JP2007149568A - 電子検出器及びそれを備えたビーム装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対物レンズ4のビーム通過孔24を通過した電子ビーム(一次ビーム)8は、試料6に照射される。これにより試料6上で発生し、対物レンズ4に引き込まれた被検出電子9は、当該ビーム通過孔24に配置された環状の電子検出器5により検出される。この電子検出器5は、電子ビーム8が通過する貫通孔が形成された環状体22と、この環状体22の内側に設けられた検出素子21から構成される。
【選択図】図2
Description
Claims (10)
- 対物レンズのビーム通過孔に配置され、当該ビーム通過孔を通過した一次ビームが照射された試料から発生する被検出電子の検出を行う電子検出器であって、一次ビームが通過する貫通孔を有する環状体からなり、当該環状体の内側面が被検出電子を検出するための検出面となっている電子検出器。
- 環状体の内側面には、一次ビームの光軸に沿って互いに離間して配置された複数の検出素子が多段に設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子検出器。
- 各検出素子は、被検出電子の入射方向に面するように傾斜して設けられていることを特徴とする請求項2記載の電子検出器。
- 対物レンズのビーム通過孔を通過した一次ビームを試料に照射し、これにより試料から発生した被検出電子の検出を行うビーム装置において、請求項1乃至3何れか記載の電子検出器を当該ビーム通過孔に備えたことを特徴とするビーム装置。
- 対物レンズのビーム通過孔において、電子検出器の下流側には、一次ビームが通過する貫通孔が形成された環状の第1の電極が配置されていることを特徴とする請求項4記載のビーム装置。
- 第1の電極には、負のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項5記載のビーム装置。
- 対物レンズのビーム通過孔において、第1の電極の下流側には、一次ビームが通過する貫通孔が形成された環状の第2の電極が配置されていることを特徴とする請求項5記載のビーム装置。
- 第1の電極には正のバイアス電圧が印加され、第2の電極には負のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項7記載のビーム装置。
- 電子検出器には、正のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項4乃至8何れか記載のビーム装置。
- 対物レンズのビーム通過孔において、電子検出器の上流側には、一次ビームが通過する貫通孔が形成された環状の第3の電極が配置され、当該第3の電極には負のバイアス電圧が印加されることを特徴とする請求項5乃至9何れか記載のビーム装置。
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JP2010146968A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Hitachi Ltd | 電子スピン検出器並びにそれを用いたスピン偏極走査電子顕微鏡及びスピン分解光電子分光装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000164167A (ja) * | 1998-11-19 | 2000-06-16 | Schlumberger Technol Inc | 荷電粒子の二重モ―ド検知 |
JP2001185066A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Seiko Instruments Inc | 電子線装置 |
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