JP2007180130A - 電磁波シールドメッシュ、電磁波シールド性光透過窓材、及び電磁波シールドメッシュの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】高い電磁波シールド性能と優れた防眩効果とを高度な次元で両立する電磁波シールドメッシュ、かかる電磁波シールドメッシュを構成部材として有する電磁波シールド性光透過窓材、更には、電磁波シールドメッシュの製造方法を提供する。
【解決手段】シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュ２と、この導電性メッシュ２の少なくとも表面側において前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜３と、を含むと共に、前記導電性メッシュ２のシート周縁部４のうち少なくとも一部に前記黒化処理皮膜３が積層されない導電性骨格露出部２１を備え、かつ前記黒化処理皮膜３の膜厚が０．００１〜３０μｍであることを特徴とする電磁波シールドメッシュ１。
【選択図】図１

Description

本発明は、電子ディスプレイパネルの光学フィルターに関するものであり、より詳述すれば、光透過性、視認性、電磁波シールド性を両立するのみならず、外観や耐久性についても優れた電磁波シールドメッシュ、かかる電磁波シールドメッシュを構成部材として有する電磁波シールド性光透過窓材、及び電磁波シールドメッシュの製造方法に関する。

従来、ＣＲＴ，ＬＣＤ，ＦＥＤ，ＳＥＤ，有機ＥＬ，或いはＰＤＰといった電子ディスプレイパネルの前面には、ディスプレイから生じる不要な電磁波を除去すべく電磁波シールドメッシュが配置されている。
また、前記電磁波シールドメッシュは通常、金属繊維を用いて形成されるが、金属光沢を有する金属繊維をそのまま用いた場合には電磁波シールドメッシュがディスプレイから生じる発光、乃至外部光を反射してディスプレイに眩しさを感じさせることとなるため、金属繊維には防眩処理（黒化処理）が通常施される。

前記黒化処理の具体的な方法としては、例えば金属繊維表面に黒色塗料を塗布する方法や、特許文献１：特開２００５−２８６３２６号公報に記載の黒化処理皮膜の形成方法（亜塩素酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、及び燐酸三ナトリウムを含む水溶液のような酸化性溶液中に金属繊維を浸漬し、金属繊維の表面を酸化（黒化）させて黒色の酸化皮膜を形成する方法）等を挙げることができる。前記特許文献１においては、銅箔付きＰＥＴフィルムにケミカルエッチングを施して得たライン幅２５μｍ、ライン間隔２５０μｍの銅格子パターンに対して黒化処理を施した電磁波遮蔽構成体（実施例９）が、電磁波シールド性に優れると共にコントラストが大きく鮮明な画像を快適に鑑賞し得るディスプレイを実現すると記載されている。

また、特許文献２：特開２００２−２９９８８２号公報には、電磁波シールドメッシュの光透過性、視認性を確保しつつ電磁波シールド性を向上させるべく、金属箔メッシュ単体の周縁に設けられたアース部の少なくとも一部を除いた部分にのみ黒色化処理を施す技術が記載されている。

特開２００５−２８６３２６号公報 特開２００２−２９９８８２号公報

しかし、近年のディスプレイの高付加価値化（大型化、薄型化等）を背景に、外観や耐久性についても更なる改善が求められていた。つまり、光透過性、視認性、電磁波シールド性といった電磁波シールドメッシュの本来的な特性に加え、外観や耐久性についても優れた電磁波シールドメッシュの開発が、ディスプレイメーカーやユーザーから望まれていた。

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、光透過性、視認性、電磁波シールド性を両立するのみならず、外観や耐久性についても優れた電磁波シールドメッシュ、かかる電磁波シールドメッシュを構成部材として有する電磁波シールド性光透過窓材、更には、電磁波シールドメッシュの製造方法を提供することを目的とする。

本発明者は、上記目的を達成するため鋭意検討を重ねた結果、シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュと、この導電性メッシュの少なくとも表面側において前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜とを含むと共に、前記導電性メッシュのシート周縁部のうち少なくとも一部に前記黒化処理皮膜が積層されない導電性骨格露出部が形成された電磁波シールドメッシュを形成するに際して、
前記黒化処理皮膜の膜厚を比較的薄い一定範囲の膜厚とすることにより、外観及び耐久性に優れる黒化処理皮膜を実現し得、ひいては光透過性、視認性、電磁波シールド性を損なうことなく外観及び耐久性までをも両立する電磁波シールドメッシュを実現し得ることを知見し、本発明をなすに至った。

即ち、本発明は、以下の電磁波シールドメッシュ、電磁波シールド性光透過窓材、及び電磁波シールドメッシュの製造方法を提供する。
請求項１：
シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュと、この導電性メッシュの少なくとも表面側において前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜と、を含むと共に、前記導電性メッシュのシート周縁部のうち少なくとも一部に前記黒化処理皮膜が積層されない導電性骨格露出部を備え、かつ前記黒化処理皮膜の膜厚が０．００１〜３０μｍであることを特徴とする電磁波シールドメッシュ。
請求項２：
前記導電性メッシュが、基材シート上に積層されてなる請求項１記載の電磁波シールドメッシュ。
請求項３：
前記黒化処理皮膜が、前記導電性メッシュの骨格表面を酸化又は硫化して得られる皮膜である請求項１又は２記載の電磁波シールドメッシュ。
請求項４：
請求項１〜３のいずれかに記載の電磁波シールドメッシュを構成部材として含む電磁波シールド性光透過窓材。
請求項５：
シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュと、この導電性メッシュの少なくとも表面側において前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜と、を含むと共に、前記導電性メッシュのシート周縁部のうち少なくとも一部に前記黒化処理皮膜が積層されない導電性骨格露出部を備える電磁波シールドメッシュの製造方法であって、
前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように膜厚０．００１〜３０μｍの黒化処理皮膜を形成する黒化処理皮膜形成工程と、この黒化処理皮膜形成工程により得られる黒化処理皮膜が被覆された導電性メッシュのシート周縁部の少なくとも一部において前記黒化処理皮膜を除去して導電性メッシュの骨格表面を露出させる導電性骨格露出工程と、を含むことを特徴とする電磁波シールドメッシュの製造方法。
請求項６：
前記導電性メッシュが、基材シート上に積層されてなる請求項５記載の製造方法。
請求項７：
前記黒化処理皮膜が、前記導電性メッシュの骨格表面を酸化又は硫化して得られる皮膜である請求項５又は６記載の製造方法。

本発明によれば、光透過性、視認性、電磁波シールド性を両立するのみならず、外観や耐久性についても優れた電磁波シールドメッシュ、かかる電磁波シールドメッシュを構成部材として有する電磁波シールド性光透過窓材、更には、電磁波シールドメッシュの製造方法が提供される。

以下、本発明を更に詳しく説明する。図１（ａ）は、本発明の電磁波シールドメッシュ１の一例を示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）におけるＸ−Ｘ断面図である。電磁波シールドメッシュ１は、シート形状を有しかつシートの表裏面を貫通する開口を有する導電性メッシュ２と、この導電性メッシュ２の表裏面において前記開口を閉塞することなく導電性メッシュ２の骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜３とを含むと共に、導電性メッシュ２のシート周縁部４には、黒化処理皮膜３が被覆されない導電性骨格露出部２１がその全周にわたって一定幅で備えられている。

本発明において、前記導電性メッシュの骨格の形状に特に制限は無く、また、かかる導電性メッシュの骨格は導電性素材のみから形成されたものであってもよいし、何らかの芯材に導電性素材を被覆して形成されたものであってもよい。これらは適宜、複合して用いることも可能である。

前記導電性素材としては、例えば銅、ステンレス、アルミニウム、ニッケル、チタン、タングステン、錫、鉛、鉄、銀、クロム、炭素、又はこれらの合金を挙げることができる。これらは１種を単独で、或いは２種以上を併用してもよい。
中でも、銅、アルミニウム、銀を用いると、黒化処理皮膜を金属表面の酸化処理にて形成した場合において、黒化処理皮膜が基材金属に対して適度な密着性を有する一方、メッシュシートの端縁部において皮膜の除去が比較的容易となるため好適である。
なお、前記芯材としては、ポリエステル、ナイロン、塩化ビニリデン、アラミド、ビニロン、セルロース等の有機繊維；炭素繊維、金属繊維、ガラス繊維、セラミック繊維等の無機繊維；を挙げることができる。

前記導電性メッシュの骨格が繊維形状を有する場合、その繊維径としては通常１μｍ〜１ｍｍ、好ましくは１０〜５００μｍである。繊維径が大きすぎるとモアレが発生し易くなる場合があり、一方、小さすぎると導電性メッシュの取扱い性に劣る場合がある。

前記導電性メッシュの開口率としては、通常４０〜９５％、好ましくは５０〜９０％である。開口率が大きすぎると導電性メッシュの形状を維持するのが困難な場合があり、一方、小さすぎると光透過性の確保が困難となる場合がある。
なお、本発明において「導電性メッシュの開口率」とは、当該導電性メッシュの投影面積における開口部分が占める面積割合をいう。

前記導電性メッシュの製造方法としては、シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュを形成可能な製造方法であれば、本発明の目的を損なわない範囲でいずれの製造方法も採用し得るが、例えば、以下の（ｉ）〜（ｉｉｉ）等の手法を採用することができる。

（ｉ）導電性メッシュの骨格が繊維形状を有する場合には、導電性繊維を編み込む方法。編み方については特に限定されず、本発明の目的を損なわない範囲で適宜なものを選択可能である。編み込まれた導電性メッシュは二次元網状骨格構造を有していても良いし、三次元網状骨格構造を有していてもよい。

（ｉｉ）金属膜をフォトリソグラフィーの手法で格子状やパンチングメタル状などの任意の形状にエッチング加工する方法。この金属膜としては、例えば基材フィルム上に、銅、アルミニウム、ステンレス、クロム等の金属膜を、蒸着やスパッタリングにより形成したもの、又はこれらの金属の箔を接着剤によって基材フィルムに貼り合わせたものを用いることができる。この接着剤としては、エポキシ系、ウレタン系、ＥＶＡ系などが好ましい。なお、基材フィルムが存在するとハンドリング性が向上し、連続加工も容易になり、また平滑性が向上するため好適である。

ここで、前記基材フィルムの素材としては、特に限定されるものではないが、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）といったポリエステル系樹脂；ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリメチルアクリレート（ＰＭＡ）といったアクリル系樹脂；ポリカーボネート（ＰＣ）；ポリスチレン（ＰＳ）；セルローストリアセテート、セロファンといったセルロース系樹脂；ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリ塩化ビニリデン（ＰＶｄＣ）といったビニル系樹脂；ポリエチレン（ＰＥ）、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）といったエチレン系樹脂；ポリウレタン（ＰＵ）；等を挙げることができる。
また、基材フィルムの厚みとしては通常１μｍ〜１ｍｍ、好ましくは１０〜１００μｍである。

（ｉｉｉ）基材フィルム上に、溶剤に対して可溶な物質によってドットを形成し、溶剤に対して不溶な導電材料よりなる導電材料層を全面に積層した後、溶剤で洗浄してドット及びドット上の導電材料層を除去することにより、導電性材料よりなる格子状（前記ドット間の隙間部分。平面視メッシュ形状。）の導電性材料層を残留させる方法。
なお、基材フィルムとしては前記基材フィルムを同様に用いることができる。

なお、前記（ｉ）〜（ｉｉｉ）の手法を採用した後、乃至、導電性の有無によらずシート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する２次元又は３次元網状骨格構造を有するメッシュを形成した後、更に、メッキ層を積層することで導電性メッシュを製造することも可能である。このようなメッキ処理に使用される材料としては、銅、ニッケル、クロム、亜鉛、錫、銀、及び金を挙げることができる。これらは単独で使用しても、２種以上の合金として使用しても良い。メッキ処理としては、通常の液相メッキ（電解メッキ、無電解メッキ等）処理を用いることができる。

本発明において、前記導電性メッシュの骨格上には黒化処理皮膜が積層される。このような黒化処理皮膜の形成方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、以下の（ｉｖ）〜（ｖｉ）等の手法を採用することができる。

（ｉｖ）前記導電性メッシュの骨格を構成する導電性素材表面が金属にて形成されている場合には、当該金属表面を酸化又は硫化処理することにより、導電性骨格の表面を黒色化すること（黒化処理皮膜を形成すること）ができる。
酸化処理を行なう際に用いる処理液としては、例えば次亜塩素酸塩と水酸化ナトリウムの混合水溶液、亜塩素酸ナトリウム水溶液、亜塩素酸塩と水酸化ナトリウムの混合水溶液、ペルオキソ二硫酸と水酸化ナトリウムの混合水溶液などを使用することが可能であり、特に経済性の観点から、次亜塩素酸塩と水酸化ナトリウムの混合水溶液、又は亜塩素酸塩と水酸化ナトリウムの混合水溶液を使用することが好ましい。
また、硫化処理を行なう際に用いる処理液としては、多硫化アンチモンを含む水溶液、過硫酸カリウム及び水酸化ナトリウムを含む混合水溶液等を使用することができる。

（ｖ）クロム合金などにより黒色メッキする方法。
（ｖｉ）黒、又は暗色系塗料を塗布する方法。
なお、（ｖ），（ｖｉ）の方法を用いる場合には、導電性メッシュの骨格とメッキ層又は塗料層との間に、中間層（プライマー層など）を介在させることも可能である。

本発明において、黒化処理皮膜の厚みは０．００１〜３０μｍ、好ましくは０．００２〜１０μｍ、より好ましくは０．００５〜２μｍである。
本発明において採用される黒化処理皮膜の膜厚は、従来の電磁波シールドメッシュに通常採用される膜厚に比して薄いものである。そして、本発明においてはこのような薄膜の膜厚が採用されることにより、外観良好で導電性メッシュへの密着性に優れる黒化処理皮膜が形成される。黒化処理皮膜の厚みが大き過ぎると皮膜外観に劣る傾向となるのみならず、黒化処理皮膜が脆く割れ易い傾向となるため長期に亘って導電性メッシュに十分な防眩効果を付与することができない。
なお、膜厚が厚すぎて黒化処理皮膜が脆くなると、黒化処理皮膜の除去自体も困難になる傾向となる。従って、膜厚が厚すぎることは製造プロセスの観点からも好ましくない。

本発明の電磁波シールドメッシュは、導電性メッシュのシート周縁部のうち少なくとも一部に、前記黒化処理皮膜が積層されない導電性骨格露出部を備えるものである。このような導電性骨格露出部の形成方法としては、黒化処理皮膜を形成（黒化処理皮膜形成工程）した後に導電性メッシュのシート周縁部の少なくとも一部において黒化処理皮膜を除去する（導電性骨格露出工程）方法が簡便性、乃至従来工程を流用可能な点で好適である。
図２は、基材フィルム５上に導電性メッシュ２を積層形成後（図２（ａ））、上述した酸化処理により黒化処理皮膜３を形成し（図２（ｂ））、導電性メッシュのシート周縁部４において黒化処理皮膜３を削りとって除去して導電性骨格露出部２１を形成する（図２（ｃ））様子を示す図である。

黒化処理皮膜を除去する方法としては、以下の（Ｉ）〜（ＩＩＩ）等の手法を適宜採用することができる。なお、除去する幅（導電性メッシュのシート周縁部において黒化処理皮膜が被覆されない幅）としては、通常１〜５０ｍｍ、好ましくは３〜３０ｍｍである。

（Ｉ）研磨除去する方法。
ブラシや、表面に凹凸のある研磨材（サンドペーパー等）等を用いて研磨することにより黒化処理皮膜を除去する方法。ローラー表面にサンドペーパー等を巻き付け、導電性メッシュのシート周縁部上を転がすことでも研磨効果が実現される。前記凹凸の形状に特に制限はなく、粒状物の付着により形成される形状や、トゲ形状を適宜採用し得る。

（ＩＩ）粘着剤を用いて剥離除去する方法。
粘着剤が基材上に積層されたいわゆる粘着テープ等を導電性メッシュのシート周縁部上に貼り付け剥がすことにより、黒化処理皮膜を除去する方法。ローラー表面に粘着テープ等を巻き付け、導電性メッシュのシート周縁部上を転がすことも好適である。

（ＩＩＩ）揮発除去する方法。
ＹＡＧレーザー等を用いて黒化処理皮膜を揮発除去する方法。

なお、黒化処理皮膜が形成された導電性メッシュの骨格から黒化処理皮膜を後工程で除去することについては、従来、当業者が採用することのなかった工程である。黒化処理皮膜の電気抵抗について問題視されていなかったためであるし、また、製造コストの観点のみならず、黒化処理皮膜に手で触れることは黒化処理皮膜の劣化につながることから、なるべく製造工程を簡略化することが重視されていたためである。

前記（Ｉ）〜（ＩＩＩ）の方法を採用するに際しては、黒化処理皮膜が形成された電磁波シールドメッシュに不必要に触れて電磁波シールドメッシュの性能を低下させることのないよう、黒化処理皮膜が形成された導電性メッシュを作業台上に固定することが好適である。固定方法としては、通気孔を有する作業台上に黒化処理皮膜が形成された導電性メッシュを載置し、作業台の裏面側を減圧にすることで黒化処理皮膜が形成された導電性メッシュを作業台上に密着固定させる方法や、作業台に載置した黒化処理皮膜が形成された導電性メッシュの周囲部に相当する位置に係止突起を設け、黒化処理皮膜が形成された導電性メッシュの位置がずれることを防止する方法を採用し得る。

本発明の電磁波シールド性光透過窓材は、その構成部材として上述した電磁波シールドメッシュを含むものである。前記電磁波シールドメッシュと組み合わせる部材に特に制限は無いが、そのような部材としては反射防止材、近赤外線吸収材、色調調整材、紫外線吸収材、衝撃吸収材などを挙げることができる。

以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記実施例に制限されるものではない。

〔実施例１〕
ポリビニルアルコール樹脂（分子量３０００）と硫酸バリウムとの混合物（質量比 ポリビニルアルコール樹脂：硫酸バリウム＝２：１）を、水とメタノールの混合溶液（質量比 水：メタノール＝１：４）に溶解して、固形分量３０ｗｔ％のポリビニルアルコール溶液を調製した。この溶液をインクとして用いて、ＰＥＴフィルム（長さ１０００ｍｍ、幅７８０ｍｍ、厚さ２５０μｍ）に、グラビア印刷により正方形のドットを印刷した。これを乾燥後に銅を真空蒸着して、厚さ１０００Åの銅層を得た。次いで、常温の水でドット部分を溶解除去し、水洗の後に乾燥して、メッシュ状の銅層（第１金属導電層）が形成された透明フィルムを得た。
なお、前記ドットは、１個の大きさが１辺２３４μｍの正方形状で、ドット同士の間隔が２０μｍであり、ドットの配列は正方格子状であり、ドットの印刷厚みは乾燥後に約２μｍであった。これを正確に反映して、メッシュ状の金属導電層はドットのネガパターンに対応した正方格子状のものであり、線幅は２０μｍ、開口率は７７％（面積比）であった。

次に、メッシュ状の銅層（第１金属導電層）が形成された透明フィルムに対して、下記組成のメッキ浴中で金属銅を陽極電極として電気メッキを行った。

メッキ浴組成
硫酸銅（五水和物）：２００ｇ／Ｌ
硫酸 ：５０ｇ／Ｌ
塩酸 ：２０ｇ／Ｌ
添加剤 ：ｐＨ調整剤
溶媒 ：水
メッキ条件
浴温 ：約３０℃
時間 ：１０分間
陰極電流密度 ：３〜４Ａ／ｄｍ²（陰極全体に対して２０Ａ）

この電気メッキ処理により、メッシュ状の銅層（第１金属導電層）の表面に平均厚さ４μｍの銅層（第２金属導電層）が析出した。

次に、前記で得られたメッシュ状の金属導電層（第１金属導電層及び第２金属導電層）が形成された透明フィルムに対して、下記組成の黒化処理液中で黒化処理を行った。

黒化処理液組成
亜塩素酸ナトリウム：１０質量％
水酸化ナトリウム ：４質量％
溶媒 ：水
黒化処理条件
浴温 ：約６０℃
時間 ：５分間

この黒化処理により、メッシュ状の金属導電層の表面が黒化処理された透明フィルムを得た。得られた電磁波シールドメッシュ表面の黒化皮膜の厚みは平均約１．５μｍであった。

更に、前記電磁波シールドメッシュのシート周縁部を１５ｍｍの幅で、サンドペーパー（＃１００）を用いて研磨することにより、シート表面側の周縁全周にわたって黒化処理皮膜が被覆されない導電性骨格露出部を備える電磁波シールドメッシュを得た。
得られた電磁波シールドメッシュについて各種特性を評価した。結果を下表１に記載した。

〔実施例２〕
黒化処理の条件を６０℃×３分間とし、黒化処理皮膜の膜厚を０．８μｍとした以外は、実施例１と同様にして電磁波シールドメッシュを得た。
得られた電磁波シールドメッシュについて各種特性を評価した。結果を下表１に記載した。

〔参考例１〕
下表１における参考例１は、電磁波シールドメッシュを用いない場合の基準データを示すものである。

電磁波シールド性能
ＶＣＣＩの３ｍ法で評価した。電波暗室において、ＰＤＰ本体にＤＶＤによる映像を表示した状態で放射される電界強度を測定した。表中の値は、各周波数帯において測定された電界強度の値である。
防眩性能
以下の基準で、目視で評価した。
○：眩しさを感じない。
△：眩しさをやや感じた。

本発明の電磁波シールドメッシュの一例を示す平面図である。 基材フィルム上に導電性メッシュを積層形成後、酸化処理により黒化処理皮膜を形成し、導電性メッシュのシート周縁部において黒化処理皮膜を削り取って除去して導電性骨格露出部を形成する様子を示す図である。

符号の説明

１ 電磁波シールドメッシュ
２ 導電性メッシュ
２１ 導電性骨格露出部
３ 黒化処理皮膜
４ シート周縁部
５ 基材フィルム

Claims (7)

1. シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュと、この導電性メッシュの少なくとも表面側において前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜と、を含むと共に、前記導電性メッシュのシート周縁部のうち少なくとも一部に前記黒化処理皮膜が積層されない導電性骨格露出部を備え、かつ前記黒化処理皮膜の膜厚が０．００１〜３０μｍであることを特徴とする電磁波シールドメッシュ。
2. 前記導電性メッシュが、基材シート上に積層されてなる請求項１記載の電磁波シールドメッシュ。
3. 前記黒化処理皮膜が、前記導電性メッシュの骨格表面を酸化又は硫化して得られる皮膜である請求項１又は２記載の電磁波シールドメッシュ。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の電磁波シールドメッシュを構成部材として含む電磁波シールド性光透過窓材。
5. シート形状を有しかつシートの表裏面を連通する開口を有する導電性メッシュと、この導電性メッシュの少なくとも表面側において前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように形成された黒化処理皮膜と、を含むと共に、前記導電性メッシュのシート周縁部のうち少なくとも一部に前記黒化処理皮膜が積層されない導電性骨格露出部を備える電磁波シールドメッシュの製造方法であって、
   前記開口を閉塞することなく前記導電性メッシュの骨格を被覆するように膜厚０．００１〜３０μｍの黒化処理皮膜を形成する黒化処理皮膜形成工程と、この黒化処理皮膜形成工程により得られる黒化処理皮膜が被覆された導電性メッシュのシート周縁部の少なくとも一部において前記黒化処理皮膜を除去して導電性メッシュの骨格表面を露出させる導電性骨格露出工程と、を含むことを特徴とする電磁波シールドメッシュの製造方法。
6. 前記導電性メッシュが、基材シート上に積層されてなる請求項５記載の製造方法。
7. 前記黒化処理皮膜が、前記導電性メッシュの骨格表面を酸化又は硫化して得られる皮膜である請求項５又は６記載の製造方法。
   

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