JP2007114107A - 半導体集積センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェハ上にアツリョクセンサとしてピエゾ抵抗素子を集積化し、同時に測温素子を一体的に作りつけることにより、圧力分布及び温度分布を処理時間の関数として測定が可能になる。
【選択図】 図1
Description
複数の圧力センサ及び複数の温度センサを有する、圧力測定装置であって、
前記圧力センサは
撓み部に形成されたピエゾ抵抗素子又は静電容量可変部、及び被測定物に接触する微小な柱状突起を有する圧力測定装置である。
ウェハレベルでの電極接合により積層型半導体装置を製造する工程に使用される加熱・加圧装置の調整方法であって、
請求項1乃至5のいずれかに記載された圧力測定装置とウェハ基板を重ね合わせて該加熱・加圧装置に装着する工程、
予め設定された加圧条件及び加熱条件により圧力測定装置とウェハ基板を加熱及び加圧する工程、
該加熱・加圧工程中に該加圧測定装置より温度データ及び圧力データを得る工程、
得られた温度データ及び圧力データに基づいて前記加圧条件及び加熱条件を修正する工程を有する調整方法である。
圧力により変形するセンサ部をなすのは撓み部30であり、形状は三角形に近い台形状で、台形の底辺部がウェハに一体的に固定されている。この部分は半導体ウェハをエッチングにより薄片化されたものである。この撓み部30の三角形の頂点付近には測定時の接触端子となる柱状突起21が形成され、撓み部30の三角形の底辺付近(固定部付近)にはピエゾ抵抗素子22(Rs1)と23(Rs2)とが形成されている。これらの要素部材の製造方法であるが、柱状突起21を形成する方法は、例えばシード電極を形成後に無電解めっき法を用いてビルドアップさせる方法や金属層又は半導体層を形成した後にエッチングにより不要な部分を削る方法がある。ピエゾ抵抗素子22,23を形成する方法はSiウェハに不純物を拡散させて形成する方法である公知の技術が利用可能である。(例えば特許文献6、特許文献7参照)。本願発明はこのようにピエゾ抵抗素子を基本要素とし、このピエゾ抵抗素子に接触圧測定用の接触端子としての柱状突起が取り付けられている。非測定面に柱状突起21が接触すると加圧力により撓み部30が変形し、その変形量に応じてピエゾ抵抗素子22,23の抵抗値が変化する。この抵抗値の変化を測定することにより柱状突起21に働く圧力を求めることが出来る。このように微小な柱状突起を設けることにより、電極接合の加圧工程における貼り合わせ面でマイクロバンプに働く加圧力を確実に測定することが可能になる。
e=(1/4)KsEε
ここで、Ksは歪ゲージのゲージ率、Eはブリッジ電圧である。ゲージ率を2.00とすると
2e=ε
となり、歪出力と出力電圧との間には、常に2倍の関係を有することがわかる。
温度の測定に関しては、一例として、図4にピエゾ抵抗素子の持つ温度特性を利用できる。
図6は本願発明の調整法を適用するに適した加熱・加圧装置である。
テーブル505は、2軸回りの回転機構を有する傾き調整機構503上に配置され、油圧シリンダ501により上下方向に移動させられて被加圧物(507,509.510,513)を上部加圧板530に押圧する。この加熱加圧装置には傾き調整機構503と油圧シリンダ501に加える力を制御する加圧制御機構550が備わっている。また、この加圧制御機構550には加熱装置513を制御する機能も備わっている。
工程S2においては、油圧シリンダ501を初期設定条件で上昇させ、適切な時点で加熱を始める。この時、圧力測定装置510により積層ウェハにかかる面内圧力分布及び面内温度分布をリアルタイムで測定を行う。面内で、所定の最高設定圧力又は最高設定温度が検出されたら更なる加熱・加圧は行わず、設定時間維持する。
工程S3では、圧力分布、温度分布、圧力の上昇曲線、温度の上昇曲線が規定内に収まっているか、否かの判断を行う。
工程S4では、工程S3において判断結果がNOの場合には加圧制御機構550での傾き機構の制御パラメータ、加熱ヒータの発熱制御パラメータの修正を行う。
そして、再度S2の工程を実行して、最適制御パラメータを求めるように調整工程のサイクルを回す。
工程5では、圧力分布、温度分布、圧力上昇曲線、温度上昇曲線が所定の規定内に収まれば調整完了とする。
22,23,32 ・・・・ ピエゾ抵抗
24 ・・・・ リファレンス抵抗
25,34,35,43,44 ・・・・ 金属配線
26,36 ・・・・ 貫通溝
27 ・・・・ 温度計測用抵抗
28 ・・・・ 電圧印加用金属配線
29 ・・・・ 計測用金属配線
30 ・・・・ 撓み部(基板薄膜化領域)
31,41 ・・・・ 半導体基板
33,42,45 ・・・・ 層間絶縁膜
46 ・・・・ 導電性ポリシリコン膜
47 ・・・・ メッキシード層
Claims (6)
- 複数の圧力センサ及び複数の温度センサを有し接触圧を測定する、圧力測定装置であって、
前記圧力センサは
撓み部に形成されたピエゾ抵抗素子又は静電容量可変部、及び被測定物に接触する微小な柱状突起を有する
ことを特徴とする圧力測定装置。 - 請求項1に記載の圧力測定装置であって、
前記圧力センサと前記温度センサが一体的に形成されている
ことを特徴とする圧力測定装置。 - 請求項1又は2に記載された圧力測定装置であって、
前記ピエゾ抵抗素子と所定の抵抗値を有する抵抗体によって組まれたホイートストーンブリッジがさらに圧力センサに集積化されている
ことを特徴とする圧力測定装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載された圧力測定装置であって、
前記柱状突起の形状が半導体装置のフリップチップ接合用のマイクロバンプと同じであることを特徴とする圧力測定装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載された圧力測定装置であって、
前記温度センサが半導体のPN接合を利用したものであることを特徴とする圧力測定装置。 - ウェハレベルでの電極接合により積層型半導体装置を製造する工程に使用される加熱・加圧装置の調整方法であって、
請求項1乃至5のいずれかに記載された圧力測定装置とウェハ基板を重ね合わせて該加熱・加圧装置に装着する工程、
予め設定された加圧条件及び加熱条件により圧力測定装置とウェハ基板を加熱及び加圧する工程、
該加熱・加圧工程中に該加圧測定装置より温度データ及び圧力データを得る工程、
得られた温度データ及び圧力データに基づいて前記加圧条件及び加熱条件を修正する工程を有する
ことを特徴とする調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4951930B2 (ja) |
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