JP2007128966A - 固体撮像素子の製造方法、及びこれを用いて製造した固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡単な製造工程でありながら、レンズ形状の曲率を正確に制御可能とする固体撮像素子の製造方法、及びこれを用いて製造した固体撮像素子を提供する。
【解決手段】受光部の上方に第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層20を形成するステップと、レンズ形成層20に各マイクロレンズの位置を囲んで断面矩形の溝22を形成するステップと、レンズ形成層20上の溝22に囲まれた各凸部表面20aに、第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層24をそれぞれ形成するステップと、レンズ形成層20およびコート層24に対し、該コート層24を軟化流動させ且つレンズ形成層20を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、コート層24の少なくとも一部を該コート層24の周囲の溝22内にそれぞれ流入させてレンズ形状を形成するステップと、を有してマイクロレンズを形成する。
【選択図】図4
【解決手段】受光部の上方に第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層20を形成するステップと、レンズ形成層20に各マイクロレンズの位置を囲んで断面矩形の溝22を形成するステップと、レンズ形成層20上の溝22に囲まれた各凸部表面20aに、第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層24をそれぞれ形成するステップと、レンズ形成層20およびコート層24に対し、該コート層24を軟化流動させ且つレンズ形成層20を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、コート層24の少なくとも一部を該コート層24の周囲の溝22内にそれぞれ流入させてレンズ形状を形成するステップと、を有してマイクロレンズを形成する。
【選択図】図4
Description
本発明は、固体撮像素子の製造方法、及びこれを用いて製造した固体撮像素子に関する。
近年、固体撮像素子の多画素化と小型化の要求が特に高まり、画素サイズの縮小が余儀なくされている。画素サイズの縮小に伴う光電変換素子への光入射量の減少による感度低下を防ぐため、マイクロレンズにより入射光の集光率を高めることが行われている。しかし、隣接するマイクロレンズ間のギャップが光の無効域として存在するために、このギャップをなくしたギャップレスのマイクロレンズが出現してきた。
上記のギャップレスのマイクロレンズは、例えば次のようにして形成することができる。図8に示すように、まず、カラーフィルタ51表面の平坦化層53の上に、レンズ材層55と樹脂材(レジスト)層57を形成する(a)。そして、各マイクロレンズに対応するレンズパターンをレジストパターンで形成し(b)、リフロー処理してレジスト層57を軟化・溶融させてレンズ形状とした後(c)、エッチング処理によるエッチバック(d)でレンズ材層55にレンズ形状を転写する(e)。これにより、ギャップレスのマイクロレンズが形成される。
また、マイクロレンズの形状を制御する技術として、特許文献1記載の方法がある。この方法により形成されるマイクロレンズ60は、凸レンズの曲率をレジスト層に形成する開口部の寸法で制御しており、マイクロレンズの配列方向(垂直方向・水平方向)に対してギャップレスとなるマイクロレンズを形成することが可能である。
特開平8−288481号公報
上記のギャップレスのマイクロレンズは、例えば次のようにして形成することができる。図8に示すように、まず、カラーフィルタ51表面の平坦化層53の上に、レンズ材層55と樹脂材(レジスト)層57を形成する(a)。そして、各マイクロレンズに対応するレンズパターンをレジストパターンで形成し(b)、リフロー処理してレジスト層57を軟化・溶融させてレンズ形状とした後(c)、エッチング処理によるエッチバック(d)でレンズ材層55にレンズ形状を転写する(e)。これにより、ギャップレスのマイクロレンズが形成される。
また、マイクロレンズの形状を制御する技術として、特許文献1記載の方法がある。この方法により形成されるマイクロレンズ60は、凸レンズの曲率をレジスト層に形成する開口部の寸法で制御しており、マイクロレンズの配列方向(垂直方向・水平方向)に対してギャップレスとなるマイクロレンズを形成することが可能である。
しかしながら、ギャップレスのマイクロレンズ60を形成する際に特許文献1記載の方法を用いると、レンズ形状をレジストの開口部の寸法とエッチング処理によって間接的に設定するので、レジスト層のパターニングが複雑化する。そして、レジスト層に形成する開口部の寸法が規定値からずれると、そのずれに応じてレンズ形状が変化してしまう不利がある。したがって、精密なパターニングが必要となり、工程管理が厳しくなって、歩留まりの低下や製造コストの増大等の問題が生じる。また、マイクロレンズの作成工程がリフロー処理とエッチング処理との二段階で行われるため、製造工程が煩雑となる。このため、更なる改善が望まれていた。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、簡単な製造工程でありながら、レンズ形状の曲率を正確に制御可能とする固体撮像素子の製造方法、及びこれを用いて製造した固体撮像素子を提供することを目的とする。
本発明に係る上記目的は、下記構成により達成される。
(1)受光部を有する画素が縦横に複数配設され、これら画素の受光部それぞれにマイクロレンズが形成された固体撮像素子の製造方法であって、前記受光部の上方に第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層を形成するステップと、前記レンズ形成層に前記各マイクロレンズの位置を囲んで断面矩形の溝を形成するステップと、前記レンズ形成層上の前記溝に囲まれた各凸部表面に、前記第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層をそれぞれ形成するステップと、前記レンズ形成層および前記コート層に対し、該コート層を軟化流動させ且つ前記レンズ形成層を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、前記コート層の少なくとも一部を該コート層の周囲の溝内にそれぞれ流入させてレンズ形状を形成するステップと、を有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
(1)受光部を有する画素が縦横に複数配設され、これら画素の受光部それぞれにマイクロレンズが形成された固体撮像素子の製造方法であって、前記受光部の上方に第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層を形成するステップと、前記レンズ形成層に前記各マイクロレンズの位置を囲んで断面矩形の溝を形成するステップと、前記レンズ形成層上の前記溝に囲まれた各凸部表面に、前記第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層をそれぞれ形成するステップと、前記レンズ形成層および前記コート層に対し、該コート層を軟化流動させ且つ前記レンズ形成層を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、前記コート層の少なくとも一部を該コート層の周囲の溝内にそれぞれ流入させてレンズ形状を形成するステップと、を有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
この固体撮像素子の製造方法によれば、まず、受光部の上方に第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層を形成し、このレンズ形成層に前記各マイクロレンズの位置を囲んで断面矩形の溝を形成して、このレンズ形成層上の溝に囲まれた各凸部表面に、第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層をそれぞれ形成する。そして、レンズ形成層および前記コート層に対し、該コート層を軟化流動させ且つレンズ形成層を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、コート層の少なくとも一部を該コート層の周囲の溝内にそれぞれ流入させてレンズ形状を形成する。これにより、簡単な製造工程でありながら、レンズ形状の曲率を自在にかつ正確に設定することができる。
(2)前記溝の溝幅、溝深さの少なくともいずれかを変更して前記レンズ形状の曲率を設定することを特徴とする(1)記載の固体撮像素子の製造方法。
この固体撮像素子の製造方法によれば、溝の溝幅、溝深さの少なくともいずれをパラメータとして、長さを調節することで、所望のレンズ形状の曲率を簡単にして形成することができる。
(3)前記溝深さが、前記コート層となるレジストの塗布厚を用いて設定されるものであることを特徴とする(2)記載の固体撮像素子の製造方法。
この固体撮像素子の製造方法によれば、コート層となるレジストの塗布厚を調整することで、溝の深さを簡単にして任意に設定することができる。
(4)前記画素部がカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの表面に形成される平坦化層を前記レンズ形成層として用いることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項記載の固体撮像素子の製造方法。
(4)前記画素部がカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの表面に形成される平坦化層を前記レンズ形成層として用いることを特徴とする(1)〜(3)のいずれか1項記載の固体撮像素子の製造方法。
この固体撮像素子の製造方法によれば、カラーフィルタの表面に形成される平坦化層がレンズ形成層となることで、別途にレンズ形成層を設ける必要なく、効率的にレンズを形成できる。
(5)受光部を有する画素が縦横に複数配設され、これら画素の受光部それぞれにマイクロレンズが形成された固体撮像素子であって、前記受光部の上方に形成された第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層と、前記レンズ形成層上に縦横に形成された断面矩形の溝と、前記レンズ形成層上の前記溝に囲まれた各凸部表面および前記溝を覆うとともに前記第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層とを備え、前記コート層の外表面が、軟化流動によって前記溝内に流入したことによる凸状の曲面を有して凸レンズを構成していることを特徴とする固体撮像素子。
この固体撮像素子によれば、受光部の上方に形成された第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層と、レンズ形成層上に縦横に形成された断面矩形の溝と、レンズ形成層上の溝に囲まれた各凸部表面および溝を覆うとともに第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層とを備え、コート層の外表面が、軟化流動によって溝内に流入したことによる凸状の曲面を有して凸レンズが構成される。
(6)前記第1のレンズ形成材料が、透明樹脂材料であることを特徴とする(5)記載の固体撮像素子。
この固体撮像素子によれば、第1のレンズ形成材料が透明樹脂材料で形成される。
(7)前記第2のレンズ形成材料が、透明樹脂材料であることを特徴とする(5)又は(6)記載の固体撮像素子。
この固体撮像素子によれば、第2のレンズ形成材料が透明樹脂材料で形成される。
本発明によれば、インラインで所望のレンズ形状を確実に得るためのプロセス管理に適したマイクロレンズの製造方法及びこれを用いて製造した固体撮像素子を提供できる。
以下、本発明に係る固体撮像素子の製造方法及びこれを用いて製造した固体撮像素子の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
まず、本発明の固体撮像素子の構造を説明する。図1は本発明に係る固体撮像素子の平面模式図、図2は図1に示す固体撮像素子の画素部の拡大平面図、図3は図2のA−A線断面模式図である。
図1〜図3に示す固体撮像素子は、n型のシリコン基板10の表面部に光電変換素子であるフォトダイオード13が多数形成され、各フォトダイオード13で発生した信号電荷を列方向(図1中のY方向)に転送するための電荷転送部が、列方向に配設された複数のフォトダイオード13からなる複数のフォトダイオード列の間を蛇行して形成される。
まず、本発明の固体撮像素子の構造を説明する。図1は本発明に係る固体撮像素子の平面模式図、図2は図1に示す固体撮像素子の画素部の拡大平面図、図3は図2のA−A線断面模式図である。
図1〜図3に示す固体撮像素子は、n型のシリコン基板10の表面部に光電変換素子であるフォトダイオード13が多数形成され、各フォトダイオード13で発生した信号電荷を列方向(図1中のY方向)に転送するための電荷転送部が、列方向に配設された複数のフォトダイオード13からなる複数のフォトダイオード列の間を蛇行して形成される。
電荷転送部は、複数のフォトダイオード列の各々に対応してシリコン基板10の表面部の列方向に形成された複数本の電荷転送チャネル15と、電荷転送チャネル15の上層に形成された2層電極構造の電荷転送電極17(第1の電極17a、第2の電極17b)と、フォトダイオード13で発生した電荷を電荷転送チャネル15に読み出すための電荷読み出し領域14(図1参照)とを含む。電荷転送電極17は、行方向に配設された複数のフォトダイオード13からなる複数のフォトダイオード行の間を全体として行方向(図1中のX方向)に延在する蛇行形状となっている(図2参照)。電荷転送電極17は単層電極構造であっても良い。
図3に示すように、シリコン基板10の表面部にはpウェル層19が形成され、pウェル層19の表面の一部にはp領域21aが形成され、p領域21aの下にはn領域21bが形成されている。また、p領域21aとn領域21bがフォトダイオード13を構成し、フォトダイオード13で発生した信号電荷は、n領域21bに蓄積される。
p領域21aの図中左側には、それぞれ少し離間してn領域からなる電荷転送チャネル15が形成される。n領域21bと電荷転送チャネル15(図3の左側)の間のpウェル層19には前述の電荷読み出し領域14が形成される。
シリコン基板10の表面にはゲート酸化膜16が形成され、電荷読み出し領域14と電荷転送チャネル15の上には、ゲート酸化膜16を介して、第1の電極17aと第2の電極17bが形成される。第1の電極17aと第2の電極17bの間は図示しない絶縁膜によって絶縁される。垂直転送チャネル15の図3における左側にはp+領域からなるチャネルストップ23が設けられ、隣接するフォトダイオード13との分離が図られる。
電荷転送電極17の上方には遮光膜25が形成され、遮光膜25にはフォトダイオード13に入射する光の範囲を制限する開口部27が形成される。そして、遮光膜25の上には平坦化層29が形成される。この平坦化層29の内部には、各フォトダイオード13の開口部27に光を集光するための図示しない層内レンズが形成される。
平坦化層29の上には、緑色の光を透過するカラーフィルタ35Gと、青色の光を透過するカラーフィルタ35Bと、赤色の光を透過するカラーフィルタとが形成される。
平坦化層29の上には、緑色の光を透過するカラーフィルタ35Gと、青色の光を透過するカラーフィルタ35Bと、赤色の光を透過するカラーフィルタとが形成される。
各カラーフィルタ35R,35G,35Bの上には、絶縁性の透明樹脂等からなる平坦化層37が形成され、その上に、各フォトダイオード13の開口部27に光を集光するためのマイクロレンズ39が形成される。本発明は、このマイクロレンズ39の製造方法に特徴を有していており、これら平坦化層37とマイクロレンズ39についての詳細は後述する。
上記構成の本実施形態の固体撮像素子100によれば、フォトダイオード13で発生した信号電荷がn領域21bに蓄積され、ここに蓄積された信号電荷が、電荷転送チャネル15によって列方向に転送され、転送された信号電荷が水平電荷転送路(HCCD)40によって行方向(図1中のX方向)に転送され、転送された信号電荷に応じた色信号がアンプ41から出力される。
そして、本実施形態の固体撮像素子100は、フォトダイオード13と、その上方に配置されるマイクロレンズ39等とを備えた画素部を多数有する画素領域43(図1参照)を形成している。
次に、本発明に係るマイクロレンズの製造方法の基本原理について説明する。
図4はマイクロレンズ製造方法の基本プロセスを概念的に示した説明図である。
マイクロレンズを形成するにあたっては、まず、図4(a)に示すように、第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層20に、マイクロレンズを形成する位置を囲んで断面矩形の溝22を形成する。溝22は、レンズ形成層20の表面上で縦横に形成する他、個々のマイクロレンズ位置に個別に環状に形成してもよい。次に、レンズ形成層20上の溝22に囲まれた各凸部表面20aに、第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層24をそれぞれ形成する。
図4はマイクロレンズ製造方法の基本プロセスを概念的に示した説明図である。
マイクロレンズを形成するにあたっては、まず、図4(a)に示すように、第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層20に、マイクロレンズを形成する位置を囲んで断面矩形の溝22を形成する。溝22は、レンズ形成層20の表面上で縦横に形成する他、個々のマイクロレンズ位置に個別に環状に形成してもよい。次に、レンズ形成層20上の溝22に囲まれた各凸部表面20aに、第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層24をそれぞれ形成する。
次に、図4(b)に示すように、レンズ形成層20およびコート層24に対し、このコート層24を軟化流動させ且つレンズ形成層20を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、コート層24の少なくとも一部をコート層24の周囲の溝22内にそれぞれ流入させる。これにより、コート層24が溝22と凸部表面20aの形状に沿って、上に凸となるレンズ形状を形成する。
ここで、レンズ形成層20の材料である第1のレンズ形成材料は、透明樹脂の他、ガラス、透明セラミックス等を用いることができる。また、コート層24の材料である第2のレンズ形成材料は、レジスト材料等の樹脂材料を用いることができる。
図5は、溝内へコート層が流入する様子を(a)〜(d)で段階的に示した概念説明図である。
図5(a)に示す初期の状態から、リフロー処理を施すことにより、コート層24は軟化して、図5(b)に示すように、角部が表面張力によって丸まるとともに、一部が溝22内へ流入し始める。そして、図5(c)に示すように、軟化したコート層24が徐々に溝22内に流れ込み、ついには、図5(d)に示すように、溝22内で隣接するコート層24の外表面が接合される。このとき、コート層24は、軟化流動によって溝22内に流入したことによる、滑らかな凸状の曲面24aが形成されて、上に凸状となる凸レンズ30が形成される。
図5(a)に示す初期の状態から、リフロー処理を施すことにより、コート層24は軟化して、図5(b)に示すように、角部が表面張力によって丸まるとともに、一部が溝22内へ流入し始める。そして、図5(c)に示すように、軟化したコート層24が徐々に溝22内に流れ込み、ついには、図5(d)に示すように、溝22内で隣接するコート層24の外表面が接合される。このとき、コート層24は、軟化流動によって溝22内に流入したことによる、滑らかな凸状の曲面24aが形成されて、上に凸状となる凸レンズ30が形成される。
凸レンズ30の光学的性能は、レンズ形状によりそのレンズの焦点距離やレンズ径等が決定される。本発明のマイクロレンズ製造方法によれば、このレンズ形状を、溝の幅や溝の深さ等をファクターとして調整することで、自在に設定することができる。そして、溝の深さは、コート層24となるレジストの塗布厚を用いて設定することで、簡単に調整することができる。
図6はレンズ曲率を溝の幅(a)と溝の深さ(b)で制御する概念的な説明図を示している。
図6(a)に示すように、溝の幅を長くすると、前述のコート層24がレンズ形成層20の表面内で伸ばされてレンズの曲率を小さくできる。また、溝の幅を短くすると、レンズの曲率を大きくすることができる。しかし、溝の幅を長くし過ぎる場合は、リフロー処理によっても溝がコート層で埋まらず、短すぎる場合は、溝がコート層ですぐに埋まり、いずれも設計通りの曲率が得られず、所望のレンズ形状が形成できなくなる。
図6(a)に示すように、溝の幅を長くすると、前述のコート層24がレンズ形成層20の表面内で伸ばされてレンズの曲率を小さくできる。また、溝の幅を短くすると、レンズの曲率を大きくすることができる。しかし、溝の幅を長くし過ぎる場合は、リフロー処理によっても溝がコート層で埋まらず、短すぎる場合は、溝がコート層ですぐに埋まり、いずれも設計通りの曲率が得られず、所望のレンズ形状が形成できなくなる。
また、図6(b)に示すように、溝の深さを深くすると、コート層24がレンズ形成層20の垂直方向に伸ばされてレンズの曲率を大きくすることができる。また、溝の深さを浅くすると、レンズの曲率を小さくすることができる。しかし、溝の深さを深くし過ぎる場合は、溝がコート層で埋まらず、溝の深さが浅すぎる場合は、溝がコート層ですぐに埋まり、いずれも設計通りの曲率が得られず、所望のレンズ形状が形成できなくなる。
次に、上記のとおり説明したマイクロレンズ製造方法を、本発明に係る固体撮像素子のマイクロレンズに適用した例を以下に説明する。
図7は、図3に示すマイクロレンズを形成するための製造手順(a)〜(d)を示す説明図である。
図7(a)に示すように、各画素の受光部となるフォトダイオード13の上方に、フォトダイオード13それぞれの検出色に応じてカラーフィルタ35が設けられる。このカラーフィルタ35の上に前述の平坦化層37を形成する。平坦化層37は、図4に示す第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層20に相当し、例えばレジスト材料 CT3060(東京応化製)を用いて形成することができる。
図7(a)に示すように、各画素の受光部となるフォトダイオード13の上方に、フォトダイオード13それぞれの検出色に応じてカラーフィルタ35が設けられる。このカラーフィルタ35の上に前述の平坦化層37を形成する。平坦化層37は、図4に示す第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層20に相当し、例えばレジスト材料 CT3060(東京応化製)を用いて形成することができる。
次に、図7(b)に示すように、マイクロレンズを形成する位置が凸部となるように、断面矩形の溝50をそれぞれ凸部の周囲に形成する。この溝50は、レジストのパターニングにより平坦化層37を選択的に除去することで簡単に形成できる。そして、溝50の形成された平坦化層37の上に、図7(c)に示すように、第2のレンズ形成材料からなるコート層40を成膜する。コート層40としては、例えば、MFR345(JSR社製)などのアクリル系フォトレジスト、GKR5315(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)等の2成分系化学増幅型レジスト等を用いることができる。
コート層40を形成した後、図7(d)に示すように、前述の断面矩形の溝50をレジストのパターニングにより露出させる。この状態で、リフロー処理することで、図3、図4(b)に示すような凸レンズが形成され、マイクロレンズが完成する。なお、溝50の深さは、露光条件の変更(露光時間の増減)等により調整が可能である。
以上の工程により、レンズ形成層20となる材料に形成する溝の溝幅、溝深さの少なくともいずれかを、マイクロレンズが所望の形状となるような長さに設定することにより、マイクロレンズの曲率を任意に設定することができる。もって、レンズ形状を所望の形状に正確に、かつ製造工程を煩雑化することなく簡単に仕上げることが可能となる。また、レンズの曲率に対する溝幅、溝深さなどのパラメータを、予め実験的或いは解析的に関係を求めておけば、所望の曲率を得るための溝の形状を一義的に特定させることができ、きめ細かな曲率の設定が可能となり、設計の自由度が高められる。また、本実施形態におけるマイクロレンズ39を形成する工程は、従来のエッチバック処理を省略することができるので、工程の簡素化による処理時間短縮の効果が大きい。
なお、本実施形態においてはマイクロレンズ39の下地層として平坦化層37を設けているが、平坦化層37のない構成にする場合がある。その場合は、レンズ形成層20をカラーフィルタ35R,35G,35Bとし、レンズ形成に必要となる溝として、隣接する各カラーフィルタ35R,35G,35B間に隙間を形成し、この隙間を溝として利用する。これにより、レンズ形成層20、溝、コート層が同様にして得られ、マイクロレンズ39を形成することができる。また、この他にも別途レンズ形成層を設けることであってもよい。
なお、本実施形態の説明においては、CCD型の固体撮像素子を例とり説明したが、本発明はMOS型の固体撮像素子にも同様に適用可能である。また、フォトダイオード13の配列も図2に示したものに限らず、例えば正方格子配列であっても良い。
10 シリコン基板
13 フォトダイオード
20 レンズ形成層
20a 凸部表面
22 溝
24 コート層
30 凸レンズ
35 カラーフィルタ
37 平坦化層(レンズ形成層)
39 マイクロレンズ
40 コート層
100 固体撮像素子
13 フォトダイオード
20 レンズ形成層
20a 凸部表面
22 溝
24 コート層
30 凸レンズ
35 カラーフィルタ
37 平坦化層(レンズ形成層)
39 マイクロレンズ
40 コート層
100 固体撮像素子
Claims (7)
- 受光部を有する画素が縦横に複数配設され、これら画素の受光部それぞれにマイクロレンズが形成された固体撮像素子の製造方法であって、
前記受光部の上方に第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層を形成するステップと、
前記レンズ形成層に前記各マイクロレンズの位置を囲んで断面矩形の溝を形成するステップと、
前記レンズ形成層上の前記溝に囲まれた各凸部表面に、前記第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層をそれぞれ形成するステップと、
前記レンズ形成層および前記コート層に対し、該コート層を軟化流動させ且つ前記レンズ形成層を溶融させない温度に加熱するリフロー処理を施し、前記コート層の少なくとも一部を該コート層の周囲の溝内にそれぞれ流入させてレンズ形状を形成するステップと、
を有することを特徴とする固体撮像素子の製造方法。 - 前記溝の溝幅、溝深さの少なくともいずれかを変更して前記レンズ形状の曲率を設定することを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記溝深さが、前記コート層となるレジストの塗布厚を用いて設定されるものであることを特徴とする請求項2記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記画素部がカラーフィルタを有し、該カラーフィルタの表面に形成される平坦化層を前記レンズ形成層として用いることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項記載の固体撮像素子の製造方法。
- 受光部を有する画素が縦横に複数配設され、これら画素の受光部それぞれにマイクロレンズが形成された固体撮像素子であって、
前記受光部の上方に形成された第1のレンズ形成材料からなるレンズ形成層と、
前記レンズ形成層上に縦横に形成された断面矩形の溝と、
前記レンズ形成層上の前記溝に囲まれた各凸部表面および前記溝を覆うとともに前記第1のレンズ形成材料より溶融温度が低い第2のレンズ形成材料からなるコート層とを備え、
前記コート層の外表面が、軟化流動によって前記溝内に流入したことによる凸状の曲面を有して凸レンズを構成していることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記第1のレンズ形成材料が、透明樹脂材料であることを特徴とする請求項5記載の固体撮像素子。
- 前記第2のレンズ形成材料が、透明樹脂材料であることを特徴とする請求項5又は請求項6記載の固体撮像素子。
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JP2005318472A Pending JP2007128966A (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 固体撮像素子の製造方法、及びこれを用いて製造した固体撮像素子 |
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JP (1) | JP2007128966A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20080062141A (ko) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 형성 방법 |
KR100887886B1 (ko) * | 2007-11-05 | 2009-03-06 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서 및 그 제조방법 |
JP2019106548A (ja) * | 2019-03-07 | 2019-06-27 | 株式会社ニコン | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP2019134170A (ja) * | 2019-03-07 | 2019-08-08 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
-
2005
- 2005-11-01 JP JP2005318472A patent/JP2007128966A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20080062141A (ko) * | 2006-12-29 | 2008-07-03 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 형성 방법 |
KR100887886B1 (ko) * | 2007-11-05 | 2009-03-06 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서 및 그 제조방법 |
JP2019106548A (ja) * | 2019-03-07 | 2019-06-27 | 株式会社ニコン | 固体撮像素子および撮像装置 |
JP2019134170A (ja) * | 2019-03-07 | 2019-08-08 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
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