JP2007180427A - エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】CZ法により窒素と炭素を添加したシリコン単結晶を引き上げ、エピタキシャル層を形成する前のシリコン単結晶をウェーハに加工する工程の中で750℃以上850℃以下の温度で、1時間以上3時間以下の熱処理を行ったシリコン単結晶ウェーハの表面にエピタキシャル法によりシリコン単結晶層を堆積させる。このようにして得られたウェーハに1000℃の温度で90分以上析出熱処理を行うと、2×109個/cm3以上の酸素析出物が形成される。
【選択図】図12
Description
以上のゲッタリング機構から、酸素析出物の密度が高いほど、汚染金属が析出するための平均の移動距離が短いので、ゲッタリングが急速に進行することが分かる。BMDによるゲッタリング能力を調査した結果、Ni(ニッケル)のような比較的シリコン中での拡散が速い金属のゲッタリングについては108個/cm3程度のBMD密度であっても十分効果があるが、デバイスプロセスで問題となることの多いFeのような比較的拡散速度の遅い金属を低温プロセスでゲッタリングさせるためには、108個/cm3程度のBMD密度では不十分であり、少なくとも1×109個/cm3以上できうるならば2×109個/cm3以上のBMD密度が必要ということが分かった。そのため、特許文献4には、確実に確保できるBMD密度は約108個/cm3程度である旨記載されているが、低温プロセス向けのウェーハとしてはこれではBMD密度が不十分であり、Feなどの拡散の遅い金属についてのゲッタリング能力が不足するという問題点があった。
(1) 1×1014atoms/cm3以上2×1016atoms/cm3以下の窒素と1×1016atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下の炭素を添加して作成したシリコン単結晶インゴットから切り出したシリコンウェーハをシリコンウェーハに加工する工程の中で、当該シリコンウェーハを、750℃以上850℃以下の温度で1時間以上3時間以下熱処理(以下、プレアニールと記す。)し、当該プレアニール後のウェーハ表面にエピタキシャル法によりシリコン単結晶層を堆積させることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
(2) シリコンウェーハの初期格子間酸素濃度が7.5×1017atoms/cm3(JEIDA)以上であることを特徴とする(1)に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
(3) 前記熱処理を、シリコンウェーハの表面を鏡面研磨加工する前の工程で行うことを特徴とする(2)に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
(4) (1)〜(3)のいずれかに記載の方法により製造されたエピタキシャルシリコンウェーハであって、1000℃の温度で90分以上プレアニールすると、そのウェーハ内部に少なくとも2×109個/cm3以上の酸素析出物が形成されることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハ。
(5) 前記酸素析出物の密度の面内ばらつきが50%以下であることを特徴とする、(4)に記載のエピタキシャルシリコンウェーハ。ここで、「酸素析出物の密度の面内ばらつき」とは、ウェーハ面内で10点以上測定したウェーハ内部における酸素析出物の密度の面内ばらつき(=(最大BMD密度−最小BMD密度)/最大BMD密度)を意味する。測定点として、例えば、ウェーハの中心からの距離が互いに異なる10箇所以上の点が選ばれる。測定方法として、赤外トモグラフ法が挙げられる。
Claims (5)
- 1×1014atoms/cm3以上2×1016atoms/cm3以下の窒素と1×1016atoms/cm3以上1×1017atoms/cm3以下の炭素を添加して作成したシリコン単結晶インゴットをシリコンウェーハに加工する工程の中で、当該シリコンウェーハを750℃以上850℃以下の温度で1時間以上3時間以下熱処理し、当該熱処理後のウェーハ表面にエピタキシャル法によりシリコン単結晶層を堆積させることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- シリコンウェーハの初期格子間酸素濃度が7.5×1017atoms/cm3(JEIDA)以上であることを特徴とする、請求項1に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 前記熱処理を、シリコンウェーハの表面を鏡面研磨加工する前の工程で行うことを特徴とする、請求項又は2に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の方法により製造されたエピタキシャルシリコンウェーハであって、1000℃の温度で90分以上熱処理すると、そのウェーハ内部に少なくとも2×109個/cm3以上の酸素析出物が形成されることを特徴とする、エピタキシャルシリコンウェーハ。
- 前記酸素析出物の密度の面内ばらつきが50%以下であることを特徴とする、請求項4に記載のエピタキシャルシリコンウェーハ。
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JP2013197373A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | エピタキシャルウエーハの製造方法およびエピタキシャルウエーハならびに固体撮像素子の製造方法および固体撮像素子 |
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2005
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