JP2007137943A - Resin composition for sealing and semiconductor device - Google Patents

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Yukio Yada
諭希雄 矢田
Masanori Okamoto
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition for sealing having high flame retardancy, excellent high temperature preserving properties and environmental safety, and advantageous high temperature reflow resistance and other properties; and a high reliable semiconductor device sealed with the resin composition for sealing. <P>SOLUTION: This resin composition for sealing comprises: (A) an epoxy resin; (B) a nitrogen modified phenol resin-based curing agent; (C) aluminum hydroxide; and (D) an inorganic filler, wherein aluminum hydroxide of the component (C) has a Na<SB>2</SB>O content of 0.1% by weight and an inorganic filler of the component (D) has an average particle diameter of 1 to 60 μm and a maximum particle diameter of 200 μm or less, and contains substantially no halogen-based flame retardant and no antimony-based flame retardant, and this semiconductor device is a semiconductor device in which a semiconductor element is sealed with a cured form of the resin composition for sealing. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体素子等の電子部品の封止材料として使用される封止用樹脂組成物、およびこれを用いた半導体装置に関する。   The present invention relates to a sealing resin composition used as a sealing material for electronic components such as semiconductor elements, and a semiconductor device using the same.

従来より、半導体素子等の電子部品を熱硬化性樹脂を用いて封止することが広く行われている。封止樹脂としては、熱硬化性樹脂のなかでもエポキシ樹脂が一般に用いられており、特に、フェノール樹脂を硬化剤としたエポキシ樹脂が、酸無水物や芳香族アミン等の他の硬化剤を使用したものに比べて、成形性、耐湿性に優れ、毒性がなく、また、安価であることから多用されている。   Conventionally, electronic parts such as semiconductor elements have been widely sealed using a thermosetting resin. As a sealing resin, an epoxy resin is generally used among thermosetting resins. In particular, an epoxy resin using a phenol resin as a curing agent uses other curing agents such as acid anhydrides and aromatic amines. Compared to these, it is widely used because it is excellent in moldability and moisture resistance, has no toxicity, and is inexpensive.

ところで、この種の封止樹脂には、安全性の点からUL規格により難燃性を付与することが求められており、従来は、塩素、臭素等のハロゲン元素を含む化合物とアンチモン化合物(通常、三酸化アンチモン)の併用による難燃化が一般的である。   By the way, this type of sealing resin is required to impart flame retardancy according to UL standards from the viewpoint of safety. Conventionally, compounds containing halogen elements such as chlorine and bromine and antimony compounds (usually normal) , Antimony trioxide) is generally used for flame retardancy.

しかしながら、このようなハロゲン系難燃剤は、半導体等の電子部品の高温保管性を低下させるという問題があった。すなわち、ハロゲン系難燃剤を含む封止用樹脂組成物で封止した例えば半導体装置を高温下で保管すると、ハロゲン系難燃剤の一部が熱分解してハロゲン元素を含む化合物が生成され、これが遊離して半導体装置の接合部を腐食させるおそれがあった。そのうえ、一部のハロゲン系難燃剤は、燃焼時に毒性の強いダイオキシン化合物を発生するおそれがあり、また、アンチモン化合物は、それ自体毒性が強い、という環境上の問題もあった。   However, such a halogen-based flame retardant has a problem that the high-temperature storage property of electronic parts such as semiconductors is lowered. That is, for example, when a semiconductor device sealed with a sealing resin composition containing a halogen-based flame retardant is stored at a high temperature, a part of the halogen-based flame retardant is thermally decomposed to produce a compound containing a halogen element. There is a possibility that it may be liberated and corrode the joint of the semiconductor device. In addition, some halogen-based flame retardants may generate dioxin compounds that are highly toxic during combustion, and antimony compounds are themselves environmentally toxic.

このため、難燃性が良好で、かつ、半導体装置等の高温保管性を改善することができ、さらに、環境に対する安全性の高い難燃化技術の開発が強く求められている。このような難燃化技術としては、例えば、特定の水酸化アルミニウムを添加する方法等が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。しかしながら、水酸化アルミニウムの使用により、高温保管性を改善することができるものの、水酸化アルミニウムの吸水率が高いために、耐高温リフロー性が低下するという問題があった。また、ベンゾグアナミン変性フェノール樹脂と金属水酸化物の併用も提案されているが、耐高温リフロー性が十分ではなかった(例えば、特許文献2参照。)。
特開2002−212397号公報 特開平10−152547号公報
For this reason, there is a strong demand for the development of flame retarding technology that has good flame retardancy, can improve high-temperature storage properties of semiconductor devices and the like, and is highly safe for the environment. As such a flame retarding technique, for example, a method of adding a specific aluminum hydroxide has been proposed (for example, see Patent Document 1). However, although the use of aluminum hydroxide can improve the high-temperature storage stability, there is a problem that the high-temperature reflow resistance is lowered due to the high water absorption rate of aluminum hydroxide. Further, the combined use of a benzoguanamine-modified phenolic resin and a metal hydroxide has been proposed, but the high-temperature reflow resistance was not sufficient (see, for example, Patent Document 2).
JP 2002-212397 A JP 10-152547 A

上述したように、ハロゲン系難燃剤を使用した従来の封止用樹脂組成物は、難燃性に優れるものの、高温保管性に乏しく、また、環境上の安全性の点でも問題があり、これを解決する新規な難燃化技術が要求されてきているが、耐高温リフロー性が低下するなど、未だ、他の特性を損なうことなく高温保管性や環境上の問題を解決することができる難燃化技術は未だ見出されていない。   As described above, a conventional sealing resin composition using a halogen-based flame retardant is excellent in flame retardancy, but is poor in high-temperature storage, and has problems in terms of environmental safety. Although new flame-retarding technology has been demanded to solve this problem, it is still difficult to solve high-temperature storage and environmental problems without deteriorating other properties, such as reduced high-temperature reflow resistance. No combustion technology has been found yet.

本発明はこのような従来技術の課題を解決するためになされたもので、高い難燃性を有し、かつ、高温保管性や環境安全性に優れるうえ、耐高温リフロー性その他の特性も良好な封止用樹脂組成物、およびこのような封止用樹脂組成物で封止された高信頼性の半導体装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such problems of the prior art, has high flame retardancy, is excellent in high-temperature storage and environmental safety, and has excellent high-temperature reflow resistance and other characteristics. An object of the present invention is to provide a sealing resin composition and a highly reliable semiconductor device sealed with such a sealing resin composition.

本発明者らは、上記の目的を達成するため鋭意研究を重ねた結果、エポキシ樹脂に、窒素変性フェノール樹脂系硬化剤と、NaO含有量の少ない水酸化アルミニウムと、特定の粒径を有する無機充填剤を組み合わせて使用することにより、耐高温リフロー性その他の特性を低下させずに、優れた難燃性を付与することができ、また、高温保管性や環境安全性も改善することができることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors have determined that the epoxy resin has a nitrogen-modified phenol resin-based curing agent, aluminum hydroxide with a low Na 2 O content, and a specific particle size. By using a combination of inorganic fillers, it is possible to give excellent flame retardancy without deteriorating high-temperature reflow resistance and other characteristics, and improve high-temperature storage and environmental safety. As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本願の請求項1に記載の発明の封止用樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)窒素変性フェノール樹脂系硬化剤、(C)水酸化アルミニウムおよび(D)無機充填剤を含有し、前記(C)成分の水酸化アルミニウムは、NaO含有量が0.1重量%以下であり、かつ、前記(D)成分の無機充填剤は、平均粒径が1〜60μmで、最大粒径が200μm以下であって、ハロゲン系難燃剤およびアンチモン系難燃剤を実質的に含まないことを特徴とする。 That is, the sealing resin composition according to claim 1 of the present application includes (A) an epoxy resin, (B) a nitrogen-modified phenol resin-based curing agent, (C) aluminum hydroxide, and (D) an inorganic filler. The aluminum hydroxide as the component (C) has a Na 2 O content of 0.1% by weight or less, and the inorganic filler as the component (D) has an average particle size of 1 to 60 μm. The maximum particle size is 200 μm or less, and is substantially free of halogen-based flame retardant and antimony-based flame retardant.

請求項2に記載の発明は、請求項1記載の封止用樹脂組成物において、前記(C)成分の水酸化アルミニウムは、平均粒径が1〜20μm、最大粒径が75μm以下であって、かつ、表面がガラスマトリックス形成用液状前駆体により処理されていることを特徴とする。   The invention according to claim 2 is the sealing resin composition according to claim 1, wherein the (C) component aluminum hydroxide has an average particle size of 1 to 20 μm and a maximum particle size of 75 μm or less. And the surface is processed with the liquid precursor for glass matrix formation, It is characterized by the above-mentioned.

請求項3に記載の発明は、請求項1または2記載の封止用樹脂組成物において、前記(C)成分の水酸化アルミニウムの含有量が組成物全体の4〜40重量%であることを特徴とする。   The invention according to claim 3 is the sealing resin composition according to claim 1 or 2, wherein the content of the aluminum hydroxide of the component (C) is 4 to 40% by weight of the whole composition. Features.

請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の封止用樹脂組成物において、前記(C)成分の水酸化アルミニウムおよび前記(D)成分の無機充填剤の含有量の合計が組成物全体の65〜90重量%であることを特徴とする。   Invention of Claim 4 is resin composition for sealing of any one of Claims 1 thru | or 3. Inclusion of the aluminum hydroxide of said (C) component, and the inorganic filler of said (D) component The total amount is 65 to 90% by weight of the total composition.

請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか1項記載の封止用樹脂組成物において、前記(B)成分の窒素変性フェノール樹脂系硬化剤は、ベンゾグアナミン変性フェノール樹脂および/またはメラミン変性フェノール樹脂であることを特徴とする。   The invention according to claim 5 is the sealing resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the nitrogen-modified phenol resin-based curing agent of the component (B) is a benzoguanamine-modified phenol resin and / or Or it is a melamine modified phenol resin.

また、本願の請求項6に記載の発明の半導体装置は、請求項1乃至5のいずれか1項記載の封止用樹脂組成物の硬化物によって、半導体素子を封止してなることを特徴とする。   A semiconductor device according to claim 6 of the present application is formed by sealing a semiconductor element with a cured product of the sealing resin composition according to any one of claims 1 to 5. And

本発明によれば、高い難燃性を有し、かつ、高温保管性や環境安全性に優れるうえ、耐高温リフロー性その他の特性も良好な封止用樹脂組成物、およびこのような封止用樹脂組成物で封止された高信頼性の半導体装置を得ることができる。   According to the present invention, a sealing resin composition having high flame retardancy, excellent high-temperature storage stability and environmental safety, high-temperature reflow resistance and other characteristics, and such sealing A highly reliable semiconductor device sealed with the resin composition for use can be obtained.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の封止用樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)窒素変性フェノール樹脂系硬化剤、(C)水酸化アルミニウムおよび(D)無機充填剤を必須成分として含有し、かつ、ハロゲン系難燃剤およびアンチモン系難燃剤を実質的に含まないものである。   The sealing resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) a nitrogen-modified phenolic resin-based curing agent, (C) aluminum hydroxide and (D) an inorganic filler as essential components, and Halogen flame retardants and antimony flame retardants are not substantially contained.

(A)成分のエポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するものであれば、分子構造、分子量等に制限されることなく一般に使用されているものを広く用いることができる(但し、ハロゲン化エポキシ樹脂を除く)。具体的には、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、複素環型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、縮合環芳香族炭化水素変性エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。   As the epoxy resin of the component (A), as long as it has two or more epoxy groups in one molecule, those generally used can be widely used without being limited by the molecular structure, molecular weight and the like. (However, halogenated epoxy resin is excluded). Specifically, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, heterocyclic type epoxy resin, bisphenol A Type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, stilbene type epoxy resin, condensed ring aromatic hydrocarbon modified epoxy resin and the like. These epoxy resins may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for them.

本発明においては、なかでもクレゾールノボラック型エポキシ樹脂の使用が好ましく、特に下記一般式(1)で示されるo−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂の使用が好ましい。このようなクレゾールノボラック型エポキシ樹脂は、エポキシ樹脂全体の60重量%以上とすることが好ましく、80重量%以上とすることがより好ましい。また、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂に他のエポキシ樹脂を併用する場合の好ましい併用成分としては、下記式(2)、(3)で示されるエポキシ樹脂が例示され、なかでも下記式(2)で示されるビフェニルノボラック型エポキシ樹脂の使用が好ましい。   In the present invention, the use of a cresol novolac type epoxy resin is particularly preferable, and the use of an o-cresol novolak type epoxy resin represented by the following general formula (1) is particularly preferable. Such a cresol novolac type epoxy resin is preferably 60% by weight or more, and more preferably 80% by weight or more of the entire epoxy resin. Moreover, as a preferable combination component in the case of using other epoxy resins in combination with the cresol novolac type epoxy resin, epoxy resins represented by the following formulas (2) and (3) are exemplified, and in particular, represented by the following formula (2). It is preferable to use a biphenyl novolac type epoxy resin.

Figure 2007137943
(式中、nは0以上の整数を表す)
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(式中、nは0以上の整数を表す)
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(In the formula, n represents an integer of 0 or more)
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(In the formula, n represents an integer of 0 or more)
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(In the formula, n represents an integer of 0 or more)

(B)成分の窒素変性フェノール樹脂系硬化剤としては、(A)成分のエポキシ樹脂のエポキシ基と反応し得るフェノール性水酸基を分子中に2個以上有するものであれば、特に制限されることなく使用される。具体的には、フェノール、アルキルフェノール等のフェノール類とベンゾグアナミン、メラミン等を、ホルムアルデヒドまたはパラホルムアルデヒドと反応させて得られるノボラック型フェノール樹脂、例えばフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂等の変性樹脂等が挙げられる。これらは、1種を単独で使用してもよく、2種以上を混合して使用してもよい。   The (B) component nitrogen-modified phenolic resin curing agent is particularly limited as long as it has two or more phenolic hydroxyl groups in the molecule that can react with the epoxy group of the (A) component epoxy resin. Used without. Specific examples include novolak-type phenol resins obtained by reacting phenols such as phenol and alkylphenol with benzoguanamine, melamine and the like with formaldehyde or paraformaldehyde, such as modified resins such as phenol novolac resins and cresol novolac resins. . These may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for them.

本発明においては、なかでも下記一般式(4)で示されるメラミン変性フェノールノボラック樹脂、下記一般式(5)で示されるベンゾグアナミン変性フェノールアラルキル樹脂が好ましい。

Figure 2007137943
(式中、nは0〜4の整数を表す)
Figure 2007137943
(式中、nは0〜4の整数を表す) In the present invention, a melamine-modified phenol novolak resin represented by the following general formula (4) and a benzoguanamine-modified phenol aralkyl resin represented by the following general formula (5) are particularly preferable.
Figure 2007137943
(In the formula, n represents an integer of 0 to 4)
Figure 2007137943
(In the formula, n represents an integer of 0 to 4)

この(B)成分の窒素変性フェノール樹脂系硬化剤の配合量は、(A)成分のエポキシ樹脂が有するエポキシ基数(a)と(B)成分のフェノール樹脂硬化剤が有するフェノール性水酸基数(b)との比(a)/(b)が0.5〜2.0となる範囲が好ましく、0.7〜1.5となる範囲であるとより好ましい。(a)/(b)が0.5未満では、硬化物の強度が低下し、逆に2.0を超えると、硬化物の耐湿信頼性が低下する。   The blending amount of the nitrogen-modified phenolic resin curing agent of component (B) is the number of epoxy groups (a) possessed by the epoxy resin of component (A) and the number of phenolic hydroxyl groups possessed by the phenolic resin curing agent of component (B) (b ) Ratio (a) / (b) is preferably in the range of 0.5 to 2.0, more preferably in the range of 0.7 to 1.5. When (a) / (b) is less than 0.5, the strength of the cured product is lowered. Conversely, when it exceeds 2.0, the moisture resistance reliability of the cured product is lowered.

(C)成分の水酸化アルミニウムは、NaO含有量が0.1重量%以下、好ましくは
0.05重量%以下のものである。一般に、水酸化アルミニウムは、燃焼時の脱水分解反応による吸熱効果と、硬化した樹脂成分の炭化を促進して硬化物表面に酸素を遮断する層を形成する作用により、優れた難燃性付与効果を発揮すると考えられているが、一方、水酸化アルミニウムは、分解開始温度が300℃付近であり、NaO等の不純物が混入していると分解開始温度はさらに低下し、その結果、組成物の耐高温リフロー性が低下する。NaO含有量が0.1重量%以下の水酸化アルミニウムを使用することにより、組成物に優れた難燃性を付与しつつ、耐高温リフロー性の低下を防止することができる。
Component (C), aluminum hydroxide, has a Na 2 O content of 0.1% by weight or less, preferably 0.05% by weight or less. In general, aluminum hydroxide has an excellent flame retardant effect due to the endothermic effect of dehydration and decomposition during combustion and the action of forming a layer that blocks the oxygen on the cured product surface by promoting carbonization of the cured resin component. are believed to exert, on the other hand, aluminum hydroxide is near the decomposition initiation temperature of 300 ° C., a decomposition starting temperature Adulteration of Na 2 O, etc. is lowered further, as a result, the composition The high temperature reflow resistance of the object is reduced. By using aluminum hydroxide having a Na 2 O content of 0.1% by weight or less, it is possible to prevent deterioration in high-temperature reflow resistance while imparting excellent flame retardancy to the composition.

なお、この(C)成分の水酸化アルミニウムは、平均粒径が1〜20μmで、最大粒径が75μm以下であることが好ましい。平均粒径が1μm未満では、Naが溶出しやすくなり信頼性が低下する。また、平均粒径が20μmを超えるか、あるいは、最大粒径が75μmを超えると、分散性が不良となり難燃性が低下する。 The aluminum hydroxide as component (C) preferably has an average particle size of 1 to 20 μm and a maximum particle size of 75 μm or less. When the average particle diameter is less than 1 μm, Na + is likely to be eluted and the reliability is lowered. On the other hand, if the average particle size exceeds 20 μm or the maximum particle size exceeds 75 μm, the dispersibility becomes poor and the flame retardancy decreases.

また、この(C)成分の水酸化アルミニウムは、ガラスマトリックス形成用液状前駆体による表面処理がなされていることが好ましい。このようにガラスマトリックス形成用液状前駆体で処理された水酸化アルミニウムは、その後の熱処理で表面に無機ガラスからなる被膜が形成されるため、耐湿性、耐高温リフロー性、硬化性、成形性等の特性を低下させることなく、組成物に優れた難燃性を付与することができる。   The component (C), aluminum hydroxide, is preferably surface-treated with a liquid precursor for forming a glass matrix. Aluminum hydroxide treated with a liquid precursor for glass matrix formation in this way forms a coating of inorganic glass on the surface by subsequent heat treatment, so moisture resistance, high temperature reflow resistance, curability, moldability, etc. The flame retardancy which was excellent in the composition can be provided, without reducing the characteristic of this.

なお、ガラスマトリックス形成用液状前駆体は、無機ガラスを形成する方法として従来より知られる方法、例えば、シリコンアルコキシドおよび揮発性の有機酸を含む混合物を、例えば100〜160℃で20〜1000分間加熱して高粘性液体(ガラスマトリックス形成用液状前駆体)とする方法等により調製することができる。本発明においては、特に、ガラスマトリックス形成用液状前駆体として、200℃以下の熱処理で無機ガラスとなるものを使用することが好ましい。   The liquid precursor for forming a glass matrix is a method conventionally known as a method for forming an inorganic glass, for example, a mixture containing silicon alkoxide and a volatile organic acid is heated at, for example, 100 to 160 ° C. for 20 to 1000 minutes. Then, it can be prepared by a method of making a highly viscous liquid (liquid precursor for forming a glass matrix). In the present invention, it is particularly preferable to use a liquid precursor for forming a glass matrix that becomes an inorganic glass by heat treatment at 200 ° C. or lower.

(C)成分の水酸化アルミニウムは、全組成物中に4〜40重量%配合することが好ましく、8〜20重量%配合することがより好ましい。配合量が組成物全体の4重量%に満たないと、難燃性が不十分となり、また、40重量%を超えると、硬化物の強度の低下が顕著となる。   (C) It is preferable to mix | blend 4-40 weight% of aluminum hydroxide of a component, and it is more preferable to mix | blend 8-20 weight% in the whole composition. If the blending amount is less than 4% by weight of the total composition, the flame retardancy is insufficient, and if it exceeds 40% by weight, the strength of the cured product is significantly reduced.

(D)成分の無機充填剤としては、溶融シリカ、結晶シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、チタンホワイト、ベンガラ、炭化珪素、窒化ホウ素等の粉末、これらを球形化したビーズ、単結晶繊維、ガラス繊維等が挙げられる。これらは単独または2種以上混合して使用することができる。本発明においては、これらのなかでも、シリカ粉末、アルミナ粉末の使用が好ましく、シリカ粉末が特に好ましい。本発明の効果を得るためには、この(D)成分の無機充填剤は、平均粒径が1〜60μmで、最大粒径が200μm以下である必要があり、平均粒径が1μm未満では、流動性が著しく低下する。また、平均粒径が60μmを超えるか、または、最大粒径が200μmを超えると、パッケージ等への充填性が大きく低下し、未充填不良が生じやすくなる。好ましくは、平均粒径が15〜30μmであり、最大粒径が150μm以下である。   (D) Component inorganic fillers include fused silica, crystalline silica, alumina, talc, calcium carbonate, titanium white, bengara, silicon carbide, boron nitride, etc., spherical beads of these, single crystal fibers, glass Examples thereof include fibers. These can be used alone or in admixture of two or more. In the present invention, among these, use of silica powder and alumina powder is preferable, and silica powder is particularly preferable. In order to obtain the effect of the present invention, the inorganic filler of the component (D) needs to have an average particle diameter of 1 to 60 μm and a maximum particle diameter of 200 μm or less. When the average particle diameter is less than 1 μm, The fluidity is significantly reduced. On the other hand, when the average particle size exceeds 60 μm or the maximum particle size exceeds 200 μm, the filling property to the package or the like is greatly lowered, and unfilled defects are likely to occur. Preferably, the average particle size is 15-30 μm and the maximum particle size is 150 μm or less.

この(D)成分の無機充填剤の配合量は、成形性と耐高温リフロー性のバランスを採る観点から、(C)成分の水酸化アルミニウムとの合計量が組成物全体の65〜90重量%となる範囲が好ましく、70〜85重量%となる範囲であるとさらに好ましい。(C)成分の水酸化アルミニウムとの合計量が65重量%未満では、吸収率が上昇し耐半田クラック性が低下する。逆に、90重量%を越えると、組成物の流動性が低下し、成形性が不良となって実用が困難になる。   The blending amount of the inorganic filler of the component (D) is 65 to 90% by weight of the total composition with the aluminum hydroxide of the component (C) from the viewpoint of balancing the moldability and the high temperature reflow resistance. The range is preferably 70 to 85% by weight. When the total amount of the component (C) with aluminum hydroxide is less than 65% by weight, the absorption rate increases and the solder crack resistance decreases. On the other hand, if it exceeds 90% by weight, the fluidity of the composition is lowered, the moldability becomes poor and practical use becomes difficult.

本発明の封止用樹脂組成物には、以上の各成分の他、本発明の効果を阻害しない範囲で、この種の組成物に一般に配合される、硬化促進剤、カップリング剤、合成ワックス、天然ワックス、直鎖脂肪族の金属塩、酸アミド、エステル類等の離型剤、カーボンブラック、コバルトブルー等の着色剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力付与剤等を配合することができる。   In the sealing resin composition of the present invention, in addition to the components described above, a curing accelerator, a coupling agent, and a synthetic wax that are generally blended in this type of composition as long as the effects of the present invention are not impaired. , Natural wax, linear aliphatic metal salts, release agents such as acid amides and esters, colorants such as carbon black and cobalt blue, and low stress imparting agents such as silicone oil and silicone rubber. it can.

硬化促進剤としては、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリ(p‐メチルフェニル)ホスフィン、トリ(ノニルフェニル)ホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、ジブチルフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、ビス(ジフェニルホスフィノ)メタン、1,2‐ビス(ジフェニルホスフィノ)エタン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィントリフェニルボラン等の有機ホスフィン化合物、1,8‐ジアザビシクロ[5,4,0]ウンデセン‐7(DBU)、1,5‐ジアザビシクロ(4,3,0)ノネン‐5、トリエチルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、α−メチルベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等の3級アミン化合物、2‐ヘプタデシルイミダゾール、2‐メチルイミダゾール、2‐エチルイミダゾール、2‐フェニルイミダゾール、2‐フェニル‐4‐メチルイミダゾール、4‐メチルイミダゾール、4‐エチルイミダゾール、2‐フェニル‐4‐ヒドロキシメチルイミダゾール、2‐エニル‐4‐メチルイミダゾール、1‐シアノエチル‐2‐メチルイミダゾール、2‐フェニル‐4‐メチル‐5‐ヒドロキシメチルイミダゾール、2‐フェニル‐4、5‐ジヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール化合物等が挙げられる。これらは単独または2種以上混合して使用することができる。   Curing accelerators include trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine, triphenylphosphine, tri (p-methylphenyl) phosphine, tri (nonylphenyl) phosphine, methyldiphenylphosphine, dibutylphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, bis (diphenyl). Organic phosphine compounds such as phosphino) methane, 1,2-bis (diphenylphosphino) ethane, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, triphenylphosphinetetraphenylborate, triphenylphosphinetriphenylborane, 1,8-diazabicyclo [5 , 4,0] undecene-7 (DBU), 1,5-diazabicyclo (4,3,0) nonene-5, triethylamine, triethylenediamine, benzine Tertiary amine compounds such as dimethylamine, α-methylbenzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl) phenol, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2- Phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 4-methylimidazole, 4-ethylimidazole, 2-phenyl-4-hydroxymethylimidazole, 2-enyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, Examples thereof include imidazole compounds such as 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole. These can be used alone or in admixture of two or more.

カップリング剤としては、シランカップリング剤が好ましく、例えばγ‐グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β-(3,4‐エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ‐(メタクリロプロピル)トリメトキシシラン、γ‐アミノプロピルトリメトキシシラン、N‐β‐(アミノエチル)‐γ‐アミノプロピルトリメトキシシラン、N‐β‐(アミノエチル)‐γ‐アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N‐β‐(アミノエチル)‐γ‐アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N‐フェニル‐γ‐アミノプロピルトリメトキシシラン、γ‐ウレイドプロピルトリエトキシシラン、γ‐メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ‐メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、ビス(3‐トリエトキシシリルプロピル)テトラスルファン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、イミダゾールシラン等が挙げられる。これらは単独または2種以上混合して使用することができる。   As the coupling agent, a silane coupling agent is preferable, for example, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, γ- (methacrylopropyl) trimethoxysilane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropylmethyl Dimethoxysilane, N-β- (aminoethyl) -γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-ureidopropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ -Mercaptopropylmethyldimethoxysila , Bis (3-triethoxysilylpropyl) tetrasulfane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, imidazole silane, and the like. These can be used alone or in admixture of two or more.

本発明の封止用樹脂組成物を成形材料として調製するにあたっては、上記したような(A)エポキシ樹脂、(B)窒素変性フェノール樹脂系硬化剤、(C)水酸化アルミニウム、(D)無機充填剤、および、前述した必要に応じて配合される各種成分とを、ミキサー等によって十分に混合した後、熱ロールやニーダ等により溶融混練し、冷却後適当な大きさに粉砕するようにすればよい。   In preparing the sealing resin composition of the present invention as a molding material, the above-described (A) epoxy resin, (B) nitrogen-modified phenol resin-based curing agent, (C) aluminum hydroxide, (D) inorganic After thoroughly mixing the filler and the various components blended as necessary with a mixer, etc., melt and knead them with a hot roll, kneader, etc., and cool them to an appropriate size after cooling. That's fine.

本発明の半導体装置は、上記の封止用樹脂組成物を用いて半導体素子を封止することにより製造することができる。封止を行う半導体素子としては、例えば集積回路、大規模集積回路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード等が例示されるが、特にこれらに限定されるものではない。また、封止方法としては、低圧トランスファー法が一般的であるが、射出成形、圧縮成形等による封止も可能である。封止用樹脂組成物で封止後は、加熱して硬化させ、最終的にその硬化物によって封止された半導体装置が得られる。後硬化させる際の加熱温度は、150℃以上とすることが好ましい。   The semiconductor device of this invention can be manufactured by sealing a semiconductor element using said sealing resin composition. Examples of the semiconductor element for sealing include an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, and a diode, but are not particularly limited thereto. As a sealing method, a low-pressure transfer method is generally used, but sealing by injection molding, compression molding or the like is also possible. After sealing with the sealing resin composition, the semiconductor device is finally heated and cured, and finally sealed with the cured product. The heating temperature for post-curing is preferably 150 ° C. or higher.

次に、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。なお、以下の記載において「部」は「重量部」を示すものとする。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited to these Examples at all. In the following description, “part” means “part by weight”.

製造例1
還流冷却機付きのガラス製の加熱合成容器に液状のテトラエトキシシラン80部を投入後、特級の酢酸(和光純薬工業(株)製)100部を緩やかに滴下投入し、125℃で1時間、強制攪拌下に加熱し、化学反応を進めた。
Production Example 1
After adding 80 parts of liquid tetraethoxysilane to a glass heating synthesis vessel equipped with a reflux condenser, 100 parts of special grade acetic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) is slowly added dropwise, and at 125 ° C. for 1 hour. The chemical reaction was advanced by heating under forced stirring.

次に、反応物を加熱合成容器中で常温まで急冷した後、ヘキサン100部を滴下投入し、125℃で1時間の加熱を行い、終段でヘキサンを加熱減圧蒸留により除去した。さらに、反応を完結させるため、再度、反応物を加熱合成容器内で常温に冷却した後、ヘキサン100部を滴下投入し、125℃で1時間の加熱を行い、終段でヘキサンを加熱減圧蒸留により除去した。その後、液状残留物をろ過することにより無色透明のガラスマトリックス形成用液状前駆体(X)を得た。   Next, after the reaction product was rapidly cooled to room temperature in a heating synthesis vessel, 100 parts of hexane was added dropwise and heated at 125 ° C. for 1 hour, and hexane was removed by heating under reduced pressure at the final stage. Furthermore, in order to complete the reaction, the reaction product is again cooled to room temperature in a heating and synthesis vessel, and then 100 parts of hexane is added dropwise, heated at 125 ° C. for 1 hour, and hexane is heated and distilled at a final stage. Removed. Thereafter, the liquid residue was filtered to obtain a colorless and transparent liquid precursor for forming a glass matrix (X).

5℃の低温環境に設置したアルミナ製ボールミルに、上記ガラスマトリックス形成用液状前駆体(X)5部、平均粒径1.0μmの水酸化アルミニウム(昭和電工(株)製 商品名 H−42M)90部、およびシリコーン界面活性剤(信越化学(株)製 商品名 KF−640)2部を加え、1時間攪拌した後、水洗、乾燥して、ガラスマトリックス形成用液状前駆体処理水酸化アルミニウム(I)(ガラス前駆体処理水酸化アルミニウム(I)と表記)を得た。   On an alumina ball mill placed in a low temperature environment of 5 ° C., 5 parts of the above liquid matrix forming liquid precursor (X), aluminum hydroxide having an average particle size of 1.0 μm (trade name H-42M, manufactured by Showa Denko KK) 90 parts and 2 parts of a silicone surfactant (trade name KF-640, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added and stirred for 1 hour, followed by washing with water and drying to prepare a liquid precursor-treated aluminum hydroxide for glass matrix formation ( I) (denoted as glass precursor-treated aluminum hydroxide (I)) was obtained.

製造例2
還流冷却機付きのガラス製の加熱合成容器に液状のテトラメトキシシラン80部を投入後、特級の酢酸(和光純薬工業(株)製)100部を緩やかに滴下投入し、125℃で1時間、強制攪拌下に加熱し、化学反応を進めた。
Production Example 2
After adding 80 parts of liquid tetramethoxysilane into a glass heating synthesis vessel equipped with a reflux condenser, 100 parts of special grade acetic acid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) is slowly added dropwise, and at 125 ° C. for 1 hour. The chemical reaction was advanced by heating under forced stirring.

次に、反応物を加熱合成容器中で常温まで急冷した後、ヘキサン100部を滴下投入し、125℃で1時間の加熱を行い、終段でヘキサンを加熱減圧蒸留により除去した。さらに、反応を完結させるため、再度、反応物を加熱合成容器内で常温に冷却した後、ヘキサン100部を滴下投入し、125℃で1時間の加熱を行い、終段でヘキサンを加熱減圧蒸留により除去した。その後、液状残留物をろ過することにより無色透明のガラスマトリックス形成用液状前駆体(Y)を得た。   Next, after the reaction product was rapidly cooled to room temperature in a heating synthesis vessel, 100 parts of hexane was added dropwise and heated at 125 ° C. for 1 hour, and hexane was removed by heating under reduced pressure at the final stage. Furthermore, in order to complete the reaction, the reaction product is again cooled to room temperature in a heating and synthesis vessel, and then 100 parts of hexane is added dropwise, heated at 125 ° C. for 1 hour, and hexane is heated and distilled at a final stage. Removed. Thereafter, the liquid residue was filtered to obtain a colorless and transparent liquid precursor for forming a glass matrix (Y).

5℃の低温環境に設置したアルミナ製ボールミルに、上記ガラスマトリックス形成用液状前駆体(Y)5部、平均粒径1.0μmの水酸化マグネシウム(協和化学工業(株)製 商品名 キスマ5A)90部、およびシリコーン界面活性剤(信越化学(株)製 商品名 KF−640)2部を加え、1時間攪拌した後、水洗、乾燥して、ガラスマトリックス形成用液状前駆体処理水酸化アルミニウム(II)(ガラス前駆体処理水酸化アルミニウム(II)と表記)を得た。   Alumina ball mill placed in a low temperature environment of 5 ° C., 5 parts of the above liquid precursor for glass matrix formation (Y), magnesium hydroxide having an average particle size of 1.0 μm (trade name, Kisuma 5A, manufactured by Kyowa Chemical Industry Co., Ltd.) 90 parts and 2 parts of a silicone surfactant (trade name KF-640, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) were added and stirred for 1 hour, followed by washing with water and drying to prepare a liquid precursor-treated aluminum hydroxide for glass matrix formation ( II) (shown as glass precursor-treated aluminum hydroxide (II)).

なお、上記製造例1、2におけるガラスマトリックス形成用液状前駆体(X)および(Y)の調製は、いずれも非水型の調製方法によるものである。また、ガラスマトリックス形成用液状前駆体(X)および(Y)の赤外分光スペクトルの測定結果およびガラスマトリックス形成用液状前駆体(X)および(Y)の熱処理後のEDX分析から、ガラスマトリックス形成用液状前駆体(X)および(Y)はいずれも無機ガラスを形成することが可能であることを確認した。   The preparation of the liquid precursors (X) and (Y) for forming the glass matrix in Production Examples 1 and 2 is based on a non-aqueous preparation method. Further, from the measurement results of the infrared spectral spectra of the liquid precursors (X) and (Y) for forming the glass matrix and the EDX analysis after the heat treatment of the liquid precursors (X) and (Y) for forming the glass matrix, It was confirmed that the liquid precursors (X) and (Y) for use can form inorganic glass.

実施例1〜7、比較例1〜6
表1および表2に示す配合割合で各成分を常温で混合(ドライブレンド)した後、90〜95℃の加熱ロールを用いて加熱混練し、冷却後、粉砕して封止用樹脂組成物を製造した。
Examples 1-7, Comparative Examples 1-6
After mixing (dry blending) each component at a blending ratio shown in Table 1 and Table 2, the mixture is heated and kneaded using a heating roll of 90 to 95 ° C., cooled and pulverized to obtain a sealing resin composition. Manufactured.

なお、表1および表2に示す、ガラス前駆体処理水酸化アルミニウム(I)、(II)以外の材料は、次の通りである。
エポキシ樹脂A−1:
一般式(1)で示されるo‐クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(住友化学(株)製 商品名 ESCN−190)
エポキシ樹脂A−2:一般式(2)で示されるビフェニルノボラック型エポキシ樹脂
(ジャパンエポキシレジン(株)製 商品名 エピコートYX−4000)
エポキシ樹脂A−3:臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(東都化成(株)製 商品名 YDB−400)
フェノール樹脂系硬化剤B−1:
一般式(4)で示されるメラミン変性フェノールノボラック樹脂
(窒素含有量4重量%)
フェノール樹脂系硬化剤B−2:
一般式(5)で示されるベンゾグアナミン変性フェノールアラルキル樹脂
(窒素含有量4重量%)
フェノール樹脂系硬化剤B−3:フェノールノボラック樹脂
(明和化成(株)製 商品名 H−4)
硬化促進剤:トリフェニルホスフィン
無機充填剤:溶融シリカ粉末(平均粒径20μm、最大粒径105μm)
水酸化アルミニウム:NaO含有量0.04重量%、平均粒径9μm
難燃助剤:三酸化アンチモン
シランカップリング剤:γ‐グリシドキシプロピルトリメトキシシラン
着色剤:カーボンブラック
離型剤:カルナバワックス
The materials other than the glass precursor treated aluminum hydroxide (I) and (II) shown in Tables 1 and 2 are as follows.
Epoxy resin A-1:
O-cresol novolac epoxy resin represented by the general formula (1) (trade name ESCN-190 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
Epoxy resin A-2: biphenyl novolac type epoxy resin represented by the general formula (2) (trade name: Epicoat YX-4000, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.)
Epoxy resin A-3: Brominated bisphenol A type epoxy resin (trade name YDB-400 manufactured by Toto Kasei Co., Ltd.)
Phenolic resin curing agent B-1:
Melamine-modified phenol novolak resin represented by general formula (4)
(Nitrogen content 4% by weight)
Phenolic resin curing agent B-2:
Benzoguanamine-modified phenol aralkyl resin represented by the general formula (5)
(Nitrogen content 4% by weight)
Phenol resin curing agent B-3: Phenol novolac resin
(Product name H-4, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.)
Curing accelerator: Triphenylphosphine Inorganic filler: Fused silica powder (average particle size 20μm, maximum particle size 105μm)
Aluminum hydroxide: Na 2 O content 0.04% by weight, average particle size 9 μm
Flame retardant aid: Antimony trioxide Silane coupling agent: γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane Colorant: Carbon black Mold release agent: Carnauba wax

上記各実施例および各比較例で得られた封止用樹脂組成物について、下記に示す方法で各種特性を評価した。   About the resin composition for sealing obtained by each said Example and each comparative example, various characteristics were evaluated by the method shown below.

[スパイラルフロー]
EMMI‐I‐66に準じたスパイラルフロー測定用金型を用いて、温度175℃、圧力10MPaの条件で測定した。
[Spiral flow]
Measurement was performed under the conditions of a temperature of 175 ° C. and a pressure of 10 MPa using a spiral flow measurement mold according to EMMI-I-66.

[難燃性]
封止用樹脂組成物を、温度175℃、圧力10MPa、120秒間の条件でトランスファー成形し、次いで、温度175℃、8時間の後硬化を行って、127mm×12.7mm×1/8inch(約3.2mm)および127mm×12.7mm×1/16inch(約1.6mm)の試験用硬化物を得、UL−94規格に基づく垂直燃焼試験を行った。
[Flame retardance]
The encapsulating resin composition was transfer molded under the conditions of a temperature of 175 ° C. and a pressure of 10 MPa for 120 seconds, and then post-cured for 8 hours at a temperature of 175 ° C., and 127 mm × 12.7 mm × 1/8 inch (about 3.2 mm) and 127 mm × 12.7 mm × 1/16 inch (about 1.6 mm) test cured products were obtained, and a vertical combustion test based on the UL-94 standard was performed.

[耐高温リフロー性]
封止用樹脂組成物を用いて、温度175℃、圧力10MPa、120秒間のトランスファー成形および温度175℃、8時間の後硬化によりSOP16pパッケージ(チップサイズ:1.5mm×2.0mm)を作製し、このパッケージに60℃、60%RH、168時間の吸湿処理を行った後、260℃のIRリフロー処理を行った。冷却後、パッケージ内部のクラックの発生の有無を超音波探傷装置により観察し、その発生率を調べた。
[High temperature reflow resistance]
Using the sealing resin composition, a SOP16p package (chip size: 1.5 mm × 2.0 mm) is manufactured by transfer molding at a temperature of 175 ° C., a pressure of 10 MPa, 120 seconds, and a post-curing of 175 ° C. for 8 hours. The package was subjected to moisture absorption treatment at 60 ° C., 60% RH and 168 hours, followed by IR reflow treatment at 260 ° C. After cooling, the occurrence of cracks inside the package was observed with an ultrasonic flaw detector and the rate of occurrence was examined.

[高温保管性]
封止用樹脂組成物を用いて、温度175℃、圧力10MPa、120秒間のトランスファー成形および温度175℃、8時間の後硬化によりSOP16pパッケージ(チップサイズ:1.5mm×2.0mm)を作製した後、このパッケージに高温保管試験(190℃、1000時間)を行い、ピン間の電気抵抗値が初期値に対し20%以上増加したものを不良として、その発生率を調べた。
[High temperature storage]
Using the sealing resin composition, a SOP16p package (chip size: 1.5 mm × 2.0 mm) was produced by transfer molding at a temperature of 175 ° C., a pressure of 10 MPa, 120 seconds, and post-curing at a temperature of 175 ° C. for 8 hours. Thereafter, the package was subjected to a high-temperature storage test (190 ° C., 1000 hours), and the occurrence rate was examined by determining that the electrical resistance between the pins increased by 20% or more from the initial value as a failure.

これらの結果を表1および表2の下欄に示す。

Figure 2007137943
These results are shown in the lower column of Tables 1 and 2.
Figure 2007137943

Figure 2007137943
Figure 2007137943

表1および表2からも明らかなように、実施例の封止用樹脂組成物は、いずれも高温保管性および耐高温リフロー性がいずれも良好で、難燃性にも優れている。   As is clear from Tables 1 and 2, the sealing resin compositions of the examples both have good high-temperature storage properties and high-temperature reflow resistance, and are excellent in flame retardancy.

Claims (6)

(A)エポキシ樹脂、(B)窒素変性フェノール樹脂系硬化剤、(C)水酸化アルミニウムおよび(D)無機充填剤を含有し、
前記(C)成分の水酸化アルミニウムは、NaO含有量が0.1重量%以下であり、かつ、
前記(D)成分の無機充填剤は、平均粒径が1〜60μmで、最大粒径が200μm以下であって、
ハロゲン系難燃剤およびアンチモン系難燃剤を実質的に含まないことを特徴とする封止用樹脂組成物。
(A) an epoxy resin, (B) a nitrogen-modified phenol resin-based curing agent, (C) aluminum hydroxide and (D) an inorganic filler,
The aluminum hydroxide as the component (C) has a Na 2 O content of 0.1% by weight or less, and
The inorganic filler of the component (D) has an average particle size of 1 to 60 μm and a maximum particle size of 200 μm or less,
A sealing resin composition characterized by being substantially free of a halogen-based flame retardant and an antimony-based flame retardant.
前記(C)成分の水酸化アルミニウムは、平均粒径が1〜20μm、最大粒径が75μm以下であって、かつ、表面がガラスマトリックス形成用液状前駆体により処理されていることを特徴とする請求項1記載の封止用樹脂組成物。   The aluminum hydroxide as the component (C) has an average particle size of 1 to 20 μm, a maximum particle size of 75 μm or less, and the surface is treated with a liquid precursor for forming a glass matrix. The resin composition for sealing according to claim 1. 前記(C)成分の水酸化アルミニウムの含有量が組成物全体の4〜40重量%であることを特徴とする請求項1または2記載の封止用樹脂組成物。   The resin composition for sealing according to claim 1 or 2, wherein the content of the aluminum hydroxide as the component (C) is 4 to 40% by weight of the whole composition. 前記(C)成分の水酸化アルミニウムおよび前記(D)成分の無機充填剤の含有量の合計が組成物全体の65〜90重量%であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の封止用樹脂組成物。   The total content of the aluminum hydroxide as the component (C) and the inorganic filler as the component (D) is 65 to 90% by weight of the entire composition. The sealing resin composition according to Item. 前記(B)成分の窒素変性フェノール樹脂系硬化剤は、ベンゾグアナミン変性フェノール樹脂および/またはメラミン変性フェノール樹脂であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の封止用樹脂組成物。   The resin composition for sealing according to any one of claims 1 to 4, wherein the nitrogen-modified phenolic resin-based curing agent (B) is a benzoguanamine-modified phenol resin and / or a melamine-modified phenol resin. object. 請求項1乃至5のいずれか1項記載の封止用樹脂組成物の硬化物によって、半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。   6. A semiconductor device, wherein a semiconductor element is encapsulated with a cured product of the encapsulating resin composition according to claim 1.
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