JP2007109623A - 誘導加熱装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1,第2の導体17,19間を上下方向移動可能に接続するとともに、第1,第2の導体17,19の冷却水通路18,21間をOリング22を介して上下方向移動可能にかつ水漏れしないように接続し、第2,第3の導体19,23の端部間を左右方向移動可能に接続するとともに、第2,第3の導体19、23の冷却水通路21,25の端部21b,25a間をOリング26を介して左右方向移動可能にかつ水漏れしないように接続し、第3の導体23と誘導加熱コイル27の端部間を前後方向移動可能に接続するとともに、第3の導体23及び誘導加熱コイル27の冷却水通路25,29の端部25b,29a間をOリング30を介して前後方向移動可能にかつ水漏れしないように接続する。
【選択図】図1
Description
以下、この発明を実施するための最良の形態を図面とともに説明する。図1(a),(b)はこの発明の実施最良形態1による誘導加熱装置の要部平面図及び要部正面図、図2(a),(b)は第1の導体17の分解平面図及び分解正面図、図3(a),(b)は第2の導体19の平面図及び正面図、図4(a),(b)は第3の導体23の平面図及び正面図を示し、17は一端が真空容器1に気密に挿入された一対の第1の導体であり、内部に冷却水通路18が形成されるとともに、その一端18a及び他端18bには冷却水の流入口及び流出口が形成される。各第1の導体17の大気側の一端には、取付孔17aを介して高周波電源4が接続される。又、各導体17の真空側の他端には一対の第2の導体19の一端が上下方向(第1の方向)移動可能に接続される。即ち、導体17の他端には複数の長孔17bが設けられ、この長孔17bに挿通したボルト20を導体19に設けたねじ孔19aに螺合することにより導体17,19が上下方向移動可能に接続される。第2の導体19も内部に冷却水通路21が形成され、その一端21aは長孔状に形成され、冷却水通路18の丸孔状に形成された他端18bと突き合わされ、他端18bと一端21aの周囲の第2の導体19にOリング溝を形成して第1のOリング22を嵌合する。そして、ボルト20の締付により第1及び第2の導体17,19及び冷却水通路18,21が上下方向移動可能に接続されるとともに、冷却水通路18,21は水漏れしないように接続される。なお、冷却水通路18,21の端部18b,21a及び第1のOリング22は図1においてはいずれも点線で示すべきものであるが、便宜上実線で示した。
図6(a)、(b)及び図7はこの発明の実施最良形態2による誘導加熱装置の要部平面図、要部正面図及び要部側面図を示し、実施最良形態1と同様に高周波給電用導体33を構成する一対の第1の導体17は真空容器1の絶縁材からなる周壁の一部1aに気密に挿通され、また第3の導体23には真空容器1内において誘導加熱コイル27が接続される。周壁の一部1aはクランプ機構34により真空容器1に気密にかつ係脱自在に係止され、クランプ機構34は遠隔操作のモータ35により駆動される。又、周壁の一部1aはスライドガイド36により上下動自在に支持されるとともに、遠隔操作のモータ37により駆動される昇降ジャッキ38により昇降される。導体17の大気側端部には可撓性のない銅板39aに内部に冷却水を流す銅管39bをロー付けした水冷銅板39の一端を接続し、水冷銅板39の他端には可撓性のある水冷銅板40の一端を接続し、水冷銅板40の他端には高周波電源側の位置固定の水冷銅板41が接続される。
1a…真空容器の周壁の一部
4…高周波電源
17,19,23…導体
17b,23a,23b…長孔
18,21,25,29…冷却水通路
18b,25a,29a…丸孔状端部
18c、21c…加工口
19a,19b…ねじ孔
20,24,28…ボルト
21a,21b,25b…長孔状端部
22,26,30〜32…Oリング
27…誘導加熱コイル
33…高周波給電用導体
34…クランプ機構
35,37…モータ
36…スライドガイド
38…昇降ジャッキ
40,41…水冷銅板
40a…銅板
40c…銅管
40d…可撓性配管
42…六角穴付きプラグ
Claims (5)
- 一端に高周波電源が他端に被加熱材を加熱する誘導加熱コイルが接続された高周波給電用導体を用いた誘導加熱装置において、被加熱材と誘導加熱コイルとの上下、左右、前後の相対的位置関係を調節できるように、高周波給電用導体を3つの導体で構成し、かつ前記各導体は長孔とボルトの接続構造とするとともに、前記各導体の内部に該導体及び誘導加熱コイルを冷却するための冷却水が通る冷却水通路を形成したことを特徴とする誘導加熱装置。
- 冷却水通路の接続構造は、冷却水通路が相対的に移動しても水漏れしないように、一方の冷却水通路の端部形状を丸孔状にするとともに、他方の冷却水通路の端部形状を長孔状とし、冷却水通路の両端部の周囲を囲むように封止部材の溝を設け、該溝に封止部材を取り付けたことを特徴とする請求項1記載の誘導加熱装置。
- 冷却水通路をキリ穴加工により形成するとともに、その加工口に非磁性材からなるプラグを螺合したことを特徴とする請求項1又は2記載の誘導加熱装置。
- 一端に高周波電源が接続され、他端に真空容器内において被加熱材を加熱する誘導加熱コイルが接続された高周波給電用導体を用いた誘導加熱装置において、高周波給電用導体が気密に挿通した真空容器の周壁の一部を移動自在に支持した位置調整機構と、真空容器の周壁の一部を真空容器に気密にかつ係脱自在に係止したクランプ機構と、高周波給電用導体の大気側端部と固定された高周波電源側との間に接続された可撓性のある水冷銅板とを備え、可撓性のある水冷銅板は、薄く可撓性のある銅板にその長さ方向に対して直角な方向に平行に複数の冷却水を通流させるための銅管をロー付けし、銅管同士及び銅管と給水源との間を可撓性のある配管により接続したことを特徴とする誘導加熱装置。
- 位置調整機構又はクランプ機構を遠隔操作可能としたことを特徴とする請求項4記載の誘導加熱装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012049095A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Neturen Co Ltd | 熱処理ヘッドの給電部接続構造 |
JP2012049094A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Neturen Co Ltd | 熱処理ヘッド |
JP2016201241A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | 富士電子工業株式会社 | 高周波誘導加熱コイル |
WO2024011930A1 (zh) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | 江苏科技大学 | 一种用于船舶制造的智能电磁感应背烧装置及其工作方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06325624A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-25 | Fujikura Ltd | 高周波加熱装置用接続導体 |
JPH11219780A (ja) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Fuji Denshi Kogyo Kk | 高周波加熱コイル体 |
JPH11224766A (ja) * | 1998-02-09 | 1999-08-17 | Miyaden:Kk | 高周波誘導加熱装置及びその出力変成器 |
-
2005
- 2005-12-15 JP JP2005361149A patent/JP4899459B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06325624A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-25 | Fujikura Ltd | 高周波加熱装置用接続導体 |
JPH11219780A (ja) * | 1998-02-02 | 1999-08-10 | Fuji Denshi Kogyo Kk | 高周波加熱コイル体 |
JPH11224766A (ja) * | 1998-02-09 | 1999-08-17 | Miyaden:Kk | 高周波誘導加熱装置及びその出力変成器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012049095A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Neturen Co Ltd | 熱処理ヘッドの給電部接続構造 |
JP2012049094A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Neturen Co Ltd | 熱処理ヘッド |
JP2016201241A (ja) * | 2015-04-09 | 2016-12-01 | 富士電子工業株式会社 | 高周波誘導加熱コイル |
WO2024011930A1 (zh) * | 2022-07-14 | 2024-01-18 | 江苏科技大学 | 一种用于船舶制造的智能电磁感应背烧装置及其工作方法 |
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Publication number | Publication date |
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