によって偏向制御され、偏向されたビームはブランキング絞り9によって遮蔽される。一方、偏向されないビームはブランキング絞り9を通過し、レンズ8により収束され、偏向器5によって試料20上の所望の位置に照射される。レンズ8の前側焦点位置には薄膜レンズ21が配置され、凹レンズとして機能している。偏向器5はラスタースキャンを行っており、偏向器5のスキャンタイミングとブランカー33の動作のタイミングによって所望の位置にビームが照射される。レンズ7、8はレンズ制御回路13によって制御され、薄膜レンズ21はレンズ制御回路22によって制御される。偏向器5は偏向信号発生回路18により発生されるラスター偏向信号を偏向アンプ19に送信することによって制御される。ブランカー33はブランキング制御回路17によって制御される。また、ブランキング制御回路17は、描画パターン発生回路14、ビットマップ変換回路15、露光時間制御回路16によって生成されるブランキング信号により制御される。レンズ8の前側焦点位置に薄膜レンズ21が配置されるのは、前述したように収差補正感度が最も高いためである。
以上説明した構成の薄膜レンズを用い電子ビームの収差の測定を行った結果、薄膜レンズに50Vを印加した際に球面収差がゼロとなることが確認された。また、本構成のマルチビーム描画装置を用いて描画を行ったところ、従来32nmであったレジスト解像度が22nmに向上した。
[デバイス製造の実施例]
次に、この露光装置を利用した微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造プロセスを説明する。
図6は半導体デバイスの製造のフローを示す。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(EBデータ変換)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。
一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。
次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程である。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ7でこれを出荷する。
次に、この露光装置を利用した微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造プロセスを説明する。
図6は半導体デバイスの製造のフローを示す。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(EBデータ変換)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。
一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。
次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程である。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ7でこれを出荷する。
上記ステップ4のウエハプロセスは、ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するCVDステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップステップを有する。また、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに焼付露光する露光ステップを有する。さらに、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップを有する。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
1:電子源
2:コリメータレンズ
3:マスク
4:レンズアレイ
5:偏向器
6:ブランキングアレイ
7、8、10、11:レンズ
9:ブランキング絞り
12:コントローラ
13:レンズ制御回路
14:描画パターン発生回路
15:ビットマップ変換回路
16:露光時間制御回路
17:ブランキング制御回路
18:偏向信号発生回路
19:偏向アンプ
20:試料
21:薄膜レンズ
22:薄膜レンズ制御回路
23:絞り
24:絶縁ギャップ
25:薄膜
26:鏡筒
27:試料室
28:真空ポンプ
29:搬送ロッド
30:薄膜レンズ及び薄膜レンズホルダ
31:バルブ
32:予備排気室
33:ブランカー
2:コリメータレンズ
3:マスク
4:レンズアレイ
5:偏向器
6:ブランキングアレイ
7、8、10、11:レンズ
9:ブランキング絞り
12:コントローラ
13:レンズ制御回路
14:描画パターン発生回路
15:ビットマップ変換回路
16:露光時間制御回路
17:ブランキング制御回路
18:偏向信号発生回路
19:偏向アンプ
20:試料
21:薄膜レンズ
22:薄膜レンズ制御回路
23:絞り
24:絶縁ギャップ
25:薄膜
26:鏡筒
27:試料室
28:真空ポンプ
29:搬送ロッド
30:薄膜レンズ及び薄膜レンズホルダ
31:バルブ
32:予備排気室
33:ブランカー
Claims (8)
- 試料に照射する為の荷電粒子ビームが透過する薄膜と、該薄膜近傍に配置された絞りと、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズと、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段とを有する荷電粒子線装置において、
前記薄膜及び絞りは前記レンズの前側焦点位置から該レンズの焦点距離の40%以内の位置に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記薄膜及び絞りは前記レンズの前記試料に対する共役でない位置に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子線装置。
- 試料に照射する為の荷電粒子ビームが透過する薄膜と、該薄膜近傍に配置された絞りと、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のダブレット光学系と、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段とを有する荷電粒子線装置において、
前記薄膜及び絞りは前記ダブレット光学系の中間焦点位置から該ダブレット光学系の第2レンズの焦点距離の40%以内の位置に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料に照射する為の荷電粒子ビームが透過する薄膜と、該薄膜近傍に配置された絞りと、前記荷電粒子ビームを前記試料面に収束する為のレンズと、前記薄膜と絞りとの間に電位差を印加するための手段とを有する荷電粒子線装置において、
前記薄膜及び絞りは前記試料面に収束される荷電粒子ビーム軌道が最も拡がる位置に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記レンズはダブレット光学系を構成し、前記薄膜及び絞りは該ダブレット光学系の第1レンズと第2レンズとの間の前記荷電粒子ビーム軌道が最も拡がる位置に配置されることを特徴とする請求項4に記載の荷電粒子線装置。
- 前記薄膜を交換するための交換機構を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の荷電粒子線装置。
- 前記交換機構は予備排気室を有することを特徴とする請求項6に記載の荷電粒子線装置。
- 請求項1〜7のいずれか1つに記載の荷電粒子線装置を用いて基板を露光する工程と、露光した前記基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014191370A1 (fr) * | 2013-05-31 | 2014-12-04 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Lentille electrostatique a membrane semiconductrice dielectrique |
JP2015041506A (ja) * | 2013-08-22 | 2015-03-02 | 株式会社 テクネックス工房 | 走査型電子顕微鏡 |
JP2018520495A (ja) * | 2015-07-22 | 2018-07-26 | エルメス マイクロビジョン, インコーポレーテッドHermes Microvision Inc. | 複数荷電粒子ビームの装置 |
-
2006
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