JP2007181990A - 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能な、吐出能力の高い液体吐出ヘッド1及び、それを備えた液体吐出装置Aを提供する。
【解決手段】圧力室用孔12が貫通形成された圧電体11にノズル板13と、区画板(供給板)15と、を接合し、その圧力室用孔12によって圧力室10を区画する。圧力室用孔12には、区画板15及びノズル板13の少なくとも一方に支持された突起部16が内挿される。突起部16の体積弾性率は、圧力室10内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定される。
【選択図】図2
【解決手段】圧力室用孔12が貫通形成された圧電体11にノズル板13と、区画板(供給板)15と、を接合し、その圧力室用孔12によって圧力室10を区画する。圧力室用孔12には、区画板15及びノズル板13の少なくとも一方に支持された突起部16が内挿される。突起部16の体積弾性率は、圧力室10内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定される。
【選択図】図2
Description
本発明は、液滴を吐出する液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置に関する。
近年、記録紙に対してインク滴を吐出するインクジェット技術が、パターンの形成や均一薄膜の形成等に応用されている。そうしたパターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドには、さらなる小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が要求される。それらの要求を満たす吐出能力の高いヘッドを実現するには、圧力室内の液体に、より高い圧力を加える必要がある。
例えば特許文献1に開示されている液体吐出ヘッドは、その圧力室が圧電体によって区画形成されており、圧電体がノズルの軸方向に伸長変形することによって圧力室の体積(断面積)を減少させる構成となっている。この構成では、圧力室内の液体に対し高い圧力を加えることができる。
しかしながら、パターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドでは、圧力室内の液体の圧縮性を無視することができず、液体に対して高い圧力を加えただけでは小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を実現することはできない。これらを実現するには、液体に対して高い圧力を掛けることに加え、圧力室の体積変化率、つまり圧電体の変形前の圧力室体積に対する圧電体の変形後の圧力室体積の変化量(体積変化率=体積変化量/変形前の体積)を大きくすることが重要である。
例えば特許文献2には、相対する一対の圧電体によって圧力室を区画すると共に、その一対の圧電体を互いに接近するように変形させることによって圧力室の体積を減少させる液体吐出ヘッドにおいて、その圧力室内にスペーサを配置することによって体積変化率を大きくすることが開示されている。
特開平7−40536号公報
特開平5−16360号公報
ところが、特許文献2に開示されている液体吐出ヘッドでは、スペーサが、圧力室内においてノズルの軸方向に沿って配置されており、そのスペーサによって流路断面積が減少している。このため、流路抵抗が高くなり、体積変化率を大きくしたとしても、液体吐出ヘッドの吐出能力はそれほど向上しないという問題がある。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能な、吐出能力の高い液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置を提供することにある。
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を収容する圧力室に連通するノズルが形成されたノズル板と、上記ノズル板に相対して配置された区画板と、上記圧力室を区画する圧力室用孔が一面から他面まで貫通形成されると共に、その一面に該ノズル板が、その他面に該区画板がそれぞれ接合されかつ、その変形駆動により上記ノズル板及び区画板を相対的に変位させる圧電体と、上記ノズル板及び区画板の少なくとも一方に設けられかつ、上記圧力室用孔に内挿される突起部と、を備え、上記突起部の体積弾性率を、上記圧力室内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定する。
この構成によると、圧力室は、圧電体の圧力室用孔と、その圧電体の一面及び他面のそれぞれに接合されるノズル板及び区画板と、によって区画形成される。圧力室は、圧電体の変形駆動に伴いノズル板と区画板とが相対的に変位することによって、その体積が増減し、それによってノズル板のノズルから液体が液滴として吐出される。このように、圧力室を圧電体によって区画形成し、その圧電体の変形によって圧力室の体積を増減させることで圧力室内の液体に対して高い圧力を加えることができる。
上記構成では、上記ノズル板及び区画板の少なくとも一方に、圧力室用孔に内挿される突起部を、一体形成又は取り付けによって設けるため、圧力室の体積は、その突起部の分だけ減少する。一方で、突起部は圧電体の変形を妨害せず、圧電体の変形量、言い換えると圧力室の体積変化量は突起部の有無に拘わらず同じである。従って、圧力室の体積変化率は大きくなる。
また突起部は、圧力室を区画するノズル板及び/又は区画板に設けられているため、その突起部によって流路断面積が減少することはなく流路抵抗は増大しない。
そして、突起部の体積弾性率は、液体の体積弾性率よりも低く設定されているため、圧力室の体積が増減したときに、突起部が変形してその圧力を吸収することはなく、圧力室内の液体に対し十分に圧力が加わる。
その結果、液体吐出ヘッドの吐出能力は高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
ここで、上記突起部は、上記区画板に設けられて上記圧電体の他面側から上記圧力室用孔に内挿されている、としてもよい。
こうすることで、圧力室とノズルとが直接的に連通することになり、流路抵抗がさらに低減して、吐出能力のさらなる向上が図られる。
また、上記突起部の側面と上記圧力室用孔の内面との間には充填材が充填されている、とすることが好ましい。
突起部と圧電体との隙間が埋まることで圧力室内に空気だまりが発生せず、吐出不良が回避される。
上記区画板には、上記圧力室に連通しかつ、該圧力室内に液体を供給する供給口が形成されている、としてもよい。
これによって、体積が比較的小さい上記の圧力室内に液体を供給するための構成が簡易に実現する。
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を収容する圧力室と、上記圧力室に連通しかつ、上記圧力室内の液体を吐出するノズルと、を備え、上記圧力室を、上記ノズルの軸方向に伸縮変形駆動することによって該圧力室の体積を増減させる圧電体によって区画形成する。そして、上記圧力室の上記ノズル軸方向長さを、上記圧電体の上記ノズル軸方向厚みよりも小にする。
この構成によると、圧力室は圧電体によって区画形成され、圧電体の伸縮変形駆動によって圧力室の体積が増減し、ノズルから液体が液滴として吐出される。このように、圧力室を圧電体によって区画形成し、その圧電体の伸縮変形によって圧力室の体積を増減させることで、圧力室内の液体に対して高い圧力を加えることができる。
上記構成では、上記圧力室のノズル軸方向長さが、圧電体のノズル軸方向厚みよりも小さい。このことによって、圧電体の厚みは比較的、分厚くなって圧電体の伸縮量が十分に確保され、それによって圧力室の体積変化量は大きくなる。これに対し、圧力室の長さは比較的短くなって圧力室の体積は小さくなる。従って、圧力室の体積変化率は大きくなる。
また、圧力室のノズル軸方向長さを短くすることによって圧力室の体積を減少させているため、圧力室のノズル軸方向に直交する面の面積は十分大きくすることができ、流路抵抗の増大が回避される。
その結果、液体吐出ヘッドの吐出能力は高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
本発明の液体吐出装置は、上述した液体吐出ヘッドを備える。このため、吐出能力の高い液体吐出装置が実現する。
以上説明したように、本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出装置によると、圧力室の体積変化率は大きくなる一方、流路抵抗は増大しないため、吐出能力が高くなって小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を実現することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
(実施形態1)
図1は、液体吐出装置Aの概略構成を示している。この液体吐出装置Aは、一又は複数の液体吐出ヘッド1(図2参照)を備えたヘッドユニット21と、被記録物4を支持するステージ31と、を備えている。
図1は、液体吐出装置Aの概略構成を示している。この液体吐出装置Aは、一又は複数の液体吐出ヘッド1(図2参照)を備えたヘッドユニット21と、被記録物4を支持するステージ31と、を備えている。
ヘッドユニット21は、装置基台6に支持されたヘッドユニット移動装置2によって主走査方向(図1に示すX方向)に往復移動し、ステージ31は、同じく装置基台6に支持されたステージ移動装置3によって副走査方向(図1に示すY方向)に往復移動する。
ヘッドユニット移動装置2は、ヘッドユニット21を支持するキャリッジ22を含む。キャリッジ22は、主走査方向に延びるキャリッジ軸23にガイドされ、図示を省略する駆動源(例えばモータ)によって、主走査方向に往復移動する。
ステージ移動装置3は、主走査方向に所定間隔を開けて配置されかつ、それぞれ副走査方向に延びる2つのステージ軸32,32を含む。ステージ31はこれらのステージ軸32,32にガイドされ、図示を省略する駆動源(例えばモータ)によって、副走査方向に往復移動する。
液体吐出装置Aはこの構成によって、ヘッドユニット21とステージ31上の被記録物4とを相対移動させながら、ヘッドユニット21(液体吐出ヘッド1)から被記録物4に向かって液体材料を吐出し、被記録物4上に所望のパターンや均一薄膜等を形成する。
上記液体吐出ヘッド1は、図2に示すように、圧力室用孔12が形成された圧電素子11を備えている。
圧電素子11は、約400μm厚の積層圧電体からなり、平面視で、約1.5mm×2.5mmの略矩形状を有している。圧電素子11は、図示は省略する電極に電圧が印可されることによって、図2における上下方向に収縮変形する(図2の矢印参照)。
圧力室用孔12は、約φ300μmの円形状を有していて、圧電素子11の上面から下面までを貫通して形成されている。圧力室用孔12は、圧力室10の側面を区画する孔であり、その内周面には、液体材料に対する耐食性を考慮して、耐溶剤性を有する樹脂のコーディング処理が施されている。
圧電素子11の下面には、ノズル板13が接着固定されており、このノズル板13の上面によって圧力室10の底面が区画される。ノズル板13は、約100μm厚のステンレス鋼からなる。ノズル板13には、その厚み方向に貫通し、上記圧力室用孔12に連通するノズル14が形成されている。
ノズル14は、その径が先端側に向かって小さくなるテーパ形状を有しており、その基端開口の径は約φ80μm、その先端開口の径は約φ20μmとされている。
尚、このノズル板13の下面は、撥水膜13aで被覆されている。この撥水膜13aは、公知の方法により形成することが可能である。
圧電素子11の上面には、供給板15が接着固定されている。供給板15は、約0.5mm厚のステンレス鋼からなり、その下面には、下方に突出する突起部16が接着により取り付けられている。
突起部16は、圧力室用孔12と同様に断面円形状を有していて、その径は圧力室用孔12の径よりも若干小さい約φ280μmとされている。また、その高さは300μmとされている。突起部16は、供給板15が圧電素子11の上面に接着固定された状態で、圧力室用孔12に内挿される。この突起部16によって、圧力室10の上面が区画される。
突起部16の周面と圧力室用孔12の内面との間には、樹脂16aが充填されている。突起部16と圧電素子11との隙間を埋めることによって圧力室10内に空気だまりが発生せず、吐出不良が回避される。また、この樹脂16aの体積弾性率が大きすぎるときには、後述するように圧力室10の体積を減少させた際にその変形が大きくなることから、樹脂16aは、液体材料の体積弾性率の50倍以下程度の体積弾性率を有する樹脂であることが、液体材料の吐出安定性の観点から好ましい。
供給板15及び突起部16には、供給板15の上面から突起部16の下面までを貫通し、圧力室10に連通する供給口17が形成されている。供給口17はストレート形状であって、約φ40μmの径を有している。
ここで、上記の突起部16はステンレス鋼からなっているが、突起部16は、液体材料の体積弾性率よりも低い体積弾性率を有する材料であれば、どのような材料から構成されていてもよい。但し、液体材料の吐出安定性の観点からは、液体材料の体積弾性率の1/3程度であることが、より好ましい。
このように、液体吐出ヘッド1の圧力室10は、上記供給板15、圧電素子11及びノズル板13を積層した積層体の内部に形成され、その圧力室10内には、突起部16が供給板15と圧電素子11との接合面よりも圧力室10の内方に突出して配置されている。
上記積層体は、ヘッドブロック18内に収容されてこのヘッドブロック18に支持されている。つまり、ヘッドブロック18は、下方に開口する凹部18aを有しており、積層体がその凹部18a内に収容された状態で、供給板15の上面が、その凹部18aの上壁面に対し接着固定されている。このように供給板15がヘッドブロック18に対して固定されることによって、この液体吐出ヘッド1では、圧電素子11の収縮変形に伴いノズル板13が上方に変位する。
ヘッドブロック18には、その上壁部を上下方向に貫通しかつ、供給口17と連通する供給筒19が取り付けられている。供給筒19は、液体材料を貯留するタンク(図示省略)に接続されている。
また、ヘッドブロック18の側壁には貫通孔18cが形成されており、その貫通孔18c内には、圧電素子11の電極に対して電圧を印加するためのリード線18dが配設されている。
次に、上記構成の液体吐出ヘッド1の動作について説明する。供給口17、圧力室10、及びノズル14内のそれぞれに液体材料が充填された状態で圧電素子11に所定の電圧(例えば20V)を印可することによって、圧電素子11が上下方向に収縮変形する(同図の矢印参照)。
この圧電素子11の収縮変形に伴いノズル板13が上方に変位して圧力室10の体積が減少し、圧力室10内の液体材料に圧力が加わる。それによって液体材料がノズル14から押し出されて被記録物4に向かって液滴として吐出される。液滴は被記録物4の上面にドット状に付着する。
圧電素子11への電圧印加を解除することによって、収縮していた圧電素子11が元に戻り、ノズル板13が下方に変位して圧力室10の体積が元に戻る。このときに、供給筒19及び供給口17を介して、タンクからの液体材料が圧力室10内に補充される。
この液体吐出ヘッド1は、圧力室10を圧電素子11によって区画形成し、その圧電素子11の変形によって圧力室10の体積を減少させるため、圧力室10内の液体材料に対して高い圧力を加えることができる。
また、供給板15に支持させた突起部16を圧力室用孔12に内挿しているため、圧力室10の体積は、その突起部16の分だけ減少している。換言すれば、圧力室10のノズル軸方向長さ(図2の上下方向長さ)は、圧電素子11のノズル軸方向厚みよりも小さい。
圧電素子11の厚みが比較的、分厚いため、圧電素子11の収縮量は十分に確保されて圧力室10の体積変化量は比較的大きくなる。このことと、圧力室10の体積が突起部16の分だけ減少する(つまり、圧力室10の体積が小さい)こととが相俟って、圧力室10の体積変化率は大きくなる。
また、突起部16は供給板15に支持されているため、圧電素子11の変形を妨害せず、また、ノズル14は圧力室10に直接的に連通しているため、突起部16によって流路断面積が減少することはない。しかも、圧力室10の断面積は十分大きくすることができるため、流路抵抗は増大しない。
そして、突起部16の体積弾性率は、液体材料の体積弾性率よりも低く設定されているため、圧力室10の体積を減少させたときに、突起部16が変形してその圧力を吸収することはなく、圧力室10内の液体材料に対し十分に圧力が加わる。
その結果、上記液体吐出ヘッド1の吐出能力は高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。上記構成の液体吐出ヘッド1は、例えば粘度が50cP(0.05Pa・s)の高粘度液体を、約3pl(ピコリットル)の小さい液滴量で吐出することが可能である。
また、上記圧力室10は、上述したように、突起部16によってその体積が減少していて比較的小さいものの、供給板15に供給口17を形成することによって、圧力室10内に液体材料を供給するための構成が簡易に実現する。
また、突起部16は、本実施形態のように供給板15とは別体にして供給板15に対し接着固定させる代わりに、供給板15と一体的に突起部16を形成してもよい。
(実施形態2)
図3は、実施形態2に係る液体吐出ヘッド5を示している。尚、実施形態2の液体吐出ヘッド5において、実施形態1の液体吐出ヘッド1と同じ構成については、同じ符号を付すと共に、適宜その説明を省略する。
図3は、実施形態2に係る液体吐出ヘッド5を示している。尚、実施形態2の液体吐出ヘッド5において、実施形態1の液体吐出ヘッド1と同じ構成については、同じ符号を付すと共に、適宜その説明を省略する。
この液体吐出ヘッド5は、圧力室用孔12が形成された圧電素子11を備えている。この圧電素子11も積層圧電体からなり、電圧の印加によって、図3における上下方向に収縮変形する(図3の矢印参照)。
圧電素子11の下面には、ノズル板51が接着固定されており、このノズル板51の上面によって圧力室10の底面が区画形成される。ノズル板51には、その厚み方向に貫通しかつ、上記圧力室用孔12に連通するテーパ形状のノズル14が形成されている。また、ノズル板51の下面は、撥水膜51aで被覆されている。
圧電素子11の上面には、供給板15が接着固定されている。この供給板15の下面には、圧力室用孔12に内挿される突起部16が取り付けられている。
供給板15及び突起部16には、供給板15の上面から突起部16の下面までを貫通し、圧力室10に連通する供給口17が形成されている。
そうして、液体吐出ヘッド5の圧力室10も、上記供給板15、圧電素子11及びノズル板51を積層した積層体の内部に形成されると共に、その圧力室10内には、突起部16が供給板15と圧電素子11との接合面よりも圧力室10の内方に突出して配置されている。
上記積層体も、ヘッドブロック18の凹部18a内に収容されてこのヘッドブロック18に支持されている。つまり、積層体が凹部18a内に収容された状態で、ノズル板51の上面が、ヘッドブロック18の下面に対し接着固定されている。このようにノズル板51がヘッドブロック18に対して固定されることによって、本液体吐出ヘッド5では、圧電素子11の収縮変形に伴い供給板15が下方に変位する。
供給板15と凹部18aの上壁面との間には、供給板15の変位に伴い弾性変形する環状の弾性体(例えばOリング)52が介設されており、この環状弾性体52によって供給筒19と供給口17との間をつなぐ流路が形成されている。
次に、上記構成の液体吐出ヘッド5の動作について説明する。供給口17、圧力室10、及びノズル14内のそれぞれに液体材料が充填された状態で圧電素子11に所定の電圧(例えば20V)を印可することによって、圧電素子11が上下方向に収縮変形する(同図の矢印参照)。
この圧電素子11の収縮変形に伴い供給板15が下方に変位して圧力室10の体積が減少し、圧力室10内の液体に圧力が加わる。それによって液体材料がノズル14から押し出され被記録物4に向かって液滴として吐出される。液滴は、該被記録物4の上面にドット状に付着する。
圧電素子11への電圧印加を解除することによって、収縮していた圧電素子11が元に戻り、供給板15が上方に変位して圧力室10の体積が元に戻る。このときに、供給筒19、環状弾性体52によって形成される流路、及び供給口17を介して、タンクからの液体材料が圧力室10内に補充される。
この構成の液体吐出ヘッド5も、実施形態1の液体吐出ヘッド1と同様に、圧力室の体積変化率が大きくなる一方、流路抵抗は増大しないため、その吐出能力が高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
尚、上記の各実施形態について、次のような構成としてもよい。例えば突起部16の下面は平面状に限らず、図4の(a)に示すように下向きに凸となった曲面状にしてもよい。
また、同図の(b)に示すように上向きに凹となった曲面状にしてもよい。この場合、突起部16の下面は、圧力室10内の気泡を供給口17に案内する案内面として機能させることができる。これによって、例えば液体材料を、空の圧力室10に充填するとき等において、圧力室10内の気泡を効果的に外部に排出することが可能になる。
さらに図示は省略するが、突起部16の下面を、供給口17の下端開口からその径方向外方に向かって登り勾配となった、又は降り勾配となった傾斜面によって構成してもよい。
また、供給口17はストレート形状に限らず、図5の(a)に示すようにテーパ形状にしてもよい。また、同図の(b)に示すように段差を設けてもよい。供給口17の形状は、ノズル14の流路抵抗と供給口17の流路抵抗とのバランスを考慮して適宜設定すればよい。
また、突起部16は、供給板15に接着固定又は一体形成する代わりに、ノズル板13,51に接着固定又は一体形成してもよい。また、突起部は、供給板15とノズル板13,51との双方に接着固定又は一体形成してもよい。
また、供給板15は、本実施形態のように圧電素子11とは別体にして圧電素子11に対し接着固定させる代わりに、圧電素子11と一体的に形成してもよい。
例えば図6は、その一例を示している。この例の液体吐出ヘッド(積層体)7は、圧電素子11と、供給板15及び突起部16とを一体に形成している。この積層体7は、例えば次の手順で製造してもよい。
つまり、供給板15を形成するための、電極が形成されていない1又は複数のグリーンシートと、圧電素子11及び突起部16を形成するための、所定パターンの電極が形成された複数のグリーンシートとを積層する(図7参照)。尚、突起部16を形成する部分には電極は形成されていない。
そうして、そのグリーン積層体71を焼成した後、エッチングや、レーザ加工等の、適宜の加工手法を採用して、圧力室10を区画する孔12を作成すると共に、その内部には突起部16を形成する(図7の2点鎖線参照)。また供給板15及び突起部16に供給口17を形成する。
その後、それに別途作成したノズル板13を接着剤によって接着固定する。それによって、ヘッドブロック18に収容される積層体7が完成する。
このように供給板15と圧電素子11とを一体的に形成する場合は、その供給板15と圧電素子11とを接着剤によって接着させる工程が不要になり、接着剤による穴詰まりや接着不良等は生じず、その分、信頼性の高いヘッドを供給することができる。
また、液体吐出ヘッド1は、圧力室10の体積を減少させて液体を吐出する構成に限らず、圧力室10の体積を一旦増加させた後にそれを元に戻すことによって液体を吐出する構成としてもよい。
尚、本発明は、インクを記録紙等に吐出して画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像記録装置に適用することも可能である。
以上説明したように、本発明は、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現するから、例えば液晶パネルや回路基板等の各種デバイスの製造のために、種々のパターンや均一薄膜を形成する液体材料吐出ヘッド及び液体材料吐出装置、またインクを吐出することによって例えば記録紙等の記録媒体上に画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像形成装置として有用である。
1,5 液体吐出ヘッド
10 圧力室
11 圧電素子(圧電体)
12 圧力室用孔
13 ノズル板
14 ノズル
15 供給板(区画板)
16 突起部
16a 樹脂(充填材)
17 供給口
A 液体吐出装置
10 圧力室
11 圧電素子(圧電体)
12 圧力室用孔
13 ノズル板
14 ノズル
15 供給板(区画板)
16 突起部
16a 樹脂(充填材)
17 供給口
A 液体吐出装置
Claims (6)
- 液体を収容する圧力室に連通するノズルが形成されたノズル板と、
上記ノズル板に相対して配置された区画板と、
上記圧力室を区画する圧力室用孔が一面から他面まで貫通形成されると共に、その一面に該ノズル板が、その他面に該区画板がそれぞれ接合されかつ、その変形駆動により上記ノズル板及び区画板を相対的に変位させる圧電体と、
上記ノズル板及び区画板の少なくとも一方に設けられかつ、上記圧力室用孔に内挿される突起部と、を備え、
上記突起部の体積弾性率は、上記圧力室内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定されている液体吐出ヘッド。 - 請求項1に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記突起部は、上記区画板に設けられて上記圧電体の他面側から上記圧力室用孔に内挿されている液体吐出ヘッド。 - 請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記突起部の側面と上記圧力室用孔の内面との間には充填材が充填されている液体吐出ヘッド。 - 請求項1〜3の何れか1項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記区画板には、上記圧力室に連通しかつ、該圧力室内に液体を供給する供給口が形成されている液体吐出ヘッド。 - 液体を収容する圧力室と、
上記圧力室に連通しかつ、上記圧力室内の液体を吐出するノズルと、を備え、
上記圧力室は、上記ノズルの軸方向に伸縮変形駆動することによって該圧力室の体積を増減させる圧電体によって区画形成されており、
上記圧力室の上記ノズル軸方向長さは、上記圧電体の上記ノズル軸方向厚みよりも小さい液体吐出ヘッド。 - 請求項1〜5の何れか1項に記載の液体吐出ヘッドを備えている液体吐出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006001718A JP2007181990A (ja) | 2006-01-06 | 2006-01-06 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 |
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JPH0781055A (ja) * | 1993-09-17 | 1995-03-28 | Citizen Watch Co Ltd | インクジェットヘッド |
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