JP2007168097A - インクジェットヘッド製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】効率的なヘッドベースの生産が可能なインクジェットヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド製造方法は、第1のグリーンシート41と第2のグリーンシート42との一方にインクの供給口31となる第1の溝部44を形成し、第2のグリーンシート42に対して第1のグリーンシート41を積層する。第2のグリーンシート42と第3のグリーンシート43の少なくとも一方にインクの回収口32となる第2の溝部45を形成する。第2のグリーンシート42に対して第3のグリーンシート43を積層する。積層された第1から第3のグリーンシート41〜43を焼成することによって第1から第3のグリーンシート41〜43同士が接合したブロック46を形成する。ブロック46の長手方向Lと直交する平面Xで該ブロック46を所定厚さ毎に切断してヘッドベース12を作成する。
【選択図】図4
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド製造方法は、第1のグリーンシート41と第2のグリーンシート42との一方にインクの供給口31となる第1の溝部44を形成し、第2のグリーンシート42に対して第1のグリーンシート41を積層する。第2のグリーンシート42と第3のグリーンシート43の少なくとも一方にインクの回収口32となる第2の溝部45を形成する。第2のグリーンシート42に対して第3のグリーンシート43を積層する。積層された第1から第3のグリーンシート41〜43を焼成することによって第1から第3のグリーンシート41〜43同士が接合したブロック46を形成する。ブロック46の長手方向Lと直交する平面Xで該ブロック46を所定厚さ毎に切断してヘッドベース12を作成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、例えばプリンタ装置に搭載されるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
例えばインクジェットヘッドの製造方法として、焼成前のセラミックを成形したグリーンシートを複数枚積層して、インクジェットヘッドを製造する方法が知られている。このインクジェットヘッドの製造方法では、あるグリーンシートには予めインク流路パターンを形成しておく。またあるグリーンシートには、予め溝パターンを形成しておく。別のグリーンシートには、電極パターンを形成しておく。このように準備された複数のグリーンシートを積層し、この積層体を加圧によって一体化する。一体化した積層体を焼成する工程を経て、1個のインクジェットヘッドを製造している(例えば、特許文献1参照)。
特開昭62−135377号公報
従来のインクジェットヘッドの製造方法では、予め各グリーンシートを加工しておくなど、複雑な工程を経て1個のインクジェットヘッドを製造している。このため、大量のインクジェットヘッドを同時に製造することができず、生産効率が悪い問題がある。
本発明の目的は、効率的なヘッドベースの生産が可能なインクジェットヘッド製造方法を提供することにある。
本発明のインクジェットヘッド製造方法は、第1のグリーンシートと第2のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第1の溝部を形成する工程と、前記第1の溝部が形成された面を接触面にして前記第1のグリーンシートと前記第2のグリーンシートとを積層する工程と、前記第2のグリーンシートと第3のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第2の溝部を形成する工程と、前記第1のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第2のグリーンシートの面に、前記第2の溝部が形成された面を接触面にして前記第3のグリーンシートを積層する工程と、積層された前記第1から第3の各グリーンシートを焼成することによって前記第1から第3の各グリーンシート同士が接合したブロックを形成する工程と、前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、を具備する。
本発明の他の形態に係るインクジェットヘッド製造方法は、第1のセラミックスシートと第2のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第1の溝部を形成する工程と、前記第1の溝部が形成された面を接触面にして前記第1のセラミックスシートと前記第2のセラミックスシートとを接着して積層する工程と、前記第2のセラミックスシートと第3のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第2の溝部を形成する工程と、前記第1のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第2のグリーンシートの面に、前記第2の溝部が形成された面を接触面にして前記第3のグリーンシートを接着して積層する工程と、積層された前記第1から第3の各セラミックスシート同士が接合したブロックを形成する工程と、前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、を具備する。
本発明によれば、大量のヘッドベースを効率的に生産することができる。このヘッドベースを用いれば、大量のインクジェットヘッドを効率よく製造できる。
以下、図面を参照しながらこの発明の第1の実施形態について説明する。
図1と図2は、本発明のインクジェットヘッド11Aを示す断面図である。図1および図2に示すように、インクジェットヘッド11Aは、絶縁性を有するヘッドベース12と、ノズル13を有するノズルプレート14と、ヘッドベース12とノズルプレート14との間に設けられる枠部材15と、ノズルプレート14に搭載される駆動回路16とを備えている。インクジェットヘッド11Aの内部で、ヘッドベース12、ノズルプレート14、枠部材15によって囲まれる部分に、共通液室21が設けられている。共通液室21の内部は、例えば顔料インク等のインクで満たされている。ノズルプレート14には、複数のノズル13が設けられている(図2では、1個のみを示している。)。
図1と図2は、本発明のインクジェットヘッド11Aを示す断面図である。図1および図2に示すように、インクジェットヘッド11Aは、絶縁性を有するヘッドベース12と、ノズル13を有するノズルプレート14と、ヘッドベース12とノズルプレート14との間に設けられる枠部材15と、ノズルプレート14に搭載される駆動回路16とを備えている。インクジェットヘッド11Aの内部で、ヘッドベース12、ノズルプレート14、枠部材15によって囲まれる部分に、共通液室21が設けられている。共通液室21の内部は、例えば顔料インク等のインクで満たされている。ノズルプレート14には、複数のノズル13が設けられている(図2では、1個のみを示している。)。
インクジェットヘッド11Aは、共通液室21を仕切る複数の駆動素子22を備えている。共通液室21の内部で、駆動素子22によって両側が挟まれた部分は、各ノズル13に対応する圧力室23となっている。すなわち、各圧力室23の両側に、各ノズル13からインクを吐出させるための駆動素子22が配置されている。各圧力室23の内部には、インクが貯留されている。
駆動素子22は、例えばPZT系圧電セラミックス材料からなる2個の圧電素子を有している。図2に示すように、駆動素子22は、台形状をなしており、ノズル13に近い位置の第1の圧電素子24と、ノズル13から遠い位置の第2の圧電素子25とを有している。第1の圧電素子24と第2の圧電素子25とは、分極方向が逆向きになるように接着されている。
ヘッドベース12は、剛性および絶縁性の観点、また、駆動素子22である圧電セラミックス材料との熱膨張率をそろえる観点から、セラミックス材料で形成されている。ヘッドベース12には、共通液室21にインクを供給するための複数の供給口31Aと、共通液室21からインクを排出するための複数の回収口32Aとが設けられている。複数の供給口31Aは、複数の圧力室23に対してそれぞれ1対1で対応している。各供給口31Aは、ヘッドベース12の長手方向と直交する幅方向に関して、各圧力室23に対して半ピッチずれて設けられている。この場合、1ピッチは、圧力室23相互間の間隔をいう。
また、複数の回収口32Aは、複数の圧力室23に対してそれぞれ1対1で対応するようになっている。各回収口32Aは、ヘッドベース12の幅方向に関して、各圧力室23に対して半ピッチずれて設けられている。
インクジェットヘッド11Aは、駆動素子22を制御するための複数の配線33を備えている。配線33は、ヘッドベース12上において駆動素子22と駆動回路16とを接続している。配線33は、駆動素子22に接続するための電極34を有している。この電極34は、ヘッドベース12上から駆動素子22の側面にわたって設けられている。電極34は、無電解メッキによって金属膜を設け、不要部分をレーザ加工で除去して形成されている。このように形成された複数の配線33と、前記複数の供給口31Aとは、幅方向に関して交互に1個ずつ並んでおり、複数の供給口31Aの相互間を1本の配線33が通過している。もっとも、複数の供給口31Aの相互間を、数本を1組にした配線33が通過するようにしてもよい。
図2に示すように、供給口31Aから共通液室21に供給されたインクは、圧力室23の内部に送られる。圧力室23において、駆動素子22によって加圧されたインクは、ノズル13からインク滴として吐出される。インク滴として使用されなかったインクは、回収口32Aから共通液室21の外部に排出される。
インク滴をノズル13から吐出させるには、駆動回路16は配線33を介して駆動素子22に駆動電圧を印加する。駆動素子22の第1の圧電素子24と第2の圧電素子25とに電流が流れると、第1の圧電素子24と第2の圧電素子25は互いに逆向きに屈曲する。両圧電素子24、25の屈曲により、平板状だった駆動素子22が「L」字状に変形して、隣接する圧力室23の容積が小さくなる。圧力室23が小さくなって圧力室23内のインクが高圧になると、ノズル13からインク滴が勢い良く吐出される。
図3と図4を参照して、本発明のインクジェットヘッド11Aの製造方法について説明する。図3に示すように、第1の工程では、焼成前のセラミックスである第1のグリーンシート41、第2のグリーンシート42、第3のグリーンシート43をそれぞれ平板状に成形する。第2の工程では、第1のグリーンシート41には、第2のグリーンシート42との接触面に、ダイヤモンドカッタ等によって第1の溝部である複数の溝44を形成する。第3の工程では、第3のグリーンシート43には、第2のグリーンシート42との接触面に、ダイヤモンドカッタ等によって第2の溝部である複数の溝45を形成する。
第4の工程では、第1のグリーンシート41の複数の溝44が形成された面49を接触面にして第2のグリーンシート42に突き当てる。第3のグリーンシート43の複数の溝45が形成された面50を接触面にして第2のグリーンシート42に突き当てて、第1から第3のグリーンシート43を積層する。第5の工程では、積層状態のまま第1から第3の各グリーンシート43を焼成する。第5の工程により、第1から第3の各グリーンシート41、42、43同士を予め接着させることなく、これらが一体に接合したブロック46を形成できる。
第6の工程では、このブロック46を図4に示すようにブロック46の長手方向Lと直交する平面Xで切断し、ヘッドベース12を作成する。この場合、第1のグリーンシート41の複数の溝44は、第2のグリーンシート42の第1の面47とともに複数の供給口31Aを形成する。第3のグリーンシート43の複数の溝45は、第2のグリーンシート42の第2の面48とともに複数の回収口32Aを形成する。このような工程を経て、例えば25枚から30枚の大量のヘッドベース12を作成できる。このヘッドベース12に対して、枠部材15とノズルプレート14とを接着して、インクジェットヘッド11Aを形成する。
以上が、本発明のインクジェットヘッド11Aの第1の実施形態である。第1の実施形態によれば、複数の供給口31Aが複数の圧力室23に対してそれぞれ対応するように、例えば1対1でヘッドベース12に設けられる。このため、各供給口31Aから各圧力室23までの距離が一定となって、各圧力室23に均一にインクを供給することができる。これにより、印刷品質を向上できる。また、複数の供給口31Aと複数の配線33とが交互に1個づつ並んでいる。これにより、複数の配線33が一箇所に集中することがなく、供給口31A同士の間のスペースを最小にしてインクジェットヘッド11Aを幅方向に小さく構成できる。
通常、インクジェットヘッド11Aを例えばプリンタ装置等に搭載する場合、色違いのインクジェットヘッド11Aを複数個、ヘッドベース12の長手方向と直交する幅方向に並べることが多い。このため、インクジェットヘッド11Aを幅方向に小さくできれば、インクジェットヘッド11A同士の間隔を小さくできる。これにより、インクジェットヘッド11A間において色ずれ等の印刷不良が生ずるのを防止できる。
複数の供給口31Aは、ヘッドベース12の長手方向と直交する幅方向に関して、複数の圧力室23に対して半ピッチずれている。このため、複数の配線33と複数の供給口31Aとが干渉することなく、各配線33を直線的に配置できる。したがって、各配線33を短くすることができる。
本実施形態のインクジェットヘッド製造方法では、ブロック46の焼成によって第1から第3のグリーンシート41、42、43同士を接着している。このため、第1から第3のグリーンシート41、42、43同士を予め加圧によって一体化する必要がなく、簡単にインクジェットヘッド11Aを製造できる。本実施形態では、焼成前のセラミックスである第1、第3のグリーンシート41、43に対して溝44、45を形成している。このため、柔らかい第1、第3のグリーンシート41、43に対して溝44、45を形成でき、加工が容易となってヘッドベース12を安価に製造できる。本実施形態の駆動素子22は、第1の圧電素子24と第2の圧電素子25とで形成されている。このため、インクに気泡等を生ずることなく、精度よくインク滴を吐出させることができる。
なお本実施形態において、駆動素子22が圧電素子で構成されているが、駆動素子22をインク内に吐出駆動用の気泡を発生させる発熱素子で構成しても良い。駆動素子22を発熱素子で構成すれば、駆動素子22を簡単に構成できる。また、本実施形態のインクジェットヘッド11Aは、第2の実施形態で説明する製造方法によっても製造することができる。
本実施形態では、第1のグリーンシート41に第1の溝部である複数の溝44を形成しているが、第2のグリーンシート42に複数の溝44を形成しても良い。また、第1のグリーンシート41と第2のグリーンシート42との両側に第1の溝部である複数の溝44を形成し、これによって、供給口31Aを形成しても良い。
同様に、第3のグリーンシート43に第2の溝部である複数の溝45を形成しているが、第2のグリーンシート42に複数の溝45を形成しても良い。また、第3のグリーンシート43と第2のグリーンシート42との両側に第2の溝部である複数の溝45を形成し、回収口32Aを形成しても良い。
続いて、図5と図6を参照して、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド11Bは、第1の実施形態のインクジェットヘッド11Aと形態が同じであるが、製造方法が異なっている。このため、第2の実施形態では、インクジェットヘッド11Bの製造方法において、第1の実施形態と異なる部分について説明する。
図5に示すように、第2の実施形態のインクジェットヘッド製造方法では、第1の工程で、それぞれ平板状に成形された第1のグリーンシート、第2のグリーンシート、および第3のグリーンシートを予め焼成し、第1のセラミックスシート51、第2のセラミックスシート52、および第3のセラミックスシート53をそれぞれ作成しておく。第2の工程で、第1のセラミックスシート51には、ダイヤモンドカッタ等によって第1の溝部である複数の溝54を形成する。第3のセラミックスシート53には、ダイヤモンドカッタ等によって第2の溝部である複数の溝55を形成する。
第3の工程では、例えば、接着剤等を用いて、第1のセラミックスシート51の複数の溝54が形成された面59を接触面として、第1のセラミックスシート51を第2のセラミックスシート52に接着する。第2のセラミックスシート52の複数の溝55が形成された面60を接触面として、第3のセラミックスシート53を第2のセラミックスシート52に接着する。この接着によって、第1から第3のセラミックスシート53を積層する。この第3の工程によって、これらが一体に接合したブロック56を形成できる。
この場合、第1のセラミックスシート51の複数の溝54は、第2のセラミックスシート52の第1の面57とともに複数の供給口31Bを形成する。第3のセラミックスシート53の複数の溝55は、第2のセラミックスシート52の第2の面58とともに複数の回収口32Bを形成する。第4の工程で、このブロック56を図6に示すようにブロック56の長手方向Lと直交する平面Xで、ブロック56を所定厚さ毎に切断しヘッドベース12を作成する。
以上が、本発明のインクジェットヘッド11Bの製造方法の第2の実施形態である。第2の実施形態によれば、予め焼成した第1から第3のセラミックス51、52、53を積層してヘッドベース12を作成するようにしていることから、焼成によってヘッドベース12が収縮してしまうことがない。このため、インクジェットヘッド11Bの精度管理を容易に行うことができる。
図7と図8を参照して、本発明の第3の実施形態について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド11Cにおいて、第1の実施形態のインクジェットヘッド11Aと共通の箇所には第1の実施形態と共通の符号を付して説明を省略する。
図7と図8に示すように、第3の実施形態のインクジェットヘッド11Cは、ノズル列を2列備えている。インクジェットヘッド11Cは、共通液室21を仕切る複数の駆動素子22と、駆動素子22を制御するための複数の配線33とを備えている。配線33は、駆動素子22と駆動回路16とを接続するように、ヘッドベース12に沿って配置している。インクジェットヘッド11Cのヘッドベース12は、中央部に設けられた長穴形状の供給口31Cと、ヘッドベース12の長手方向両端部で共通液室21に面するように設けられた複数の回収口32Cとを備えている。複数の回収口32Cは、複数の圧力室23に対してそれぞれ1対1で対応するようにヘッドベース12に設けられている。
複数の回収口32Cは、複数の圧力室23に対して半ピッチずれて配置している。複数の回収口32Cと複数の配線33とは、ヘッドベース12の長手方向に直交する幅方向に関して、交互に1個ずつ並んで並んでおり、回収口32C相互間を1本の配線33が通過している。もっとも、複数の回収口32Cの相互間を、数本を1組にした配線33が通過するようにしてもよい。
本実施形態のインクジェットヘッド11Cは、第1の実施形態で説明した製造方法でも、第2の実施形態で説明した製造方法でも製造することができる。
第3の実施形態によれば、複数の回収口32Cが複数の圧力室23に対して1対1で対応している。このため、各圧力室23からのインクの排出が滑らかとなり、各圧力室23に均一にインクを供給することができる。また、回収口32C相互間を1本の配線33が通過している。このため、回収口32C同士の間のスペースを最小にすることができ、インクジェットヘッド11Cを幅方向に小さくできる。
なお、第3の実施形態では、2列のノズル列が、幅方向において同ピッチで配置しているが、両ノズル列が幅方向において半ピッチずれて配置するようにしてもよい。このようにすれば、インクジェットヘッド11Cの解像度を2倍にすることができる。
図9を参照して、本発明の第4の実施形態について説明する。本実施形態において、第1の実施形態のインクジェットヘッド11Aと共通の箇所には第1の実施形態と共通の符号を付して説明を省略する。第4の実施形態のインクジェットヘッド11Dのヘッドベース12は、第1の溝部から形成された1個の長穴状の供給口31Dと、第2の溝部から形成された1個の長穴状の回収口32Dとを備えている。
インクジェットヘッド11Dは、駆動素子22を制御するための複数の配線33を備えている。複数の配線33は、供給口31Dを避けてヘッドベース12に沿って配置されている。この場合、供給口31Dから圧力室23に至るまでの距離は、第1の実施形態のインクジェットヘッド11Aの供給口31Aから圧力室23に至るまでの距離に比して、長くなっている。これにより、1個の供給口31Dからインクを供給する場合であっても、各圧力室23に均一にインクを供給することができる。第4の実施形態のインクジェットヘッド11Dは、第1の実施形態で説明した製造方法でも、第2の実施形態で説明した製造方法でも製造することができる。
第4の実施形態のインクジェットヘッド11Dによれば、供給口31Dと回収口32Dとを簡単な構造で構成できる。この場合であっても、供給口31Dから圧力室23に至る距離が長くなっているため、各圧力室23に均一にインクを供給することができる。
図10を参照して、本発明の第5の実施形態について説明する。本実施形態において、第1の実施形態のインクジェットヘッド11Aと共通の箇所には第1の実施形態と共通の符号を付して説明を省略する。
第5の実施形態のインクジェットヘッド11Eのヘッドベース12は、第1の溝部から形成された2個の長穴状の供給口31Eと、第2の溝部から形成された1個の長穴状の回収口32Eとを備えている。インクジェットヘッド11Eは、駆動素子22を制御するための複数の配線33を備えている。複数の配線33は、供給口31Eを避けてヘッドベース12に沿って配置されている。この場合、供給口31Eから圧力室23に至るまでの距離は、第1の実施形態のインクジェットヘッド11Eの供給口31Eから圧力室23に至るまでの距離に比して、長くなっている。第5の実施形態のインクジェットヘッド11Eは、第1の実施形態で説明した製造方法でも、第2の実施形態で説明した製造方法でも製造することができる。
第5の実施形態のインクジェットヘッド11Eによれば、供給口31Eと回収口32Eとを簡単な構造で構成することができる。この場合であっても、供給口31Eから圧力室23に至る距離が長くなっているため、各圧力室23に均一にインクを供給することができる。
また、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。このほか、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
11A〜11E…インクジェットヘッド、12…ヘッドベース、13…ノズル、22…駆動素子、23…圧力室、24…第1の圧電素子、25…第2の圧電素子、31A〜31E…供給口、32A〜32E…回収口、33…配線、41…第1のグリーンシート、42…第2のグリーンシート、43…第3のグリーンシート、44、45…溝、46…ブロック、51…第1のセラミックスシート、52…第2のセラミックスシート、53…第3のセラミックスシート、54、55…溝、56…ブロック、L…長手方向、X…平面
Claims (2)
- 第1のグリーンシートと第2のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第1の溝部を形成する工程と、
前記第1の溝部が形成された面を接触面にして前記第1のグリーンシートと前記第2のグリーンシートとを積層する工程と、
前記第2のグリーンシートと第3のグリーンシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第2の溝部を形成する工程と、
前記第1のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第2のグリーンシートの面に、前記第2の溝部が形成された面を接触面にして前記第3のグリーンシートを積層する工程と、
積層された前記第1から第3の各グリーンシートを焼成することによって前記第1から第3の各グリーンシート同士が接合したブロックを形成する工程と、
前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。 - 第1のセラミックスシートと第2のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの供給口となる第1の溝部を形成する工程と、
前記第1の溝部が形成された面を接触面にして前記第1のセラミックスシートと前記第2のセラミックスシートとを接着して積層する工程と、
前記第2のセラミックスシートと第3のセラミックスシートとのうち、少なくとも一方にインクの回収口となる第2の溝部を形成する工程と、
前記第1のグリーンシートが積層される面とは反対側の前記第2のグリーンシートの面に、前記第2の溝部が形成された面を接触面にして前記第3のグリーンシートを接着して積層する工程と、
積層された前記第1から第3の各セラミックスシート同士が接合したブロックを形成する工程と、
前記ブロックの長手方向と直交する平面で該ブロックを所定厚さ毎に切断してヘッドベースを作成する工程と、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9291753B2 (en) | 2011-05-30 | 2016-03-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Diffraction optical element and production method therefor |
EP4186703A1 (en) * | 2021-11-25 | 2023-05-31 | Toshiba TEC Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9291753B2 (en) | 2011-05-30 | 2016-03-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Diffraction optical element and production method therefor |
EP4186703A1 (en) * | 2021-11-25 | 2023-05-31 | Toshiba TEC Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head |
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