JP2007121050A - Flaw detector - Google Patents

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哲夫 榊
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flaw detector dispensing with work for initial setup while performing flaw detection on an object under inspection with high accuracy and at a high speed. <P>SOLUTION: A cylindrical passage is formed by using a plurality of sensor parts to move the object under inspection relative to the sensor parts through the passage. Each of the sensor parts comprises a comparison coil, an excitation coil, and a detection coil, disposed on the same axis, any of which is a circular coil of the same diameter. Any of the sensor parts is structured so that the same axis lies in a plane parallel to the center axis of the passage and that the same axes of all the sensor parts are parallel to each other. By suitably changing their inclination, sensitivity to the direction of a flaw existing on a surface of the object is adjusted. By generating a differential signal with two sensor parts paired with each other, only a flaw signal can be taken out. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は渦電流を利用して被検査物の表面に存在する傷を探知する装置に関し、特に、表層が導電性物質から成る被検査物を探傷装置のセンサ部に対して移動させることにより傷の存在を探知する探傷装置に関する。
なお、本発明においていう傷とは、被検査物の表層部分に存在する傷や異常箇所のことを指すものとする。
The present invention relates to an apparatus for detecting a flaw existing on the surface of an object to be inspected using eddy currents, and in particular, by moving an inspected object whose surface layer is made of a conductive material with respect to a sensor unit of the flaw detection apparatus. The present invention relates to a flaw detection apparatus that detects the existence of a flaw.
In the present invention, the scratch refers to a scratch or an abnormal part present on the surface layer portion of the inspection object.

高精度製品や、有害物質を内部に保持する製品では、ごく微細な傷が故障の原因となったり事故につながったりすることがある。そこで通常、そのような製品に対しては非破壊探傷検査が行われており、傷が発見された製品は取り除かれることにより製品の品質とともに安全性の確保が図られている。   In high-precision products and products that hold harmful substances inside, very fine scratches may cause failures or accidents. Therefore, a nondestructive flaw detection inspection is usually performed on such a product, and the product in which the scratch is found is removed to ensure the quality of the product and the safety.

非破壊探傷検査は多様な製品分野において実施されており、より確実に傷を探知することを目的とした種々の技術がこれまでに開発、開示されている。このような技術の一例として、特許文献1には、渦電流信号を利用することにより傷検知を自動的に行う情報抽出方法が記載されている。この情報抽出方法においては、渦電流信号を基にリサージュ図形等を描画して、描画された図形をパターン認識させる探傷技術が用いられている。   Nondestructive flaw detection inspections are carried out in various product fields, and various techniques have been developed and disclosed so far in order to detect flaws more reliably. As an example of such a technique, Patent Document 1 describes an information extraction method for automatically detecting flaws by using an eddy current signal. In this information extraction method, a flaw detection technique for drawing a Lissajous figure or the like based on an eddy current signal and recognizing the drawn figure is used.

非破壊探傷検査が実施される製品の一つに乾電池がある。諸種ある乾電池はいずれも社会的に広く使用されているが、その内部に保持されている電解液は腐食性の高い物質であることが多い。例えばアルカリ・マンガン乾電池には水酸化カリウム電解液が使用されているが、何らかの原因によって液漏れが生じて水酸化カリウム電解液が乾電池を使用する機器に付着してしまうならば、機器に損傷を与えたり、機器が故障してしまう虞がある。従って、乾電池を製造・販売する業者にとって、探傷検査は非常に重要な役割を担っている。   One of the products that are subjected to nondestructive testing is a dry cell. Various types of dry batteries are widely used socially, but the electrolyte held in the inside is often a highly corrosive substance. For example, alkaline manganese manganese batteries use potassium hydroxide electrolyte, but if for some reason the liquid leaks and the potassium hydroxide electrolyte adheres to the equipment that uses the batteries, the equipment will be damaged. There is a risk of giving or damaging the equipment. Therefore, flaw detection inspection plays a very important role for a manufacturer who manufactures and sells dry batteries.

乾電池の表面に存在する傷が原因となって生じる故障を確実に防止するためには、製造された製品の一部のみを対象とする抜き取り検査だけでは不十分であり、全ての製品を対象として逐一探傷検査を行い、無傷であることが確認されたもののみを出荷することが望ましいことは言うまでもない。そして、乾電池は通常は大量生産されるため、全ての製品を検査するためには、製品一個あたりの検査に要する時間はできる限り短時間であることが好ましい。   In order to reliably prevent failures caused by scratches existing on the surface of the dry cell, it is not sufficient to conduct a sampling inspection for only a part of the manufactured product. It goes without saying that it is desirable to perform flaw detection inspections one by one and ship only those that are confirmed to be intact. And since dry batteries are usually mass-produced, in order to inspect all products, it is preferable that the time required for inspection per product is as short as possible.

以上のような課題を解決するために本願発明者は、
被検査物の傷を検知するための探傷装置であって、
高周波電圧が印加されるコイルと、
前記コイルに印加する高周波電圧に関する制御を行う高周波制御部と、
被検査物が前記コイルの内部を通過する際に生じる該コイルの電圧変化に基づき、各被検査物のリサージュ波形を描くための波形生成部と、
所定のリサージュ波形を基準波形として設定する基準波形設定部と、
被検査物のリサージュ波形が前記基準波形から所定の誤差内に描かれる場合には無傷と判定し、誤差外に描かれる場合には有傷と判定する傷判定部と、
を備えることを特徴とする探傷装置を発明した(特願2005-274602)。
また、本願発明者は上記探傷装置において、リサージュ波形のみに基づいて傷判定を行うのではなく、傷判定を被検査物の長さや被検査物がコイルを通過する速度等に基づいて行う構成も開示している。
In order to solve the above problems, the inventor of the present application
A flaw detection device for detecting a flaw on an inspection object,
A coil to which a high-frequency voltage is applied;
A high-frequency control unit that performs control related to a high-frequency voltage applied to the coil;
A waveform generator for drawing a Lissajous waveform of each object to be inspected based on a voltage change of the coil that occurs when the object to be inspected passes through the inside of the coil;
A reference waveform setting unit for setting a predetermined Lissajous waveform as a reference waveform;
When the Lissajous waveform of the object to be inspected is drawn within a predetermined error from the reference waveform, it is determined that there is no damage, and when it is drawn outside the error, a wound determination unit that determines that there is a wound,
Invented a flaw detection apparatus characterized by comprising (Japanese Patent Application 2005-274602).
In addition, the present inventor does not perform a scratch determination based only on the Lissajous waveform in the above flaw detection apparatus, but also performs a scratch determination based on the length of the inspection object, the speed at which the inspection object passes through the coil, or the like. Disclosure.

上記発明の探傷装置によれば、同一の物品を対象とした探傷を、連続して高速に行うことができる。   According to the flaw detection apparatus of the above invention, flaw detection on the same article can be continuously performed at high speed.

特開平8-292174号公報JP-A-8-292174

上記発明の探傷装置では、無傷であることがわかっている被検査物のリサージュ波形を基準波形として設定し、その基準波形に基づき他の被検査物が無傷であるか有傷であるかを判断する。即ち、基準となる無傷の被検査物の選定を適切に行わなければ、探傷の精度が低下してしまうという問題があった。また、被検査物の個体差の許容度を拡げようとすると、探傷精度が低下してしまうという問題もある。更に、被検査物が有限長の場合、被検査物の端末で出力信号が大きく乱れ(端部信号)てしまうため、探傷感度に限界があった。   In the flaw detection apparatus of the above invention, a Lissajous waveform of an inspection object that is known to be intact is set as a reference waveform, and whether another inspection object is intact or damaged is determined based on the reference waveform. To do. That is, there has been a problem that the accuracy of flaw detection is reduced unless the selection of an intact inspection object as a reference is performed appropriately. There is also a problem in that the flaw detection accuracy is lowered when it is attempted to increase the tolerance of the individual difference of the inspection object. Furthermore, when the inspection object has a finite length, the output signal is greatly disturbed (end signal) at the terminal of the inspection object, so that the flaw detection sensitivity is limited.

更に、上記発明の探傷装置に限らず、一般に貫通コイル型の探傷装置では、探傷試験を開始する前に、被検査物をセンサ内に配置した状態で、ブリッジバランスの調整、位相調整、感度調整等のセットアップ作業を行う必要があるが、これは手間を要する作業であった。   Furthermore, not only the flaw detection apparatus of the invention described above, but generally in a through-coil type flaw detection apparatus, the bridge balance adjustment, phase adjustment, and sensitivity adjustment are performed with the inspection object placed in the sensor before the flaw detection test is started. It is necessary to perform a setup work such as this, but this is a work requiring labor.

上記のような課題を解決するために成された本発明に係る探傷装置は、
被検査物が円筒状の通路の一断面円上に設けられたセンサ部の近傍を通過する際に該センサ部より出力される信号に基づき被検査物の傷を検知するための渦流探傷装置であって、
いずれも同径の円形コイルである、比較コイル、励磁コイル及び検出コイルが同一軸上に配置されて成るセンサ部が、前記断面円上に所定間隔で複数個配置されるとともに、いずれのセンサ部も前記同一軸が前記通路の中心軸に平行な面内にあり、且つ、全てのセンサ部の前記同一軸が互いに平行となるように構成されており、
所定の二個のセンサ部が互いに差動接続されてなることを特徴とする。
The flaw detection apparatus according to the present invention, which has been made to solve the above problems,
An eddy current flaw detector for detecting a flaw in an inspection object based on a signal output from the sensor section when the inspection object passes in the vicinity of a sensor section provided on a cross-sectional circle of a cylindrical passage. There,
A plurality of sensor parts each having a comparison coil, an excitation coil, and a detection coil arranged on the same axis are circular coils having the same diameter. Is also configured such that the same axis is in a plane parallel to the central axis of the passage, and the same axes of all sensor parts are parallel to each other.
Two predetermined sensor units are differentially connected to each other.

本発明に係る探傷装置により、以下に挙げる優れた効果を得ることができる。
・コイルの周全体を用いて探傷を行う貫通コイルとは異なり、センサ部のコイルの一部分のみで被検査物の探傷を行うため、各センサの分解度を高くすることができ、ひいては探傷装置全体の探傷能力が向上する。
・所定の二個のセンサ部が互いに差動接続されており、両センサ部の差動信号のみが出力されるため、被検査物の個体差や形状に関係なく傷信号のみを取り出すことが可能である。また、被検査物の端部で生じる端部信号に傷の信号が埋もれてしまうことがなく、高精度で探傷を行うことができる。高速で連続的に探傷を行うことももちろん可能である。
・各センサ部が比較コイル、励磁コイル、検出コイルから構成されているため、ブリッジバランス調整、位相調整、感度調整といった初期セットアップは、被検査物をセンサ内に配置することなく自動調整することができる。従来のように被検査物をセンサ内に配置してユーザ手動で初期セットアップを行う必要がない。
With the flaw detection apparatus according to the present invention, the following excellent effects can be obtained.
・ Unlike the penetration coil that performs flaw detection using the entire circumference of the coil, the inspection object is flaw detected by only a part of the coil of the sensor section, so that the resolution of each sensor can be increased, and the flaw detection apparatus as a whole Improves flaw detection ability.
・ Since two specified sensor parts are differentially connected to each other and only the differential signals of both sensor parts are output, it is possible to extract only the scratch signal regardless of the individual difference or shape of the inspected object It is. Further, the flaw signal is not buried in the end signal generated at the end of the inspection object, and the flaw detection can be performed with high accuracy. Of course, flaw detection can be performed continuously at high speed.
・ Each sensor unit consists of a comparison coil, excitation coil, and detection coil, so initial setup such as bridge balance adjustment, phase adjustment, and sensitivity adjustment can be automatically adjusted without placing the inspection object in the sensor. it can. There is no need for the user to manually perform initial setup by placing the inspection object in the sensor as in the prior art.

本発明の探傷装置の一実施形態を図面を参照しつつ説明する。図1は、本発明の探傷装置の概略図であり、図2はセンサ部の構成を示す図である。   An embodiment of the flaw detection apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of a flaw detection apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a sensor unit.

図1に示すように、本発明の探傷装置は複数個のセンサ部1によって構成される。各センサ部1の構成は、図2に示すように、比較コイル、励磁コイル及び検出コイルが同一軸上に配列されて成る。このセンサ構成においては、検出コイルと比較コイルとの間でコイルバランスを取る。   As shown in FIG. 1, the flaw detection apparatus of the present invention includes a plurality of sensor units 1. As shown in FIG. 2, the configuration of each sensor unit 1 includes a comparison coil, an excitation coil, and a detection coil arranged on the same axis. In this sensor configuration, a coil balance is established between the detection coil and the comparison coil.

複数設けられるセンサ部1は、被検査物10が通過するための円筒状の通路の一断面円上に配置される。この「円筒状の通路」は仮想的な通路でよく、実際に何らかの部材によって通路が形成されている必要は必ずしも無い。   A plurality of sensor units 1 are arranged on a cross-sectional circle of a cylindrical passage through which the inspection object 10 passes. The “cylindrical passage” may be a virtual passage, and it is not always necessary that the passage is actually formed by some member.

ただし、好適には被検査物が内部を通過するための通過筒を設け、その周囲に複数のセンサ部1を配置することができる。この構成により、被検査物10が不所望に傾くことを防止することが可能となる。また、通過筒の内部形状は、被検査物10の外部形状に略合致する形状とするのが好ましい。このことにより被検査物10が常に一定の向きを保持しつつセンサ部1の近傍を通過するだけでなく、被検査物10の通過位置が各センサ部から等距離となるように制御することが可能となる。   However, it is preferable to provide a passage cylinder through which the object to be inspected passes, and to arrange a plurality of sensor units 1 around the tube. With this configuration, the object to be inspected 10 can be prevented from tilting undesirably. Further, the internal shape of the passage cylinder is preferably a shape that substantially matches the external shape of the inspection object 10. As a result, the inspection object 10 can be controlled not only to pass through the vicinity of the sensor unit 1 while always maintaining a constant orientation, but also to control the passing position of the inspection object 10 to be equidistant from each sensor unit. It becomes possible.

本発明の探傷装置では、いずれのセンサ部1も各コイルの同一軸が円筒状の通路の中心軸に平行な面内にあり、且つ、全てのセンサ部の前記同一軸が互いに平行となるように配置される。図1(a)は、センサ部1の軸が通路の中心軸に平行となるように各センサ部1が配置されている場合の例であり、図1(b)は、センサ部1の軸が通路の中心軸に対して垂直(ねじれ)となるように各センサ部1が配置されている例である。センサ部1は、これらの二例で示した傾きとは異なる傾きで配置されていてももちろん構わない。   In the flaw detection apparatus of the present invention, in any sensor unit 1, the same axis of each coil is in a plane parallel to the central axis of the cylindrical passage, and the same axis of all the sensor units is parallel to each other. Placed in. FIG. 1A shows an example in which each sensor unit 1 is arranged so that the axis of the sensor unit 1 is parallel to the central axis of the passage, and FIG. 1B shows the axis of the sensor unit 1. Is an example in which each sensor unit 1 is arranged so as to be perpendicular (twisted) to the central axis of the passage. Of course, the sensor unit 1 may be arranged with an inclination different from those shown in these two examples.

センサ部1の傾きが変化すると、センサ部1内のコイルの傾きが変化する。すると励磁コイルより発生する磁束の方向が変化し、被検査物10の表面に発生する渦電流の向きもまた変化する。従って、傷の形状、即ち傷の方向に応じて傷検出の感度が変化する。図1(a)のようにセンサ部1を配置した場合には、通路の中心軸に平行な傷に対する感度が高くなる。図1(b)に示す傾きでセンサ部1を配置した場合には、通路の中心軸と垂直(ねじれ方向)な傷に対する感度が高くなる。
以上の点に基づき、センサ部1の傾きは、被検査物10の表面を構成する材料の特性や探傷の目的等に応じて適宜調節すればよい。
When the inclination of the sensor unit 1 changes, the inclination of the coil in the sensor unit 1 changes. Then, the direction of the magnetic flux generated from the exciting coil changes, and the direction of the eddy current generated on the surface of the inspection object 10 also changes. Therefore, the sensitivity of the flaw detection changes depending on the shape of the flaw, that is, the flaw direction. When the sensor unit 1 is arranged as shown in FIG. 1A, the sensitivity to scratches parallel to the central axis of the passage is increased. When the sensor unit 1 is arranged with the inclination shown in FIG. 1B, the sensitivity to scratches perpendicular (twisted direction) to the central axis of the passage is increased.
Based on the above points, the inclination of the sensor unit 1 may be adjusted as appropriate according to the characteristics of the material constituting the surface of the inspection object 10, the purpose of flaw detection, and the like.

複数個設けられているセンサ部1は、所定の二個のセンサ部1が組となり、互いに差動接続される。ここにおいて、ある一つのセンサ部1が、異なる二個以上のセンサ部と互いに組を形成しても構わない。組となるセンサ部は一般に、円筒状の通路を挟んで対向しているセンサ部1同士とするのが好ましいが、特に限定されるものではない。   A plurality of sensor units 1 are provided as a set of two predetermined sensor units 1 and are differentially connected to each other. Here, a certain sensor unit 1 may form a pair with two or more different sensor units. In general, it is preferable that the sensor portions to be paired are the sensor portions 1 facing each other with a cylindrical passage interposed therebetween, but the sensor portions are not particularly limited.

図3は、本発明に係る探傷装置によって探傷を行う場合の制御構成例を示す図である。制御部2は、本発明の探傷装置を制御するための機器である。制御部2は、各種演算を行う中央演算装置(CPU)、データやプログラム等を保存するためのハードディスクやメモリ等から成る記憶部、ユーザが各種指示を入力するためのキーボードやマウス、タッチパネルなどから成る入力部などを含む。制御部2には各種波形を含め、種々の情報を表示するための表示部6が接続されていてもよい。制御部2の有する各種の機能は、CPUにおいてソフトウェアが実行されることにより実現されるとともに、各種専用回路によっても実現される。   FIG. 3 is a diagram showing a control configuration example when flaw detection is performed by the flaw detection apparatus according to the present invention. The control unit 2 is a device for controlling the flaw detection apparatus of the present invention. The control unit 2 includes a central processing unit (CPU) that performs various calculations, a storage unit including a hard disk and a memory for storing data, programs, and the like, a keyboard, a mouse, and a touch panel for a user to input various instructions. Including an input section. The control unit 2 may be connected to a display unit 6 for displaying various information including various waveforms. Various functions of the control unit 2 are realized by executing software in the CPU and also by various dedicated circuits.

制御部2は高周波制御部3を含んでいる。この高周波制御部3は、センサ部の励磁コイルに印加される高周波電圧の調節を行う。   The control unit 2 includes a high frequency control unit 3. The high frequency control unit 3 adjusts the high frequency voltage applied to the excitation coil of the sensor unit.

波形生成部4は、各センサ部1について、検出コイルの出力から比較コイルの出力を減算(ブリッジバランスを取る)して出力信号を得、その出力信号と、組となる他のセンサ部1の出力信号との差動を取る(正確にはここで高周波を検波する)ことにより、差動信号を生成する。   For each sensor unit 1, the waveform generation unit 4 subtracts the output of the comparison coil from the output of the detection coil (takes a bridge balance) to obtain an output signal, and the output signal and the other sensor units 1 of the pair A differential signal is generated by taking a differential with the output signal (more precisely, detecting a high frequency here).

波形生成部4における処理の概念図を図4に示す。ここでは、センサ部1aと、センサ部1aに対して円筒状の通路を挟んで反対側に設置されているセンサ部1bとが差動接続されているものとする。   A conceptual diagram of processing in the waveform generation unit 4 is shown in FIG. Here, it is assumed that the sensor unit 1a and the sensor unit 1b installed on the opposite side of the sensor unit 1a across the cylindrical passage are differentially connected.

表層が金属等の導電性物質によって形成される被検査物10を、複数のセンサ部によって形成される円筒状の通路に通す。被検査物10がセンサ部1の近傍を通過する際には、被検査物10の表層に渦電流が生じる。この渦電流の大きさは被検査物10の表面形状によって変化するため、傷が存在すると各センサ部1の検出コイル及び比較コイルの誘起電圧に変化が生じ、出力信号において傷信号となって現れる。   An inspection object 10 whose surface layer is formed of a conductive material such as metal is passed through a cylindrical passage formed by a plurality of sensor units. When the inspection object 10 passes in the vicinity of the sensor unit 1, an eddy current is generated on the surface layer of the inspection object 10. Since the magnitude of the eddy current changes depending on the surface shape of the object to be inspected 10, if a flaw exists, the induced voltage of the detection coil and the comparison coil of each sensor unit 1 changes, and appears as a flaw signal in the output signal. .

図4の例では被検査物10のセンサ部1a側の表面に傷が存在しているため、センサ部1aより出力される出力信号には傷信号が含まれる。ここで傷信号が二箇所に現れるのは、被検査物10の傷がコイルの近傍を通過する際に、検出コイルと比較コイルとで時間差が生じるためである。また、出力信号には、被検査物10の両端部によって生じる波形の乱れである端部信号が現れる。一方、被検査物10のセンサ部1b側には傷が存在していないため、センサ部1bより出力される出力信号には端部信号のみが含まれる。   In the example of FIG. 4, since there is a scratch on the surface of the inspection object 10 on the sensor unit 1 a side, the output signal output from the sensor unit 1 a includes a scratch signal. Here, the scratch signal appears in two places because a time difference is generated between the detection coil and the comparison coil when the scratch on the inspection object 10 passes near the coil. Further, in the output signal, an end signal that is a waveform disturbance caused by both ends of the inspection object 10 appears. On the other hand, since there is no scratch on the sensor unit 1b side of the inspection object 10, the output signal output from the sensor unit 1b includes only the end signal.

波形生成部4によってセンサ部1aの出力信号及びセンサ部1bの出力信号の差動を取ることにより、端部信号が打ち消され、傷信号のみが含まれた差動信号が生成される。   By taking a differential between the output signal of the sensor unit 1a and the output signal of the sensor unit 1b by the waveform generation unit 4, the end signal is canceled and a differential signal including only the flaw signal is generated.

制御部2に含まれる傷判定部5は、出力された差動信号に傷信号が含まれているか否かを判定する。この傷判定は、例えば、予め設定されている所定の閾値以上の信号が含まれている場合にはその被検査物10を有傷と判定する構成とすればよい。傷判定部5によって行われる傷判定は、センサ部の各組の差動信号毎に行ってもよいし、各組の差動信号の差動を更に取ってゆくことにより探傷装置全体で一つの出力信号を得、その出力信号に基づいて行ってもよい。   The scratch determination unit 5 included in the control unit 2 determines whether or not the output differential signal includes a scratch signal. The scratch determination may be configured such that, for example, the inspection object 10 is determined to be damaged when a signal equal to or higher than a predetermined threshold value is included. The flaw determination performed by the flaw determination unit 5 may be performed for each pair of differential signals of the sensor unit, or one flaw detection apparatus as a whole by further taking the differential signal of each pair of differential signals. An output signal may be obtained and performed based on the output signal.

以上のように傷判定部5によって判定された無傷又は有傷の判定結果は、図3に示すように傷判定部5より出力され、図示せぬ自動振り分け装置等によって無傷の被検査物と有傷の被検査物とが分別される。   As described above, the determination result of the intact or injured determined by the scratch determining unit 5 is output from the scratch determining unit 5 as shown in FIG. The object to be inspected is separated.

なお、被検査物10が各センサ部から等しい距離を通過せず、各センサ部1の出力値にばらつきが生じることがある。この場合には、最終的な出力値の差分が0となるように各センサの出力信号に対して適宜処理を行えばよい。   Note that the inspection object 10 may not pass the same distance from each sensor unit, and the output value of each sensor unit 1 may vary. In this case, the output signal of each sensor may be appropriately processed so that the final output value difference becomes zero.

以上説明したように、本発明に係る探傷装置によれば、非常に高い精度で以て被検査物の探傷を高速且つ連続的に行うことが可能となる。
なお、上記実施形態において挙げた構成は一例に過ぎず、本発明の精神内において様々な変更及び改良が可能であることは言うまでもない。
As described above, according to the flaw detection apparatus according to the present invention, it is possible to perform flaw detection of an inspection object at a high speed and continuously with very high accuracy.
Note that the configuration given in the above embodiment is merely an example, and it goes without saying that various changes and improvements can be made within the spirit of the present invention.

例えば、図5に示すように、センサ部1の構成を、励磁コイル及び検出コイルが同一軸上に配置されて成る検出センサ部と、励磁コイル及び比較コイルが同一軸上に配置されて成る比較用センサ部とから成る構成としてもよい。この構成では検出センサ部と比較センサ部との間でコイルバランスを取る。   For example, as shown in FIG. 5, the configuration of the sensor unit 1 is compared with a detection sensor unit in which the excitation coil and the detection coil are arranged on the same axis, and a comparison in which the excitation coil and the comparison coil are arranged on the same axis. It is good also as a structure which consists of a sensor part. In this configuration, a coil balance is obtained between the detection sensor unit and the comparison sensor unit.

図5では4個のセンサ部のみに関して説明を行っているが、本センサ構成では、組となる検出センサ部と比較センサ部において、検出センサ部の検出コイルの出力から比較センサの比較コイルの出力を減算することにより出力信号を得、異なる組の出力信号の差動を取ることによって差動信号を得る。この差動信号に基づき、傷判定を行うことができる。   Although only four sensor units are described in FIG. 5, in this sensor configuration, in the detection sensor unit and the comparison sensor unit that form a pair, the output of the comparison coil of the comparison sensor is output from the output of the detection coil of the detection sensor unit. To obtain an output signal, and obtain a differential signal by taking a differential of the output signals of different sets. Scratch determination can be performed based on this differential signal.

また、被検査物10が円筒形の場合には、円筒内部の傷を探知するためにセンサ部を内挿型として形成し、センサ部の外径部分において探傷を行うようにすることもできる。
In addition, when the inspection object 10 has a cylindrical shape, the sensor portion can be formed as an insertion type in order to detect a flaw inside the cylinder, and flaw detection can be performed at the outer diameter portion of the sensor portion.

本発明に係る探傷装置の概略図。1 is a schematic view of a flaw detection apparatus according to the present invention. センサ部のコイル構成例。The coil structural example of a sensor part. 本発明に係る探傷装置の、制御部を含めた構成例。The structural example including the control part of the flaw detection apparatus which concerns on this invention. 波形生成部における、差動信号を生成する処理の概念図。The conceptual diagram of the process which produces | generates a differential signal in a waveform generation part. センサ部のコイル構成の他の例。The other example of the coil structure of a sensor part.

符号の説明Explanation of symbols

1…センサ部
2…制御部
3…高周波制御部
4…波形生成部
5…傷判定部
6…表示部
10…被検査物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sensor part 2 ... Control part 3 ... High frequency control part 4 ... Waveform generation part 5 ... Scratch determination part 6 ... Display part 10 ... Inspected object

Claims (3)

被検査物が円筒状の通路の一断面円上に設けられたセンサ部の近傍を通過する際に該センサ部より出力される信号に基づき被検査物の傷を検知するための渦流探傷装置であって、
いずれも同径の円形コイルである、比較コイル、励磁コイル及び検出コイルが同一軸上に配置されて成るセンサ部が、前記断面円上に所定間隔で複数個配置されるとともに、いずれのセンサ部も前記同一軸が前記通路の中心軸に平行な面内にあり、且つ、全てのセンサ部の前記同一軸が互いに平行となるように構成されており、
所定の二個のセンサ部が互いに差動接続されてなる
ことを特徴とする探傷装置。
An eddy current flaw detector for detecting a flaw in an inspection object based on a signal output from the sensor section when the inspection object passes in the vicinity of a sensor section provided on a cross-sectional circle of a cylindrical passage. There,
A plurality of sensor parts each having a comparison coil, an excitation coil, and a detection coil arranged on the same axis are circular coils having the same diameter. Is also configured such that the same axis is in a plane parallel to the central axis of the passage, and the same axes of all sensor parts are parallel to each other.
A flaw detection apparatus, wherein two predetermined sensor units are differentially connected to each other.
前記複数のセンサ部が、励磁コイル及び検出コイルが同一軸上に配置されて成る検出センサ部と、励磁コイル及び比較コイルが同一軸上に配置されて成る比較センサ部と、から構成されることを特徴とする請求項1に記載の探傷装置。   The plurality of sensor units are composed of a detection sensor unit in which an excitation coil and a detection coil are arranged on the same axis, and a comparison sensor unit in which the excitation coil and the comparison coil are arranged on the same axis. The flaw detection apparatus according to claim 1. 前記被検査物が内部を通過するための通過筒を更に備えており、
該通過筒の一部の周囲に前記センサ部が配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の探傷装置。

The inspection object further includes a passage cylinder for passing through the inside,
The flaw detection apparatus according to claim 1, wherein the sensor unit is disposed around a part of the passage cylinder.

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