JP2007165475A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
簡単な構成で、効率よく、高品質な処理ガスを供給できるガス供給系を具備した基板処理装置を提供する。
【解決手段】
基板を収納する処理室4と、前記基板を加熱する加熱手段3と、前記処理室内に処理ガスを供給するガス供給手段と、前記処理室内の雰囲気を排出する排気手段16と、制御部41とを有し、前記ガス供給手段はガス供給管9と、該ガス供給管から分岐する複数のガス供給ノズル11a,11b,11c,11d,11eと、前記分岐する位置に設けられるガス分配器43とを少なくとも備え、前記制御部は、前記ガス分配器を制御することにより、前記ガス供給管から供給される処理ガスの前記複数のガス供給ノズルへの分岐状態を制御する。
【選択図】 図2
Description
セット22の授受を行う容器授受手段としてのカセットステージ23が設けられ、該カセットステージ23の後側には昇降手段としてのカセットエレベータ24が設けられ、該カセットエレベータ24にはカセット搬送手段としてのカセット搬送機25が取付けられている。又、前記カセットエレベータ24の後側には、前記カセット22の収納手段としてのカセット棚26が設けられると共に前記カセットステージ23の上方にもカセット収納手段である予備カセット棚27が設けられている。該予備カセット棚27の上方にはファン、防塵フィルタで構成されたクリーンユニット28が設けられ、クリーンエアを前記筐体21の内部、例えば前記カセット22が搬送される領域を流通させる様に構成されている。
される。
3 ヒータ
4 処理室
7 ボート
8 ウェーハ
9 処理ガス供給管
11 ガス供給ノズル
16 排気管
29 処理炉
41 制御部
43 ガス分配器
44 マニホールド
45 分配子
46 接続孔
47 導孔
48 分岐孔
49 ガス分配器
50 マニホールド
51 分配子
53 ガス分配器
54 マニホールド
55 分配子
Claims (1)
- 基板を収納する処理室と、前記基板を加熱する加熱手段と、前記処理室内に処理ガスを供給するガス供給手段と、前記処理室内の雰囲気を排出する排気手段と、制御部とを有し、前記ガス供給手段はガス供給管と、該ガス供給管から分岐する複数のガス供給ノズルと、前記分岐する位置に設けられるガス分配器とを少なくとも備え、前記制御部は、前記ガス分配器を制御することにより、前記ガス供給管から供給される処理ガスの前記複数のガス供給ノズルへの分岐状態を制御することを特徴とする基板処理装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012119453A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Mitsubishi Electric Corp | 不純物拡散装置 |
CN103782367A (zh) * | 2011-09-08 | 2014-05-07 | 泰拉半导体株式会社 | 基板处理装置 |
CN103946955A (zh) * | 2011-11-17 | 2014-07-23 | 株式会社Eugene科技 | 包括多个排气端口的基板处理装置及方法 |
CN103959438A (zh) * | 2011-11-17 | 2014-07-30 | 株式会社Eugene科技 | 供应具有相位差的反应性气体的基板处理装置 |
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-
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