JP2007147701A - 撮像モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 受光素子112を備える撮像素子11と、撮像素子11の表面上に配設されて受光素子112での受光を制御するシャッタ機構12とを備え、シャッタ機構12は撮像素子の表面上に薄膜状に形成され、当該表面上で移動可能な遮光性のあるベース板121と、ベース板121に設けられて受光素子での受光を可能にする透光用開口128と、透光用開口128を受光素子112に対向する位置とこれを外れた位置とで移動可能な駆動部とを備える。撮像素子11とシャッタ機構12をモノリシックに構成でき、撮像モジュールの薄型化と軽量化を実現する。
【選択図】 図4
Description
1 パッケージ
2 カバーガラス
3 外部接続端子
4 リード線
10 撮像・シャッタ素子
11 撮像素子
12 シャッタ機構
111 シリコン基板
112 フォトダイオード(受光素子)
113 MOSトランジスタ
116,118 絶縁膜
117 配線層
119 遮光膜
121 ベース板
122 遮光膜
123,124 平行バネ部
125 駆動部
126 可動櫛歯電極
127 固定櫛歯電極
128 透光用開口
129 マイクロレンズ
Claims (10)
- 表面に受光素子を備える撮像素子と、前記撮像素子の表面上に配設されて前記受光素子での受光を制御するシャッタ機構とを備える撮像モジュールであって、前記シャッタ機構は前記撮像素子の表面上に一体的に薄膜状に形成され、当該表面上で移動可能な遮光性のあるベース板と、前記ベース板に設けられて前記受光素子での受光を可能にする透光用開口と、前記透光用開口を前記受光素子に対向する位置とこれを外れた位置とに移動可能な駆動部とを備えることを特徴とする撮像モジュール。
- 前記撮像素子は多数の受光素子が表面に配列され、前記透光用開口は前記受光素子に対応して多数個が前記ベース板に配列されていることを特徴とする請求項1に記載の撮像モジュール。
- 前記透光用開口には前記受光素子の受光面に焦点を結ぶマイクロレンズが設けられていることを特徴とする請求項2に記載の撮像モジュール。
- 前記ベース板は両側部に設けられた第1及び第2の平行バネ部により前記撮像素子の表面に沿って平行移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の撮像モジュール。
- 前記ベース板は前記撮像素子の表面に対して所要の空隙で対峙され、前記第1及び第2の平行バネ部において前記撮像素子に一体化されたブリッジ構造であることを特徴とする請求項4に記載の撮像モジュール。
- 前記駆動部は前記ベース板の一端に設けられた可動電極と、前記撮像素子に固定的に設けられた固定電極とで構成され、両電極間に印加する電圧により可動電極を移動する静電リニアアクチュエータで構成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の撮像モジュール。
- 前記可動電極及び固定電極はそれぞれ複数の突起状電極が交互に配列した櫛歯電極で構成されていることを特徴とする請求項6に記載の撮像モジュール。
- 前記可動電極及び固定電極はそれぞれ前記ベース板を形成するための膜部材をエッチングして形成されていることを特徴とする請求項6又は7に記載の撮像モジュール。
- 前記ベース板はポリシリコンで構成されていることを特徴とする請求項8に記載の撮像モジュール。
- 前記撮像素子はCCD撮像素子又はCMOS撮像素子であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の撮像モジュール。
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