JP2007115877A - 固体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体レーザ装置において、装置全体を大型化することなく、紫外〜可視域のレーザ光を高効率及び高出力で得ることを可能とし、低コスト化も可能とする。
【解決手段】固体レーザ装置1は、少なくとも1個の半導体レーザ11からなる励起光源と、励起光源から発振されるレーザ光L1により励起されて、レーザ光L1とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質13とを備えたものであり、半導体レーザ11が窒化物系半導体レーザであり、利得媒質13が透光性を有する無機多結晶焼結体により構成されている。
【選択図】図1
【解決手段】固体レーザ装置1は、少なくとも1個の半導体レーザ11からなる励起光源と、励起光源から発振されるレーザ光L1により励起されて、レーザ光L1とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質13とを備えたものであり、半導体レーザ11が窒化物系半導体レーザであり、利得媒質13が透光性を有する無機多結晶焼結体により構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体レーザによって利得媒質を励起して、励起光源である半導体レーザから出射されるレーザ光とは異なる波長のレーザ光を得る固体レーザ装置に関するものである。
半導体レーザによって利得媒質を励起して、励起光源である半導体レーザから発振されるレーザ光とは異なる波長のレーザ光を得る半導体レーザ励起固体レーザ装置が知られている。
特許文献1〜3には、励起光源として350〜550nmのレーザ光(紫外光〜可視光)を発振する窒化物系半導体レーザ(GaN系等)を用い、利得媒質として発光中心イオンをなす希土類イオン及び/又は遷移金属イオンをドープした固体レーザ結晶を用いた固体レーザ装置が提案されている。
特許文献1に記載されているように、ドープする発光中心イオンとしては、可視域に複数の発光ピークを有するPrが注目されている。Prをドープする母体化合物としては、熱的安定性に優れる等の理由から、Y3Al5O12(YAG)等が候補材料として挙げられる。
特開平11−17266号公報
特開2002−43662号公報
特開2004−356479号公報
しかしながら、YAGにPrをドープする場合、AサイトのY3+イオンの一部をPr3+に固溶置換することになるが、Y3+(Aサイト)のイオン半径r1=0.1019nmに対して、Pr3+(Aサイト)のイオン半径r2=0.1126nmが大きい(r2>r1)。そのため、YAGにPrをドープする際の偏析係数はほとんどゼロであり、YAGにPrを固溶させることが非常に困難である。したがって、Prの高濃度ドープは難しく、せいぜい0.5モル%である。Prドープ量が0.5モル%以下の固体レーザ結晶では、吸収係数は1cm−1未満と低く、可視域のレーザ光を高効率で得ることは難しい。
Prドープ固体レーザ結晶の結晶長を長くすれば、吸収効率を向上して高効率化を図ることも可能である。しかしながら、端面励起方式と側面励起方式のいずれの励起方式を採用するにせよ、結晶長を長くすれば、励起光の吸収領域と発振ビームのビーム径分布とが一致せず、モードマッチング効率が低下して高効率化を達成することはできない。
励起光源を高出力化すれば、Prドープ固体レーザ結晶の吸収効率が悪くても、高出力レーザ光を得ることも可能であるが、励起光源の大型化や高コスト化に繋がり、好ましくない。
励起光源を高出力化すれば、Prドープ固体レーザ結晶の吸収効率が悪くても、高出力レーザ光を得ることも可能であるが、励起光源の大型化や高コスト化に繋がり、好ましくない。
また、「結晶」といった場合には特に明記されていない限り単結晶を意味すると判断するのが妥当な解釈であり、特許文献1〜3には、多結晶の利得媒質について記載がない以上、単結晶の利得媒質のみが記載されていると解釈される。Prドープ固体レーザ結晶に限らず、単結晶は高コストであり、サイズを大きくすることも難しい。上記したように、固体レーザ結晶へのPrドープは特に難しいが、その他の発光中心イオンについても、単結晶では高濃度ドープが難しい傾向にある。
従来の固体レーザ装置では、波長変換素子を用いて波長変換光として取り出す紫外光の高効率化及び高出力化も難しい。
上記事情から、紫外〜可視域のレーザ光を高効率でかつ低コストに得ることが可能な固体レーザ装置は、実用化されていないのが現状である。
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、装置全体を大型化することなく、紫外〜可視域のレーザ光を高効率及び高出力で得ることができ、しかも低コストな固体レーザ装置を提供することを目的とするものである。
本発明の第1の固体レーザ装置は、少なくとも1個の半導体レーザからなる励起光源と、前記励起光源から発振されるレーザ光により励起されて、該励起光源から発振されるレーザ光とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質とを備えた固体レーザ装置において、
前記半導体レーザが窒化物系半導体レーザであり、前記利得媒質が透光性を有する無機多結晶焼結体からなることを特徴とするものである。
前記半導体レーザが窒化物系半導体レーザであり、前記利得媒質が透光性を有する無機多結晶焼結体からなることを特徴とするものである。
J.Chem.Soc.J.,109 (2001) 640には、PrドープYAGにおいて、多結晶焼結体であれば、単結晶よりもPrの高濃度ドープ(具体的には4.3モル%)が可能であることが記載されている。しかしながら、該文献は、PrドープYAGの基礎研究に関するものであり、固体レーザ装置への応用についてそもそも記載がなく、励起光源として窒化物系半導体レーザを用いた固体レーザ装置への応用については記載がない。
窒化物系半導体レーザは、350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する半導体レーザである。窒化物系半導体レーザに限らず、かかる発振波長の半導体レーザと上記利得媒質とを備えた固体レーザ装置が新規である。
すなわち、本発明の第2の固体レーザ装置は、少なくとも1個の半導体レーザからなる励起光源と、前記励起光源から発振されるレーザ光により励起されて、該励起光源から発振されるレーザ光とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質とを備えた固体レーザ装置において、
前記半導体レーザが350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する半導体レーザであり、前記利得媒質が透光性を有する無機多結晶焼結体からなることを特徴とするものである。
前記半導体レーザが350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する半導体レーザであり、前記利得媒質が透光性を有する無機多結晶焼結体からなることを特徴とするものである。
本発明の第1、第2の固体レーザ装置において、前記半導体レーザとしては、GaN系半導体レーザが好ましい。
本発明の第1、第2の固体レーザ装置において、前記利得媒質が、ガーネット型化合物、C−希土類型化合物、及びペロブスカイト型化合物のうちいずれかの無機化合物(不可避不純物を含んでいてもよい)からなることが好ましい。
本発明の第1、第2の固体レーザ装置において、前記利得媒質が、母体化合物に発光中心イオンをなす希土類イオン及び/又は遷移金属イオンがドープされた無機化合物(不可避不純物を含んでいてもよい)からなることが好ましい。母体化合物にドープする前記希土類イオン及び/又は遷移金属イオンとしては、Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Cr,及びTiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素イオンが好ましい。
本発明の第1、第2の固体レーザ装置においては、前記利得媒質の後段に、該利得媒質から発振されたレーザ光の波長を変換する少なくとも1個の波長変換素子を備える構成とすることができる。
本発明の固体レーザ装置は、励起光源として350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する窒化物系半導体レーザを用い、利得媒質として無機多結晶焼結体を用いる構成としている。本発明の固体レーザ装置では、必要に応じて波長変換素子を備える構成としている。
上記構成の本発明の固体レーザ装置では、紫外〜可視域のレーザ光が得られる。
本発明の固体レーザ装置では、利得媒質として無機多結晶焼結体を用いる構成としているので、単結晶の利得媒質を用いる従来技術に比して、利得媒質の製造がはるかに容易であり、発光中心イオンの高濃度ドープを実現することができる。発光中心イオンの高濃度ドープを実現できることは、同じ大きさの利得媒質で比較した場合、利得媒質の励起光の吸収量が増大して出力が増すので、高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質は、単結晶の利得媒質に比して製造が容易であるので、単結晶を用いるよりも利得媒質のサイズを大きくすることもできる。このことも高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質は、単結晶を用いるよりも安価である。また、励起光源を大型化しなくても高出力レーザ光が得られるので、安価で小型の励起光源を用いることができる。
以上のように、本発明によれば、装置全体を大型化することなく、紫外〜可視域のレーザ光を高効率及び高出力で得ることができ、しかも低コストな固体レーザ装置を提供することができる。
本発明の固体レーザ装置では、利得媒質として無機多結晶焼結体を用いる構成としているので、単結晶の利得媒質を用いる従来技術に比して、利得媒質の製造がはるかに容易であり、発光中心イオンの高濃度ドープを実現することができる。発光中心イオンの高濃度ドープを実現できることは、同じ大きさの利得媒質で比較した場合、利得媒質の励起光の吸収量が増大して出力が増すので、高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質は、単結晶の利得媒質に比して製造が容易であるので、単結晶を用いるよりも利得媒質のサイズを大きくすることもできる。このことも高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質は、単結晶を用いるよりも安価である。また、励起光源を大型化しなくても高出力レーザ光が得られるので、安価で小型の励起光源を用いることができる。
以上のように、本発明によれば、装置全体を大型化することなく、紫外〜可視域のレーザ光を高効率及び高出力で得ることができ、しかも低コストな固体レーザ装置を提供することができる。
(第1実施形態)
図1に基づいて、本発明に係る第1実施形態の固体レーザ装置の構造について説明する。
図1に基づいて、本発明に係る第1実施形態の固体レーザ装置の構造について説明する。
本実施形態の固体レーザ装置1は、励起光源である1個の半導体レーザ11と、半導体レーザ11から発振されるレーザ光L1(励起光)により励起されて、レーザ光L1とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質13とを備えた半導体レーザ励起固体レーザ装置である。
半導体レーザ11と利得媒質13との間に、発散光であるレーザ光L1を集光する集光レンズ12が配置され、利得媒質13の後段に出力ミラー14が配置されている。
上記構成要素11〜14は、ペルチェ素子15上に固定されている。ペルチェ素子15上には温度検出用のサーミスタ16が固定されており、温度調節回路(図示略)により、サーミスタ16の出力に基づいてペルチェ素子15が駆動され、上記構成要素11〜14が所定温度に調整されるようになっている。上記構成要素11〜14は、銅製等の金属ホルダを介してペルチェ素子15上に固定されてもよい。
利得媒質13の励起光入射面13aには、励起波長の光を良好に透過し(好ましくは反射率1%以下)、出力波長の光を良好に反射する(好ましくは反射率99%以上)、コーティングが施されている。利得媒質13の出力光出射面13bには、出力波長の光を良好に透過する(好ましくは反射率が1%以下)、コーティングが施されている。
出力ミラー14は、光入射面14aが凹曲面であり、該面に出力波長の光の一部を透過し(例えば透過率2%)、その他の光を反射するコーティングが施されたミラーである。
利得媒質13の励起光入射面13aと出力ミラー14の光入射面14aとの間で共振器構造が構成され、特定波長のレーザ光L2(出力光)が出力されるようになっている。
出力ミラー14は、光入射面14aが凹曲面であり、該面に出力波長の光の一部を透過し(例えば透過率2%)、その他の光を反射するコーティングが施されたミラーである。
利得媒質13の励起光入射面13aと出力ミラー14の光入射面14aとの間で共振器構造が構成され、特定波長のレーザ光L2(出力光)が出力されるようになっている。
本実施形態において、励起光源である半導体レーザ11として、窒化物系半導体レーザが用いられる。窒化物系半導体レーザとしては、GaN,InGaN,AlGaN等の含窒素半導体化合物を1種又は2種以上含む活性層を備えた半導体レーザが挙げられる。例示した窒化物系半導体レーザは、いずれも350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する。半導体レーザ11は、シングル横モード型でもブロードエリア型でもよい。
本実施形態において、利得媒質13は、透光性を有する無機多結晶焼結体により構成されている。
利得媒質13は、上記励起光源により励起されて、励起光とは異なる波長の光を発光するものであればよく、その組成は特に制限されない。以下、好適な組成について説明する。
利得媒質13は、ガーネット型化合物、C−希土類型化合物、及びペロブスカイト型化合物のうちいずれかの無機化合物(不可避不純物を含んでいてもよい)からなることが好ましい。利得媒質13は特に、母体化合物に発光中心イオンをなす希土類イオン及び/又は遷移金属イオンがドープされた無機化合物(不可避不純物を含んでいてもよい)からなることが好ましい。母体化合物にドープする希土類イオン及び/又は遷移金属イオンとしては、Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Cr,及びTiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素イオンが好ましい。
利得媒質13としては、Y3Al5O12(YAG)等の母体化合物にPrをドープした無機化合物が挙げられる。YAGは熱的安定性に優れるため、母体化合物として好適であり、発光中心イオンをなすPrは、可視域に複数の発光ピークを有し、好ましい。
利得媒質13としては、YAG等の母体化合物に、Nd,Pm,Sm,Eu,Dy,Ho,及びErからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素イオンと、Prとを共ドープした無機化合物も好ましい。
以下、利得媒質13として、YAGにPrをドープしたPr−YAGを用いる場合について説明する。
「発明が解決しようとする課題」の項において、YAG中へのPrドープは難しいことを述べたが、本実施形態では、利得媒質13を多結晶焼結体により構成しているので、単結晶を用いる場合に比してPrをドープさせやすく、単結晶を用いるよりも高濃度ドープが可能である。発光強度(蛍光強度)を考慮すれば、Prドープ量は1.0〜4.0モル%が好ましく、例えば2.0モル%が好ましい。YAG中に2.0モル%のPrをドープした化合物を2.0%Pr−YAGと表記する。
Pr−YAGの多結晶焼結体は、例えば以下のように製造できる。
原料粉末であるY2O3粉末とα−Al2O3粉末とPr6O11粉末とを所望の組成となるようにそれぞれ秤量し、これら粉末とエチルアルコールとアルミナボールとをポットミルに入れ、湿式混合を行う。アルミナボールを取り除き、得られた混合粉末スラリー中のエチルアルコールをロータリーエバポレーターを用いて除去した後、100℃で12時間乾燥し、得られた乾燥粉末を乳鉢で軽くほぐす。得られた乾燥粉末を、所望の形状に一軸圧縮成型する。得られた圧縮成型体に対して、電気炉にて、大気雰囲気下、500℃/hrで1450℃まで昇温し、同温度で2時間保持し、500℃/hrで1000℃まで冷却し、自然炉冷するという仮焼成プロセスを実施する。常温まで冷却した仮焼結体を乳鉢で粉砕し、再度一軸圧縮成型する。得られた再圧縮成型体に対して、真空焼結炉にて、真空度1.3×10−3Pa下、500℃/hrで1750℃まで昇温し、同温度で20時間保持し、500℃/hrで1000℃まで冷却し、自然炉冷するという本焼成プロセスを実施し、Pr−YAGの多結晶焼結体が製造される。
原料粉末であるY2O3粉末とα−Al2O3粉末とPr6O11粉末とを所望の組成となるようにそれぞれ秤量し、これら粉末とエチルアルコールとアルミナボールとをポットミルに入れ、湿式混合を行う。アルミナボールを取り除き、得られた混合粉末スラリー中のエチルアルコールをロータリーエバポレーターを用いて除去した後、100℃で12時間乾燥し、得られた乾燥粉末を乳鉢で軽くほぐす。得られた乾燥粉末を、所望の形状に一軸圧縮成型する。得られた圧縮成型体に対して、電気炉にて、大気雰囲気下、500℃/hrで1450℃まで昇温し、同温度で2時間保持し、500℃/hrで1000℃まで冷却し、自然炉冷するという仮焼成プロセスを実施する。常温まで冷却した仮焼結体を乳鉢で粉砕し、再度一軸圧縮成型する。得られた再圧縮成型体に対して、真空焼結炉にて、真空度1.3×10−3Pa下、500℃/hrで1750℃まで昇温し、同温度で20時間保持し、500℃/hrで1000℃まで冷却し、自然炉冷するという本焼成プロセスを実施し、Pr−YAGの多結晶焼結体が製造される。
利得媒質13がPr−YAG以外の多結晶焼結体からなる場合も、製造方法は同様である。
Prの吸収ピーク波長(励起スペクトルを取ったときに最大発光強度を示す励起波長)は、452nmである。利得媒質13としてPr−YAGを用いる場合、半導体レーザ11としては、GaN系半導体レーザ(発振ピーク波長:370〜450nm)が好ましい。
Pr−YAGの発光スペクトル(蛍光スペクトル)では、励起波長を452nmとした場合、608nmに強い発光強度の発光ピークが見られるので、上記系では、例えば608nmのレーザ光L2を出力するようにすればよい。
本実施形態の設計例を以下に示す。
半導体レーザ11:GaN系(発振ピーク波長:450nm、シングル横モード型、出力50mW)、
利得媒質13:2.0%Pr−YAG(吸収ピーク波長452nm)、厚み2mm、
出力ミラー14:曲率半径50mm、利得媒質13の励起光入射面13aからの離間距離10mm、
レーザ光L2(出力光):608nm
半導体レーザ11:GaN系(発振ピーク波長:450nm、シングル横モード型、出力50mW)、
利得媒質13:2.0%Pr−YAG(吸収ピーク波長452nm)、厚み2mm、
出力ミラー14:曲率半径50mm、利得媒質13の励起光入射面13aからの離間距離10mm、
レーザ光L2(出力光):608nm
本発明者は、上記設計例では、半導体レーザ11の発振ピーク波長と利得媒質13の吸収ピーク波長とがほぼ一致しており、利得媒質13の励起光の吸収量は約30%であり、出力1mW程度のレーザ光L2が得られることを見出している。
Pr−YAGは、608nm以外にも発光ピーク波長を有するので、利得媒質13及び出力ミラー14に施したコーティングを変更することで、出力光であるレーザ光L2の波長を487nm、532nm、564nm等に変更することができる。
また、励起光源である半導体レーザ11と利得媒質13の組成の組合わせを変更するなどして、出力光であるレーザ光L2の波長をPr−YAGの発光ピーク波長以外の波長に変更することができる。
本実施形態の固体レーザ装置1は、励起光源である半導体レーザ11として350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する窒化物系半導体レーザを用い、利得媒質13として無機多結晶焼結体を用いる構成としている。
本実施形態の固体レーザ装置1では、可視域のレーザ光L2が得られる。
本実施形態の固体レーザ装置1では、利得媒質13として無機多結晶焼結体を用いる構成としているので、単結晶の利得媒質を用いる従来技術に比して、利得媒質13の製造がはるかに容易であり、発光中心イオンの高濃度ドープを実現することができる。発光中心イオンの高濃度ドープを実現できることは、同じサイズの利得媒質13で比較した場合、利得媒質13の励起光の吸収量が増大して出力が増すので、高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質13は、単結晶の利得媒質に比して製造が容易であるので、単結晶を用いるよりも利得媒質13を大きくすることもできる。このことも高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質13は、単結晶を用いるよりも安価である。また、励起光源を大型化しなくても高出力のレーザ光L2が得られるので、安価で小型の励起光源を用いることができる。
以上のように、本実施形態によれば、装置全体を大型化することなく、可視域のレーザ光L2を高効率及び高出力で得ることができ、しかも低コストな固体レーザ装置1を提供することができる。
本実施形態の固体レーザ装置1では、利得媒質13として無機多結晶焼結体を用いる構成としているので、単結晶の利得媒質を用いる従来技術に比して、利得媒質13の製造がはるかに容易であり、発光中心イオンの高濃度ドープを実現することができる。発光中心イオンの高濃度ドープを実現できることは、同じサイズの利得媒質13で比較した場合、利得媒質13の励起光の吸収量が増大して出力が増すので、高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質13は、単結晶の利得媒質に比して製造が容易であるので、単結晶を用いるよりも利得媒質13を大きくすることもできる。このことも高効率化及び高出力化に繋がる。
無機多結晶焼結体からなる利得媒質13は、単結晶を用いるよりも安価である。また、励起光源を大型化しなくても高出力のレーザ光L2が得られるので、安価で小型の励起光源を用いることができる。
以上のように、本実施形態によれば、装置全体を大型化することなく、可視域のレーザ光L2を高効率及び高出力で得ることができ、しかも低コストな固体レーザ装置1を提供することができる。
(第2実施形態)
図2に基づいて、本発明に係る第2実施形態の固体レーザ装置の構造について説明する。本実施形態の基本構成は第1実施形態と同様であり、同じ構成要素には同じ参照符号を付して説明を省略する。
図2に基づいて、本発明に係る第2実施形態の固体レーザ装置の構造について説明する。本実施形態の基本構成は第1実施形態と同様であり、同じ構成要素には同じ参照符号を付して説明を省略する。
第1実施形態の固体レーザ装置1では、励起光源を1個の半導体レーザ11により構成したのに対し、本実施形態の固体レーザ装置2は、励起光源を複数の半導体レーザ21により構成している。複数の半導体レーザ21は、合波レーザモジュール20の形態で装置に搭載されている。
合波レーザモジュール20は、複数の半導体レーザ21と、複数の半導体レーザ21から発振されたレーザ光を各々平行光束化する、半導体レーザ21と同数のコリーメータレンズ22と、これら複数のコリーメータレンズ22から出射される光を一括して集光する1個の集光レンズ23と、集光レンズ23により集光された光を導光する光ファイバ24とから構成されている。半導体レーザ21とコリーメータレンズ22と集光レンズ23と光ファイバ24の一部とが、パッケージ25内に気密封止されている。
半導体レーザ21の個数は適宜設計できる。半導体レーザ21としては、第1実施形態の半導体レーザ11と同様の半導体レーザが用いられる。本実施形態では、合波レーザモジュール20の光ファイバ24から励起光であるレーザ光L1(本実施形態では合波レーザ光)が出射されて、利得媒質13が励起される。半導体レーザ21と利得媒質13との組合せは、第1実施形態と同様である。
本実施形態の設計例を以下に示す。
半導体レーザ21:GaN系(発振ピーク波長:450nm、シングル横モード型、出力50mW)、
半導体レーザ21の個数:7個、
合波レーザモジュール20の出力:250W、
レーザ光L1(励起光):450nm、
利得媒質13:2.0%Pr−YAG(吸収ピーク波長452nm)、厚み2mm、
出力ミラー14:曲率半径50mm、利得媒質13の励起光入射面13aからの離間距離10mm、
レーザ光L2(出力光):608nm
半導体レーザ21:GaN系(発振ピーク波長:450nm、シングル横モード型、出力50mW)、
半導体レーザ21の個数:7個、
合波レーザモジュール20の出力:250W、
レーザ光L1(励起光):450nm、
利得媒質13:2.0%Pr−YAG(吸収ピーク波長452nm)、厚み2mm、
出力ミラー14:曲率半径50mm、利得媒質13の励起光入射面13aからの離間距離10mm、
レーザ光L2(出力光):608nm
本発明者は、上記設計例では、利得媒質13の吸収ピーク波長と半導体レーザ11の発振ピーク波長とほぼ一致しており、利得媒質13の励起光の吸収量は約30%であり、出力10mW程度のレーザ光L2が得られることを見出している。
本実施形態の固体レーザ装置2は、励起光源を複数の半導体レーザ21により構成する以外は、基本的な構成は第1実施形態と同様であり、半導体レーザ21と利得媒質13との組合せは第1実施形態と同様であるので、第1実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、本実施形態によれば、装置全体を大型化することなく、可視域のレーザ光L2を高効率及び高出力で得ることができ、しかも低コストな固体レーザ装置2を提供することができる。本実施形態では、励起光源を複数の半導体レーザ21により構成しているので、第1実施形態よりも高出力な固体レーザ装置2が得られる。
(設計変更例)
本発明は上記実施形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。
本発明は上記実施形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、適宜設計変更可能である。
出力ミラー14の後段側に、レーザ光L2の一部を反射又は透過するミラーを設け、該ミラーにより反射又は透過された光の光量を検出するフォトダイオード等の光検出素子を設け、光検出素子により検出される光量が一定になるように半導体レーザ11をフィードバック制御するAPC(Auto Power Control)制御を行う構成としてもよい。
出力ミラー14を設けず、利得媒質13単独で共振器構造を構成することもできる。例えば、図3に示す如く、利得媒質13の出力光出射面13bに出力ミラー14の光入射面14aと同様のコーティングを施し、利得媒質13の励起光入射面13a及び/又は出力光出射面13bを研磨やドライエッチング等により曲面状に加工することで、利得媒質13単独で共振器構造を構成することができる。
図4に示す如く、利得媒質13と出力ミラー14との間に、利得媒質13から発振されたレーザ光の波長を変換する波長変換素子17とエタロン18とを配置する構成としてもよい。
波長変換素子17は、例えば、非線形光学結晶(例えば、MgOがドープされたLiTaO3結晶)に周期ドメイン反転構造が設けられたものであり、利得媒質13から発振されるレーザ光(例えば波長608nm)を304nm等の紫外光(第2次高周波)に変換する素子である。波長変換素子17を複数設けて、第3次高調波や第4次高調波等を得る構成としてもよい。エタロン18は必要に応じて設けられる波長選択素子であり、エタロン18を設けることで、単一縦モード発振させて低ノイズ化を実現することができる。また、偏光制御素子としてのブリュースタ板をさらに配してもよい。
図4に示す固体レーザ装置では、半導体レーザ11がホルダ31を介してペルチェ素子15に取り付けられ、集光レンズ12がホルダ32を介してペルチェ素子15に取り付けられ、利得媒質13と波長変換素子17とエタロン18と出力ミラー14とがホルダ33を介してペルチェ素子15に取り付けられている。また、構成要素11〜14、17、18が、出力光であるレーザ光L2が透過する透過窓19aが嵌め込まれたパッケージ19内に気密封止されている。パッケージ19内には、好ましくは乾燥空気や窒素ガス等が封入される。かかる構成では、構成要素11〜15、17、18の汚染や結露が防止され、好ましい。少なくとも共振器構造を構成する要素をパッケージ19内に気密封止すれば、良好な汚染防止効果が得られる。
図4に示す如く、波長変換素子17を設ける構成とすることで、紫外域のレーザ光L2を安価に簡易に得ることができ、安価で小型の紫外固体レーザ装置を実現することができる。波長変換素子17としては、BBO結晶、LBO結晶、CLBO結晶、KBBF結晶等、紫外光に波長変換可能なものなら、いずれの結晶を使用してもよい。
第1、第2実施形態の固体レーザ装置1、2、及び図3に示した固体レーザ装置についても、図4に示したような気密パッケージ構造を採用することができる。
上記実施形態では、端面励起方式について説明したが、利得媒質13の側面側から励起する方式、共振器に対して斜めに励起光を入射させて励起する方式、励起光を利得媒質13内で多重反射させる方式など、半導体レーザで励起可能な方式であれば、いかなる励起方式を採用しても構わない。モードロッカー等を配置し、パルスレーザ光を出力する構成としてもよい。
本発明は、紫外〜可視域のレーザ光を出力する固体レーザ装置として利用することができる。
1、2 固体レーザ装置
11、21 半導体レーザ(励起光源)
13 利得媒質
17 波長変換素子
L1 レーザ光(励起光)
L2 レーザ光(出力光)
11、21 半導体レーザ(励起光源)
13 利得媒質
17 波長変換素子
L1 レーザ光(励起光)
L2 レーザ光(出力光)
Claims (7)
- 少なくとも1個の半導体レーザからなる励起光源と、
前記励起光源から発振されるレーザ光により励起されて、該励起光源から発振されるレーザ光とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質とを備えた固体レーザ装置において、
前記半導体レーザが窒化物系半導体レーザであり、
前記利得媒質が透光性を有する無機多結晶焼結体からなることを特徴とする固体レーザ装置。 - 少なくとも1個の半導体レーザからなる励起光源と、
前記励起光源から発振されるレーザ光により励起されて、該励起光源から発振されるレーザ光とは異なる波長のレーザ光を発振する利得媒質とを備えた固体レーザ装置において、
前記半導体レーザが350〜550nmの範囲内に発振ピーク波長を有する半導体レーザであり、
前記利得媒質が透光性を有する無機多結晶焼結体からなることを特徴とする固体レーザ装置。 - 前記半導体レーザがGaN系半導体レーザであることを特徴とする請求項1又は2に記載の固体レーザ装置。
- 前記利得媒質が、ガーネット型化合物、C−希土類型化合物、及びペロブスカイト型化合物のうちいずれかの無機化合物(不可避不純物を含んでいてもよい)からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記利得媒質が、母体化合物に発光中心イオンをなす希土類イオン及び/又は遷移金属イオンがドープされた無機化合物(不可避不純物を含んでいてもよい)からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の固体レーザ装置。
- 前記希土類イオン及び/又は遷移金属イオンは、Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,Er,Tm,Cr,及びTiからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素イオンであることを特徴とする請求項5に記載の固体レーザ装置。
- 前記利得媒質の後段に、該利得媒質から発振されたレーザ光の波長を変換する少なくとも1個の波長変換素子を備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の固体レーザ装置。
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