JP2007123840A - プロセスチャンバ内のシャワーヘッド用サスペンション - Google Patents
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Abstract
【解決手段】次のことのうちの1つ以上によって改善される。(1)サスペンション壁50を、プロセスガスと直接接触することから保護するのに役に立つガス密閉スカート70。該ガス密閉スカート70は、チャンバ壁16または該シャワーヘッド20のいずれかに接続されているが、その両方には接続されていない。(2)チャンバ蓋が開かれたときに、該サスペンション壁50のプロセスガスまたは大気への曝露を低減する該サスペンション壁50内の開口。(3)該サスペンション壁50の水平方向の座屈またはたわみを容易にする、1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列。(4)そのそれぞれの中央部分が同一平面である複数のサスペンション壁50。
【選択図】図1
Description
[00030]図1及び図2は、本発明によるつるされたシャワーヘッド20及びガス密閉スカート70を含むプロセスチャンバを示す。本発明について説明する前に、該プロセスチャンバの他のコンポーネントについて説明する。
[0048]図2及び図3は、上記サスペンションを詳細に示す。シャワーヘッド20は、1つ以上のフレキシブルサスペンション壁50を備えるフレキシブルサスペンションによってつるされている。該サスペンションの柔軟性は、該シャワーヘッドの温度が上昇及び下降した際の該シャワーヘッドの径方向の膨張及び収縮に適応する。
[00063]以下に説明する本発明の全ての態様は、シャワーヘッド中央部支持体を有する図4の実施形態及びこのような中央部支持体を持っていない図1の実施形態の両方で有用である。
[00064]異なる熱膨張により引き起こされる、サスペンション50とシャワーヘッド20との間の応力を最小化するために、該サスペンション及び該シャワーヘッドは、好ましくは、同じ材料、好ましくは、アルミニウムから構成され、その結果、該サスペンション及びシャワーヘッドは、温度変化に応じて、同じ量だけ膨張し、収縮する。また、上述した、細長い穴57に係合したピン64によって、各サスペンション壁の下方フランジ54を該シャワーヘッドに滑動可能に取り付ける方法は、該サスペンション壁と該シャワーヘッドとの間の温度差によって引き起こる可能性がある異なる熱膨張に適応するための、該サスペンション壁と該シャワーヘッドとの間のある量の相対的動きを可能にする。
[00069]本発明の一態様は、図1、図2、図4及び図5に示す、プロセスガスが、上記チャンバ壁内のガス入口26からそこを通って、シャワーヘッド20内のガス出口22に流れる上記空間(すなわち、ガス入口プレナム30)の側部を包囲するガス密閉スカート70である。
[00077]上述したように、上記ガス密閉スカートは、該ガス密閉スカートが上記ガス入口プレナムとサスペンション壁50との間に入れられるように、すなわち、サスペンション壁50がガス入口プレナム30の外部にあるように、サスペンション壁50の半径方向内側に、好ましくは位置決めされる。ガス密閉スカート70は、上記ギャップの数が、先の段落で明示したようにゼロである場合、すなわち、該ガス密閉スカートの接続されていない上端部または下端部と、該ガス密閉スカートが接続されていないコンポーネントとの間にギャップがない場合に、ガス入口プレナム30を通って流れる上記プロセスガスが、該サスペンションに接触することを完全に阻止することになり、この場合、このようなコンポーネントは、先の段落で説明したように、チャンバ壁14〜18またはシャワーヘッド20のいずれかである。
[00084]図6、図7及び図8は、ガス密閉スカート70の下端部に隣接している、または、当接しているシャワーヘッド縁60の部分の代替デザインを示す。
[00089]「3.冷却中のサスペンション応力の問題」の項で説明した応力を改善または回避するために、本発明の第2の態様は、各サスペンション壁50に開口80を提供することを備える。このような開口は、上記プロセスチャンバ内のガスに曝露される該サスペンション壁の表面積を減らし、それにより、該サスペンション壁と該ガスとの間の熱伝達を減らす。従って、室温大気圧の冷たい空気が該チャンバ内に流れ込むように、上記チャンバ蓋が開かれた場合、該開口は、該サスペンション壁の冷却速度を低減し、それにより、該サスペンション壁内の応力(熱衝撃)を低減する。
[00095]上記の「3.冷却中のサスペンション応力の問題」という項で説明した上記サスペンション壁における熱誘導応力を改善するために、本発明の第3の態様は、各サスペンション壁50に、1つ以上の裂け目の少なくとも1つの実質的に垂直方向の配列を提供することを備える。該裂け目は、該裂け目の位置における該壁を弱くすることにより、サスペンション壁における応力を改善し、それにより、熱応力に応じた該壁の水平方向のたわみまたは座屈を容易にすることができる。このようなたわみまたは座屈は、繰り返し発生する応力が、最終的に、該壁を変形させ、該壁にひびを入れ、あるいは、該壁を引き裂くことになるリスクを低減するように、該応力を解放することができる。
[00100]上記の「3.冷却中のサスペンション応力の問題」という項で説明した上記サスペンション壁における熱誘導応力を改善するために、本発明の第4の態様は、少なくとも1つのサスペンション壁50を、図14に示すような複数の同一平面サスペンション壁50と置き換えることを備える。
Claims (60)
- プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドにおいて、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、1つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁と、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドを、前記上部壁よりも下に少し離れてつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
前記チャンバ壁に隣接して位置決めされた上方部分と、前記シャワーヘッドに隣接して位置決めされた下方部分との間に延びるガス密閉スカートと、
を備え、
前記ガス密閉スカートが、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方に接続されているが、その両方には接続されておらず、
前記ガス密閉スカートが、前記ガス密閉スカートの内面の面積の3分の1くらいの総面積を有する多数のギャップによって、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方から離されており、前記ギャップの数がゼロ以上であり、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド、前記ガス密閉スカート及び前記ギャップが集合的に、ガスが、前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、
ガス入口マニホールド。 - 前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項1に記載のガス入口マニホールド。
- 前記シャワーヘッドが、4つの側部を持つ矩形であり、
前記ガス密閉スカートが、前記シャワーヘッドの前記4つのそれぞれの側部にそれぞれ隣接している4つのシートを備える、請求項1に記載のガス入口マニホールド。 - 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項1に記載のガス入口マニホールド。
- プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドにおいて、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、1つ以上のガス入口流路を含む、前記チャンバ壁と、
(i)上方対向面及び下方対向面、
(ii)前記上方対向面と前記下方対向面との間に延びる複数のガス出口流路、
(iii)前記上方対向面内の1つ以上の溝であって、前記ガス出口流路と前記上方対向面の周辺部との間に配置されている前記溝、
を含むシャワーヘッドと、
前記上部壁の下より少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
(i)前記チャンバ壁に接続されている上方部分、
(ii)1つ以上の前記溝内に延びており、かつ前記シャワーヘッドに接続されていない下方部分、
を含む、ガス密閉スカートと、
を備え、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及び前記ガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。 - 前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項5に記載のガス入口マニホールド。
- プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドにおいて、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、1つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁と、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
前記上部壁の下より少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
前記チャンバ壁に接続された上方部分と、前記シャワーヘッドに当接しているが、接続はされていない下方部分とを有するガス密閉スカートと、
を備え、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及び前記ガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。 - 前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項7に記載のガス入口マニホールド。
- 前記ガス密閉スカートが、前記シャワーヘッドの周辺部に当接している、請求項7に記載のガス入口マニホールド。
- 前記シャワーヘッドが、少なくとも1つの上方に突出する隆起部を含み、
前記ガス密閉スカートが、前記少なくとも1つの隆起部の径方向外側面に当接している、請求項7に記載のガス入口マニホールド。 - プロセスチャンバ用ガス入口マニホールドであって、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、1つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁と、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
前記シャワーヘッドを、前記上部壁よりも下に少し離れてつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間に接続されたサスペンションと、
前記チャンバ壁に接続された上方部分と、ガス密閉スカートが、前記ガス密閉スカートの内面の面積の3分の1くらいの総面積を有する多数のギャップによって、前記シャワーヘッドから離されており、前記ギャップの数がゼロ以上になるように、前記シャワーヘッドの方に延びているが、前記シャワーヘッドに接続はされていない下方部分とを有するガス密閉スカートと、
を備え、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド、前記ガス密閉スカート及び前記ギャップが集合的に、ガスが、前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができる空間を包囲する、ガス入口マニホールド。 - 前記サスペンションが前記空間の外部にある、請求項11に記載のガス入口マニホールド。
- 前記ガス密閉スカートの前記下方部分が、前記ギャップの数がゼロになるように、前記シャワーヘッドに接触している、請求項11に記載のガス入口マニホールド。
- 前記ガス密閉スカートの前記下方部分が、前記ギャップの総面積がゼロになるように、前記シャワーヘッドに接触している、請求項11に記載のガス入口マニホールド。
- 前記サスペンションが前記シャワーヘッドの側部に接続されている、請求項11に記載のガス入口マニホールド。
- 前記サスペンションが、前記シャワーヘッドの4つのそれぞれの側部にそれぞれ接続された4つのシートを備える、請求項11に記載のガス入口マニホールド。
- 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項11に記載のガス入口マニホールド。
- シャワーヘッドをつるす装置であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
1つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションであって、各サスペンション壁が上方部分及び下方部分を含む、サスペンションと、
を備え、
各サスペンション壁の前記下方部分が、前記サスペンションが前記シャワーヘッドを、前記サスペンション壁の前記上方部分の下につるすように、前記シャワーヘッドに接続されており、
各サスペンション壁が、前記サスペンション壁の面積の少なくとも5%を集合的に占める1つ以上の開口を含む、装置。 - チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁であって、1つ以上のガス入口流路を含む、チャンバ壁をさらに備え、
各サスペンション壁の前記上方部分が前記チャンバ壁に接続されている、請求項18に記載の装置。 - 各サスペンション壁が、前記サスペンション壁の前記上方部分と前記下方部分との間に柔軟な部分を含み、
各サスペンション壁に対して、該サスペンション壁内の前記開口の各々が、該サスペンション壁の前記柔軟な部分内にある、請求項18に記載の装置。 - 前記開口の各々が垂直方向に伸長している、請求項18に記載の装置。
- 各サスペンション壁に対して、該サスペンション壁内の前記開口の各々が、該サスペンション壁の最下端部まで延びている、請求項18に記載の装置。
- 各サスペンション壁に対して、
該サスペンション壁の前記下方部分が、複数のエリアにおいて、前記シャワーヘッドに接続されており、
前記エリアが、該サスペンション壁内の1つ以上の前記開口によって離されている、請求項22に記載の装置。 - 前記シャワーヘッドが、4つの側部を持つ矩形であり、
前記サスペンション壁が、前記シャワーヘッドの4つのそれぞれの側部にそれぞれ接続された4つのサスペンション壁を備える、請求項18に記載の装置。 - 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項18に記載の装置。
- 各サスペンション内の1つ以上の前記開口が、前記サスペンション壁の少なくとも4分の1の面積を集合的に占める、請求項18に記載の装置。
- プロセスチャンバ内でシャワーヘッドをつるす装置において、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
1つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションであって、各サスペンション壁が、(i)上方部分、(ii)前記サスペンションが、前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるすように、前記シャワーヘッドに接続された下方部分、(iii)前記上方部分と前記下方部分との間で垂直方向に延びる中央部分を含むサスペンションと、
を備え、
各サスペンション壁の前記中央部分が、前記サスペンション壁内の1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列を含む、装置。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記中央部分内の実質的に垂直方向に向けられたスリットからなる、請求項27に記載の装置。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記中央部分内の実質的に垂直方向に伸長する開口からなる、請求項27に記載の装置。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記中央部分内の実質的に垂直方向に伸長する溝からなる、請求項27に記載の装置。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの1つの前記中央部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の打ち抜き穴を備える、請求項27に記載の装置。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの1つの前記中央部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の開口を備える、請求項27に記載の装置。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの1つの前記中央部分内の実質的に垂直方向に離間した複数のノッチを備える、請求項27に記載の装置。 - シャワーヘッドをつるす装置において、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドと、
第1のサスペンション壁及び第2のサスペンション壁を含む複数のサスペンション壁を備えるサスペンションであって、各サスペンション壁が、上方部分及び下方部分を含む、サスペンションと、
を備え、
各サスペンション壁の前記下方部分が、前記サスペンションが、該サスペンション壁の前記上方部分より下に前記シャワーヘッドをつるすように、前記シャワーヘッドに接続されており、
前記第1及び第2のサスペンション壁が同一平面にある、装置。 - 垂直方向のギャップが、前記第1のサスペンション壁の中央部分と、前記第2のサスペンション壁の中央部分とを離している、請求項34に記載の装置。
- 前記複数のサスペンション壁が、前記第1及び第2のサスペンション壁と直角な第3のサスペンション壁をさらに含む、請求項34に記載の装置。
- 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項34に記載の装置。
- 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項27に記載の装置。
- プロセスチャンバのガス入口プレナムを包囲する方法において、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁を提供するステップであって、前記チャンバ壁が1つ以上のガス入口流路を含む、ステップと、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
前記シャワーヘッドを、前記上部壁の下に少し離れてつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間にサスペンションを接続するステップと、
ガス密閉スカートを、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方に接続するが、その両方には接続しないステップと、
(i)前記ガス密閉スカートが、前記チャンバ壁に隣接する上方部分と、前記シャワーヘッドに隣接する下方部分との間に延び、
(ii)前記ガス密閉スカートが、前記ガス密閉スカートの内面の面積の3分の1くらいの総面積を有する多数のギャップによって、前記チャンバ壁または前記シャワーヘッドのいずれか一方から離されており、前記ギャップの数がゼロ以上であり、
(iii)前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド、前記ガス密閉スカート及び前記ギャップが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路を流れることができるガス入口プレナムを包囲するように、前記ガス密閉スカートを位置決めするステップと、
を備える方法。 - 前記ガス入口流路を介してガスを前記ガス入口プレナム内に供給するステップをさらに備える、請求項39に記載の方法。
- 前記サスペンションを接続するステップが、前記ガス入口プレナムの外部に前記サスペンションを位置決めする工程をさらに備える、請求項39に記載の方法。
- 前記シャワーヘッドが、4つの側部を持つ矩形であり、
前記ガス密閉スカートが、前記シャワーヘッドの4つのそれぞれの側部にそれぞれ隣接する4つのシートを備える、請求項39に記載の方法。 - 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項39に記載の方法。
- プロセスチャンバのガス入口プレナムを包囲する方法であって、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁を提供するステップであって、前記チャンバ壁が1つ以上のガス入口流路を含む、ステップと、
(i)上方対向面及び下方対向面と、
(ii)前記上方対向面と前記下方対向面との間に延びる複数のガス出口流路と、
(iii)前記上方対向面内の1つ以上の溝であって、前記ガス出口流路と、前記上方対向面の周辺部との間に配置されている溝と、を含むシャワーヘッドを提供するステップと、
前記上部壁の下に少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間にサスペンションを接続するステップと、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及びガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができるガス入口プレナムを包囲するように、前記ガス密閉スカートを位置決めするステップと、
前記ガス密閉スカートの上方部分を前記チャンバ壁に接続するステップと、
前記ガス密閉スカートの下方部分が、前記溝のうちの1つ以上に延び、かつ前記シャワーヘッドに接続されないように、前記ガス密閉スカートの下方部分を位置決めするステップと、
を備える方法。 - プロセスチャンバのガス入口プレナムを包囲する方法であって、
チャンバ上部壁及びチャンバ側壁を備えるチャンバ壁を提供するステップであって、前記チャンバ壁が1つ以上のガス入口流路を含む、ステップと、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
前記上部壁の下に少し離れて前記シャワーヘッドをつるすように、前記チャンバ壁と前記シャワーヘッドとの間にサスペンションを接続するステップと、
前記チャンバ壁、前記シャワーヘッド及びガス密閉スカートが集合的に、ガスが前記ガス入口流路からそこを通って前記ガス出口流路へ流れることができるガス入口プレナムを包囲するように、前記ガス密閉スカートを位置決めするステップと、
前記ガス密閉スカートの上方部分を前記チャンバ壁に接続するステップと、
前記ガス密閉スカートの下方部分が、前記シャワーヘッドに当接しているが、接続されてはいないように、前記ガス密閉スカートの下方部分を位置決めするステップと、
を備える方法。 - 前記シャワーヘッドが、少なくとも1つの上方に突出する隆起部を含み、
前記ガス密閉スカートが、前記少なくとも1つの隆起部の径方向外側面に当接している、請求項45に記載の方法。 - シャワーヘッドをつるす方法であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
1つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションを提供するステップであって、各サスペンション壁が、上方部分及び下方部分を含む、ステップと、
前記サスペンションが前記サスペンション壁の前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるすように、各サスペンション壁の前記下方部分を前記シャワーヘッドに接続するステップと、
を備え、
前記サスペンションを提供するステップが、各サスペンション壁内に、前記サスペンション壁の面積の少なくとも5%を集合的に占める1つ以上の開口を形成する工程をさらに備える、方法。 - 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項47に記載の方法。
- シャワーヘッドをつるす方法であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
1つ以上のサスペンション壁を備えるサスペンションを提供するステップであって、各サスペンション壁が、(i)上方部分、(ii)下方部分、及び(iii)前記上方部分と前記下方部分との間に垂直に延びる中央部分を含む、ステップと、
前記サスペンションが、前記サスペンション壁の前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるすように、各サスペンション壁の前記下方部分を前記シャワーヘッドに接続するステップと、
を備え、
前記サスペンションを提供するステップが、各サスペンション壁の前記中央部分内に、前記サスペンション壁内の1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列を形成する工程をさらに備える、方法。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記中央部分内の実質的に垂直方向に向けられたスリットからなる、請求項49に記載の方法。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記中央部分内の実質的に垂直方向に伸長する開口からなる、請求項49に記載の方法。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁の各々の前記中央部分内の実質的に垂直方向に伸長する溝からなる、請求項49に記載の方法。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの1つの前記中央部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の打ち抜き穴を備える、請求項49に記載の方法。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの1つの前記中央部分内の実質的に垂直方向に離間した複数の開口を備える、請求項49に記載の方法。 - 前記1つ以上の裂け目の実質的に垂直方向の配列が、
前記サスペンション壁のうちの1つの前記中央部分内の実質的に垂直方向に離間した複数のノッチを備える、請求項49に記載の方法。 - 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項49に記載の方法。
- シャワーヘッドをつるす方法であって、
複数のガス出口流路を有するシャワーヘッドを提供するステップと、
第1のサスペンション壁及び第2のサスペンション壁を含む複数のサスペンション壁を備えるサスペンションを提供するステップであって、各サスペンション壁が、上方部分及び下方部分を含む、ステップと、
前記サスペンションが、該サスペンション壁の前記上方部分の下に前記シャワーヘッドをつるし、かつ前記第1のサスペンション壁と前記第2のサスペンション壁とが同一平面にあるように、各サスペンション壁の前記下方部分を前記シャワーヘッドに接続するステップと、
を備える方法。 - 前記接続するステップが、
垂直方向ギャップが、前記第1のサスペンション壁の中央部分を、前記第2のサスペンション壁の中央部分から離すように、前記第1及び第2のサスペンション壁を前記シャワーヘッドに接続する工程を備える、請求項57に記載の方法。 - 前記サスペンションを提供するステップが、第3のサスペンション壁を提供する工程をさらに含み、
前記接続するステップが、前記第3のサスペンション壁が前記第1及び第2のサスペンション壁と垂直になるように、前記第3のサスペンション壁を前記シャワーヘッドに接続する工程をさらに備える、請求項57に記載の方法。 - 前記サスペンション及び前記シャワーヘッドが単一の構成要素である、請求項57に記載の方法。
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