JP2007162682A - 真空ハウジング - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は円筒部分およびフランジを有する真空ハウジングに関するものである。超高真空用に適したフランジを低コストで製作するために、リング状で且つ真空ポンプの軸方向を向くナイフ・エッジを、少なくともその一部がフランジ面を形成する面上に有する第1のリングが、円筒部分と同心に配置され、および第1のリングが真空ポンプのハウジングより硬い材料からなることが提案される。
【選択図】図2
Description
真空ハウジングに、UHVに適しているフランジの全体またはその一部を支持するリングを設けることが基本的な考え方である。このリングそれ自身は、真空ハウジングと、UHVに対して気密に結合されている。これにより、ハウジングの大部分を価格が安い材料例えばアルミニウムおよびアルミニウム合金から製作することが可能である。
第1の変更態様においては、第1のリングがハウジングと固定結合されている。これは高い機械荷重に対してより高い安全性を提供する。高い機械荷重は、フランジを介して真空ハウジングと結合されているかまたは真空ハウジング内に配置されていることもあるターボ分子真空ポンプのいわゆるロータ/ステータ衝突が起こったときに発生する。
真空気密性の改善は、さらに、第2のリングが第1のリングと真空ハウジングとの間に配置されていることにより可能である。第2のリングは、ハウジングおよび第1のリングより軟らかい材料から製作されている。このとき、第2のリングはシールとして働く。第2のリングを銅から製作することが有利であり、その理由は、銅は、他の通常のフランジ材料およびハウジング材料への熱膨張の良好な適合を可能にするからである。
2 真空ポンプ(超高真空ポンプ、ポンプ)
3、4 真空ハウジング
5、6 フランジ
7 フランジ・ボルト
10 ロータ
11 ステータ
12 軸受
13 駆動装置
20 円筒部分
21 第1のリング
22 第2のリング
23、24、25 ナイフ・エッジ
26 フランジ面
30 溶接継目
31 ボルト
32 切欠部
33 突起部
35 メタル・シール・リング
Claims (13)
- 円筒部分(20)およびフランジ(5、6)を有する真空ハウジング(3、4)において、
リング状で且つ真空ポンプの軸方向を向くナイフ・エッジ(23)を、少なくともその一部がフランジ面(26)を形成する面上に有する第1のリング(21)が、円筒部分と同心に配置され、および第1のリング(21)が真空ポンプのハウジングより硬い材料からなることを特徴とする真空ハウジング(3、4)。 - 第1のリング(21)がハウジングと結合されていることを特徴とする請求項1の真空ハウジング。
- 第1のリング(21)が、ボルト(31)により、円筒部分(20)と結合されていることを特徴とする請求項2の真空ハウジング。
- 第1のリング(21)が、円筒部分(20)と、圧接結合により結合されていることを特徴とする請求項2の真空ハウジング。
- 第1のリング(21)が、軸方向に且つ真空ハウジングを向く第2のナイフ・エッジ(24)を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかの真空ハウジング。
- 第1のリング(21)が、半径方向に配置されている第3のナイフ・エッジ(25)を有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかの真空ハウジング。
- 第2のリング(22)が、軸方向において、第1のリング(21)と円筒部分(20)との間に配置され、および第2のリング(22)が、円筒部分および第1のリングの材料より軟らかい材料からなることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかの真空ハウジング。
- 第2のリング(22)が銅合金からなることを特徴とする請求項7の真空ハウジング。
- 円筒部分(20)と第1のリング(21)との間の結合が、摩擦溶接により形成されることを特徴とする請求項2の真空ハウジング。
- 第1のリング(21)が特殊鋼からなることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかの真空ハウジング。
- 円筒部分(20)がアルミニウム合金からなることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかの真空ハウジング。
- ハウジングが真空室(1)であることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかの真空ハウジング。
- ハウジングが真空ポンプ(2)であることを特徴とする請求項1ないし12のいずれかの真空ハウジング。
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