JP2007171929A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2007171929A5
JP2007171929A5 JP2006287054A JP2006287054A JP2007171929A5 JP 2007171929 A5 JP2007171929 A5 JP 2007171929A5 JP 2006287054 A JP2006287054 A JP 2006287054A JP 2006287054 A JP2006287054 A JP 2006287054A JP 2007171929 A5 JP2007171929 A5 JP 2007171929A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oscillator device
elastic support
support portion
temperature
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2006287054A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2007171929A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2006287054A priority Critical patent/JP2007171929A/ja
Priority claimed from JP2006287054A external-priority patent/JP2007171929A/ja
Publication of JP2007171929A publication Critical patent/JP2007171929A/ja
Publication of JP2007171929A5 publication Critical patent/JP2007171929A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

JP2006287054A 2005-11-22 2006-10-23 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器 Withdrawn JP2007171929A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006287054A JP2007171929A (ja) 2005-11-22 2006-10-23 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005337074 2005-11-22
JP2006287054A JP2007171929A (ja) 2005-11-22 2006-10-23 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007171929A JP2007171929A (ja) 2007-07-05
JP2007171929A5 true JP2007171929A5 (cg-RX-API-DMAC10.html) 2009-12-17

Family

ID=38298506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006287054A Withdrawn JP2007171929A (ja) 2005-11-22 2006-10-23 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007171929A (cg-RX-API-DMAC10.html)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4968932B2 (ja) * 2007-08-29 2012-07-04 キヤノン株式会社 光偏向装置及び光学走査装置
JP5451047B2 (ja) * 2007-12-21 2014-03-26 キヤノン株式会社 光学走査装置
US8520282B2 (en) 2007-12-21 2013-08-27 Canon Kabushiki Kaisha Optical scanning apparatus configured to deflect and scan laser beam by using MEMS mirror
JP5322844B2 (ja) * 2009-08-19 2013-10-23 日本信号株式会社 プレーナ型アクチュエータ
CN103518154A (zh) * 2011-04-26 2014-01-15 丰田自动车株式会社 反射镜装置
JP6224432B2 (ja) * 2013-11-19 2017-11-01 キヤノン電子株式会社 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置
WO2023021777A1 (ja) * 2021-08-19 2023-02-23 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 駆動素子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005208578A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP2006243251A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP5624475B2 (ja) 画像表示装置
KR101088501B1 (ko) 성능개선된 ｍｅｍｓ 스캐닝 시스템
JP5441309B2 (ja) 揺動体装置、及び光偏向装置
JP5536672B2 (ja) 画像投影用振動ミラーを用いる装置及び方法
KR100742882B1 (ko) 광편향기
US20090185251A1 (en) Oscillating mirror for image projection
US20050078169A1 (en) Apparatus and methods for adjusting the rotational frequency of a scanning device
JP6015564B2 (ja) 光走査装置
JP5549459B2 (ja) 画像表示装置
JP2009545146A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP5769941B2 (ja) アクチュエータの駆動装置
WO2012115264A1 (ja) 光走査装置
EP2924485B1 (en) Optical deflection device, and image display device
JP2009031642A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP2011013621A (ja) 光偏向器、画像形成装置及び画像投影装置
JP4392410B2 (ja) 電磁力駆動スキャニングマイクロミラー及びこれを使用した光スキャニング装置
JP2007155984A5 (cg-RX-API-DMAC10.html)
JP5312302B2 (ja) 光走査装置
JP2009198702A (ja) 揺動構造体、及び揺動構造体を用いた揺動体装置
CN201159795Y (zh) 具有两个反射表面的扭转铰接镜结构
JP2011125110A (ja) プレーナ型アクチュエータ
JP2015099270A (ja) 振動装置、光走査装置、それを用いた画像形成装置および映像投射装置
JP2016114715A (ja) 振動素子、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置および画像読み取り装置