JP2007173534A - 発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】化合物半導体から成る発光層を有し、主たる光取り出し面に第1電極と第2電極とが形成されており、電極形成面とは反対側に透明基板が接合されている発光ダイオードであって、光取り出し面の面積(A)、発光層の面積(B)、発光ダイオードの裏面の面積(C)がA>C>Bの関係にある。
【選択図】図2
Description
透明基板型でAlGaInP発光層を用いる、光取り出し面に2つの電極を形成する素子の構造は、形状が複雑であり、側面状態、発光層および素子の裏面の最適化ができておらず、高輝度で、十分な放熱特性が得られていない問題点がある。
発光ダイオードの側面形状が光取り出しに関係することは、従来技術からも明らかであるが、発光面が上部にある構造では、側面形状の効果を顕著にするため傾斜角度を増すと裏面の面積が小さくなり、放熱性が低下し、高電流域の輝度特性が低下する。また、放熱性を向上のため、発光層を小さくし、裏面の面積を大きくする場合は、高価な発光層に対してロスが大きく、コスト面で問題がある。また、発光層を裏面の近くにした場合、片面に2電極を有する構造では、通常のワイヤボンディング工程での組立てができない。
本発明者は、裏面の構造および面積、発光層の面積、側面形状および裏面の粗面化が重要であることを発見し、最適な素子構造および安定した製造方法を見出し本発明に至った。即ち、本発明は以下の各発明からなる。
A>C>B ・・・(1)
(2)前記発光層は、組成式(AlXGa1-X)YIn1-YP(0≦X≦1,0<Y≦1)から成り、透明基板の熱伝導率は、100W/m・K以上であることを特徴とする上記(1)に記載の発光ダイオード。
(3)前記側面は、発光層に近い第1の側面と裏面に近い第2の側面を有し、第1の側面の傾斜角度は第2の側面の傾斜角度より小さいことを特徴とする上記(1)または(2)に記載の発光ダイオード。
(4)第1の側面が垂直であり、第2の側面が傾斜していることを特徴とする上(3)に記載の発光ダイオード。
(6)第2の側面の傾斜角は、10度以上20度以下であることを特徴とする上記(1)〜(5)のいずれかに記載の発光ダイオード
(7)前記第1の側面の長さは50μm以上、100μm以下で、第2の側面の長さは、100μm以上、250μm以下あることを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の発光ダイオード。
(8)透明基板は、リン化ガリウム(GaP)であることを特徴とする上記(1)〜(7)のいずれかに記載の発光ダイオード。
(9)透明基板は、炭化ケイ素(SiC)であることを特徴とする上記(1)〜(7)のいずれかに記載の発光ダイオード。
(11)前記透明基板の裏面に金属膜が形成されていることを特徴とする上記(1)〜(10)のいずれかに記載の発光ダイオード。
(12)前記透明基板の裏面の金属膜は、融点400℃以下の金属を含むことを特徴とする上記(11)に記載の発光ダイオード。
(13)前記金属膜は、AuSn合金であることを特徴とする上記(11)〜(12)に記載の発光ダイオード。
(14)発光ダイオードの裏面の面積は、0.6mm2以上であり、1.5W以上の電力で使用することを特徴とする上記(1)〜(13)のいずれかに記載の発光ダイオード。
(15)前記裏面は、GaP基板を塩酸で処理したものであることを特徴する上記(8)、(10)〜(14)のいずれかに記載の発光ダイオード。
(16)透明基板の側面はダイシング法で形成されたものであることを特徴とする上記(1)〜(15)のいずれかに記載の発光ダイオード。
本発明の発光ダイオードは化合物半導体の発光層を含む。通常は発光層以外にクラッド層、コンタクト層などが積層され、これらで発光部が形成されている。これらは図3に示すように基板上にエピタキシャル法で積層される。発光層は、ダブルヘテロ構造や、多重量子井戸構造など、公知の構造を利用できる。
発光層は、GaAlAs系、InGaN系、AlInGaP系などの公知の発光層を適用できるが、特にエピタキシャル層の薄いInGaN系、AlInGaP系が、作製しやすい。これらの発光部は紫外から赤外の広い波長に対して有効である。
電極は図2に示すように光取り出し面に第1電極(例えばn型)とこれとは極性の異なる第2電極(例えばp型)の両方とも形成されている。いずれもワイヤーボンディングができる構造である。
本発明の発光ダイオードは光取り出し面とは反対側に透明基板を有する、所謂透明基板型発光ダイオードである。透明基板は、GaP、SiC、酸化亜鉛、サファイア、アルミナ、GaNなど、発光波長に対して透明な材料が適用できる。
これらの中でGaP、SiCが好ましい。GaPの熱伝導率は、110W/m・Kである。単結晶が量産されており、加工性にも優れている。GaPの主面は、(111)面、(100)面など、一般的な面方位が使用できるが、粗面化しやすい(111)面の方が望ましい。SiCは熱伝導率が167W/m・Kである。単結晶が量産されている。加工しにくい面があるが、放熱面では、最適な材料である。
この透明基板は図4の符号14で示すように半導体層135の上に接合されている。
高輝度化するため、側面を傾斜面にした状態で、発光層、光取り出し面の面積を最大にする。発光層は、光取り出し面の近くにあり、発光層で発熱した熱を光取り出し面の大きな面積Aに拡散させて、発光層の熱を逃がし、その熱を素子の中をスムーズに伝導して、放熱面である裏面に放熱する。
0.95×A>C>0.6×A
0.9×A>B>0.7×A
C>B>0.8×C
∴A>C>B
発光ダイオードの裏面の面積は、0.6mm2以上であることが好ましい。放熱性が最も要求されるのは、0.5W以上で、更に、1.5W以上の大電力で使用するサイズ大きな発光ダイオードである。チップサイズ0.4mm2以上の用途に、効果が大きく、更に、0.7mm2以上の用途で顕著な効果がある。
本発明の発光ダイオードの他の特徴はその側面、通常は透明基板の側面の少なくとも一つが傾斜していることである。透明基板は図2、図5に示すように第1の側面21と第2の側面22を有することが好ましい。そして第1の側面の傾斜角度は第2の側面の傾斜角度より小さい。この場合第1の側面の傾斜角度はゼロ、即ち透明基板に対して垂直が好ましい。傾斜角度は透明基板の垂線に対する傾斜角(図の20)で表す。第2の側面の傾斜角度は10度以上30度以下の範囲が好ましく、さらに好ましくは10度以上20度以下である。第2の側面の角度は、一定でも、複数の角度でも、傾斜曲面でも良い。複数の場合はその角度は平均で表し、曲面の場合は、曲面の始点と終点を結んだ線との角度で表す。
発光ダイオードの側面を傾斜させることにより、光の取り出し効率を上げることは先の文献に示すように公知である。
本発明において、上記のように第1の側面21と第2の側面22を有するように構成し、また第1の側面の傾斜角度は第2の側面の傾斜角度より小さくすることにより、発光層近くの面積を大きくし放熱を促進し、第2の側面で輝度を高める効果がある。
側面の長さについては、第1の側面の長さ(L)は50μm以上、100μm以下で、第2の側面の長さ(L)は、100μm以上、250μm以下あることが好ましい。そしてM/Lは、0.5から5の範囲が好ましい。
発光ダイオードの透明基板の裏面は、光が散乱する粗面とすることができる。発光ダイオードの裏面は、組み立てられるパッケージと接続される面である。接続面は、輝度を高めるため、反射率の高い、Agペーストで接着したり、透明接着剤で、銀、アルミなどの反射率の高い金属上に固定されるのが一般的である。裏面で、光を散乱させることにより、側面や上面から取り出しにくい入射角の光も散乱され、光取り出しが可能な反射角になり、輝度の向上に貢献する。また、放熱面でも、表面積が大きくなりパッケージ側へ熱が逃げやすくなる効果もある。
上記の金属膜としてはAuSn合金であることが好ましい。AuSnは、共晶金属として広く用いられており、共晶点のSn20wt%の融点は、約283℃であるため、低温で接合できる最適な材料である。
その他の発光ダイオード製造方法は、公知の発光ダイオードの製造技術を利用でき、オーミック電極形成、分離、検査・評価工程を経て発光ダイオードを製造する。更に、発光ダイオードをパッケージに組込み発光ダイオード(ランプ)を製造できる。
図1および図2は、本実施例で作製した半導体発光ダイオードを示した図で、図1はその平面図、図2は図1のI−I線に沿った断面図である。図3は、半導体発光ダイオードに用いられる半導体エピタキシャルウェーハの層構造の断面図である。
本実施例で作製した半導体発光ダイオード10は、AlGaInP発光部を有する赤色発光ダイオード(LED)である。
本実施例1では、GaAs基板上に設けたエピタキシャル積層構造体(エピウェーハ)とGaP基板とを接合させて発光ダイオードを作製する場合を例にして、本発明を具体的に説明する。
p型GaP層135は、表面から約1μmの深さに至る領域を研磨し、鏡面加工した。鏡面加工に依り、p型GaP層135の表面の粗さを0.18nmとした。
上記のGaP基板14及びエピタキシャルウェーハを搬入し、3×10-5Paまで装置内を真空に排気した。その後、表面の汚染を除去するためにGaP基板14およびエピウェーハ表面に加速されたArビームを表面に照射し、接合前の処理を行った。その後、真空中で、両者を室温で接合した。
コンタクト層131の表面に第1のオーミック電極15として、AuGe、Ni合金を厚さが0.2μmとなるように真空蒸着法によりn形オーミック電極を形成した。一般的なフォトリソグラフィー手段を利用してパターニングを施し、電極15を形成した。その後、電極形成部以外のコンタクト層を除去した。
次に、p電極を形成する領域の発光層を含むエピ層131〜134を選択的に除去し、GaP層135を露出させた。GaP層の表面にAuBeを0.2μm、Auを1μmとなるように真空蒸着法でp形オーミック電極16を形成した。この時、発光層の面積は、0.72mm2であった。
450℃で10分間熱処理を行い、合金化し低抵抗のp型およびn型オーミック電極を形成した。
次に、ダイシングソーを用いて、GaP基板14の裏面から、傾斜面の角度20が15度となるように、第2の側面の長さが、約180μmとなるようにV字状の溝入れを行った。塩酸で、粗面化処理を実施した。
ダイシングによる破砕層および汚れを硫酸・過酸化水素混合液で除去し、半導体発光ダイオード(チップ)10を作製した。チップ裏面の面積は、0.8mm2であった。
上記の様にして作製したLEDチップ10を、図8及び図9に模式的に示す如く発光ダイオードランプ42に組み立てた。このLEDランプ42は、マウント用基板45に銀(Ag)ペーストで固定、支持(マウント)し、LEDチップ10のn型オーミック電極15とマウント基板45の表面に設けたn電極端子43とを、また、p型オーミック電極16とp電極端子44とを金線46で、ワイヤボンディングした後、一般的なエポキシ樹脂41で封止して作製した。
(実施例2)
実施例1と同様な工程で、側面形状を変更した。第1側面は、ほぼ垂直で長さ10μm、第2の側面は、角度30度、長さは、300μmとした。裏面の面積は、0.5mm2となった。発光層は、実施例と同じ、0.72mm2であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。順方向に500ミリアンペア(mA)の電流を通流した際の順方向電圧(Vf)は、2.4Vであった。発光強度は、裏面の面積が小さく、放熱不足のため3290mcdの輝度にとどまった。
実施例1と同様の工程で、傾斜面のない直方体の発光ダイオードを作製した。
裏面の面積は、0.9mm2となった。発光層は、実施例と同じ、0.72mm2であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。順方向に500ミリアンペア(mA)の電流を通流した際の順方向電圧(Vf)は、2.4Vであった。発光強度は、傾斜面がないため光取り出し効率がやや低く、4270mcdの輝度にとどまった。
11 半導体基板(GaAs)
12 発光部
13 エピタキシャル成長層
130 エッチングストップ層
131 コンタクト層
132 下部クラッド層
133 発光層
134 上部クラッド層
135 GaP層
141 接合界面
14 GaP基板
15 第1の電極(n型オーミック)
16 第2の電極(p型オーミック)
20 傾斜角
21 第1の側面
22 第2の側面
23 裏面
24 金属層(AuSn)
41 エポキシ樹脂
42 発光ダイオード
43 第1の電極端子
44 第2の電極端子
45 絶縁性基板(AlN)
46 金ワイヤー
Claims (16)
- 化合物半導体から成る発光層を有する透明基板型の発光ダイオードにおいて、第1電極と第1電極とは極性の異なる第2電極とを形成された、光取り出し面の面積(A)に形成された発光層の面積(B)、発光ダイオード裏面の面積(C)の関係が(1)式の関係を満足することを特徴とする発光ダイオード。
A>C>B ・・・(1) - 前記発光層は、組成式(AlXGa1-X)YIn1-YP(0≦X≦1,0<Y≦1)から成り、透明基板の熱伝導率は、100W/m・K以上であることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- 前記側面は、発光層に近い第1の側面と裏面に近い第2の側面を有し、第1の側面の傾斜角度は第2の側面の傾斜角度より小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の発光ダイオード。
- 第1の側面が垂直であり、第2の側面が傾斜していることを特徴とする請求項3に記載の発光ダイオード。
- 第2の側面の傾斜角は、10度以上30度以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の発光ダイオード。
- 第2の側面の傾斜角は、10度以上20度以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の発光ダイオード
- 前記第1の側面の長さは50μm以上、100μm以下で、第2の側面の長さは、100μm以上、250μm以下あることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の発光ダイオード。
- 透明基板は、リン化ガリウム(GaP)であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の発光ダイオード
- 透明基板は、炭化ケイ素(SiC)であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の発光ダイオード
- 前記透明基板の裏面は、光が散乱する粗面であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の発光ダイオード
- 前記透明基板の裏面に金属膜が形成されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の発光ダイオード
- 前記透明基板の裏面の金属膜は、融点400℃以下の金属を含むことを特徴とする請求項11に記載の発光ダイオード
- 前記金属膜は、AuSn合金であることを特徴とする請求項11又は12に記載の発光ダイオード。
- 発光ダイオードの裏面の面積は、0.6mm2以上であり、1.5W以上の電力で使用することを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の発光ダイオード。
- 前記裏面は、GaP基板を塩酸で処理したものであることを特徴する請求項8、10乃至14のいずれかに記載の発光ダイオード。
- 透明基板の側面はダイシング法で形成されたものであることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の発光ダイオード。
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