JP2007186735A - 電鋳部品の製造方法 - Google Patents
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【解決手段】表面に導電層2が配された基板3にフォトレジスト(感光性材料)を硬化させた樹脂層5を配して形成した成形型1に電鋳体6を形成する電鋳部品の製造方法であって、電鋳体6が配された成形型1から樹脂層5を除去する除去工程を備え、除去工程が、成形型1から基板3を除去した後、水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとを有し、かつ、酸化物を有さない剥離剤に投入する工程と、150℃以上、250℃以下の温度に剥離剤を加熱する工程とを備えている。
【選択図】図5
Description
Paul M.Dentinger、"Removal of SU-8 Photoresist for Thick Film Applications I: Wet Techniques"、[online]、Sandia National Laboratories、[平成17年11月16日検索]、インターネット、<URL:http://www.ca.sandia.gov/liga/ pdfs/su8#wet.pdf>
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、電鋳体の変色・変質を最小限に抑えて電鋳体と樹脂層とを安定的に剥離させることができる電鋳部品の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る電鋳部品の製造方法は、表面に導電層が配された基板に感光性材料を硬化させた樹脂層を配して形成した成形型に電鋳体を形成する電鋳部品の製造方法であって、 前記電鋳体が配された前記成形型から前記樹脂層を除去する除去工程を備え、該除去工程が、前記成形型から前記基板を除去した後、水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとを有し、かつ、ハロゲン化合物又は硫酸基或いは硝酸基を含む化合物を有さない剥離剤に投入する工程と、150℃以上、250℃以下の温度に前記剥離剤を加熱する工程とを備えていることを特徴とする。
この発明は、カリウムの含有量のほうがナトリウムの含有量よりも多いので、電鋳体の変色をより好適に抑えることができる。
この発明は、ニッケルによる電鋳体の変質をより好適に抑えることができる。
この発明は、フォトレジストにフッ化物やリン含有化合物が含まれている場合、フッ素やリンをカルシウムと反応させることによって、電鋳体からこれらの物質を安定した状態で除去することができる。
この発明は、フォトレジストに光重合開始剤(光重合触媒)としてアンチモン化合物等の金属化合物が含まれている場合、この金属化合物等を有機酸基と反応させることによって、電鋳体からこれらの物質を安定した状態で除去することができるので、電鋳体の変色や劣化を防ぐことができる。
この発明は、光重合開始剤(光重合触媒)として広く用いられているアンチモン化合物を用いている場合、このアンチモン化合物と酒石酸基が反応し、安定かつ水に可溶な化合物を形成するので、電鋳体表面よりこれらの物質を容易に除去できるので、電鋳体の変色や劣化を防ぐことができる。
本実施形態に係る電鋳部品の製造方法に使用する成形型1は、図1に示すように、シリコンからなり表面に導電層2が配された基板3と、フォトレジスト(感光性材料)を硬化させた樹脂層5とを備えている。
本実施形態に係る電鋳部品の製造方法は、図2に示すように、成形型1を製造する工程(S10)と、成形型1を用いて電鋳体6を製造する工程(S20)と、電鋳体6を電鋳部品に加工する工程(S30)とを備えている。
ここでは、成形型1を金属イオンを有する電鋳液11に浸して導電層2に金属イオンの金属を析出して電鋳体6を形成する工程(S21)と、成形型1から基板3と樹脂層5とを除去する工程(S22)とを備えている。本実施形態では、ニッケル(Ni)電鋳による電鋳体6を製造する。従って、上記金属はNiとなる。
電鋳液11は、析出させる金属によって異なるが、Ni電鋳を行う場合、スルファミン酸ニッケル水和塩を含む水溶液を使用する。電極15は、Niを析出させるためにNi板となっている。
本工程は、さらに、基板3を除去する工程(S221)と、水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとを有し、かつ、ハロゲンや硫酸基、硝酸基等を含む化合物を有さない剥離剤18に投入する工程(S222)と、150℃以上、250℃以下の温度に剥離剤18を加熱する工程(S223)とを備えている。
ここでは、図6に示すように、るつぼ20内に水酸化ナトリウム21と水酸化カリウム22との混合物を主成分とする剥離剤18を導入し、基板3を剥離させた状態の成形型1を剥離剤18に投入する。この剥離剤18における水酸化ナトリウム21と水酸化カリウム22との比率は、例えば、重量比で1対4となるようにしておく。なお、この段階の剥離剤18は、液相を形成する比率で水酸化ナトリウム21と水酸化カリウム22との粒を混ぜただけのものでもよく、液相を形成する組成の水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとの固溶体としたものでも構わない。
まず、るつぼ20を図示しない電気炉に投入する。そして、炉内を不活性ガス雰囲気とした後、剥離剤18の温度が150℃以上、215℃以下となるように加熱する。剥離剤18がある程度溶融するまで数時間加熱した後、加熱状態を少なくとも1時間維持する。このとき、電鋳体6が液状の剥離剤18内を沈んでいき、樹脂層5の微細部及び電鋳体6によって覆われた部分が溶解して電鋳体6から剥離する。
こうして、電鋳体6を電鋳部品に加工する工程(S30)に移行して、取り出した電鋳体6を機械加工等によって所望の形状に加工して、図7に示すような、電鋳部品25を得る。
この際、剥離剤18において、水酸化カリウムの含有量のほうが水酸化ナトリウムの含有量よりも多いので、電鋳体6の変色をより好適に抑えることができる。
さらに、剥離剤18にカルシウム化合物を添加剤23として混合しているので、電鋳体6にフッ化物やリン含有化合物が含まれている場合、フッ素やリンをカルシウムと反応させることによって、電鋳体6からこれらの物質を安定した状態で除去することができる。
例えば、上記実施形態では、剥離剤18に電鋳体6を投入しているが、電鋳体6を先にるつぼ20に投入してから剥離剤18を投入しても構わない。
2 導電層
3 基板
5 樹脂層
6 電鋳体
7 フォトレジスト(感光性材料)
18 剥離剤
25 電鋳部品
Claims (6)
- 表面に導電層が配された基板に感光性材料を硬化させた樹脂層を配して形成した成形型に電鋳体を形成する電鋳部品の製造方法であって、
前記電鋳体が配された前記成形型から前記樹脂層を除去する除去工程を備え、
該除去工程が、前記成形型から前記基板を除去した後、水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとを有し、かつ、ハロゲン化合物又は硫酸基或いは硝酸基を含む化合物を有さない剥離剤に投入する工程と、
150℃以上、250℃以下の温度に前記剥離剤を加熱する工程とを備えていることを特徴とする電鋳部品の製造方法。 - 水酸化ナトリウムよりも水酸化カリウムを多く有する前記剥離剤を用いることを特徴とする請求項1に記載の電鋳部品の製造方法。
- 前記電鋳体がニッケルを備え、
前記加熱温度を215℃以下とすることを特徴とする請求項1又は2に記載の電鋳部品の製造方法。 - カルシウム化合物の添加剤を有する前記剥離剤を用いることを特徴とする請求項1から3の何れか一つに記載の電鋳部品の製造方法。
- 有機酸又は有機酸化合物の添加剤を有する前記剥離剤を用いることを特徴とする請求項1から4の何れか一つに記載の電鋳部品の製造方法。
- 前記有機酸が酒石酸であることを特徴とする請求項5に記載の電鋳部品の製造方法。
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