JP2007189017A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、ディープトレンチキャパシタ上にスイッチングMOSFETを配置した構成のDRAMセルにおいて、短チャネル効果の制御能力を向上できるようにする。
【解決手段】たとえば、Bulk−Si基板11の表面部に埋め込まれたディープトレンチキャパシタDT上に、第1の絶縁膜14を介して、スイッチング用トランジスタSTが配置されている。その際、第1の絶縁膜14の膜厚を、ディープトレンチキャパシタDT内に溜める電荷の正/負に応じて最適化することにより、ディープトレンチキャパシタDTでの電荷保持力を改善する構成となっている。
【選択図】 図1
【解決手段】たとえば、Bulk−Si基板11の表面部に埋め込まれたディープトレンチキャパシタDT上に、第1の絶縁膜14を介して、スイッチング用トランジスタSTが配置されている。その際、第1の絶縁膜14の膜厚を、ディープトレンチキャパシタDT内に溜める電荷の正/負に応じて最適化することにより、ディープトレンチキャパシタDTでの電荷保持力を改善する構成となっている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置に関するもので、特に、DRAM(Dynamic Random Access Memory)、もしくは、DRAM混載型の半導体装置に関する。
周知のように、DRAMのメモリセル(DRAMセルともいう)は、1つのスイッチングMOSFETと1つのトレンチキャパシタとによって構成されている。また、DRAMにおいては、ディープトレンチキャパシタ上にスイッチングMOSFETを配置した構成のセルが既に知られている(たとえば、特許文献1または非特許文献1参照)。
しかしながら、上記した構造のDRAMの場合、リーク電流によりディープトレンチキャパシタ内の電荷が減少しやすく、ディープトレンチキャパシタでの電荷保持力が弱いという問題があった。すなわち、従来のSOI(Silicon on Insulator)−DRAMおよびSGT(Surrounding Gate Transistor)−DRAMに関しては、オフリーク電流が大きく、これがディープトレンチキャパシタでの電荷の保持力を悪化させる要因となっていた。
米国特許No.6472702
K.Sunouchi,et al."A Surrounding Gate Transistor(SGT) Cell for 64/256Mbit DRAMs" IEDM 1989
本発明は、オフリーク電流を低減でき、トレンチキャパシタでの電荷保持力を向上させることが可能な半導体装置を提供することを目的としている。
本願発明の一態様によれば、半導体基板と、前記半導体基板の表面部に埋め込まれたトレンチキャパシタと、前記トレンチキャパシタ上に形成され、前記トレンチキャパシタ内に溜める電荷の正/負に応じて膜厚が最適化されてなる第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜を介して、前記トレンチキャパシタに対応する前記半導体基板の表面上に配置されたスイッチング用トランジスタとを具備したことを特徴とする半導体装置が提供される。
上記の構成により、電荷保持時における基板バイアス効果を改善できるようになる結果、オフリーク電流を低減でき、トレンチキャパシタでの電荷保持力を向上させることが可能な半導体装置を提供できる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。ただし、図面は模式的なものであり、寸法の比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態にしたがった半導体装置(DRAM)の基本構成を示すものである。なお、ここでは、半導体基板にBulk−Si基板を用いた場合を例に、SGT−DRAMにおけるメモリセル(DRAMセル)の構成について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態にしたがった半導体装置(DRAM)の基本構成を示すものである。なお、ここでは、半導体基板にBulk−Si基板を用いた場合を例に、SGT−DRAMにおけるメモリセル(DRAMセル)の構成について説明する。
図1に示すように、このDRAMセルは、1つのディープトレンチキャパシタDTの直上に1つのスイッチング用トランジスタ(スイッチングMOSFET)STを配置した構成とされている。すなわち、Bulk−Si基板11の表面部には、STI(Shallow Trench Isolation)領域12が形成されている。そして、そのSTI領域12内には、絶縁膜(第2の絶縁膜)13を介して、ディープトレンチキャパシタDTが形成されている。ディープトレンチキャパシタDTは、電荷を蓄積するトレンチキャパシタTCと、このトレンチキャパシタTCにつながる、ストレージノードである引き出しポリシリコン(Poly−Si)領域PS1とから構成されている。トレンチキャパシタTCは、上記STI領域12の底面を貫通し、上記Bulk−Si基板11内に所定の深さを有して埋設されている。引き出しPoly−Si領域PS1は、上記絶縁膜13を挿んで、上記STI領域12の表面部を覆うようにして設けられている。
上記ディープトレンチキャパシタDT上には、絶縁膜(第1の絶縁膜)14を介して、スイッチング用トランジスタSTが形成されている。このスイッチング用トランジスタSTは、拡散層(ソース領域/ドレイン領域)21a,21bを除く部位に対応する半導体層(以下、Body部という)22が、上記トレンチキャパシタTCのほぼ直上に位置するように配置されている。
また、上記スイッチング用トランジスタSTは、拡散層21a,21bの相互間に対応する、上記Body部22の表面(チャネル領域)上に、ゲート絶縁膜23を介して、ゲート電極24が形成されている。ゲート絶縁膜23およびゲート電極24の側壁部分には、側壁絶縁膜(サイドウォール)25が設けられている。さらに、上記スイッチング用トランジスタSTの一方の拡散層21a,21bには、上記引き出しPoly−Si領域PS1につながるコネクトPoly−Si層26が接続されている。そして、上記スイッチング用トランジスタSTを埋め込むようにして設けられる絶縁膜27には、上記ゲート電極24上につながるワード線コンタクト層28、および、他方の拡散層21a,21bにつながるビット線コンタクト層29が、それぞれ形成されている。
なお、実際には、このような構成の複数のDRAMセルを備えてDRAMが実現されている。
次に、上記した構成のDRAMセルを製造する際の形成プロセスについて、簡単に説明する。まず、Bulk−Si基板11の表面部に対して、引き出しPoly−Si領域PS1を形成するための凹部15の深さがheになるまで、エッチングを行う(図2参照)。その凹部15内を埋め込むように絶縁膜12aを堆積させ、平坦化を行う(図3参照)。なお、絶縁膜12aとしては、たとえばシリコン酸化膜(以下、SiO2 )を用いる。この絶縁膜12aを、凹部15の深さがhbになるまでエッチングし、STI領域12を形成する(図4参照)。
STI領域12の一部を選択的にエッチングし、ディープトレンチキャパシタDTを形成するためのトレンチ16を形成する(図5参照)。そのトレンチ16の内壁および上記凹部15の内壁に絶縁膜13を形成するために、セル全体に絶縁膜13aを堆積させる(図6参照)。なお、絶縁膜13aとしては、たとえばシリコン窒化膜(以下、SiN)を用いる。この絶縁膜13aを介して、上記トレンチ16内および上記凹部15内をPoly−Si膜17によって埋め込み、平坦化する(図7参照)。そのPoly−Si膜17を、凹部15の深さがhp(hp<hb)になるまでエッチングし、ディープトレンチキャパシタDTとなる、トレンチキャパシタTCと引き出しPoly−Si領域PS1とを形成する(図8参照)。
セル全体に、絶縁膜を堆積させ、それを平坦化した後、凹部15の深さがhi(hi<hp)になるまでエッチングし、絶縁膜14を形成する(図9参照)。なお、絶縁膜14としては、たとえばSiO2 を用いる。Bulk−Si基板11の表面を覆っている絶縁膜13aを剥離し、絶縁膜13を形成する(図10参照)。セル全体に、半導体層となるSi膜18をエピタキシャル成長させる(図11参照)。そのSi膜18上に、スイッチング用トランジスタSTのための、ゲート絶縁膜23およびゲート電極24を形成する(図12参照)。この場合、ゲート電極24が、トレンチキャパシタTCの直上に形成されるようにする。
ゲート電極24をマスクに、まず、Si膜18に拡散層21aを形成する。ゲート電極24およびゲート絶縁膜23の側壁部分に側壁残しにより側壁絶縁膜25を形成した後、この側壁絶縁膜25およびゲート電極24をマスクにして、拡散層21bを形成する(図13参照)。これにより、Si膜18にBody部22を残して拡散層21a,21bが形成される。一方の拡散層21a,21bに、エッチングにより、たとえば絶縁膜14、引き出しPoly−Si領域PS1および絶縁膜13を貫通し、STI領域12に達する深さがh(he>h)のトレンチ19を形成する。そのトレンチ19内を埋め込むようにPoly−Si膜を堆積させた後、トレンチ19の深さがhdになるまでオーバー目にエッチングすることにより、コネクトPoly−Si層26を形成する(図14参照)。
最後に、セル全体に絶縁膜27を堆積させて、平坦化し、ワード線コンタクト28およびビット線コンタクト29を形成する。その結果、たとえば図1に示した構成のDRAMセルが得られる。
ここで、本実施形態のDRAMセルにおいて、絶縁膜14に要求される膜厚について述べる。図15は、バックゲート(back gate)を有するダブルゲート(Double gate)型MOSFETの、しきい値コントロールについて示すものである。たとえば、back gate電圧の変化分をδVback、そのときのしきい値変化分をδVth、Siの容量をCSi、back gateの容量をCback、front gateの容量をCgateとすると、Double gate型MOSFETのしきい値(変化分の比)は、下記の数3の式(3)によりあらわされる。
これを踏まえ、たとえば図16に示すように、本実施形態のDRAMセルのゲート電圧をVg、ディープトレンチキャパシタDT内の電荷が正の場合“1”と負の場合“0”との電位差をVdtとすると、下記の数6の式(6),(7)が成り立つ。
ただし、ゲート絶縁膜23の厚さをTox1、その誘電率をεox1、ディープトレンチキャパシタDTとスイッチング用トランジスタSTとの間の絶縁膜14の厚さをTox2、その誘電率をεox2、Body部22に対応する半導体層18の厚さをTSi、その誘電率をεSiとする。
これに対し、Vdt=−Vg=−電源電圧の場合には、MOSFETのしきい値をずらすことによってオフ電流Ioffが流れ、それに伴ってリーク電流が増加する。したがって、この場合には、下記の数9の式(10)により、絶縁膜14の膜厚Tox2は規定される。
上記したように、ディープトレンチキャパシタDT内の電荷の正/負に応じて、ディープトレンチキャパシタDTとスイッチング用トランジスタSTとの間の絶縁膜14の膜厚の最適化を図ることにより、ディープトレンチキャパシタDTでの電荷保持力の向上が可能である。すなわち、ディープトレンチキャパシタDTの直上にスイッチング用トランジスタSTを配置してなる構成のDRAMセルにおいては、絶縁膜14の膜厚の最適化によって、Body部22にディープトレンチキャパシタDT内の電荷による基板バイアス効果を効果的に作用させることが可能となる。これにより、電荷保持時のスイッチング用トランジスタSTのしきい値を制御する(上昇させる)ことが可能となり、オフ電流(Ioff)を削減できるようになる。したがって、オフ電流状態での電荷のリークを減少でき、ディープトレンチキャパシタDTでの電荷保持力の悪化を改善することが可能となるものである。
なお、本実施形態においては、たとえば、スイッチング用トランジスタSTのBody部22が、拡散層21a,21bと絶縁膜14とによって囲まれている。このため、Body部22がフローティング状態とされることで、基板バイアス効果による電荷をBody部22に溜め、より基板バイアス効果を利かせることが可能である。
また、たとえば図17(a),(b)に示すように、コネクトPoly−Si層(幅y0−ymおよび長さx0−xm)26を、引き出しPoly−Si領域(幅W0−Wmおよび長さL0−Lm)PS1内に設けるようにしている(この場合、L0<x0,xm<Lm,W0<y0,ym<Wm)。コネクトPoly−Si層26は、拡散層21a,21bと引き出しPoly−Si領域PS1とをつなげ、電荷をディープトレンチキャパシタDT内に溜めるためのものである。よって、コネクトPoly−Si層26がBulk−Si基板11に接し、拡散層21a,21bからディープトレンチキャパシタDTへの電荷がBulk−Si基板11方向へ逃げるのを防ぐことができる。因みに、同図(a)は図14に対応する断面図であり、同図(b)は同図(a)のXVII−XVII線に沿う平面図である。
また、たとえば図18に示すように、ゲート電極24は、少なくともその一部がストレージノード(引き出しPoly−Si領域PS1)とオーバラップしていればよく、Body部22の直下にディープトレンチキャパシタDTを位置させることが重要である。Body−DT間距離を最短にすることで、Body部22に対し、より効果的に基板バイアス効果を利かせられる。
また、引き出しPoly−Si領域PS1の長さ(L0−Lm)をゲート電極24の幅(W)よりも大きくすることによって、Body部22のW方向の全面に均一に基板バイアス効果を利かせられるようになる。これにより、ディープトレンチキャパシタDTからの電荷によるBody部22内の電界の偏りをなくすことが可能となる。
また、引き出しPoly−Si領域PS1の長さ(L0−Lm)をゲート電極24の長さ(L)よりも大きくすることによって、Body部22のL方向の全面に均一に基板バイアス効果を利かせられるようになる。
また、本実施形態のDRAMセルにおいては、膜厚と誘電率との関係から、「STI領域12を介しての基板バイアス効果<絶縁膜14を介しての基板バイアス効果」である、つまり、絶縁膜14の実効膜厚がSTI領域12の実効幅以下であるため、たとえば隣接するセルのディープトレンチキャパシタDTからの寄生的基板バイアス効果よりも、Body部22の直下のディープトレンチキャパシタDTからの電荷による基板バイアス効果を支配的にすることができる。
なお、上記した第1の実施形態においては、半導体層となるSi膜18をエピタキシャル成長させることによって形成するようにした場合について説明したが(図11参照)、これに限らず、たとえばPoly−Si層またはアモルファス−Si層の堆積によってSOI構造を形成した後に、再結晶化を行う方法であってもよい。これにより、Si膜18をより均一に形成できる。
[第2の実施形態]
図19は、本発明の第2の実施形態にしたがった半導体装置(DRAM)の基本構成を示すものである。なお、ここでは、半導体基板にBulk−Si基板を用いた場合を例に、SGT−DRAMにおけるメモリセル(DRAMセル)の構成について説明する。また、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
図19は、本発明の第2の実施形態にしたがった半導体装置(DRAM)の基本構成を示すものである。なお、ここでは、半導体基板にBulk−Si基板を用いた場合を例に、SGT−DRAMにおけるメモリセル(DRAMセル)の構成について説明する。また、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
本実施形態の場合、たとえば図19に示すように、凹部15の内壁に形成された絶縁膜13の内側にサイドウォール31を形成し、引き出しPoly−Si領域PS1のBulk−Si基板11との間の絶縁性を高めることにより、引き出しPoly−Si領域PS1のBulk−Si基板11との距離を実質的に稼ぐようにしたものである。
以下に、この第2の実施形態にしたがったDRAMセルを製造する際の形成プロセスについて、簡単に説明する。なお、トレンチ16の内壁および凹部15の内壁に絶縁膜13を形成するために、セル全体に絶縁膜13aを堆積させる工程(図2〜図6参照)までは第1の実施形態の場合と同様なので、ここではそれ以降の工程について説明する。すなわち、セル全体に絶縁膜13aを堆積させた後、さらに絶縁膜を堆積させる。凹部15内において、側壁残しを行って、上面からhs(hs>hp)程度の深さを残してサイドウォール31を形成する(図20参照)。
絶縁膜13aおよびサイドウォール31を介して、上記トレンチ16内および上記凹部15内をPoly−Si膜によって埋め込み、平坦化する。そのPoly−Si膜を、凹部15の深さがhp(hs<hp)になるまでエッチングし、ディープトレンチキャパシタDTとなる、トレンチキャパシタTCと引き出しPoly−Si領域PS1とを形成する(図21参照)。セル全体に、絶縁膜を堆積させ、それを平坦化した後、凹部15の深さがhi(hi<hs)になるまでエッチングし、絶縁膜14を形成する(図22参照)。なお、絶縁膜14としては、たとえばSiO2 を用いる。
Bulk−Si基板11の表面を覆っている絶縁膜13aを剥離し、絶縁膜13を形成する(図23参照)。セル全体に、半導体層となるSi膜18をエピタキシャル成長させる(図24参照)。そのSi膜18上に、スイッチング用トランジスタSTのための、ゲート絶縁膜23およびゲート電極24を形成する(図25参照)。この場合、ゲート電極24が、トレンチキャパシタTCの直上に形成されるようにする。
ゲート電極24をマスクに、まず、Si膜18に拡散層21aを形成する。ゲート電極24およびゲート絶縁膜23の側壁部分に側壁残しにより側壁絶縁膜25を形成した後、この側壁絶縁膜25およびゲート電極24をマスクにして、拡散層21bを形成する(図26参照)。これにより、Si膜18にBody部22を残して拡散層21a,21bが形成される。一方の拡散層21a,21bに、エッチングにより、たとえば絶縁膜14、引き出しPoly−Si領域PS1および絶縁膜13を貫通し、STI領域12に達する深さがh(he>h)のトレンチ19を形成する。そのトレンチ19内を埋め込むようにPoly−Si膜を堆積させた後、トレンチ19の深さがhdになるまでオーバー目にエッチングすることにより、コネクトPoly−Si層26を形成する(図27参照)。
最後に、セル全体に絶縁膜27を堆積させて、平坦化し、ワード線コンタクト28およびビット線コンタクト29を形成する。その結果、たとえば図19に示した構成のDRAMセルが得られる。
このような構成においても、第1の実施形態の場合と同様に、ディープトレンチキャパシタDT内の電荷の正/負に応じて、ディープトレンチキャパシタDTとスイッチング用トランジスタSTとの間の絶縁膜14の膜厚の最適化を図ることにより、ディープトレンチキャパシタDTでの電荷保持力の向上が可能である。
特に、凹部15の内壁に形成された絶縁膜13の内側にサイドウォール31を形成するようにした場合には、引き出しPoly−Si領域PS1とBulk−Si基板11との間の寄生容量を下げることが可能となる。それによって、Body部22と引き出しPoly−Si領域PS1(または、ディープトレンチキャパシタDT)との間の電荷を増大できる。
なお、上記した第2の実施形態においては、半導体層となるSi膜18をエピタキシャル成長させることによって形成するようにした場合について説明したが(図24参照)、これに限らず、たとえばPoly−Si層またはアモルファス−Si層の堆積によってSOI構造を形成した後に、再結晶化を行う方法であってもよい。これにより、Si膜18をより均一に形成できる。
上記した第1,第2の実施形態においては、たとえば図28に示すように、熱酸化法を用いて引き出しPoly−Si領域PS1の表面を酸化させることにより、絶縁膜14を形成するようにしてもよい。その際、深さhiの調節は、絶縁膜14となる酸化膜の膜厚(tox)に応じて制御される(hi=hp−tox)。このような構成とした場合、引き出しPoly−Si領域PS1と絶縁膜14との界面特性をより向上させることが可能となる。
また、いずれの実施形態の場合にも、絶縁膜14としては単層膜に限らず、たとえばONO(酸化/窒化/酸化)膜などの積層膜を用いることも可能である。
同様に、絶縁膜14にHfAlO膜やSiN膜などのHigh−K(高誘電体)膜を用いるようにしてもよい。High−K膜を用いることにより、絶縁膜14の物理膜厚を厚くできるので、膜厚制御を簡単化できる、つまり、膜厚のばらつきによる影響を小さくすることが可能となる。
同様に、コネクトPoly−Si層26に、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)などのメタルを用いることも可能であり、コネクトPoly−Si層26をより低抵抗化できる。
同様に、STI領域12を形成するための絶縁膜12aとしてはSiO2 膜に限らず、たとえば、ポーラス膜などのLow−K膜を用いることも可能である。STI領域12にLow-K膜を用いるようにした場合、引き出しPoly−Si領域PS1(または、ディープトレンチキャパシタDT)とBulk−Si基板11との間の寄生容量を下げることが可能である。
同様に、ゲート絶縁膜23としては、たとえば、SiO2 膜、SiON膜、High−K膜などを用いることが可能である。
[第3の実施形態]
図29は、本発明の第3の実施形態にしたがった半導体装置(DRAM)の基本構成を示すものである。なお、ここでは、半導体基板にSOI基板を用いた場合を例に、SGT−DRAMにおけるメモリセル(DRAMセル)の構成について説明する。また、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
図29は、本発明の第3の実施形態にしたがった半導体装置(DRAM)の基本構成を示すものである。なお、ここでは、半導体基板にSOI基板を用いた場合を例に、SGT−DRAMにおけるメモリセル(DRAMセル)の構成について説明する。また、第1の実施形態と同一部分には同一符号を付して、詳しい説明は割愛する。
本実施形態の場合、たとえば図29に示すように、SOI基板41を用いてDRAMセルが製造されている。本実施形態のDRAMセルによれば、Bulk−Si基板を用いて製造する場合に比べ、形成プロセスの簡素化が図れる。
以下に、この第3の実施形態にしたがったDRAMセルを製造する際の形成プロセスについて、簡単に説明する。まず、SOI基板41の表面部に対して、引き出しPoly−Si領域PS1を形成するための凹部15の深さがheになるまで、エッチングを行う(図30参照)。凹部15は、表面のSOI層41cを貫通し、その下のBOX層41bにまで達する。その凹部15の底部を選択的にエッチングし、ディープトレンチキャパシタDTを形成するためのトレンチ16を形成する(図31参照)。トレンチ16は、BOX層41bの下のSi層41aにまで達する。
そのトレンチ16の内壁および上記凹部15の内壁に絶縁膜13を形成するために、セル全体に絶縁膜13aを堆積させる(図32参照)。なお、絶縁膜13aとしては、たとえばシリコン窒化膜(以下、SiN)を用いる。この絶縁膜13aを介して、上記トレンチ16内および上記凹部15内をPoly−Si膜によって埋め込み、平坦化する。そのPoly−Si膜を、凹部15の深さがhp(hp<he)になるまでエッチングし、ディープトレンチキャパシタDTとなる、トレンチキャパシタTCと引き出しPoly−Si領域PS1とを形成する(図33参照)。
セル全体に、絶縁膜を堆積させ、それを平坦化した後、凹部15の深さがhi(hi<hp)になるまでエッチングし、絶縁膜14を形成する(図34参照)。なお、絶縁膜14としては、たとえばSiO2 を用いる。SOI基板41の表面を覆っている絶縁膜13aを剥離し、絶縁膜13を形成する(図35参照)。絶縁膜14上に、凹部15内を埋め込むように、半導体層となるSi膜18をエピタキシャル成長させる(図36参照)。そのSi膜18上に、スイッチング用トランジスタSTのための、ゲート絶縁膜23およびゲート電極24を形成する(図37参照)。この場合、ゲート電極24が、トレンチキャパシタTCの直上に形成されるようにする。
ゲート電極24をマスクに、まず、Si膜18およびSOI層41cに拡散層21aを形成する。ゲート電極24およびゲート絶縁膜23の側壁部分に側壁残しにより側壁絶縁膜25を形成した後、この側壁絶縁膜25およびゲート電極24をマスクにして、拡散層21bを形成する(図38参照)。これにより、Si膜18およびSOI層41cにBody部22を残して拡散層21a,21bが形成される。一方の拡散層21a,21bに、エッチングにより、たとえば絶縁膜14、引き出しPoly−Si領域PS1および絶縁膜13を貫通し、BOX層41bに達するトレンチ19を形成する。そのトレンチ19内を埋め込むようにPoly−Si膜を堆積させた後、エッチングすることにより、コネクトPoly−Si層26を形成する(図39参照)。
最後に、セル全体に絶縁膜27を堆積させて、平坦化し、ワード線コンタクト28およびビット線コンタクト29を形成する。その結果、たとえば図29に示した構成のDRAMセルが得られる。
このような構成においても、第1,第2の実施形態の場合と同様に、ディープトレンチキャパシタDT内の電荷の正/負に応じて、ディープトレンチキャパシタDTとスイッチング用トランジスタSTとの間の絶縁膜14の膜厚の最適化を図ることにより、ディープトレンチキャパシタDTでの電荷保持力の向上が可能である。
特に、SOI基板41を用い、そのBOX層41bをSTI領域として利用することで、STI領域を形成するためのプロセスを省略できる。
なお、この第3の実施形態にしたがったDRAMセルにおいても、第1,第2の実施形態の場合と同様に、種々変形実施可能なことは勿論である。
また、Bulk−Si基板を用いたDRAMセルおよびSOI基板を用いたDRAMセルとしては、たとえば図40および図41にそれぞれ示すように、絶縁膜14および引き出しPoly−Si領域PS1の厚さによって、スイッチング用トランジスタSTのBody部22となる半導体層18の膜厚をコントロールすることが可能である。いずれの例の場合も、「絶縁膜14上の半導体層18の膜厚<絶縁膜14上以外の半導体層18(または、SOI層41c)の膜厚」となるため、寄生抵抗をより低下できる。
さらに、上記した各実施形態においては、DRAMに適用した場合を例に説明したが、これに限らず、DRAMを混載する各種の半導体装置にも適用できる。
その他、本願発明は、上記(各)実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。さらに、上記(各)実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。たとえば、(各)実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題(の少なくとも1つ)が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果(の少なくとも1つ)が得られる場合には、その構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
DT…ディープトレンチキャパシタ、ST…スイッチング用トランジスタ、TC…トレンチキャパシタ、PS1…引き出しPoly−Si領域、11…Bulk−Si基板、12…STI、13…絶縁膜、14…絶縁膜(第1の絶縁膜)、21a,21b…拡散層、22…MOSFETのBody部、24…ゲート電極、26…コネクトPoly−Si層、31…サイドウォール、41…SOI基板。
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面部に埋め込まれたトレンチキャパシタと、
前記トレンチキャパシタ上に形成され、前記トレンチキャパシタ内に溜める電荷の正/負に応じて膜厚が最適化されてなる第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜を介して、前記トレンチキャパシタに対応する前記半導体基板の表面上に配置されたスイッチング用トランジスタと
を具備したことを特徴とする半導体装置。 - 前記トレンチキャパシタと前記スイッチング用トランジスタとによって、1つのメモリセルが構成されてなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記スイッチング用トランジスタは、拡散層以外の本体部位がフローティング状態となることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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