JP2007165193A - 電子放出源及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前記カーボンナノチューブ層の表面部を窒化する。このカーボンナノチューブ層は炭素六員環と炭素五員環とが垂直方向に起立した状態で構成されており、炭素六員環及び炭素五員環の先端部の炭素原子を窒素プラズマによって窒素原子に置換することで、置換された窒素原子と炭素原子とを結ぶ結合手の長さが炭素原子と炭素原子とを結ぶ結合手の長さよりも長くなることから、炭素六員環または炭素五員環のC−C−C角に比べてC−N−C角の方が鋭角となる。この鋭角の頂点に位置する窒素原子に電界が集中する。
【選択図】図13
Description
基板の表面を洗浄する工程と、
次いでカーボンナノ材料を分散液に分散させた溶液を前記基板の表面に塗布する工程と、
前記溶液が塗布された基板の表面に電界をかけてカーボンナノ材料を起立させる工程と、
その後、基板の表面から分散液を蒸発させる工程と、
しかる後、窒素を含むガスをプラズマ化して得たプラズマを前記基板の表面に供給してカーボンナノ材料を窒化する工程と、を含むことを特徴とする。
C カーボンナノチューブ
D 薬液
M マイクロ波
P 基板
R リンス液
S カーボンナノチューブ層
10 キャリア
21 スピンチャック
30 CNT溶液供給ノズル
40 オゾンガス供給部
51 載置台
53 電極板
6 電極
60 処理容器
61 第1の処理室
62 第2の処理室
64 高周波電源部
67 隙間
9 載置台
Claims (5)
- 電子を放出するためにカーボンナノ材料を基板の表面に成膜して構成された電子放出源において、
カーボンナノ材料の先端部が窒化されていることを特徴とする電子放出源。 - 電子を放出するためにカーボンナノ材料を基板の表面に成膜して構成された電子放出源を製造する方法において、
基板の表面を洗浄する工程と、
次いでカーボンナノ材料を分散液に分散させた溶液を前記基板の表面に塗布する工程と、
前記溶液が塗布された基板の表面に電界をかけてカーボンナノ材料を起立させる工程と、
その後、基板の表面から分散液を蒸発させる工程と、
しかる後、窒素を含むガスをプラズマ化して得たプラズマを前記基板の表面に供給してカーボンナノ材料を窒化する工程と、を含むことを特徴とする電子放出源の製造方法。 - プラズマは常圧雰囲気で形成されたものであることを特徴とする請求項2記載の電子放出源の製造方法。
- 基板の表面を洗浄する工程は、薬液を基板の表面に接触させて洗浄する工程と、次いで基板の表面にオゾンガスまたは酸素プラズマを供給する工程と、を含むことを特徴とする請求項2または3記載の電子放出源の製造方法。
- 前記溶液を基板の表面に塗布する工程は、溶液を吐出するための塗布ノズルを基板に対して相対的に横方向に移動させることにより行い、
基板の表面にオゾンガスを供給する工程は、前記塗布ノズルの進行方向前方において紫外線ランプを備えたオゾンガス供給部を前記進行方向側に移動させながら行うことを特徴とする請求項4記載の電子放出源の製造方法。
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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