JP2007147369A - レーザ測長器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光ファイバを介して計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が上記光ファイバを介して導入される自己結合型のレーザ素子と、このレーザ素子から出力される変調レーザ光を受光する受光器と、この受光器にて受光された変調レーザ光を周波数分析して、光ファイバのレーザ光入出力端面(計測基準点)での反射光と前記計測対象物での反射光との干渉により生じた光の周波数成分から、レーザ光入出力端面と計測対象物との距離差を求める信号処理手段とを備える。
【選択図】図6
Description
<a> 透明体を介して計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が上記透明体を介して導入される自己結合型のレーザ素子と、
<b> このレーザ素子から出力される変調レーザ光を受光する受光器と、
<c> この受光器にて受光された上記変調レーザ光を周波数分析して、前記透明体の前記計測対象物に対するレーザ光入出力端面と前記計測対象物との距離差に相当する周波数成分を求める信号処理手段と
を具備したことを特徴としている。
このレーザ測長器は、基本的には図3に示したレーザ測長器と同様な光学系を構築して実現される。即ち、この実施形態に係るレーザ測長器は、図4にその概略的な構成を示すように、自己結合作用を呈するVCSEL型の半導体レーザ素子1と、このレーザ素子1の駆動電流を制御して該レーザ素子1から波長変調したレーザ光を発振出力させる駆動電流制御回路4とを備える。そしてこのレーザ測長器の光学系は、上記レーザ素子1から出力されるレーザ光を所定の計測基準点まで導き、この計測基準点から計測対象物2に向けて照射すると共に、計測対象物2にて反射したレーザ光(反射光)を上記計測基準点から導入して前記レーザ素子1に導く光ファィバ8を備えて構成される。
ρeZ(k,LS,LR)gexp(2iknL)=1
なる関係を有することになる。尚、上記Z(k,LS,LR)は、その全体をミラーとして看做したときの反射率であり、kは[2π/λ]として示される干渉の波数である。但し、λはレーザ光の波長である。
α=1−[ρeZ]2=1−ρe 2[Z]2
として与えられる。そして観測対象とする等価的な反射率Z(k,LS,LR)は、レーザ素子1自体の反射率と透過率とを[ρL,τL]、光ファイバ8自体の反射率と透過率とを[ρO,τO]としたとき
Z(k,LS,LR)=ρo−[X/Y]
X=τLτOρ2exp[2ikLR]+τLτOττ'ρSexp[2ikLS]
Y=1−ρOρ2exp[2ikLR]−ρ2ττ'ρSexp[2ikLS]
となる。但し、τ'は、光ファイバ8に導入される光に対する前記ファイバ端面(ミラーMR)での透過率であり、光ファイバ8から射出される光に対する前記ファイバ端面(ミラーMR)での透過率τと複素共役の関係にある。当然、このファイバ端面(ミラーMR)での反射率ρもその入出射光に対して複素共役の関係にあり、[ρ=−ρ']となる。
Z(k,LS,LR)=│Z(k,LS,LR)│exp[iφ(k,LS,LR)]
として表すことができる。そしてレーザとして発振増幅する為には、その増幅率gが実数で、且つ正の値を持つことが必要なので、自己結合による増幅の条件として上式から
ρe│Z(k,LS,LR)│cos[iφ(k,LS,LR)]>0
│Z(k,LS,LR)│sin[iφ(k,LS,LR)]=0
なる関係を導き出すことができる。
a=τLτOρ2
b=τLτOττ'ρS
c=ρOρ2
d=ρ2ττ'ρS
としたとき、次のように示すことができる。
cos[2k(LR−LS)]=1
から
2k(LR−LS)=2mπ+Δφ
なる条件を満たせば良いことが分かる。この結果、この関係式から前述したファイバ端面と計測対象物2の距離差[LS−LR]を
LS−LR=[2mπ+Δφ]/2k
=(λ/2)(2mπ+Δφ)
として計測することが可能となる。
2 計測対象物
3 受光器
4 駆動電流制御回路(波長変調手段)
5 微分回路
6 信号処理手段(周波数分析)
8 光ファィバ
Claims (4)
- 透明体を介して計測対象物に向けて波長変調したレーザ光を照射すると共に、上記計測対象物にて反射した上記レーザ光が上記透明体を介して導入される自己結合型のレーザ素子と、
このレーザ素子から出力される変調レーザ光を受光する受光器と、
この受光器にて受光された上記変調レーザ光を周波数分析して、前記透明体の前記計測対象物に対するレーザ光入出力端面と前記計測対象物との距離差に相当する周波数成分を求める信号処理手段と
を具備したことを特徴とするレーザ測長器。 - 前記透明体は、前記レーザ素子が出力するレーザ光を計測基準点まで導いて前記計測対象物に照射し、該計測対象物での上記レーザ光の反射光を上記計測基準点から前記レーザ素子に導く光ファイバである請求項1に記載のレーザ測長器。
- 前記信号処理手段は、前記透明体のレーザ光入出力端面での反射光と前記計測対象物での反射光との干渉により生じた周波数成分を求めるものである請求項1に記載のレーザ測長器。
- 前記信号処理手段は、前記透明体のレーザ光入出力端面での反射光と前記レーザ素子が出力するレーザ光との干渉により生じる周波数成分frと、前記計測対象物での反射光とレーザ素子が出力するレーザ光との干渉により生じる周波数成分fsとの差の周波数成分[fs−fr]を、前記透明体のレーザ光入出力端面での反射光と前記計測対象物での反射光との干渉により生じた周波数成分として求めるものである請求項3に記載のレーザ測長器。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016045107A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 新日鐵住金株式会社 | 管の表面までの距離測定装置、及びこれを用いた管の形状測定装置 |
JP2020008475A (ja) * | 2018-07-11 | 2020-01-16 | ミネベアミツミ株式会社 | レーザ測長器 |
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JPH10111361A (ja) * | 1996-10-02 | 1998-04-28 | Tamagawa Seiki Co Ltd | リニア型光位置・速度センサの信号出力方法 |
JP2001330669A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Kanmei Rai | 二重外部共振器つきレーザダイオード式距離・変位計 |
-
2005
- 2005-11-25 JP JP2005340297A patent/JP2007147369A/ja active Pending
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