JP2007163770A - 配向処理方法及び配向処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】紫外線によって配向膜に配向処理を施す配向処理方法及び配向処理装置において、配向膜全面に亘って同一条件下で配向処理が施され、配向膜全面に亘って均一な配向特性が得られる配向処理方法及び配向処理装置を提供するものである。
【解決手段】光源装置部から出射された紫外線の略平行光を、複数の全反射ミラーによって構成された光照射パターン制御部を介して長尺形状の照射パターンに形成し、変換された照射パターンの紫外線を所定の角度を保って配向膜に照射することによって配向処理を施すようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、基板に塗布された配向膜に配向処理を施す配向処理方法及び配向処理装置に関するものであり、詳しくは、略平行光の紫外線を基板に塗布された配向膜に照射することによって配向処理を施す配向処理方法及び配向処理装置に関する。

従来、液晶セルを構成する基板、及び偏光フィルムや光学補償フィルム等の光学フィルムに塗布された配向膜に配向処理を施すにはいくつかの方法が提案されている。

そのなかで最も一般的な方法は、円筒状のローラの外周面に例えばポリアミド系の合成繊維からなる毛（パイル）を植設した布（ラビング布）を巻装してラビングローラを構成し、回転するラビングローラのラビング布のパイルで例えばポリイミド系樹脂などの有機高分子膜からなる配向膜の表面を擦る（ラビングする）ことによって、配向膜の表面に微細な溝を形成するものである。

ところで、このような配向処理方法は、ラビング時にラビング布と配向膜との摩擦によってラビング布の布埃が発生し、クリーン度汚染源となって作業環境を悪化させることになる。

また、ラビング布は配向処理を進めるうちに変形、消耗を生じるために、配向処理が予め設定され所定量に達すると新品と交換される。その場合、ラビング布は全面が両面粘着テープを介してローラの外周面に貼り付けられており、ローラからラビング布を剥がすのは相当な労力と時間を要する困難な作業である。

そこで、上記ラビングによる配向処理で生じる不具合を排除するような配向処理方法が提案されている。それは図４に示すように、２５０ｎｍ近傍をピーク波長とする紫外線波長領域のスペクトル分布を有するキセノン水銀ランプ５０を光源とし、該キセノン水銀ランプ５０を略焦点とする放物反射面を有するリフレクタ５１とミラー５２とによって光学系を構成する。

そして、キセノン水銀ランプ５０から放射されてリフレクタ５１の放物反射面で反射された紫外線はミラー５２に向かい、ミラー５２で反射された紫外線がホルダー５３に支持された透明ガラス基板５４の配向膜５５に該配向膜５５の表面に対してθ＝４５°以下の角度で照射されるようにしたものである（例えば、特許文献１参照。）。
特開２００１−１０８９９４号公報

ところで、上記光学系において、光源となるキセノン水銀ランプに係わる形状、放射される紫外線の配光特性等の様態に基づいて考察すると、光源から放射されて放物反射面で反射された紫外線は必ずしも平行光とはならず、配光パターンは略円形状となることが分かる。

従って、光源から放射されてリフレクタ及びミラーを介して透明ガラス基板の配向膜に到達した紫外線は、配向膜の表面に対して様々な角度で照射されることになる。その結果、配向膜全面に亘って不均一な条件下で配向処理が施されることになり、配向膜に求められる配向膜全面に亘る配向特性の均一性が損なわれることになる。

そこで、本発明は上記問題に鑑みて創案なされたもので、その目的とするところは、紫外線ランプを光源とし、該紫外線ランプから放射される紫外線によって配向膜に配向処理を施す配向処理方法及び配向処理装置において、配向膜全面に亘って同一条件下で配向処理が施され、配向膜全面に亘って均一な配向特性が得られる配向処理方法及び配向処理装置を提供するものである。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載された発明は、紫外線を配向膜の表面に照射することによって配向処理を施す配向処理方法であって、発光部を含む光源装置部から出射された紫外線の略平行光が、複数個の全反射ミラーで構成された光照射パターン制御部を介して直線状の長尺形状の照射パターンとされ、前記照射パターンの紫外線の略平行光が前記配向膜に照射されることによって配向処理が施されることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載された発明は、請求項１において、前記光源装置部の光出射面を縦方向に複数部分に分割した夫々の出射面から出射した紫外線の略平行光は、前記光照射パターン制御部を介して夫々の前記光出射面の形状と略同一の形状の照射パターンに形成されると共に、順次横方向に配置されて直線状の長尺形状の照射パターンに形成されることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載された発明は、請求項１又は２のいずれか１項において、前記配向膜に照射される紫外線は、前記配向膜の表面に対して０°より大きく９０°以下の範囲の角度で照射されることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項４に記載された発明は、紫外線を配向膜の表面に照射することによって配向処理を施す配向処理装置であって、発光部を含む光源装置部から出射された紫外線の略平行光を、複数個の全反射ミラーで構成された光照射パターン制御部を介して直線状の長尺形状の照射パターンとし、前記照射パターンの紫外線の略平行光を前記配向膜に照射することによって配向処理を施すことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項５に記載された発明は、請求項４において、前記光源装置部の光出射面を縦方向に複数部分に分割した夫々の出射面から出射した紫外線の略平行光を、前記光照射パターン制御部を介して夫々の前記光出射面の形状と略同一の形状の照射パターンに形成すると共に、順次横方向に配置して直線状の長尺形状の照射パターンを形成することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項６に記載された発明は、請求項４又は５のいずれか１項において、前記配向膜に照射する紫外線は、前記配向膜の表面に対して０°より大きく９０°以下の範囲の角度で照射するようにしたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項７に記載された発明は、請求項１〜６のいずれか１項において、前記光照射パターン制御部は、前記光源装置部の光出射面の前方に配設されて該光源装置部の光出射面から出射された紫外線の一部を該光出射面の対向する横方向に夫々反射させる２個の第一全反射ミラーと、前記第一全反射ミラーの夫々の反射光を前方に反射する左右夫々少なくとも１個の第二全反射ミラーと、前記第二全反射ミラーの反射光を夫々１対１で下方及び上方のいずれか一方に反射する第三全反射ミラーと、前記下方に反射する前記全ての第三全反射ミラーの反射光を一体に前方に反射する第四全反射ミラー及び前記上方に反射する前記全ての第三全反射ミラーの反射光を一体に前方に反射する第四全反射ミラーの２個の第四全反射ミラーと、で構成されていることを特徴とするものである。

本発明の配向処理装置は、光源装置部から出射された紫外線の略平行光を、複数の全反射ミラーによって構成された光照射パターン制御部を介して矩形照射パターンに変換し、変換された照射パターンの紫外線の略平行光を所定の角度を保って配向膜に照射することによって配向処理を施すようにした。

その結果、発光源としてキセノン水銀ランプを使用した上記従来の配向処理装置に比べて、配向膜に配向処理を施す紫外線が更に平行度を向上させた光として照射されるために、配向膜全面に亘って同一条件下で配向処理が施され、配向膜全面に亘って均一な配向特性が得られる。

また、光源にレーザを使用した従来の他の配向処理装置に比べて、配向膜に対する紫外線の照射面積を大きくでき、配向処理時間の短縮による生産効率の向上を図ることができる。

更に、紫外線ランプ等の紫外線発光源は従来のレーザに比べてはるかに廉価で、駆動が容易であり、そのため、装置の低減化が設備投資の抑制を促して製造コストの低価格化に寄与することになる。

以下、この発明の実施形態を図１〜図３を参照しながら、詳細に説明する（同一部分については同じ符号を付し、説明は省略する）。尚、以下に述べる実施形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。

図１は本発明の配向処理装置の実施形態に係わる光源装置の概略斜視図、図２は配向処理装置の斜視図である。本実施形態は、光源装置部と被光照射機構部とで構成されており、光源装置部１は更に発光部２と光照射パターン制御部３とで構成されている。

発光部２は図示しないが、紫外線波長領域の光（紫外線）を放射する紫外線ランプ等の紫外線発光源と、該紫外線発光源から放射された紫外線を略平行光に変換する手段とを備えており、発光源から放射された紫外線はエネルギー密度が均一になるように略平行光に変換されて発光部２の光出射面４から外部に出射される。なお、発光部２の光出射面４は約１５０ｍｍ×約１５０ｍｍの寸法を有している。

光照射パターン制御部３は１２個の全反射ミラー（以下、「ミラー」と略称する）で構成されており、発光部２から出射した紫外線の略平行光を被照射面に所定の照射パターンで照射するように照射パターンを制御する光学系を構成している。

以下、発光部２から出射した紫外線がミラーを介して所望する照射パターンに形成される過程を、光路とミラーの作用との関係に基づいて説明する。なお、説明を理解し易くするために、各方向は図１に示す、前方向、左方向−右方向、上方向−下方向を採用する。

まず、発光部２の光出射面４を上下方向に５分割し、夫々の光出射面を上方向から下方向に向かって順次光出射面４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅとする。

発光部２の光出射面４の前方には２個のミラー５ａｂ、５ｄｅが配置されている。そのうち、ミラー５ａｂは光出射面４に平行な面を該ミラー５ａｂの右側縁部を回転軸として前方に略４５°回転した状態に配置され、発光部２の光出射面４ａ、４ｂを前方に投影した形状を有している。一方、ミラー５ｄｅは光出射面４に平行な面を該ミラー５ｄｅの左側縁部を回転軸として前方に略４５°回転した状態に配置され、発光部２の光出射面４ｄ、４ｅを前方に投影した形状を有している。そして、ミラー５ａｂとミラー５ｄｅとは、上方から見たときに中心軸を一致させて互いに直交するような位置関係にある。

ミラー５ａｂの左方向には２個のミラー６ａ、６ｂが配置されている。そのうち、ミラー６ａはミラー５ａｂの上側半分を左方向に平行移動した状態に配置されている。一方、ミラー６ｂはミラー５ａｂの下側半分を左方向に平行移動した状態に配置されている。そしてミラー５ａｂに近い順にミラー６ｂ及びミラー６ａが順次配置され、ミラー５ａｂとミラー６ｂ、ミラー６ｂとミラー６ａ、の夫々は略等距離に設定されている。

同様に、ミラー５ｄｅの右方向には２個のミラー６ｄ、６ｅが配置されている。そのうち、ミラー６ｄはミラー５ｄｅの上側半分を右方向に平行移動した状態に配置されている。一方、ミラー６ｅはミラー５ｄｅの下側半分を右方向に平行移動した状態に配置されている。そしてミラー５ｄｅに近い順にミラー６ｄ及びミラー６ｅが順次配置され、ミラー５ｄｅとミラー６ｄ、ミラー６ｄとミラー６ｅ、の夫々は略等距離に設定されている。

ミラー６ａの前方にはミラー７ａ、ミラー６ｂの前方にはミラー７ｂ、ミラー６ｄの前方にはミラー７ｄ、ミラー６ｅ前方にはミラー７ｅが夫々配置されている。そのうちミラー７ａ及びミラー７ｂは夫々、光出射面４に平行な面を該ミラー７ａ及び該ミラー７ｂの上側縁部を回転軸として前方に略４５°回転した状態に配置され、ミラー７ａはミラー６ａを前方に投影した形状を有しており、ミラー７ｂはミラー６ｂを前方に投影した形状を有している。

一方、ミラー７ｄ及びミラー７ｅは夫々、光出射面４に平行な面を該ミラー７ｄ及び該ミラー７ｅの上側縁部を回転軸として後方に略４５°回転した状態に配置され、ミラー７ｄはミラー６ｄを前方に投影した形状を有しており、ミラー７ｅはミラー６ｅを前方に投影した形状を有している。

そして、ミラー６ａとミラー７ａ、ミラー６ｂとミラー７ｂ、ミラー６ｄとミラー７ｄミラー６ｅとミラー７ｅ、の夫々の距離は全て略等距離に設定されている。

更に、ミラー７ａ及びミラー７ｂの下方には該ミラー７ａ及び該ミラー７ｂに平行なミラー８ａｂ、ミラー７ｄ及びミラー７ｅの下方には該ミラー７ｄ及び該ミラー７ｅに平行なミラー８ｄｅが夫々配置され、ミラー８ａｂはミラー７ａ及びミラー７ｂを下方に投影した形状を有し、ミラー８ｄｅはミラー７ｄ及びミラー７ｅを下方に投影した形状を有している。

以上、照射パターン制御部の構成について説明したが、次に発光部２から出射した紫外線の辿る光路に基づいて照射パターンが形成される過程を説明する。

発光部２の光出射面４を上下方向に５分割したうちの最上部に位置する光出射面４ａから出射した紫外線は、前方に配置されたミラー５ａｂに至り、ミラー５ａｂで該ミラー５ａｂの左方向に配置されたミラー６ａに向かって反射され、ミラー６ａに至った紫外線はミラー６ａで該ミラー６ａの前方に配置されたミラー７ａに向かって反射される。

発光部２の光出射面４を上下方向に５分割したうちの最上部から２番目に位置する光出射面４ｂから出射した紫外線は、前方に配置されたミラー５ａｂに至り、ミラー５ａｂで該ミラー５ａｂの左方向に配置されたミラー６ｂに向かって反射され、ミラー６ｂに至った紫外線はミラー６ｂで該ミラー６ｂの前方に配置されたミラー７ｂに向かって反射される。

発光部２の光出射面４を上下方向に５分割したうちの中央部に位置する光出射面４ｃから出射した紫外線はそのまま前方に照射される。

発光部２の光出射面４を上下方向に５分割したうちの最下部から２番目に位置する光出射面４ｄから出射した紫外線は、前方に配置されたミラー５ｄｅに至り、ミラー５ｄｅで該ミラー５ｄｅの右方向に配置されたミラー６ｄに向かって反射され、ミラー６ｄに至った紫外線はミラー６ｄで該ミラー６ｄの前方に配置されたミラー７ｄに向かって反射される。

発光部２の光出射面４を上下方向に５分割したうちの最下部に位置する光出射面４ｅから出射した紫外線は、前方に配置されたミラー５ｄｅに至り、ミラー５ｄｅで該ミラー５ｄｅの右方向に配置されたミラー６ｅに向かって反射され、ミラー６ｅに至った紫外線はミラー６ｅで該ミラー６ｅの前方に配置されたミラー７ｅに向かって反射される。

すると、発光部２の光出射面４ａから出射されてミラー６ａで反射された紫外線照射パターン９ａは光出射面４ａの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｂから出射されてミラー６ｂで反射された紫外線照射パターン９ｂは光出射面４ｂの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｃから出射された紫外線照射パターン９ｃは光出射面４ｃの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｄから出射されてミラー６ｄで反射された紫外線照射パターン９ｄは光出射面４ｄの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｅから出射されてミラー６ｅで反射された紫外線照射パターン９ｅは光出射面４ｅの形状と略同一の形状の照射パターンを形成する。

このときの紫外線照射パターン９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅの位置関係は、上方向から下方向に向かって順次９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅの並びとなっている。

ミラー６ａで反射されてミラー７ａに至った紫外線はミラー７ａで該ミラー７ａの下方に配置されたミラー８ａｂに向かって反射され、ミラー８ａｂに至った紫外線はミラー８ａｂで反射されて前方に照射される。

ミラー６ｂで反射されてミラー７ｂに至った紫外線はミラー７ｂで該ミラー７ｂの下方に配置されたミラー８ａｂに向かって反射され、ミラー８ａｂに至った紫外線はミラー８ａｂで反射されて前方に照射される。

発光部２の光出射面４ｃから出射した紫外線はそのまま前方に照射される。

ミラー６ｄで反射されてミラー７ｄに至った紫外線はミラー７ｄで該ミラー７ｄの上方に配置されたミラー８ｄｅに向かって反射され、ミラー８ｄｅに至った紫外線はミラー８ｄｅで反射されて前方に照射される。

ミラー６ｅで反射されてミラー７ｅに至った紫外線はミラー７ｅで該ミラー７ｅの上方に配置されたミラー８ｄｅに向かって反射され、ミラー８ｄｅに至った紫外線はミラー８ｄｅで反射されて前方に照射される。

すると、発光部２の光出射面４ａから出射されて途中の光路を経て最後のミラー８ａｂで反射されて前方に向かう紫外線の照射パターン１０ａは光出射面４ａの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｂから出射されて途中の光路を経て最後のミラー８ａｂで反射されて前方に向かう紫外線の照射パターン１０ｂは光出射面４ｂの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｃから出射された紫外線の照射パターン１０ｃは光出射面４ｃの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｄから出射されて途中の光路を経て最後のミラー８ｄｅで反射されて前方に向かう紫外線の照射パターン１０ｄは光出射面４ｄの形状と略同一の形状の照射パターンを形成し、発光部２の光出射面４ｅから出射されて途中の光路を経て最後のミラー８ｄｅで反射されて前方に向かう紫外線の照射パターン１０ｅは光出射面４ｅの形状と略同一の形状の照射パターンを形成する。

このときの紫外線照射パターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅの位置関係は、左方向から右方向に向かって順次照射パターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅの連続する直線状の並びとなっている。つまり、発光部２の光出射面４を上下方向に５分割した光出射面４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅの夫々から出射した紫外線は、光照射パターン制御部３を介して左方向から右方向に向かって順次照射パターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅの連続する直線状の長尺形状の並びに変換される。

次に、被光照射機構部２０について説明する。図２に示すように、所定の間隔を保って平行に配設された駆動ローラ２１と従動ローラ２２との間にエンドレス搬送ベルト２３が架け渡されている。そして、搬送ベルト２３上に位置する被配向処理部材２４が所定の速度で移動する搬送ベルト２３によって搬送されるようになっている。

被配向処理部材２４には背景技術で述べたように、配向膜が塗布された、液晶セルを構成する基板、及び偏光フィルムや光学補償フィルム等の光学フィルムがあるが、本実施形態において配向処理を施す被配向処理部材２４は、柔軟性のあるフィルム（フレキシブルフィルム）に配向膜が塗布された部材を対象としている。

上記光源装置部１と被光照射機構部２０からなる配向処理装置によって被配向処理部材２４に形成された配向膜に配向処理を施す方法を以下に説明する。まず、配向膜が形成された被配向処理部材２４をロールに巻き付けた状態の供給ロール（図示せず）と、供給ロールから連続的に送出される被配向処理部材２４を巻き取る巻取ロール（図示せず）とを配向処理装置にセットする。

そして、供給ロールから連続的に送出された被配向処理部材２４は、所定の間隔を保って平行に配設された駆動ローラ２１と従動ローラ２２との間に架け渡されたエンドレス搬送ベルト２３上を、所定の速度で移動するエンドレス搬送ベルト２３によって搬送され、巻取ロールによって巻き取られる。

それと同時に光源装置部１では、上述のように発光部２の光出射面４を上下方向に５分割した光出射面４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅの夫々から出射した紫外線の略平行光は、光照射パターン制御部３を介して左方向から右方向に向かって順次照射パターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅの連続する直線状の長尺形状の並びに変換され、光源装置１から略平行光として外部に出射される。

そして、光源装置１から直線状の長尺形状照射パターン（約７５０ｍｍ×約３０ｍｍ）として出射された紫外線の略平行光は、エンドレス搬送ベルト２３上を所定速度で移動する被配向処理部材２４に形成された配向膜に該配向膜の表面に対して０°＜θ≦９０°の角度で照射される。本実施形態においてはθ＝４５°の角度で照射するように設定されている。

つまり、所定の速度で移動する被配向処理部材２４の配向膜に、該配向膜の表面に対して４５°の角度で略平行光の紫外線を照射することによって連続的に配向処理が行なわれるものである。

本実施形態においては、配向膜に照射される紫外線の照射範囲の寸法は被配向処理部材の進行方法が約３６ｍｍ、被配向処理部材の幅方向は約７５０ｍｍであり、よって照射面積は約２７０００ｍｍ^２となる。

そのとき、配向膜に照射される紫外線の照射強度は８０ｍＷ／ｃｍ^２〜２００ｍＷ／ｃｍ^２、積算エネルギー密度は約１Ｊ／ｃｍ^２である。但し、ここに挙げた値は、実施形態の一例であって、紫外線ランプ等の紫外線発光源の出力、全反射ミラーの反射率、紫外線発光源から配向膜までの距離、配向膜に対する紫外線の照射角度、被配向処理部材の移動速度等の条件の組み合わせによって大いに変わるものである。

図３は本発明の配向処理装置の他の実施形態に係わる光源装置の概略斜視図である。上記図１で示した実施形態では、発光部２の光出射面４を上下方向に５分割した光出射面４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅの夫々から出射した紫外線を、光照射パターン制御部３を介して左方向から右方向に向かって順次照射パターン１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅの連続する直線状の長尺形状の並びに変換されるようにしたが、本実施形態は、発光部２の光出射面４を上下方向に３分割し、光出射面４ｂ、４ｃ、４ｄの夫々から出射した紫外線を、光照射パターン制御部３を介して左方向から右方向に向かって順次照射パターン１０ｂ、１０ｃ、１０ｄの連続する直線状の長尺形状の並びに変換されるようにしたものである。

つまり、発光部２の光出射面４から出射した紫外線が５系統の光路を経て連続する直線状の長尺形状の並びに変換されるのを、発光部２の光出射面４から出射した紫外線が３系統の光路を経て連続する直線状の長尺形状の並びに変換されるようにしたものであり、それ以外は図１の実施形態及び図２の配向処理の夫々に基づく説明の内容と同様である。

本発明の配向処理装置に係わる実施形態を構成する光源装置部の斜視図である。 同じく、本発明の配向処理装置に係わる実施形態を示す斜視図である。 本発明の配向処理装置に係わる他の実施形態を構成する光源装置部の斜視図である。 従来の配向処理装置を示す模式図である。

符号の説明

１ 光源装置部
２ 発光部
３ 光照射パターン制御部
４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ 光出射面
５ａｂ、５ｄｅ 全反射ミラー
６ａ、６ｂ、６ｄ、６ｅ 全反射ミラー
７ａ、７ｂ、７ｄ、７ｅ 全反射ミラー
８ａｂ、８ｄｅ 全反射ミラー
９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ 照射パターン
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｅ 照射パターン
２０ 被光照射機構部
２１ 駆動ローラ
２２ 従動ローラ
２３ 搬送ベルト
２４ 被配向処理部材

Claims (7)

1. 紫外線を配向膜の表面に照射することによって配向処理を施す配向処理方法であって、発光部を含む光源装置部から出射された紫外線の略平行光が、複数個の全反射ミラーで構成された光照射パターン制御部を介して直線状の長尺形状の照射パターンとされ、前記照射パターンの紫外線の略平行光が前記配向膜に照射されることによって配向処理が施されることを特徴とする配向処理方法。
2. 前記光源装置部の光出射面を縦方向に複数部分に分割した夫々の出射面から出射した紫外線の略平行光は、前記光照射パターン制御部を介して夫々の前記光出射面の形状と略同一の形状の照射パターンに形成されると共に、順次横方向に配置されて直線状の長尺形状の照射パターンに形成されることを特徴とする請求項１に記載の配向処理方法。
3. 前記配向膜に照射される紫外線は、前記配向膜の表面に対して０°より大きく９０°以下の範囲の角度で照射されることを特徴とする請求項１又は２のいずれか１項に記載の配向処理方法。
4. 紫外線を配向膜の表面に照射することによって配向処理を施す配向処理装置であって、発光部を含む光源装置部から出射された紫外線の略平行光を、複数個の全反射ミラーで構成された光照射パターン制御部を介して直線状の長尺形状の照射パターンとし、前記照射パターンの紫外線の略平行光を前記配向膜に照射することによって配向処理を施すことを特徴とする配向処理装置。
5. 前記光源装置部の光出射面を縦方向に複数部分に分割した夫々の出射面から出射した紫外線の略平行光を、前記光照射パターン制御部を介して夫々の前記光出射面の形状と略同一の形状の照射パターンに形成すると共に、順次横方向に配置して直線状の長尺形状の照射パターンを形成することを特徴とする請求項４に記載の配向処理装置。
6. 前記配向膜に照射する紫外線は、前記配向膜の表面に対して０°より大きく９０°以下の範囲の角度で照射するようにしたことを特徴とする請求項４又は５のいずれか１項に記載の配向処理装置。
7. 前記光照射パターン制御部は、前記光源装置部の光出射面の前方に配設されて該光源装置部の光出射面から出射された紫外線の一部を該光出射面の対向する横方向に夫々反射させる２個の第一全反射ミラーと、前記第一全反射ミラーの夫々の反射光を前方に反射する左右夫々少なくとも１個の第二全反射ミラーと、前記第二全反射ミラーの反射光を夫々１対１で下方及び上方のいずれか一方に反射する第三全反射ミラーと、前記下方に反射する前記全ての第三全反射ミラーの反射光を一体に前方に反射する第四全反射ミラー及び前記上方に反射する前記全ての第三全反射ミラーの反射光を一体に前方に反射する第四全反射ミラーの２個の第四全反射ミラーと、で構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の配向処理方法及び配向処理装置。

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