JP2007149930A - 電子装置およびその製造方法 - Google Patents

電子装置およびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2007149930A
JP2007149930A JP2005341780A JP2005341780A JP2007149930A JP 2007149930 A JP2007149930 A JP 2007149930A JP 2005341780 A JP2005341780 A JP 2005341780A JP 2005341780 A JP2005341780 A JP 2005341780A JP 2007149930 A JP2007149930 A JP 2007149930A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic device
semiconductor chip
lead
sealing resin
power module
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005341780A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomio Yamada
富男 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Technology Corp
Original Assignee
Renesas Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Technology Corp filed Critical Renesas Technology Corp
Priority to JP2005341780A priority Critical patent/JP2007149930A/ja
Publication of JP2007149930A publication Critical patent/JP2007149930A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/50Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1305Bipolar Junction Transistor [BJT]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/13Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
    • H01L2924/1304Transistor
    • H01L2924/1306Field-effect transistor [FET]
    • H01L2924/13091Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/156Material
    • H01L2924/15786Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
    • H01L2924/15787Ceramics, e.g. crystalline carbides, nitrides or oxides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

【課題】電力増幅機能を有する電子装置の小型化や薄型化を可能とする電子装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】携帯電話などに使用されるRFパワーモジュール1は、電力増幅回路を有する半導体チップ2と、半導体チップ2のバンプ電極3aに接続端子4を介して電気的に接続されたリード部5と、接続端子4に接着された絶縁膜6と、それらを封止する封止樹脂部7とを有している。封止樹脂部7の底面7bでは、半導体チップ2の裏面電極3bが露出されている。絶縁膜6と接続端子4は、フレキシブル配線基板から形成されたものである。絶縁膜6は、枠状の平面形状を有し、絶縁膜6の開口部6aの下方に半導体チップ2が位置している。
【選択図】図8

Description

本発明は、電子装置およびその製造方法に関し、特に、電力増幅機能を有する電子装置およびその製造技術に適用して有効な技術に関する。
近年、GSM(Global System for Mobile Communications)方式、PCS(Personal Communication Systems)方式、PDC(Personal Digital Cellular)方式、CDMA(Code Division Multiple Access)方式といった通信方式に代表される移動体通信装置(移動通信機器、例えば携帯電話機等)が世界的に普及している。
一般に、この種の移動体通信装置は、電波の放射と受信をするアンテナ、電力変調された高周波信号を増幅してアンテナへ供給する高周波電力増幅器(RFパワーモジュール)、アンテナで受信した高周波信号を信号処理する受信部、これらの制御を行う制御部、そしてこれらに電源電圧を供給する電池(バッテリー)で構成される。
特開平6−61406号公報(特許文献1)には、リードフレームのアイランド上に複数の半導体素子(チップ)を搭載し、リードフレームのインナリードとチップ間をテ−プキャリアのインナリードとアウタリードで接続し、チップ間は、テープキャリアの接続リ−ドで接続することによって、マルチチップの高密度実装を行う技術が記載されている。
また、特開2002−208668号公報(特許文献2)には、主面に複数のパッドが形成された半導体チップと、両端に接続端子が形成されたチップ部品と、半導体チップとチップ部品とが搭載されるモジュール基板と、チップ部品とモジュール基板の基板側端子とを半田によって接続する半田接続部と、半導体チップのパッドとこれに対応するモジュール基板の基板側端子とを接続する金線と、半導体チップ、チップ部品、半田接続部および金線を覆うとともに絶縁性のシリコーン樹脂や低弾性エポキシ樹脂などの低弾性樹脂によって形成された封止部とから成り、半田接続部の半田の再溶融による流れ出しを防止する技術が記載されている。
また、米国特許第6765284号明細書(特許文献3)には、リードフレームに半導体チップを搭載してパッケージ化する技術が記載されている。
特開平6−61406号公報 特開2002−208668号公報 米国特許第6765284号明細書
本発明者の検討によれば、次のことが分かった。
一般的なRFパワーモジュールは、複数の絶縁体層と複数の配線層とを積層して一体化した多層配線基板上に電力増幅回路を有する半導体チップなどを実装した構造を有している。このRFパワーモジュールに使用される多層配線基板には、絶縁体層にアルミナなどのセラミック材料を使用したセラミック基板やガラスエポキシ樹脂などを使用した樹脂基板がある。しかしながら、多層配線基板は、構造が複雑で、高価である。
このため、リードフレームを用いてRFパワーモジュールを形成することが考えられる。リードフレームは多層配線基板に比べて安価であるため、RFパワーモジュールの製造コストを低減できる。電力増幅回路を有する半導体チップをリードフレームに搭載し、半導体チップの電極とリードフレームのリード部との間をワイヤボンディングしてから樹脂封止を行い、リードフレームを切断することで、RFパワーモジュールを製造することができる。
近年、移動体通信装置の小型化および薄型化の要求に伴い、そこに搭載するRFパワーモジュールのような電子装置にも、小型化および薄型化が要求されている。しかしながら、上記のようにワイヤボンディングを用いてRFパワーモジュールを製造した場合、ワイヤループの高さの分だけ封止樹脂の厚みを厚くしなければならず、RFパワーモジュールの厚みが厚くなってしまう。このため、RFパワーモジュールの薄型化には不利となる。
本発明の目的は、電子装置の小型化や薄型化を可能とする技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明は、電力増幅機能を有する電子装置であって、電力増幅回路を有する半導体チップと、前記半導体チップの表面に形成された複数のバンプ電極と、前記半導体チップの裏面に形成された裏面電極と、前記複数のバンプ電極とそれぞれ電気的に接続された複数の導体部と、前記複数の導体部と接着された絶縁体部と、前記複数の導体部とそれぞれ電気的に接続され前記複数の導体部を介して前記複数のバンプ電極にそれぞれ電気的に接続された複数のリード部とを有するものである。
また、本発明は、電力増幅機能を有する電子装置の製造方法であって、(a)電力増幅回路を有し、表面に複数のバンプ電極が形成された半導体チップを準備する工程、(b)複数の導体部が接着された絶縁体部を準備する工程、(c)複数のリード部を有するリードフレームを準備する工程、(d)前記半導体チップの前記複数のバンプ電極を前記複数の導体部に電気的に接続する工程、(e)前記複数の導体部を、前記リードフレームの前記複数のリード部に電気的に接続する工程、(f)前記リードフレームを切断する工程を有するものである。
また、本発明は、電力増幅機能を有する電子装置の製造方法であって、(a)電力増幅回路を有し、表面に複数のバンプ電極が形成された半導体チップを準備する工程、(b)複数の導体部が接着された絶縁体部を準備する工程、(c)複数のリード部を有するリードフレームを準備する工程、(d)前記半導体チップの前記複数のバンプ電極を前記複数の導体部に電気的に接続する工程、(e)前記複数の導体部を、前記リードフレームの前記複数のリード部に電気的に接続する工程、(f)前記リードフレームを切断する工程、(g)前記複数のリード部に接続すべき複数の第1端子と、前記裏面電極に接続すべき第2端子とを有する実装基板を準備する工程、(h)前記実装基板の前記複数の第1端子に前記複数のリード部を電気的に接続し、前記実装基板の前記第2端子に前記裏面電極を電気的に接続する工程を有するものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
電子装置の小型化や薄型化が可能になる。
以下の実施の形態においては便宜上その必要があるときは、複数のセクションまたは実施の形態に分割して説明するが、特に明示した場合を除き、それらはお互いに無関係なものではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細、補足説明等の関係にある。また、以下の実施の形態において、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。さらに、以下の実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、以下の実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
また、実施の形態で用いる図面においては、断面図であっても図面を見易くするためにハッチングを省略する場合もある。また、平面図であっても図面を見易くするためにハッチングを付す場合もある。
(実施の形態1)
本実施の形態の電子装置は、例えばGSM方式などのネットワークを利用して情報を伝送するデジタル携帯電話(移動体通信装置、移動通信機器)に使用(搭載)されるRF(Radio Frequency)パワーモジュールなどの電力増幅モジュール(電子装置)、またはその電力増幅モジュールに使用される電子装置である。
ここで、GSM(Global System for Mobile Communication)は、デジタル携帯電話に使用されている無線通信方式の1つまたは規格をいう。GSMには、使用する電波の周波数帯が3つあり、900MHz帯をGSM900または単にGSM、1800MHz帯をGSM1800またはDCS(Digital Cellular System)1800若しくはPCN、1900MHz帯をGSM1900またはDCS1900若しくはPCS(Personal Communication Services)という。なお、GSM1900は主に北米で使用されている。北米ではその他に850MHz帯のGSM850を使用する場合もある。本実施の形態の電子装置(半導体装置)であるRFパワーモジュール1は、例えばこれらの周波数帯(高周波帯)で使用されるRFパワーモジュールである。なお、高周波とは概ね500MHz以上の周波数を言う。
図1は、例えばGSM方式のネットワークを利用して情報を伝送するデジタル携帯電話機システムDPSの一例を示している。このデジタル携帯電話システムDPSは、マザーボード(実装基板)MB上に搭載されたモジュール、回路および素子等によって構築されている。
図1の符号1は本実施の形態の電子装置であるRFパワーモジュール、符号ANTは信号電波の送受信用のアンテナ、符号FEMはフロントエンド・モジュール、符号BBCは音声信号をベースバンド信号に変換したり、受信信号を音声信号に変換したり、変調方式切換信号やバンド切換信号を生成したりするベースバンド回路である。符号FMCは受信信号をダウンコンバートして復調し、ベースバンド信号を生成したり、送信信号を変調したりする変復調用回路、符号FLT1,FLT2は受信信号からノイズや妨害波を除去するフィルタ、符号104a,104bはRFパワーモジュール1の入力端子、符号106a,106bはパワーモジュール1の出力端子である。フィルタFLT1はGSM用、フィルタFLT2はDCS用である。
ベースバンド回路BBCは、DSP(Digital Signal Processor)やマイクロプロセッサ、半導体メモリ等の複数の半導体集積回路で構成されている。フロントエンド・モジュールFEMは、ローパスフィルタLPF1,LPF2、スイッチ回路(アンテナスイッチ回路)SW1,SW2、コンデンサC1,C2および分波器WDCを有している。ローパスフィルタLPF1,LPF2は高調波を減衰させる回路、スイッチ回路SW1,SW2は送受信信号切り換え用のスイッチ回路、コンデンサC1,C2は受信信号から直流成分をカットする素子、分波器WDCは、GSM900帯の信号と、DCS1800帯の信号とを分波する回路であり、これら回路および素子は1つの配線基板上に搭載されてモジュールとされている。なお、スイッチ回路SW1,SW2の切換信号CNT1,CNT2は上記ベースバンド回路BBCから供給される。
次に、図2は、本実施の形態の電子装置であるRFパワーモジュール(高周波電力増幅器、高周波電力増幅装置、高周波電力増幅モジュール、電力増幅モジュール、電力増幅器モジュール、RFモジュール、半導体装置、HPA(High Power Amplifier)、電子装置)1の回路ブロック図の一例を示している。この図には、例えばGSM900とDCS1800との2つの周波数帯が使用可能(デュアルバンド方式)で、それぞれの周波数帯でGMSK(Gaussian filtered Minimum Shift Keying)変調方式とEDGE(Enhanced Data GSM Environment)変調方式との2つの通信方式を使用可能なRFパワーモジュールの回路ブロック図(増幅回路)が示されている。なお、GMSK変調方式は、音声信号の通信に用いる方式で搬送波の位相を送信データに応じて位相シフトする方式である。また、EDGE変調方式は、データ通信に用いる方式でGMSK変調の位相シフトにさらに振幅シフトを加えた方式である。
図2に示されるように、RFパワーモジュール1の回路構成は、3つの増幅段102A1,102A2,102A3からなるGSM900(824〜915MHz)用の電力増幅回路102Aと、3つの増幅段102B1,102B2,102B3からなるDCS1800(1710〜1910MHz)用の電力増幅回路102Bと、それら電力増幅回路102A,102Bの増幅動作の制御や補佐などを行う周辺回路103とを有している。
RFパワーモジュール1の回路構成は、更に、GSM900用の入力端子104aおよび電力増幅回路102A間の整合回路(入力整合回路)105Aと、DCS1800用の入力端子104bおよび電力増幅回路102B間の整合回路(入力整合回路)105Bとを有している。また、RFパワーモジュール1の回路構成は、更に、GSM900用の出力端子106aおよび電力増幅回路102A間の整合回路(出力整合回路)107Aと、DCS1800用の出力端子106bおよび電力増幅回路102B間の整合回路(出力整合回路)107Bとを有している。また、GSM900用の電力増幅回路102Aの増幅段102A1と増幅段102A2の間には段間用の整合回路(段間整合回路)102AM1が設けられ、増幅段102A2と増幅段102A3の間には段間用の整合回路(段間整合回路)102AM2が設けられている。また、DCS1800用の電力増幅回路102Bの増幅段102B1と増幅段102B2の間には段間用の整合回路(段間整合回路)102BM1が設けられ、増幅段102B2と増幅段102B3の間には段間用の整合回路(段間整合回路)102BM2が設けられている。各整合回路はインピーダンスの整合を行う回路である。
周辺回路103は、制御回路103Aと、上記増幅段102A1〜102A3,102B1〜102B3にバイアス電圧を印加するバイアス回路103Bなどを有している。制御回路103Aは、上記電力増幅回路102A,102Bに印加する所望の電圧を発生する回路であり、電源制御回路103A1およびバイアス電圧生成回路103A2を有している。電源制御回路103A1は、上記増幅段102A1〜102A3,102B1〜102B3の各々の出力用の増幅素子(例えばMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor))のドレイン端子に印加される第1電源電圧を生成する回路である。また、上記バイアス電圧生成回路103A2は、上記バイアス回路103Bを制御するための第1制御電圧を生成する回路である。ここでは、電源制御回路103A1が、RFパワーモジュール1の外部のベースバンド回路BBCから供給される出力レベル指定信号に基づいて上記第1電源電圧を生成すると、バイアス電圧生成回路103A2が電源制御回路103A1で生成された上記第1電源電圧に基づいて、上記第1制御電圧を生成するようになっている。上記ベースバンド回路BBCは、上記出力レベル指定信号を生成する回路である。この出力レベル指定信号は、電力増幅回路102A、102Bの出力レベルを指定する信号で、携帯電話と基地局との間の距離、すなわち、電波の強弱に応じた出力レベルに基づいて生成されているようになっている。
図2に示されるRFパワーモジュール1の回路構成のうち、GSM900用の電力増幅回路102Aと、DCS1800用の電力増幅回路102Bと、周辺回路103とは、1つの半導体チップ2内に形成されている。整合回路102AM1,102AM2,102BM1,102BM2,105A,105B,107A,107Bも、できるだけ半導体チップ2内に形成されていることが、携帯電話機全体の小型化を図る上では好ましいが、上記整合回路を構成する受動素子のうち、半導体チップ2内に形成しなかった(できなかった)受動素子は、マザーボードMD(後述の実装基板41に対応)上に実装した受動部品(後述のチップ部品42に対応)などにより構成することができる。
RFパワーモジュール1のGSM900用の入力端子104aに入力されたRF(高周波)入力信号は、整合回路105Aを経て電力増幅回路102A、すなわち3つの増幅段102A1〜102A3で増幅され、整合回路107Aを経てGSM900用の出力端子106aからRF(高周波)出力信号として出力される。また、RFパワーモジュール1のDCS1800用の入力端子104bに入力されたRF(高周波)入力信号は、整合回路105Bを経て電力増幅回路102B、すなわち3つの増幅段102B1〜102B3で増幅され、整合回路107Bを経てDCS1800用の出力端子106bからRF(高周波)出力信号として出力される。
このように、本実施の形態のRFパワーモジュール1は、電力増幅機能(電力増幅回路)を有する電子装置であり、2系統(すなわちGSM900用およびDCS1800用)の電力増幅回路102A,102Bを有し、2系統の電力増幅回路102A,102Bの送信周波数帯は、それぞれ0.9GHz帯と1.8GHz帯である。
図3は、本実施の形態の電子装置であるRFパワーモジュール1の上面図(表面図、平面図)、図4は、その下面図(裏面図、平面図)、図5〜図7は、その平面透視図(平面図)、図8〜図10は、その断面図(側面断面図)である。図5〜図7は、図3と同様に、RFパワーモジュール1を上面側から見た平面図であるが、図5は、封止樹脂7を透視した状態が示され、図6は、封止樹脂7および絶縁膜6を透視した状態が示され、図7は、封止樹脂7、絶縁膜6および接続端子4を透視した状態が示されている。なお、図5〜図7では、透視した封止樹脂部7の外形が点線で示されている。また、図5のA−A線に沿ったRFパワーモジュール1の断面図が、図8にほぼ対応し、図5のB−B線に沿ったRFパワーモジュール1の断面図が、図9にほぼ対応し、図5のC−C線に沿ったRFパワーモジュール1の断面図が、図10にほぼ対応する。
図3〜図10に示されるように、本実施の形態のRFパワーモジュール1は、半導体チップ2を搭載したQFP(Quad Flat Package)形態の封止型(樹脂封止型)のRFパワーモジュールである。本実施の形態のRFパワーモジュール1は、複数のバンプ電極3aを有する半導体チップ2と、複数のバンプ電極3aに複数の接続端子(導体部、導体パターン、導体膜部)4を介してそれぞれ電気的に接続された複数のリード部(リード、導体部)5と、複数の接続端子4に接着された絶縁膜(絶縁体部)6と、それらを封止する封止樹脂部7とを有している。
半導体チップ2は、図2の回路ブロック図において半導体チップ2を示す点線で囲まれた回路構成に対応する半導体集積回路が形成された半導体チップ2である。従って、半導体チップ2は増幅回路(電力増幅回路)を含んでいる。半導体チップ2内(または表層部分)には、電力増幅回路102A,102Bの各増幅段を構成する半導体増幅素子(例えばMISFET、ヘテロ接合バイポーラトランジスタまたはHEMT(High Electron Mobility Transistor)など)、周辺回路103を構成する半導体素子、および整合回路102AM1,102AM2,102BM1,102BM1,105A,105B,107A,107Bを構成する受動素子などが形成されている。このように、RFパワーモジュール1は電力増幅回路(102A,102B)を有しており、半導体チップ2にその電力増幅回路(102A,102B)が形成されている。
半導体チップ2の表面(素子形成側の主面)2aには、図7〜図9などに示されるように、複数のバンプ電極(突起状電極)3aが形成されている。バンプ電極3は、例えば半田バンプまたは金バンプなどからなり、半導体チップ2の表面2aの周辺部に沿って設けられている。バンプ電極3が半田バンプである場合は、鉛(Pb)を含有しない鉛フリー半田からなる半田バンプであることが好ましい。各バンプ電極3は、半導体チップ2内に形成された半導体集積回路に電気的に接続されている。また、半導体チップ2の裏面(表面2aとは反対側の主面)2bには、図8〜図10などに示されるように、裏面電極3bが形成されている。
図11は、一例として、上記電力増幅回路102A,102B(の増幅段102A1〜102A3,102B1〜102B3)を構成する半導体増幅素子をLDMOSFET(Laterally Diffused Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor、横方向拡散MOSFET)により形成した場合の半導体チップ2の要部断面図である。
図11に示されるように、p型単結晶シリコンからなる半導体基板201の主面には、p型単結晶シリコンからなるエピタキシャル層202が形成され、エピタキシャル層202の主面の一部には、LDMOSFETのドレインからソースへの空乏層の延びを抑えるパンチスルーストッパとしての機能するp型ウエル206が形成されている。p型ウエル206の表面には、酸化シリコンなどからなるゲート絶縁膜207を介してLDMOSFETのゲート電極208が形成されている。ゲート電極208は、例えばn型の多結晶シリコン膜あるいはn型の多結晶シリコン膜と金属シリサイド膜の積層膜などからなり、ゲート電極208の側壁には、酸化シリコンなどからなるサイドウォールスペーサ211が形成されている。
エピタキシャル層202の内部のチャネル形成領域を挟んで互いに離間する領域には、LDMOSFETのソース、ドレインが形成されている。ドレインは、チャネル形成領域に接するn型オフセットドレイン領域209と、n型オフセットドレイン領域209に接し、チャネル形成領域から離間して形成されたn型オフセットドレイン領域212と、n型オフセットドレイン領域212に接し、チャネル形成領域からさらに離間して形成されたn型ドレイン領域213とからなる。これらn型オフセットドレイン領域209、n型オフセットドレイン領域212およびn型ドレイン領域213のうち、ゲート電極208に最も近いn型オフセットドレイン領域209は不純物濃度が最も低く、ゲート電極208から最も離間したn型ドレイン領域213は不純物濃度が最も高い。
LDMOSFETのソースは、チャネル形成領域に接するn型ソース領域210と、n型ソース領域210に接し、チャネル形成領域から離間して形成され、n型ソース領域210よりも不純物濃度が高いn型ソース領域214とからなる。n型ソース領域210の下部には、p型ハロー領域(図示せず)を形成することもできる。
型ソース領域214の端部(n型ソース領域210と接する側と反対側の端部)には、n型ソース領域214と接するp型打抜き層204が形成されている。p型打抜き層204の表面近傍には、p型半導体領域215が形成されている。p型打抜き層204は、LDMOSFETのソースと半導体基板201とを電気的に接続するための導電層であり、例えばエピタキシャル層202に形成した溝203の内部に埋め込んだp型多結晶シリコン膜によって形成される。
LDMOSFETのp型打抜き層204(p型半導体領域215)、ソース(n型ソース領域214)およびドレイン(n型ドレイン領域213)のそれぞれの上部には、絶縁膜(層間絶縁膜)221に形成されたコンタクトホール222内のプラグ223が接続されている。p型打抜き層204(p型半導体領域215)およびソース(n型ソース領域214)には、プラグ223を介してソース電極224a(配線224)が接続され、ドレイン(n型ドレイン領域213)には、プラグ223を介してドレイン電極224b(配線224)が接続されている。
ソース電極224aおよびドレイン電極224bのそれぞれには、ソース電極224aおよびドレイン電極224bを覆う絶縁膜(層間絶縁膜)225に形成されたスルーホール226内のプラグ227を介して配線228が接続されている。絶縁膜225上に、配線228を覆うように、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の積層膜からなる表面保護膜(絶縁膜)229が形成されている。表面保護膜229には、開口部230が複数形成され、各開口部280から露出する配線228上に、金膜などのUBM(Under Bump Metal、バンプ下地金属層)膜231を介して半田バンプなどのバンプ電極232(上記バンプ電極3aに対応するもの)が形成されている。また、半導体基板201の裏面には裏面電極(ソース裏面電極)233(上記裏面電極3bに対応するもの)が形成されている。
図12は、他の一例として、上記電力増幅回路102A,102B(の増幅段102A1〜102A3,102B1〜102B3)を構成する半導体増幅素子をヘテロ接合型バイポーラトランジスタ(HBT:Heterojunction Bipolar Transistor)により形成した場合の半導体チップ2の要部断面図である。
図12に示されるように、半絶縁性のGaAs基板(半導体基板)251上にn型GaAs層よりなるサブコレクタ層252が形成され、サブコレクタ層252上にHBT253が形成されている。
各HBT253は、サブコレクタ層252上に形成された金などからなるコレクタ電極254と、このコレクタ電極254とは所定間隔だけ離間して形成されたコレクタメサ255を有している。コレクタメサ255は、例えばn型GaAs層より形成され、コレクタメサ255とコレクタ電極254はサブコレクタ層252を介して電気的に接続されている。
コレクタメサ255上には、例えばp型GaAs層よりなるベースメサ256が形成されている。ベースメサ256上の周辺領域には金等よりなるベース電極257が形成されている。ベースメサ256の略中央部上にエミッタ層258が形成され、エミッタ層258上にエミッタ電極259が形成されている。エミッタ層258は、例えばn型InGaP層、GaAs層およびInGaAs層を積層した層より形成され、エミッタ電極259は、例えばタングステンシリサイドから形成されている。このように、ベースメサ(p型GaAs層)256とエミッタ層(n型InGaP層)258との間には異種半導体接合(ヘテロ接合)が形成されている。
コレクタ電極254には、絶縁膜261に形成されたコンタクトホール262を介してコレクタ配線263が接続されている。エミッタ電極259には、絶縁膜264,261に形成されたスルーホール265を介してエミッタ配線266が接続されている。エミッタ配線266よりも上層の構造については、ここでは図示およびその説明を省略するが、この場合も、半導体チップ2の表面には、上記バンプ電極3aに対応するものが形成されている。
図3〜図10に示されるように、半導体チップ2の複数のバンプ電極3aは、複数の接続端子4にそれぞれ接合されて電気的に接続されている。すなわち、図5〜図10などに示されるように、半導体チップ2は、半導体チップ2の表面(バンプ電極3a形成側の主面)2aが各接続端子4の主面(半導体チップ2に対向する側の主面)4cに対向する向きで、複数の接続端子4上に搭載(配置)され、各バンプ電極3aが各接続端子4の主面4cの端部4a近傍領域に接合されて電気的に接続されている。従って、半導体チップ2は複数の接続端子4にフェイスダウンでフリップチップ接続されている。バンプ電極3aと接続端子4とは、圧着、熱圧着、超音波接続または半田接続などにより接合(接続)されている。
また、図5、図6および図8〜図10などに示されるように、複数のリード部5が、複数の接続端子4にそれぞれ接合されて電気的に接続されている。すなわち、各接続端子4のバンプ電極3aに接続された側の端部4aとは逆側の端部4b近傍領域の主面4cに、各リード部5の端部近傍(インナリード部5a)が接合されて電気的に接続されている。接続端子4とリード部5とは、圧着、熱圧着または超音波接続などにより接合(接続)されている。
このように、各接続端子4の主面4cのうち、一方の端部4a近傍領域にバンプ電極3aが接合され、他方の端部4b近傍領域にリード部5が接合された構造となっている。このため、接続端子4は、バンプ電極3aとリード部5との間に介在して、両者を電気的に接続するための導体部(導電体部)である。従って、複数のリード部5は、複数の接続端子4を介して、半導体チップ2の表面2aの複数のバンプ電極3aにそれぞれ電気的に接続され、半導体チップ2内に形成された半導体集積回路に電気的に接続されている。
各接続端子4は、導体膜(導電体膜)からなるが、好ましくは、銅(Cu)または銅合金などの金属膜(例えば銅箔)からなり、必要に応じて、接続端子4およびリード5に接続される側の主面4cにめっき膜が形成されている。このめっき膜は、例えばニッケル(Ni)めっき膜とその上層の金(Au)めっき膜の積層膜や、スズ(Sn)めっき膜などにより形成することができる。
絶縁膜6は、絶縁体材料からなる絶縁体部であり、複数の接続端子4に接着されている。本実施の形態では、絶縁膜6は、例えばポリイミドなどの有機絶縁膜からなり、テープ状(フィルム状、薄膜状)の部材であり、複数の接続端子4の主面(主面4cとは逆側の主面)4dに接着材(図示省略)などを介して接着されている。
絶縁膜6と複数の接続端子4は、後述するように、同じフレキシブル配線基板(フレキシブル基板、テープ基板)から形成されたものであり、絶縁膜6は、そのフレキシブル配線基板の絶縁性の基材層(後述するベースフィルム12に対応)により形成され、接続端子4は、そのフレキシブル配線基板の導体層(後述する導体パターン13に対応)により形成されたものである。従って、複数の接続端子は、同じ導電体材料からなる。封止樹脂部7形成前の状態において、絶縁膜6は複数の接続端子4を(一体的に)保持する機能を有している。
複数のリード部5は、同じリードフレームから形成されたものであり、同じ導電体材料からなり、それぞれ折り曲げ加工が施されている。例えば銅(Cu)または銅合金などの金属材料によりリード部5が形成されている。
封止樹脂部7は、樹脂材料からなり、フィラーなどを含有することができる。封止樹脂部7を構成する樹脂材料としては、例えば熱硬化性樹脂などを用いることができ、例えばエポキシ樹脂などを用いることができる。封止樹脂部7に含有されるフィラーとしては、シリカなどを用いることができる。封止樹脂部7により、半導体チップ2、複数の接続端子4、複数のリード部5(のインナリード部)および絶縁膜6が封止され(覆われ)、保護される。また、半導体チップ2の複数のバンプ電極3aと複数の接続端子4との接続部や、複数の接続端子4と複数のリード部5との接続部も、封止樹脂部7によって封止され(覆われ)、保護される。また、封止樹脂部7を構成する樹脂材料としてエポキシ樹脂を用いることで、封止樹脂部7の強度(弾性率)を高め、半導体チップ2のバンプ電極3aと複数の接続端子4との接続部や、接続端子4とリード部5との接続部などの保護機能を高めることができる。
絶縁膜6は、図5、図8および図9などに示されるように、中央に開口部6aを有する枠状の平面形状を有している。絶縁膜6の開口部6aの平面寸法は、半導体チップ2の平面寸法よりも大きいことが好ましい。また、半導体チップ2と絶縁膜6とが平面的に重ならず、開口部6aの下方に半導体チップ2が配置されていることが好ましい。これにより、半導体チップ2の表面2aの上方に絶縁膜6が存在しなくなるので、半導体チップ2の表面2a上を封止樹脂部7で密着して覆うことができ、バンプ電極3aと接続端子4との接続部やバンプ電極3a自身を封止樹脂部7で密着して覆うことができる。このため、半導体チップ2のバンプ電極3aと接続端子4との電気的接続の信頼性を向上させ、RFパワーモジュール1の信頼性を向上させることができる。
封止樹脂部7の底面(裏面、下面)7bでは、図4および図8〜図10などに示されるように、半導体チップ2の裏面2bが露出されている。半導体チップ2の裏面2bには裏面電極3bが形成されているので、封止樹脂部7の底面7bで半導体チップ2の裏面電極3bが露出されている。このため、RFパワーモジュール1をマザーボードまたは実装基板(後述する実装基板41に対応)などに実装する際に、半導体チップ2の裏面電極3bを実装基板の電極または端子(後述する基板側端子43に対応)に接続可能となっている。
各リード部5と接続端子4との接続部は封止樹脂部7内に封止されているが、各リード部5の接続端子4と接続された側とは逆側の部分(アウタリード部5b)は、封止樹脂部7の側面7cから突出して露出されている。図8〜図10などに示されるように、各リード部5の封止樹脂部7から突出した部分(アウタリード部5b)は、折り曲げられて、リード部5の一部(アウタリード部5b)の下面5cが封止樹脂部7の底面7b(半導体チップ2の裏面2b)と、略同一平面とされている。封止樹脂部7から露出または突出するリード部5(アウタリード部5b)が、RFパワーモジュール1の外部端子(外部接続端子)として機能する。すなわち、各リード部5は、封止樹脂部7内に封止されたインナリード部5aと、封止樹脂部7から露出されたアウタリード部5bとを有し、インナリード部5aに接続端子4が接合され、アウタリード部5bは外部端子として機能する。
また、本実施の形態では、RFパワーモジュール1をQFP形態としたが、QFN(Quad Flat Non-leaded package)形態とすることもでき、この場合、複数のリード部5全体が封止樹脂部7内に封止され、リード部5は封止樹脂部7から突出しないが、封止樹脂部7の底面7bで各リード部5の一部の下面5cが露出されて外部端子となる。
次に、本実施の形態のRFパワーモジュール1の製造工程(製造方法)を図面を参照して説明する。
図13は、本実施の形態のRFパワーモジュール1の製造工程を示す製造プロセスフロー図である。図14〜図27は、本実施の形態の半導体装置の製造工程中の要部平面図または要部断面図である。図14〜図27のうち、図14、図15、図17、図19、図20、図22および図24は平面図であり、図16、図18、図21、図23および図25〜図27は断面図である。また、図15と図16とは同じ工程段階中の平面図および断面図に対応し、図17と図18とは同じ工程段階中の平面図および断面図に対応し、図20と図21とは同じ工程段階中の平面図および断面図に対応し、図22と図23とは同じ工程段階中の平面図および断面図に対応し、図24と図25とは同じ工程段階中の平面図および断面図に対応し、各断面図は、各平面図に示されたD−D線の断面にほぼ対応する。
本実施の形態の電子装置であるRFパワーモジュール1は、次のようにして製造することができる。
まず、半導体チップ2とフレキシブル配線基板(FPC)11を準備する(ステップS1)。図14には、半導体チップ2の全体平面図(上面図)が示され、図15には、フレキシブル配線基板11の要部平面図が示され、図16には、フレキシブル配線基板11の要部断面図(図15のD−D線の断面に対応)が示されている。
半導体チップ2は、例えば、単結晶シリコンなどからなる半導体基板(半導体ウエハ)に半導体集積回路やバンプ電極を形成した後、ダイシングなどにより半導体基板を各半導体チップ2に分離することなどにより、形成することができる。図14に示されるように、半導体チップ2は、半導体チップ2内に形成された半導体集積回路に電気的に接続された複数のバンプ電極3aを、半導体チップ2の表面2aに有している。フレキシブル配線基板11より半導体チップ2を先に製造しても、半導体チップ2よりフレキシブル配線基板11を先に製造しても、あるいは、半導体チップ2とフレキシブル配線基板11を同時に製造してもよい。
また、図15および図16に示されるように、フレキシブル配線基板11は、絶縁性のベースフィルム(基材層、絶縁膜、絶縁基板)12と、ベースフィルム12上に接着材層などを介して接着された導体パターン(配線パターン、導体層、導体部)13とを有しており、この導体パターン13は、後で上記複数の接続端子4となる導体パターン13aを含んでいる。ベースフィルム12は、ポリイミドなどの有機絶縁膜かなり、可撓性を有している。導体パターン13は、例えば銅箔などからなり、その表面には、めっき膜(例えばニッケル(Ni)めっき膜とその上層の金(Au)めっき膜の積層膜、あるいはスズ(Sn)めっき膜など)が形成されている。
ベースフィルム12は、後で上記絶縁膜6となる第1部分(絶縁体部)12aと、第1部分12aとは分離された本体部12bとを有している。ベースフィルム12の本体部12bの両サイドには、フレキシブル配線基板11を送るために使用されるスプロケットホール(孔)14が形成されている。従って、フレキシブル配線基板12は、テープキャリア(テープ基板、テープ状フレキシブル配線基板)である。図15に示されるように、点線で囲まれた単位領域16が繰り返されて、フレキシブル配線基板11が構成されており、例えばリールに巻き取った状態などで保管することができる。なお、単位領域16は、一つのRFパワーモジュール11を製造するために使用する、フレキシブル配線基板11の単位領域である。
フレキシブル配線基板11の導体パターン13のうちの、後で上記接続端子4となる導体パターン13aは、本体部12bの開口部15で空中に飛び出した状態で露出され、ベースフィルム12の第1部分12aによって一体的に保持されている。このベースフィルム12の第1部分12aは、本体部12bの開口部15内に配置されており、第1部分12aと本体部12bとは互いに分離されている。第1の部分12aは、上記絶縁膜6と同様の形状を有しており、中央に開口部(上記開口部6aに相当するもの)を有する枠状の平面形状を有している。従って、フレキシブル配線基板11は、上記複数の接続端子4(導体パターン13a)が接着された絶縁膜6(ベースフィルム12の第1の部分12a)を含んだ構造を有している。
次に、フレキシブル配線基板11に半導体チップ2を搭載し、フレキシブル配線基板11の導体パターン13aに半導体チップ2のバンプ電極3aを接続(接合)する(ステップS2)。図17(要部平面図)および図18(要部断面図)には、フレキシブル配線基板11に半導体チップ2を搭載してバンプ電極3aを導体パターン13aに接続した状態を示されている。なお、図18は、図17のD−D線の断面にほぼ対応するが、図17に示されている面が、図18では下側として図示されている。また、図17には、図15の単位領域16にほぼ対応する領域が示されている。
図17および図18に示されるように、ステップS2では、例えば、まず、フレキシブル配線基板11上に半導体チップ2をフェイスダウンで搭載し、半導体チップ2のバンプ電極3aがフレキシブル配線基板11の導体パターン13aの先端部(後で接続端子4の端部4aとなる部分)近傍に対向するように位置合わせする。それから、加熱した部材などで半導体チップ2の裏面2b側を所定の時間、所定の圧力で押さえることで、バンプ電極3aを加熱した状態で導体パターン13aに押し付ける。このようにして、半導体チップ2のバンプ電極3aをフレキシブル配線基板11の導体パターン13a(接続端子4)に接合し、電気的に接続することができる。
本実施の形態とは異なり、フレキシブル配線基板11にベースフィルムの12の第1部分12aがない場合は、ベースフィルム12に裏打ちされていない導体パターン13aが不安定となり、ステップS2の半導体チップ2のバンプ電極3aと導体パターン13aの接続工程でバンプ電極3aを導体パターン13a上に位置決めしにくくなる。本実施の形態では、導体パターン13aの先端部近傍同士をベースフィルム12の第1部分12aにより連結した状態とすることで、導体パターン13aの位置を安定させることができ、ステップS2の半導体チップ2のバンプ電極3aと導体パターン13aの接続工程でバンプ電極3aを導体パターン13a上に位置決めするのが容易となり、バンプ電極3aと導体パターン13aを的確に接合することができる。
次に、リードフレーム21を準備する(ステップS3)。図19には、リードフレーム21の要部平面図が示されている。リードフレーム21は、ステップS1の前、後または同時に準備してもよく、また、ステップS2の前、後または同時に準備してもよい。
リードフレーム21は、例えば、銅または銅合金、あるいは42−アロイなどの導電体材料からなる。図19に示されるように、リードフレーム21は、フレーム枠22と、その一端がフレーム枠22と接続する複数のリード(リード部)23とを有している。リード23が、後で上記リード部5となる。リード23の導体パターン13a接合予定領域には、リード23と導体パターン13aとの接合を容易とするためのめっき膜(例えば、金(Au)めっき膜、銀(Ag)めっき膜または半田めっき膜など)が形成されている。また、リードフレーム21のフレーム枠22の両サイドには、フリードフレーム11を送ったり、あるいは位置決めなどに使用可能な孔25が形成されている。
また、図19に示されるように、点線で囲まれた単位領域24が繰り返されてリードフレーム21が構成されており、リードフレーム21は多連リードフレームである。なお、単位領域24は、一つのRFパワーモジュール11を製造するために使用する、リードフレーム21の単位領域である。一つのRFパワーモジュール1を製造するためには、フレキシブル配線基板11の一つの単位領域16とリードフレーム21の一つの単位領域24とが使用される。
次に、フレキシブル配線基板11の導体パターン13aとリードフレーム21のリード23とを接続(接合)する(ステップS4)。図20(要部平面図)および図21(要部断面図)には、フレキシブル配線基板11の導体パターン13aとリードフレーム21のリード23とを接続(接合)した状態が示されている。また、図20には、図15の単位領域16と図19の単位領域24にほぼ対応する領域が示されている。
ステップS4では、図20および図21に示されるように、例えば、半導体チップ2を搭載したフレキシブル基板11とリードフレーム21とを重ね、フレキシブル配線基板11の導体パターン13a(接続端子4)とリードフレーム21のリード23(リード部5)とを位置合わせして熱圧着などにより接合し、電気的に接続する。
また、ステップS4では、フレキシブル配線基板11の導体パターン13aとリードフレーム21のリード23とを接合した後、リードフレーム21からフレキシブル配線基板11を引き離す(引き剥がす)。図22(要部平面図)および図23(要部断面図)には、リードフレーム21からフレキシブル配線基板11を引き離した(引き剥がした)状態が示されている。これにより、図22および図23に示されるように、フレキシブル配線基板11のうち、導体パターン13aとベースフィルム12の第1部分12aとがリードフレーム21側に残り、他の部分(すなわちベースフィルム12の本体部12bと、導体パターン13a以外の導体パターン13)がリードフレーム21から引き離されて(引き剥がされて)除去される。リードフレーム21側に残って半導体チップ2のバンプ電極3aとリード23とを接続する導体パターン13aが接続端子4となり、ベースフィルム12の第1部分12aが絶縁膜6となる。
次に、モールド工程を行い、図24(要部平面図)および図25(要部断面図)に示されるように、封止樹脂部7を形成する(ステップS5)。ステップS5では、半導体チップ2、ベースフィルム12の第1の部分12a(絶縁膜6)、導体パターン13a(複数の接続端子4)および複数のリード23(の上記インナリード部5aとなる部分)が封止樹脂部7内に封止され、封止樹脂部7の底面7bで半導体チップ2の裏面2bの裏面電極3bが露出するように、封止樹脂部7を形成する。
ステップS5では、減圧した状態で樹脂封止する減圧モールド法(減圧トランスファモールド法)を用いて封止樹脂部7を形成することが好ましい。例えば、次のようにして封止樹脂部7を形成することができる。
まず、モールド装置の上金型を上げて、半導体チップ2が接続端子4を介して接続されたリードフレーム21を下金型上に配置してから、上金型を下げてリードフレーム21を固定する。上金型には、上金型と下金型との間の成型金型内(成形金型のキャビティ内)の空気および樹脂を外部へ送り出すためのエアベントが設けられている。続いて、真空ポンプなどを用いて成型金型内(成形金型のキャビティ内)を強制的に、例えば1Torr以下に減圧した後、樹脂タブレットをプレヒータで加熱し、樹脂粘度を下げてから液状化した封止用樹脂を成型金型内(成形金型のキャビティ内)へ圧送する。封止用樹脂は、例えばエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂が用いられ、フィラーなどを含有することもできる。封止用樹脂が成型金型内(成形金型のキャビティ内)に行き渡った時点で成型金型内の減圧(真空引き)を止め、トランスファモールドのプランジャーなどで成形金型内(成形金型のキャビティ内)の封止用樹脂の加圧を行う。そして、成型金型内に充填された封止用樹脂を重合反応により硬化させた後、上金型と下金型とを開けて、硬化した封止用樹脂、すなわち封止樹脂部7で覆われたリードフレーム21を取り出す。その後、必要に応じて、封止樹脂部7のバリ取りを行い、更にベーク処理を行って重合反応を完成させることにより、封止樹脂部7を形成することができる。また、封止樹脂部7の形成後、必要に応じて封止樹脂部7の上面(表面)7aなどにマーキングを施すこともできる。
このように、成型金型内(成形金型の封止樹脂部7形成用のキャビティ内)を減圧した後に封止用樹脂を投入することにより、封止用樹脂の流動性を図ることができるので、狭い隙間にもボイドの形成を防いで封止用樹脂を充填することができる。従って、ボイドや充填不良を生じるのを防止して、封止樹脂部7を的確に形成することができる。例えば、半導体チップ2のバンプ電極3aと接続端子4との接続部の周囲を封止樹脂部7で確実に覆って封止することができ、バンプ電極3a間にボイドが生じるのを防止できる。
次に、図26(要部断面図)に示されるように、リードフレーム21を切断する(ステップS6)。この際、図24の切断線27でリードフレーム21を切断し、リードフレーム21のリード23をフレーム枠22から分離する。フレーム枠22から分離されたリード23が上記リード部5となる。リード部5は、接続端子4との接続部を含む部分(インナリード部)が封止樹脂部7内に封止され、他の部分(アウタリード部)が封止樹脂部7の側面7cから突出している。
次に、図27(断面図)に示されるように、リード成形を行って、封止樹脂部7から突出するリード部5に折り曲げ加工を施す(ステップS7)。
このようにして、図27に示されるRFパワーモジュール1、すなわち上記図3〜図10に示されるような本実施の形態のRFパワーモジュール1が製造される。
RFパワーモジュール1は、実装基板(マザーボード)などに実装可能である。図28は、RFパワーモジュール1を実装基板41に実装(接続、搭載)した状態を示す要部断面図である。実装基板41は、例えば、上記図1のマザーボードMBに対応する。従って、図28は、上記図1のデジタル携帯電話機システムDPSのRFパワーモジュール1の実装例を示している。
図28に示されるように、実装基板41は、例えば多層配線構造を有する配線基板(プリント配線基板)などからなり、その主面(上面)41a上には、RFパワーモジュール1と、その他に複数のチップ部品42などが搭載(実装)されている。
実装基板41は、RFパワーモジュール1の複数のリード部5にそれぞれ接続すべき複数の基板側端子(第1端子、電極)43aと、RFパワーモジュール1の半導体チップ2の裏面電極3bに接続すべき基板側端子(第2端子、電極)43bと、チップ部品42の複数の電極にそれぞれ接続すべき複数の基板側端子(端子、電極)43cとを、主面41aに有している。
RFパワーモジュール1は、封止樹脂部7の底面側7bを実装基板41の主面41a側に向けた状態で、実装基板41上に搭載されている。そして、RFパワーモジュール1のリード部5(の下面5c)が、実装基板41の主面41aの基板側端子43aに、半田などの導電性の接合材44を介して接合されて電気的に接続され、RFパワーモジュール1の半導体チップ2の裏面電極3bが、実装基板41の主面41aの基板側端子43bに、半田などの導電性の接合材44を介して接合されて電気的に接続されている。また、チップ部品42の電極が、実装基板41の主面41aの基板側端子43cに、接合材44を介して接合されて電気的に接続されている。接合材44は、好ましくは半田であるが、鉛(Pb)を含有しない鉛(Pb)フリー半田であれば、より好ましい。
実装基板41へのRFパワーモジュール1の実装工程は、次のようにして行うことができる。まず、実装基板41を準備する。実装基板41準備は、RFパワーモジュール1の製造の前、途中、後または同時に行うことができる。それから、実装基板41の基板側端子43a,43b,43c上に半田(例えば半田ペースト)を供給してから、実装基板41上にRFパワーモジュール1およびチップ部品42を配置し、その後、半田リフロー処理を行う。これにより、RFパワーモジュール1の複数のリード部5を、実装基板41の複数の基板側端子43aに半田(接合材44)を介してそれぞれ接合して電気的に接続し、RFパワーモジュール1の半導体チップ2の裏面電極3bを、実装基板41の基板側端子43bに半田(接合材44)を介して接合して電気的に接続し、チップ部品42の電極を、実装基板41の基板側端子43cに半田(接合材44、好ましくは鉛フリー半田)を介して接合して電気的に接続する。このようにして、図28のようにRFパワーモジュール1およびチップ部品42を実装基板41上に実装することができる。
RFパワーモジュール1の半導体チップ2内には、図2に示されるRFパワーモジュール1の回路構成のうち、GSM900用の電力増幅回路102Aと、DCS1800用の電力増幅回路102Bと、周辺回路103とが形成されており、整合回路102AM1,102AM2,102BM1,102BM2,105A,105B,107A,107Bも、できるだけ半導体チップ2内に形成されていることが好ましい。しかしながら、整合回路102AM1,102AM2,102BM1,102BM2,105A,105B,107A,107Bを構成する受動素子のうち、RFパワーモジュール1内(半導体チップ2内)に形成しなかった受動素子は、上記チップ部品42により構成することができる。
次に、本実施の形態の効果について、より詳細に説明する。
本実施の形態とは異なり、ワイヤボンディングによって半導体チップを接続した場合、ワイヤループの高さの分だけ封止樹脂部の厚みを厚くしなければならなくなり、RFパワーモジュールの厚みが厚くなってしまう。携帯電話機の小型化や薄型化に伴い、それに使用されるRFパワーモジュールにも小型化・薄型化が要求されているが、ワイヤボンディングを用いてRFパワーモジュールを形成することは、このRFパワーモジュールの薄型化には不利となる。
それに対して、本実施の形態では、半導体チップ2のバンプ電極3aを接続端子4にフリップチップ接続してRFパワーモジュール1を形成している。このため、ワイヤボンディングを用いる必要がなく、ワイヤボンディングを用いた場合に比べて封止樹脂部7の厚みを薄くでき、RFパワーモジュール1の厚みを薄くすることができる。また、本実施の形態では、多層配線基板のような厚い配線基板を用いていない。このため、多層配線基板のような厚い配線基板を使用している場合に比べて、封止樹脂部7の厚みを薄くでき、RFパワーモジュール1の厚みを薄くすることができる。従って、RFパワーモジュールおよびそれを用いた携帯電話機などの小型化や薄型化が可能となる。
また、本実施の形態では、製造工程が複雑で高価な多層配線基板を用いずに、それよりも容易に製造できて安価なリードフレーム21やフレキシブル配線基板11を用いてRFパワーモジュール1を製造できる。このため、RFパワーモジュールやそれを用いた携帯電話機などの製造コストを低減できる。
また、RFパワーモジュールに使用する半導体チップ(ここでは半導体チップ2)の小型化(小面積化)や多端子化も要求され、それに伴い、半導体チップの電極ピッチを小さくすることが求められてきている。本実施の形態とは異なり、半導体チップのバンプ電極をリード部に直接接続する場合、半導体チップのバンプ電極のピッチを小さくするには、リードフレームのリード部のピッチを小さくする必要がある。しかしながら、リードフレームは、厚さが数百μm程度の金属板を加工(エッチングや成形など)して形成されており、リード部のピッチを小さくすることは容易ではなく、リード部のピッチを例えば200μm程度よりも小さくすることは困難である。半導体チップの電極とリード部とをワイヤボンディングで接続する場合は、半導体チップの電極のピッチよりもリード部のピッチを大きくすることが可能であるが、上記のようにRFパワーモジュールの厚みが厚くなってしまう。フリップチップ接続により半導体チップのバンプ電極をリード部に直接接続する場合は、半導体チップのバンプ電極のピッチとリード部のピッチとを同じにすることが必要となるため、半導体チップのバンプ電極のピッチを小さくすることができず、半導体チップの小型化や多端子化に対応するのは困難となる。
また、本実施の形態とは異なり、半導体チップを配線基板上にフリップチップ接続してRFパワーモジュールを形成することも考えられる。この場合、配線基板にスルーホールを形成する必要があり、スルーホールの直径や間隔を考慮すると、半導体チップのバンプ電極に接続する配線基板の基板側端子のピッチ(すなわち半導体チップのバンプ電極のピッチ)を小さくする、例えば200μm程度よりも小さくするのは容易ではなく、配線基板の加工を複雑化して製造コストを増大させてしまう。
それに対して、本実施の形態では、図5、図6、図8、図9、図17、図18、図20および図21などに示されるように、半導体チップ2のバンプ電極3aを直接リード部5(リード23)に接続せずに、接続端子4(導体パターン13a)に接続し、この接続端子4をリード部5に接続することで、半導体チップ2のバンプ電極3aをリード部5に接続端子4を介して間接的に接続している。接続端子4は、フレキシブル配線基板11の導体パターン13aから形成されたものである。フレキシブル配線基板の導体パターンは、絶縁性のベースフィルムに接着された厚さ数十μm程度の銅箔などにより形成できるので、接続端子4に対応する導体パターン13aを狭ピッチ、例えば100μm以下のピッチで形成することが可能である。すなわち、接続端子4を狭ピッチ(小さなピッチまたは間隔)で形成することが可能である。半導体チップ2のバンプ電極3aのピッチを小さくするには、接続端子4の端部(バンプ電極3aと接続する側の端部)4aのピッチも小さくする必要があるが、この接続端子4のピッチを小さくすることは容易であるので、半導体チップ2のバンプ電極3aのピッチを小さくすることができ、半導体チップの小型化(小面積化)や多端子化が可能となる。
更に、本実施の形態では、接続端子4の端部4a側を相対的に狭ピッチにしてそこに半導体チップ2のバンプ電極3aを接続し、接続端子4の他方の端部4b側を端部4a側よりも相対的に広いピッチにしてそこにリード部5を接続する。すなわち、接続端子4の端部4a側のピッチ(間隔)よりも端部4b側のピッチ(間隔)を大きくする。これにより、ピッチが小さなバンプ電極3aを接続端子4の端部4a近傍に接続するとともに、接続端子4の端部4b近傍に接続するリード部5のピッチを大きくすることができる。すなわち、相対的に小さなピッチで配列したバンプ電極3aを、バンプ電極3aのピッチよりも相対的に大きなピッチで配列するリード部5に、接続端子4を介して接続することができる。例えば、接続端子4の端部4a側のピッチを100μm以下程度とし、接続端子4の端部4b側のピッチを200μm以上程度とすることで、100μm以下のピッチで配列したバンプ電極3aを、200μm以上のピッチで配列したリード部5に、接続端子4を介して電気的に接続することができる。これにより、半導体チップ2の小型化や多端子化が可能になるとともに、それによって狭ピッチ化されたバンプ電極3aをリード部5に電気的に接続することができる。従って、RFパワーモジュール1の小型化、多端子化および多機能化が可能になる。また、半導体チップ2の小型化が可能になることから、半導体チップ2およびそれを用いたRFパワーモジュール1の低コスト化が可能になる。
また、本実施の形態では、上記のように接続端子4を介して半導体チップ2のバンプ電極3aとリード部5とを電気的に接続するので、半導体チップ2のバンプ電極3aの狭ピッチ化が可能である。このため、半導体チップ2の表面2aの全面ではなく、図7や図14に示されるように、半導体チップ2の表面2aの周辺部にだけバンプ電極3aを設けることができる。このため、接続端子4を半導体チップ2の表面2aの中央部付近の上方にまで延在させる必要はなく、図5、図6、図8および図9などに示されるように、接続端子4の端部4aを、バンプ電極3aが形成された半導体チップ2の表面2aの周辺部まで延在させればよい。従って、半導体チップ2の表面2aの上方には絶縁膜6を設けなくともよく、絶縁膜6を、開口部6aを有する枠状の平面形状とすることができる。これにより、半導体チップ2の表面2aの上方に絶縁膜6が存在しなくなるので、半導体チップ2の表面2a上を封止樹脂部7で密着して覆うことができ、バンプ電極3aと接続端子4との接続部やバンプ電極3a自身を封止樹脂部7で密着して覆うことができる。また、本実施の形態では、上記のように、減圧した状態で樹脂封止する減圧モールド法を用いて封止樹脂部7を形成すれば、より好ましく、これにより、ボイドや充填不良を生じることなく封止樹脂部7をより的確に形成することができる。従って、半導体チップ2のバンプ電極3aと接続端子4との電気的接続の信頼性を向上させ、RFパワーモジュール1の信頼性を向上させることができる。
また、半導体チップ2のバンプ電極3aが半田バンプにより形成されていた場合、図28のようにRFパワーモジュール1を実装基板41に半田実装する際の半田リフロー工程で、バンプ電極3aを構成する半田バンプが溶融する可能性がある。特に、RFパワーモジュール1を実装する際に使用する半田(接合材44)に、融点が高い鉛フリー半田を使用する場合、半田リフロー温度を高く(例えば260℃程度)する必要があるので、RFパワーモジュール1を実装基板41に実装する際の半田リフロー工程で、バンプ電極3aを構成する半田バンプが溶融しやすくなる。本実施の形態では、絶縁膜6の平面形状を枠状とすることや、封止樹脂部7を減圧モールド法を用いて形成することなどにより、隣り合うバンプ電極3a間にボイドが生じることなく封止樹脂部7を形成できるので、RFパワーモジュール1を実装基板41に実装する際の半田リフロー工程でバンプ電極3aを構成する半田バンプが溶融したとしても、半田バンプのフラッシュ状の流れを防ぐことができる。このため、半導体チップ2の隣り合う半田バンプ(バンプ電極3a)間が繋がることはなく、短絡を防止することができる。
また、本実施の形態とは異なり、多層配線基板上に半導体チップなどを搭載した構成のRFパワーモジュールの場合は、半導体チップで発生した熱を、RFパワーモジュールを実装した実装基板(マザーボード)に逃がすために、多層配線基板にサーマルビアを設けているが、サーマルビアの熱抵抗分だけ、放熱効率が低下してしまう。それに対して、本実施の形態では、図4および図8〜図10などに示されるように、RFパワーモジュール1は、底面で半導体チップ2の裏面電極3aが露出した構造となっている。このため、図28に示されるようにRFパワーモジュール1を実装基板41に実装する際に、半導体チップ2の裏面電極3bを実装基板41の基板側端子43bに導電性の接合材44(半田など)を介して直接的に接合して電気的に接続することができる。このため、RFパワーモジュール1の半導体チップ2で発生した熱を、裏面電極3aから実装基板41側に直接的に放熱することができ、RFパワーモジュール1の放熱特性を高めることができる。また、実装基板41の基板側端子43bからRFパワーモジュール1の半導体チップ2の裏面電極3bに基準電位(グランド電位)などを供給することもできる。従って、RFパワーモジュールの性能を向上させることができる。
(実施の形態2)
図29は、本実施の形態の電子装置であるRFパワーモジュール1aの断面図であり、上記実施の形態1の図8に対応するものである。
上記実施の形態1のRFパワーモジュール1は、封止樹脂部7をエポキシ樹脂により形成していたが、本実施の形態のRFパワーモジュール1aは、上記実施の形態1の封止樹脂部7に相当する封止樹脂部7dを、シリコーン樹脂により形成している。他の構成および製造工程は上記実施の形態1とほぼ同様であるので、ここではその説明は省略する。
本実施の形態のRFパワーモジュール1aは、封止樹脂部7dがシリコーン樹脂により形成されており、フィラーなどを含有することもできる。すなわち、本実施の形態では、封止樹脂部7dを構成する樹脂材料として、エポキシ樹脂よりも弾性率が低いシリコーン樹脂を用いている。半導体チップ2のバンプ電極3aが半田(半田バンプ)により形成されている場合、上記図28に示されるようにRFパワーモジュール1を実装基板41に実装するための半田リフローの際に、半導体チップ2のバンプ電極3aを構成する半田が溶融する可能性がある。本実施の形態では、半導体チップ2の半田バンプ(バンプ電極3a)が溶融して体積が膨張したとしても、低弾性のシリコーン樹脂からなる封止樹脂部7dが、半田バンプ(バンプ電極3a)の溶融による体積膨張を吸収できるので、半田膨張による端子間の短絡(半田フラッシュ)が生じるのをより的確に防止できる。すなわち、半田バンプが再溶融すると、その溶融膨張圧力が、半導体チップ2とレジン(封止樹脂部)の界面を剥離させ、そこに半田が流れ込み、半導体チップ2の半田バンプ間または接続端子4間が繋がって短絡に至る現象(いわゆる半田フラッシュ)が生じる可能性があるが、封止樹脂部7dを低弾性のシリコーン樹脂により形成することで、これをより的確に防止できる。従って、RFパワーモジュールの信頼性をより向上することができる。
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
本発明は、電力増幅機能を有する電子装置およびその製造技術に適用して好適なものである。
本発明の一実施の形態であるRFパワーモジュールを用いたデジタル携帯電話機システムの一例の説明図である。 本発明の一実施の形態であるRFパワーモジュールの回路ブロック図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの上面図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの下面図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの平面透視図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの平面透視図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの平面透視図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの断面図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの断面図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの断面図である。 半導体増幅素子をLDMOSFETにより形成した場合の半導体チップの要部断面図である。 半導体増幅素子をヘテロ接合型バイポーラトランジスタにより形成した場合の半導体チップの要部断面図である。 本発明の一実施の形態のRFパワーモジュールの製造工程を示す製造プロセスフロー図である。 RFパワーモジュールの製造に用いられる半導体チップの平面図である。 RFパワーモジュールの製造に用いられるフレキシブル配線基板の要部平面図である。 RFパワーモジュールの製造に用いられるフレキシブル配線基板の要部断面図である。 本発明の一実施の形態であるRFパワーモジュールの製造工程中の要部平面図である。 図17と同じRFパワーモジュールの製造工程中の要部断面図である。 RFパワーモジュールの製造に用いられるリードフレームの要部平面図である。 図17に続くRFパワーモジュールの製造工程中の要部平面図である。 図20と同じRFパワーモジュールの製造工程中の要部断面図である。 図20に続くRFパワーモジュールの製造工程中の要部平面図である。 図22と同じRFパワーモジュールの製造工程中の要部断面図である。 図22に続くRFパワーモジュールの製造工程中の要部平面図である。 図24と同じRFパワーモジュールの製造工程中の要部断面図である。 図25に続くRFパワーモジュールの製造工程中の要部断面図である。 図26に続くRFパワーモジュールの製造工程中の要部断面図である。 本発明の一実施の形態であるRFパワーモジュールを実装基板に実装した状態を示す要部断面図である。 本発明の他の実施の形態のRFパワーモジュールの断面図である。
符号の説明
1 RFパワーモジュール
1a RFパワーモジュール
2 半導体チップ
2a 表面
2b 裏面
3a バンプ電極
3b 裏面電極
4 接続端子
5 リード部
5a インナリード部
5b アウタリード部
5c 下面
6 絶縁膜
6a 開口部
7 封止樹脂部
7a 上面
7b 底面
7c 側面
7d 封止樹脂部
11 フレキシブル配線基板
12 ベースフィルム
12a 第1部分
12b 本体部
13,13a 導体パターン
14 スプロケットホール
15 開口部
16 単位領域
21 リードフレーム
22 フレーム枠
23 リード
24 単位領域
25 孔
41 実装基板
41a 主面
42 チップ部品
43 基板側端子
44 接合材
102A,102B 電力増幅回路
102A1,102A2,102A3,102B1,102B2,102B3 増幅段
102AM1,102AM2,102BM1,102BM2 整合回路
103 周辺回路
103A 制御回路
103A1 電源制御回路
103A2 バイアス電圧生成回路
103B バイアス回路
104a,104b 入力端子
105A,105B 整合回路
106a,106b 出力端子
107A,107B 整合回路
201 半導体基板
202 エピタキシャル層
203 溝
204 p型打抜き層
205 素子分離領域
206 p型ウエル
207 ゲート絶縁膜
208 ゲート電極
209 n型オフセットドレイン領域
210 n型ソース領域
211 サイドウォールスペーサ
212 n型オフセットドレイン領域
213 n型ドレイン領域
214 n型ソース領域
215 p型半導体領域
221 絶縁膜
222 コンタクトホール
223 プラグ
224 配線
224a ソース電極
224b ドレイン電極
225 絶縁膜
226 スルーホール
227 プラグ
228 配線
229 表面保護膜
230 開口部
231 UBM膜
232 バンプ電極
233 裏面電極
251 GaAs基板
252 サブコレクタ層
253 HBT
254 コレクタ電極
255 コレクタメサ
256 ベースメサ
257 ベース電極
258 エミッタ層
259 エミッタ電極
261 絶縁膜
262 コンタクトホール
263 コレクタ配線
264 絶縁膜
265 スルーホール
266 エミッタ配線
DPS デジタル携帯電話機システム
ANT アンテナ
FEM フロントエンド・モジュール
BBC ベースバンド回路
FMC 変復調回路
FLT1,FLT2 フィルタ
LPF1,LPF2 ローパスフィルタ
SW1,SW2 スイッチ回路
C1,C2 コンデンサ
WDC 分波器
CNT1,CNT2 切換信号
MB マザーボード

Claims (20)

  1. 電力増幅機能を有する電子装置であって、
    電力増幅回路を有する半導体チップと、
    前記半導体チップの表面に形成された複数のバンプ電極と、
    前記半導体チップの裏面に形成された裏面電極と、
    前記複数のバンプ電極とそれぞれ電気的に接続された複数の導体部と、
    前記複数の導体部と接着された絶縁体部と、
    前記複数の導体部とそれぞれ電気的に接続され、前記複数の導体部を介して前記複数のバンプ電極にそれぞれ電気的に接続された複数のリード部と、
    を有することを特徴とする電子装置。
  2. 請求項1記載の電子装置において、
    前記半導体チップ、前記絶縁体部、前記複数の導体部および前記複数のリード部を封止する封止樹脂部を更に有し、
    前記各リード部の一部と前記半導体チップの前記裏面電極が前記封止樹脂部から露出されていることを特徴とする電子装置。
  3. 請求項2記載の電子装置において、
    前記封止樹脂部がエポキシ樹脂からなることを特徴とする電子装置。
  4. 請求項2記載の電子装置において、
    前記封止樹脂部がシリコーン樹脂からなることを特徴とする電子装置。
  5. 請求項1記載の電子装置において、
    前記絶縁体部は、枠状の平面形状を有した絶縁膜であることを特徴とする電子装置。
  6. 請求項1記載の電子装置において、
    前記絶縁体部は、有機絶縁膜からなることを特徴とする電子装置。
  7. 請求項1記載の電子装置において、
    前記各導体部は、導体膜からなることを特徴とする電子装置。
  8. 請求項1記載の電子装置において、
    前記絶縁体部は、フレキシブル配線基板の絶縁性の基材層により形成され、前記複数の導体部は、前記フレキシブル配線基板の導体層により形成されていることを特徴とする電子装置。
  9. 請求項1記載の電子装置において、
    前記絶縁体部は、開口部を有する絶縁膜からなり、
    前記絶縁膜の前記開口部の下方に前記半導体チップが配置されていることを特徴とする電子装置。
  10. 請求項1記載の電子装置において、
    前記半導体チップの前記表面の周辺部に前記複数のバンプ電極が形成されていることを特徴とする電子装置。
  11. 請求項1記載の電子装置において、
    前記電子装置は実装基板に実装可能であり、
    前記電子装置を実装基板に実装する際には、前記裏面電極と前記実装基板の主面の端子とが電気的に接続されることを特徴とする電子装置。
  12. 請求項11記載の電子装置において、
    前記電子装置を実装基板に実装する際には、前記裏面電極と前記実装基板の主面の前記端子とが鉛フリー半田を介して接続されることを特徴とする電子装置。
  13. 電力増幅機能を有する電子装置の製造方法であって、
    (a)電力増幅回路を有し、表面に複数のバンプ電極が形成された半導体チップを準備する工程、
    (b)複数の導体部が接着された絶縁体部を準備する工程、
    (c)複数のリード部を有するリードフレームを準備する工程、
    (d)前記半導体チップの前記複数のバンプ電極を前記複数の導体部に電気的に接続する工程、
    (e)前記複数の導体部を、前記リードフレームの前記複数のリード部に電気的に接続する工程、
    (f)前記リードフレームを切断する工程、
    を有することを特徴とする電子装置の製造方法。
  14. 請求項13記載の電子装置の製造方法において、
    前記(e)工程後で、前記(f)工程前に、
    (e1)前記半導体チップ、前記絶縁体部、前記複数の導体部および前記複数のリード部を封止する封止樹脂部を形成する工程を更に有することを特徴とする電子装置の製造方法。
  15. 請求項14記載の電子装置の製造方法において、
    前記(e1)工程では、前記半導体チップの前記裏面電極が前記封止樹脂部から露出するように前記封止樹脂部を形成することを特徴とする電子装置の製造方法。
  16. 請求項14記載の電子装置の製造方法において、
    前記(e1)工程では、減圧モールド法により前記封止樹脂部を形成することを特徴とする電子装置の製造方法。
  17. 請求項13記載の電子装置の製造方法において、
    前記(b)工程で準備された前記複数の導体部が接着された前記絶縁体部は、フレキシブル配線基板により形成されていることを特徴とする電子装置の製造方法。
  18. 電力増幅機能を有する電子装置の製造方法であって、
    (a)電力増幅回路を有し、表面に複数のバンプ電極が形成された半導体チップを準備する工程、
    (b)複数の導体部が接着された絶縁体部を準備する工程、
    (c)複数のリード部を有するリードフレームを準備する工程、
    (d)前記半導体チップの前記複数のバンプ電極を前記複数の導体部に電気的に接続する工程、
    (e)前記複数の導体部を、前記リードフレームの前記複数のリード部に電気的に接続する工程、
    (f)前記リードフレームを切断する工程、
    (g)前記複数のリード部に接続すべき複数の第1端子と、前記裏面電極に接続すべき第2端子とを有する実装基板を準備する工程、
    (h)前記実装基板の前記複数の第1端子に前記複数のリード部を電気的に接続し、前記実装基板の前記第2端子に前記裏面電極を電気的に接続する工程、
    を有することを特徴とする電子装置の製造方法。
  19. 請求項18記載の電子装置の製造方法において、
    前記(h)工程では、鉛フリー半田を介して、前記実装基板の前記複数の第1端子と前記複数のリード部を電気的に接続し、前記実装基板の前記第2端子と前記裏面電極を電気的に接続することを特徴とする電子装置の製造方法。
  20. 請求項18記載の電子装置の製造方法において、
    前記(e)工程後で、前記(f)工程前に、
    (e1)前記半導体チップ、前記絶縁体部、前記複数の導体部および前記複数のリード部を封止する封止樹脂部を形成する工程を更に有し、
    前記(e1)工程では、前記半導体チップの前記裏面電極が前記封止樹脂部から露出するように前記封止樹脂部を形成することを特徴とする電子装置の製造方法。
JP2005341780A 2005-11-28 2005-11-28 電子装置およびその製造方法 Pending JP2007149930A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005341780A JP2007149930A (ja) 2005-11-28 2005-11-28 電子装置およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005341780A JP2007149930A (ja) 2005-11-28 2005-11-28 電子装置およびその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007149930A true JP2007149930A (ja) 2007-06-14

Family

ID=38210975

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005341780A Pending JP2007149930A (ja) 2005-11-28 2005-11-28 電子装置およびその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007149930A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009272505A (ja) * 2008-05-09 2009-11-19 Spansion Llc 半導体装置の製造方法、及び半導体パッケージキャリア
WO2010109739A1 (ja) * 2009-03-27 2010-09-30 株式会社アドバンテスト 製造装置、製造方法およびパッケージデバイス
JP2020088274A (ja) * 2018-11-29 2020-06-04 株式会社リコー 半導体ユニット、電子機器および半導体ユニット製造方法
JP7489933B2 (ja) 2021-02-24 2024-05-24 三菱電機株式会社 半導体装置及びその製造方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009272505A (ja) * 2008-05-09 2009-11-19 Spansion Llc 半導体装置の製造方法、及び半導体パッケージキャリア
WO2010109739A1 (ja) * 2009-03-27 2010-09-30 株式会社アドバンテスト 製造装置、製造方法およびパッケージデバイス
CN102362187A (zh) * 2009-03-27 2012-02-22 爱德万测试株式会社 制造装置、制造方法及封装器件
JPWO2010109739A1 (ja) * 2009-03-27 2012-09-27 株式会社アドバンテスト 製造装置、製造方法およびパッケージデバイス
JP2020088274A (ja) * 2018-11-29 2020-06-04 株式会社リコー 半導体ユニット、電子機器および半導体ユニット製造方法
JP7489933B2 (ja) 2021-02-24 2024-05-24 三菱電機株式会社 半導体装置及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8557633B2 (en) Electronic device and manufacturing method of the same
US7706756B2 (en) RF power module
KR100993277B1 (ko) 반도체장치 및 전자 장치
US8120174B2 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
US20110248389A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP5845152B2 (ja) 半導体装置、携帯通信機器、及び、半導体装置の製造方法
US20090230541A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method of the same
JP2007073611A (ja) 電子装置およびその製造方法
JP4828235B2 (ja) 半導体装置
US10658277B2 (en) Semiconductor package with a heat spreader and method of manufacturing thereof
JP2012243895A (ja) 半導体装置およびその製造方法ならびに携帯電話機
KR100993579B1 (ko) 반도체장치 및 전자 장치
JP2007149930A (ja) 電子装置およびその製造方法
JP2007115904A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2006180151A (ja) 電力増幅モジュールおよびその製造方法
JP2007149931A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2006310425A (ja) 電子装置およびその製造方法
JP2008235759A (ja) 電子装置
JP2006165830A (ja) 電子装置、ローパスフィルタ、および電子装置の製造方法
JP2006049602A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP2007088363A (ja) 電子装置
JP5280995B2 (ja) 電子装置の製造方法
JPWO2006048932A1 (ja) 電子装置
JPWO2006001087A1 (ja) 半導体装置
JP2006324540A (ja) 半導体装置