JP2007106836A - Silane-modified polyamic acid resin composition - Google Patents

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Hiroyuki Wakui
洋行 涌井
Takeshi Yoshida
武史 吉田
Takeshi Matsuoka
豪 松岡
Tetsuo Okuyama
哲雄 奥山
Satoshi Maeda
郷司 前田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transparent polyimide-silica hybrid cured product or multilayered product with excellent adhesivity and insulating property. <P>SOLUTION: This silane-modified polyamic acid resin composition comprises an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting a polyamic acid(1) having a diamine residue with a benzoxazole skeleton and an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate(2) obtained by dealcoholization reaction of an epoxy compound(A) having one hydroxy group in a molecule with an alkoxysilane partial condensate(B), and a polar solvent. The silane-modified polyamic acid resin composition is made into a surface coating agent by coating, etc., to be multilayered on a film or substrate each with a specific coefficient of linear expansion. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は特定ポリアミド酸のアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸組成物および溶剤を含有するシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物、その半硬化物、ならびにポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に関する。特に、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸を含有するシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物、コーティング、含浸、フィルム成形などの手法を用いての、電気絶縁用樹脂組成物および電気絶縁材料、また耐熱接着剤や耐熱コーティング剤に利用できるシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物に関する。   The present invention relates to an alkoxy group-containing silane-modified polyamide acid composition of a specific polyamide acid, a silane-modified polyamide acid resin composition containing a solvent, a semi-cured product thereof, and a polyimide-silica hybrid cured product. In particular, a silane-modified polyamic acid resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid, a resin composition for electric insulation and an electric insulating material using a technique such as coating, impregnation, film molding, The present invention relates to a silane-modified polyamic acid resin composition that can be used as a heat-resistant coating agent.

本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物や当該樹脂組成物をコーティング、含浸、フィルム成形等を行って得られるポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は、プリント基板用銅張り板やビルドアッププリント基板用層間絶縁材料、半導体の層間絶縁膜、ソルダーレジストなどのレジストインキ、導電ペースト、TABテープ等の電子材料の他、液晶配向膜など液晶部品、電線被覆剤として電気絶縁用途に有用である。また本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物はプリント基板用接着剤などの耐熱接着剤や、金属塗料等や耐熱コーティング剤としても有用である。
特にベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドフィルム(ポリイミドベンゾオキサゾールフィルム)の引張破断強度、引張弾性率における優れた機械的特性と好適な線膨張係数を持ち、かつ接着性などの表面特性が改良されたフィルムに使用される当該組成物に関する。
The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention and the polyimide-silica hybrid cured product obtained by coating, impregnating, film forming and the like of the resin composition are a copper-clad board for a printed board and a build-up printed board. It is useful for electrical insulation as a liquid crystal component such as a liquid crystal alignment film and a wire coating agent in addition to an electronic material such as a resist interlayer such as an interlayer insulating material, a semiconductor interlayer insulating film, a solder resist, a conductive paste, and a TAB tape. The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is also useful as a heat-resistant adhesive such as an adhesive for printed circuit boards, a metal paint, or a heat-resistant coating agent.
In particular, polyimide films having a benzoxazole ring in the main chain (polyimide benzoxazole film) have excellent mechanical properties in tensile tensile strength and tensile modulus, suitable linear expansion coefficient, and improved surface properties such as adhesion. The present invention relates to the composition used for the film.

ポリイミドフィルムは、−269〜300℃までの広い温度範囲での物性変化が極めて少ないために、電気及び電子分野での応用、用途が拡大している。電気分野では、例えば車両用モーターや産業用モーター等のコイル絶縁、航空機電線及び超導電線の絶縁等に使用されている。一方、電子分野では、例えばフレキシブルプリント基板や、半導体実装用フィルムキャリヤーのベースフィルム等に利用されている。このようにポリイミドフィルムは、種々の機能性ポリマーフィルムの中でも極めて信頼性の高いものとして、電気及び電子分野で広く利用されている。しかしながら、最近では電気及び電子分野等のファイン化にともなって大きな問題が顕在化してきている。例えば、銅を蒸着又はメッキ等によって銅張したポリイミドフィルム基材からなるプリント基板は、経時変化、環境変化によって銅層の密着力が低下し、更には剥離が発生する傾向にあった。
また、情報通信機器(放送機器、移動体無線、携帯通信機器等)、レーダーや高速情報処理装置などといった電子部品の基材の材料として、従来、セラミックが用いられていた。セラミックからなる基材は耐熱性を有し、近年の情報通信機器の信号帯域の高周波数化(GHz帯に達する)にも対応し得る。しかし、セラミックはフレキシブルでなく、薄くできないので使用できる分野が限定される。
Polyimide films have very little change in physical properties over a wide temperature range from −269 to 300 ° C., and therefore, applications and uses in the electric and electronic fields are expanding. In the electric field, for example, it is used for coil insulation of vehicle motors, industrial motors, etc., insulation of aircraft electric wires and superconducting wires. On the other hand, in the electronic field, for example, it is used for a flexible printed circuit board, a base film of a film carrier for semiconductor mounting, and the like. Thus, the polyimide film is widely used in the electric and electronic fields as a highly reliable film among various functional polymer films. Recently, however, major problems have become apparent with the refinement of the electric and electronic fields. For example, a printed circuit board made of a polyimide film base material in which copper is copper-clad by vapor deposition or plating or the like has a tendency that the adhesive force of the copper layer is lowered due to a change with time and an environmental change, and further peeling occurs.
In addition, ceramic has been conventionally used as a material for base materials of electronic components such as information communication equipment (broadcast equipment, mobile radio equipment, portable communication equipment, etc.), radar, high-speed information processing devices, and the like. A base material made of ceramic has heat resistance, and can cope with an increase in the frequency band (reaching the GHz band) of information communication equipment in recent years. However, ceramics are not flexible and cannot be thinned, so the fields that can be used are limited.

そのため、有機材料からなるフィルムを電子部品の基材として用いる検討がなされ、ポリイミドからなるフィルム、ポリテトラフルオロエチレンからなるフィルムが提案されている。ポリイミドからなるフィルムは耐熱性に優れ、また、強靭であるのでフィルムを薄くできるという長所を備えているが、高周波の信号への適用において、信号強度の低下や信号伝達の遅れなどといった問題が懸念され、引張破断強度、引張弾性率でまだ不十分であり、線膨張係数においても大きすぎるなどの課題を有している。ポリテトラフルオロエチレンからなるフィルムは、高周波にも対応し得るが、引張弾性率が低いのでフィルムを薄くできない点、表面への金属導体や抵抗体などとの接着性が悪いという点、線膨張係数が大きく温度変化による寸法変化が著しくて微細な配線をもつ回路の製造に適さない点等が問題となり、使用できる分野が限定される。このように、耐熱性、高機械的物性、フレキシブル性を具備した基材用として十分な物性のフィルムは未だ得られていない。
弾性率を高くしたポリイミドフィルムとして、ベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムが提案されている(特許文献1参照)。このポリイミドベンゾオキサゾールフィルムを誘電層とするプリント配線板も提案されている(特許文献2、3参照)。
For this reason, studies have been made to use a film made of an organic material as a base material for an electronic component, and a film made of polyimide and a film made of polytetrafluoroethylene have been proposed. A film made of polyimide has excellent heat resistance and has the advantage that the film can be thin because it is tough. However, there are concerns about problems such as low signal strength and signal transmission delay when applied to high-frequency signals. However, the tensile strength at break and the tensile modulus are still insufficient, and the linear expansion coefficient is too large. A film made of polytetrafluoroethylene can handle high frequencies, but the tensile modulus is low, so the film cannot be made thin, the adhesion to metal conductors and resistors on the surface is poor, and the coefficient of linear expansion However, it is problematic in that it is not suitable for the production of a circuit having fine wiring due to a large dimensional change due to temperature change. Thus, a film having sufficient physical properties for a substrate having heat resistance, high mechanical properties, and flexibility has not been obtained yet.
As a polyimide film having a high elastic modulus, a polyimide benzoxazole film made of polyimide having a benzoxazole ring in the main chain has been proposed (see Patent Document 1). A printed wiring board using this polyimide benzoxazole film as a dielectric layer has also been proposed (see Patent Documents 2 and 3).

これらのベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムは、引張破断強度、引張弾性率で改良され、線膨張係数において満足し得る範囲のものとなっているが、その優れた機械的物性の反面でその表面特性が接着性において不十分であるなどの課題を有していた。
優れた物性のポリイミドの接着性を改良するために種々の提案がなされている、例えば接着性を有しないポリイミドフィルムの少なくとも片面に熱可塑性樹脂層を形成するもの(特許文献4参照)、ポリイミドフィルムとポリアミド系樹脂からなるフィルムとが積層される少なくとも2層フイルム(特許文献5参照)などである。
これらのポリイミドフィルム上に熱可塑性樹脂層を設けたものは、接着性の改良においては満足し得ても、これら熱可塑性樹脂の耐熱性の低さは折角のポリイミドフィルムの耐熱性を台無しにする傾向を有していた。
特開平06−56992号公報 特表平11−504369号公報 特表平11−505184号公報 特開平09−169088号公報 特開平07−186350号公報
Polyimide benzoxazole films consisting of polyimides with these benzoxazole rings in the main chain have improved tensile tensile strength and tensile elastic modulus and are within the range of satisfactory linear expansion coefficients. In spite of its physical properties, it has problems such as insufficient surface properties in terms of adhesion.
Various proposals have been made to improve the adhesion of polyimide with excellent physical properties. For example, a polyimide film that has a thermoplastic resin layer on at least one surface of a polyimide film that does not have adhesion (see Patent Document 4), a polyimide film And at least a two-layer film in which a film made of polyamide resin is laminated (see Patent Document 5).
Even though those with a thermoplastic resin layer on these polyimide films can be satisfied in improving the adhesiveness, the low heat resistance of these thermoplastic resins will ruin the heat resistance of the folded polyimide film. Had a trend.
Japanese Patent Laid-Open No. 06-56992 Japanese National Patent Publication No. 11-504369 Japanese National Patent Publication No. 11-505184 Japanese Patent Laid-Open No. 09-169088 JP 07-186350 A

またポリイミド樹脂は、一般に芳香族テトラカルボン酸無水物と芳香族ジアミンを原料とし、これらを縮合反応して合成されるポリアミド酸を閉環反応して得られる。このようなポリイミド樹脂は、耐熱性や電気的性質が優れ、しかも柔軟性があるため、耐熱性材料や絶縁性材料として、フィルム、コーティング剤等の各種形態で、電子材料、液晶、接着剤、塗料などの分野で幅広く用いられている。
しかしながら、電子材料分野など各分野における近年の発展に伴い、当該分野で用いるポリイミドに対して、より高水準の機械的強度、低熱膨張性、絶縁性、高密着性などが要求されるようになっている。
ポリイミド系重合体に一層優れた機械的強度、低熱膨張性を付与する目的で、一般的には充填材などが適宜に添加されるが、これら組成物では弾性率など機械的強度が若干向上するものの十分ではなく、却って得られる皮膜は脆くなって柔軟性や密着性が低下する傾向にある。
アルコキシシランをポリアミド酸溶液に混合して得られるシリカハイブリッド材料が提案されている(特許文献6〜8参照)。しかしながら、これらの材料から得られる皮膜では、シリカが当該皮膜中に十分には分散しておらず、そのため皮膜が白化したり、そりを生じたり、また弾性率など機械的強度や耐熱性の向上も不十分である。
特開昭63−099234号公報、 特開昭63−099235号公報、 特開昭63−099236号公報
The polyimide resin is generally obtained by ring-closing reaction of polyamic acid synthesized by using aromatic tetracarboxylic acid anhydride and aromatic diamine as raw materials and condensing them. Such a polyimide resin is excellent in heat resistance and electrical properties and has flexibility, so as a heat resistant material or an insulating material, various forms such as a film, a coating agent, an electronic material, a liquid crystal, an adhesive, Widely used in fields such as paint.
However, with recent developments in various fields such as the electronic materials field, higher levels of mechanical strength, low thermal expansion, insulation, and high adhesion are required for polyimides used in the field. ing.
For the purpose of imparting more excellent mechanical strength and low thermal expansibility to the polyimide polymer, fillers and the like are generally added as appropriate, but mechanical strength such as elastic modulus is slightly improved in these compositions. However, it is not sufficient, and the film obtained on the contrary tends to be brittle and tend to have reduced flexibility and adhesion.
A silica hybrid material obtained by mixing an alkoxysilane with a polyamic acid solution has been proposed (see Patent Documents 6 to 8). However, in the coatings obtained from these materials, silica is not sufficiently dispersed in the coating, so that the coating is whitened or warped, and mechanical strength such as elastic modulus and heat resistance are improved. Is insufficient.
JP-A-63-099234, JP 63-099235 A, JP 63-099236 A

本発明は、機械的強度、耐熱性に優れた硬化物を収得しうるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物を提供することを目的とする。またこのアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸を使用することにより、耐熱性、機械的強度、絶縁性に優れ、しかもそり、割れ等を生じず、透明なポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を得ることが出来る。上記に加えて、本発明はベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムの、引張破断強度、引張弾性率における優れた物性、線膨張係数において満足し得る範囲のものを保持し、その優れた機械的物性を損なわないようにその表面特性が接着性や絶縁性などにおいて改良されたものとするためのシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition capable of obtaining a cured product having excellent mechanical strength and heat resistance. Further, by using this alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid, it is possible to obtain a transparent polyimide-silica hybrid cured product that is excellent in heat resistance, mechanical strength, and insulation, and that does not warp or crack. In addition to the above, the present invention retains a polyimide benzoxazole film made of polyimide having a benzoxazole ring in the main chain within a range that is satisfactory in terms of tensile breaking strength, excellent physical properties in tensile modulus, and linear expansion coefficient. An object of the present invention is to provide a silane-modified polyamic acid resin composition whose surface characteristics are improved in adhesiveness and insulation so as not to impair the excellent mechanical properties.

本発明は、ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類と芳香族テトラカルボン酸無水物類とを反応させて得られるポリアミド酸とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸が上記課題を解決することを見出し、その目的を達成したものである。
すなわち本発明は、下記の構成からなる。
1.ベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリアミド酸(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸、および極性溶剤を含有することを特徴とするシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。
2.線熱膨張係数(CTE)が0ppm/℃以上20ppm/℃以下の値を有する有機基材もしくは無機基材の表面に塗布して使用される前記1に記載のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。
3.シリコンウェハの表面に塗布して使用される前記1に記載のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。
4.ベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドフィルムの表面に塗布して使用される前記1に記載のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。
The present invention relates to an alkoxy group-containing silane obtained by reacting a polyamic acid obtained by reacting an aromatic diamine having a benzoxazole structure with an aromatic tetracarboxylic acid anhydride and an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate. The present inventors have found that a modified polyamic acid can solve the above-mentioned problems and have achieved the object.
That is, this invention consists of the following structures.
1. Epoxy group obtained by dealcoholization reaction of polyamic acid (1) having diamine residue having benzoxazole skeleton, epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule and alkoxysilane partial condensate (B) A silane-modified polyamic acid resin composition comprising an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting the containing alkoxysilane partial condensate (2) and a polar solvent.
2. 2. The silane-modified polyamic acid resin composition according to 1, wherein the linear thermal expansion coefficient (CTE) is applied to the surface of an organic substrate or an inorganic substrate having a value of 0 ppm / ° C. or more and 20 ppm / ° C. or less.
3. 2. The silane-modified polyamic acid resin composition as described in 1 above, which is used by being applied to the surface of a silicon wafer.
4). 2. The silane-modified polyamic acid resin composition according to 1 above, which is used by being applied to the surface of a polyimide film having a diamine residue having a benzoxazole skeleton.

本発明のベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリアミド酸(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸、および極性溶剤を含有するシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物は、耐熱性、機械的強度、絶縁性に優れ、透明なポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を提供することができる。この樹脂組成物を乾燥、硬化して得られるシラン変性ポリイミドの層と特定範囲の低い線膨張係数を持つ基材とを積層した積層体は、両者の接合性が優れ、そり、割れ、剥がれ等を生じない。   Obtained by dealcoholization reaction of the polyamic acid (1) having a diamine residue having a benzoxazole skeleton of the present invention, an epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule, and an alkoxysilane partial condensate (B). The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting the resulting epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2), and the silane-modified polyamic acid resin composition containing a polar solvent have heat resistance, mechanical strength, and insulating properties. And a transparent cured polyimide-silica hybrid can be provided. A laminate obtained by laminating a silane-modified polyimide layer obtained by drying and curing this resin composition and a substrate having a low linear expansion coefficient in a specific range has excellent bonding properties, warping, cracking, peeling, etc. Does not occur.

本発明のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物は、ベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリアミド酸(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸、および極性溶剤を含有することを特徴とするシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物である。
本発明におけるベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリアミド酸(1)は、例えば、ピロメリット酸(無水物、誘導体も含む)などの芳香族テトラカルボン酸とベンゾオキサゾール骨格を有する芳香族ジアミンとを溶媒中で反応せしめ得られるポリイミドの前駆体であるポリアミド酸である。
The silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention comprises a polyamic acid (1) having a diamine residue having a benzoxazole skeleton, an epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule, and an alkoxysilane partial condensate ( A silane-modified polyamic acid comprising an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) obtained by a dealcoholization reaction with B), and a polar solvent It is a resin composition.
The polyamic acid (1) having a diamine residue having a benzoxazole skeleton in the present invention includes, for example, an aromatic tetracarboxylic acid such as pyromellitic acid (including an anhydride and a derivative) and an aromatic diamine having a benzoxazole skeleton; Is a polyamic acid which is a polyimide precursor obtained by reacting in a solvent.

本発明に用いられるベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミンとしては、具体的には以下のものが挙げられる。

Figure 2007106836
Specific examples of the aromatic diamine having a benzoxazole structure used in the present invention include the following.
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これらの中でも、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸作製時の合成のし易さや、得られるポリイミドの物性などから、アミノ(アミノフェニル)ベンゾオキサゾールの各異性体がより好ましい。ここで、「各異性体」とは、アミノ(アミノフェニル)ベンゾオキサゾールが有する2つアミノ基が配位位置に応じて定められる各異性体である(例;上記「化1」〜「化4」に記載の各化合物)。これらのジアミンは、単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
本発明においては、前記ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミンを70モル%以上、好ましくは80モル%以上、さらに好ましくは90モル%以上使用する。
Among these, amino (aminophenyl) benzoxazole isomers are more preferable from the viewpoint of ease of synthesis when preparing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid and physical properties of the resulting polyimide. Here, “each isomer” refers to each isomer in which two amino groups of amino (aminophenyl) benzoxazole are determined according to the coordination position (eg, the above “formula 1” to “formula 4”). Each compound described in the above. These diamines may be used alone or in combination of two or more.
In the present invention, the aromatic diamine having the benzoxazole structure is used in an amount of 70 mol% or more, preferably 80 mol% or more, more preferably 90 mol% or more.

本発明においては、下記の芳香族ジアミンを使用してもよいが、好ましくは全ジアミンの30モル%未満であり、下記に例示されるベンゾオキサゾール構造を有しないジアミン類を一種又は二種以上、併用してもよい。
そのようなジアミン類としては、例えば、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、
In the present invention, the following aromatic diamine may be used, but preferably less than 30 mol% of the total diamine, and one or more diamines having no benzoxazole structure exemplified below, You may use together.
Examples of such diamines include 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl]. Sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine,

3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfoxide 4,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'- Diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1 , 1-Bi [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1 , 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl ]propane,

1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノシ)フェニル]ブタン、2,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] butane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2- [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2- [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphen Le] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane,

1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド。 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) ) Biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) ) Benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (3 Aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [(3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (3-Aminophenoxy) phenyl] propane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide.

2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−トリフルオロメチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−フルオロフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−メチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−シアノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、   2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1 -Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4 '-Bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [4- (4-amino-α) , Α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis 4- {4- (4-aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-trifluoromethylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3 -Bis [4- (4-amino-6-fluorophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-methylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl Benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-cyanophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene,

3,3’−ジアミノ−4,4’−ジフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−5’−フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−5’−ビフェノキシベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、2,6−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾニトリルおよび上記芳香族ジアミンにおける芳香環上の水素原子の一部もしくは全てがハロゲン原子、炭素数1〜3のアルキル基又はアルコキシル基、シアノ基、又はアルキル基又はアルコキシル基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数1〜3のハロゲン化アルキル基又はアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。 3,3′-diamino-4,4′-diphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5,5′-diphenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-4,5′-diphenoxybenzophenone, 3, 3'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-phenoxybenzophenone, 3,3 '-Diamino-4,4'-dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,3'- Diamino-4-biphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4 -Diamino-4-biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-biphenoxybenzophenone, 1,3-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino- 4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino) -4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-Amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 2,6-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) pheno Si] benzonitrile and some or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring in the aromatic diamine are halogen atoms, alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms or alkoxyl groups, cyano groups, or alkyl groups or alkoxyl group hydrogen atoms. Examples thereof include aromatic diamines substituted with a halogenated alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, partially or entirely substituted with halogen atoms, or alkoxyl groups.

本発明で用いられるテトラカルボン酸無水物は芳香族テトラカルボン酸無水物類の中でピロメリット酸無水物(化14に示す)が好ましく使用されるがこれに限定されるものではない。
ピロメリット酸は、全テトラカルボン酸に対して70モル%以上、好ましくは80モル%、さらに好ましくは90モル%以上使用し、ピロメリット酸以外に使用することができる芳香族テトラカルボン酸無水物類としては、具体的に、化15以下のものが挙げられる。
As the tetracarboxylic acid anhydride used in the present invention, pyromellitic acid anhydride (shown in Chemical formula 14) is preferably used among aromatic tetracarboxylic acid anhydrides, but is not limited thereto.
Pyromellitic acid is used in an amount of 70 mol% or more, preferably 80 mol%, more preferably 90 mol% or more based on the total tetracarboxylic acid, and can be used in addition to pyromellitic acid. Specific examples include those having a chemical formula of 15 or less.

Figure 2007106836
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これらのテトラカルボン酸二無水物は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
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These tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

本発明におけるポリアミド酸(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸、および極性溶剤を含有することを特徴とするシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物において、ポリアミド酸(1)は前記した様に、テトラカルボン酸(無水物、誘導体も含む)とベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン(その誘導体をも含む)とを溶媒中で反応せしめ、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸溶液として得ることができ、そのテトラカルボン酸(無水物、誘導体も含む)とジアミンとは前記例示したものが使用できる。また、本発明の効果を失わない範囲で、トリメリット酸無水物、ブタン−1,2,4−トリカルボン酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸などのトリカルボン酸類、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ビメリン酸、スベリン酸、セバシン酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸など脂肪族ジカルボン酸類やそれらの酸無水物、イソフタル酸、テレフタル酸、ジフェニルメタン−4,4’−ジカルボン酸など芳香族ジカルボン酸類やそれらの酸無水物を併用することが出来る。但し、テトラカルボン酸類に対するこれらの割合が多すぎると、得られる硬化物の絶縁性や耐熱性が落ちる傾向があるため、通常、その使用量はテトラカルボン酸に対し、30モル%以下であることが好ましい。   Epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate obtained by dealcoholization reaction of polyamic acid (1) in the present invention, epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule and alkoxysilane partial condensate (B) ( 2) In the silane-modified polyamic acid resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting with 2) and a polar solvent, the polyamic acid (1) is tetracarboxylic acid as described above. (Including anhydrides and derivatives) and aromatic diamines having a benzoxazole structure (including derivatives thereof) in a solvent can be obtained as a polyamic acid solution that is a polyimide precursor. As the acid (including anhydrides and derivatives) and diamine, those exemplified above can be used. In addition, trimellitic anhydride, tricarboxylic acids such as butane-1,2,4-tricarboxylic acid, naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid, oxalic acid, malonic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as succinic acid, glutaric acid, adipic acid, vimelic acid, suberic acid, sebacic acid, undecanedioic acid, dodecanedioic acid, tridecanedioic acid and their acid anhydrides, isophthalic acid, terephthalic acid, diphenylmethane-4 Aromatic dicarboxylic acids such as 4,4'-dicarboxylic acid and acid anhydrides thereof can be used in combination. However, if these ratios with respect to tetracarboxylic acids are too large, the resulting cured product tends to have poor insulation and heat resistance, so the amount used is usually 30 mol% or less based on tetracarboxylic acids. Is preferred.

例えばテトラカルボン酸類とジアミン類を、極性溶剤中、通常−20℃〜60℃で反応
させて得られるポリアミド酸溶液が使用できる。ポリアミド酸(1)の分子量は特に限定されないが、数平均分子量3000〜50000程度のものが好ましい。
ポリアミド酸(1)は、上記テトラカルボン酸類とジアミン類を、(テトラカルボン酸類のモル数/ジアミン類をモル数)=0.9〜1.1の範囲で極性溶剤中反応させて得られる。当該極性溶剤としては、生成するポリアミド酸(1)を溶解するものであれば、種類および使用量は特に限定されないが、N−メチル−2−ピロリドンやジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、クレゾールなど非プロトン性極性溶剤をポリイミド換算固形残分5〜40%で製造するのが好ましい。
本発明で使用されるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)は、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)(以下、単にエポキシ化合物(A)ともいう)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるものである。
かかるエポキシ化合物(A)としては、1分子中に水酸基を1つもつエポキシ化合物であれば、エポキシ基の数は特に限定されない。また、エポキシ化合物(A)としては、分子量が小さいもの程、アルコキシシラン部分縮合物(3)に対する相溶性がよく、耐熱性や密着性付与効果が高いことから、炭素数が15以下のものが好適である。これらのエポキシ化合物の中でも、グリシドールが耐熱性付与効果の点で最も優れており、またアルコキシシラン部分縮合物(B)との反応性も高いため、最適である。
For example, a polyamic acid solution obtained by reacting tetracarboxylic acids and diamines in a polar solvent, usually at −20 ° C. to 60 ° C. can be used. The molecular weight of the polyamic acid (1) is not particularly limited, but preferably has a number average molecular weight of about 3000 to 50000.
The polyamic acid (1) is obtained by reacting the above tetracarboxylic acids and diamines in a polar solvent in the range of (number of moles of tetracarboxylic acids / number of moles of diamines) = 0.9 to 1.1. The polar solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid (1) to be produced, but it is aprotic such as N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, and cresol. The polar solvent is preferably produced with a polyimide-converted solid residue of 5 to 40%.
The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) used in the present invention is composed of an epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule (hereinafter also simply referred to as an epoxy compound (A)) and an alkoxysilane partial condensation. It is obtained by dealcoholization reaction with the product (B).
As the epoxy compound (A), the number of epoxy groups is not particularly limited as long as it is an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule. In addition, as the epoxy compound (A), the smaller the molecular weight, the better the compatibility with the alkoxysilane partial condensate (3), and the higher the heat resistance and adhesion imparting effect. Is preferred. Among these epoxy compounds, glycidol is most excellent in terms of heat resistance imparting effect, and is most suitable because of its high reactivity with the alkoxysilane partial condensate (B).

アルコキシシラン部分縮合物(B)としては、
一般式(1):R1 mSi(OR2(4-m)
(式中、mは0又は1の整数示し、R1は炭素数8以下のアルキル基又はアリール基、R2は炭素数4以下の低級アルキル基を示す。)
で表される加水分解性アルコキシシランモノマーを、酸又は塩基触媒、および水の存在下で加水分解し、部分的に縮合させて得られるものが用いられる。
アルコキシシラン部分縮合物(B)の原料である加水分解性アルコキシシランモノマーの具体的としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン等のテトラアルコキシシラン類、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、イソプロピルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類などが挙げられる。通常、これらのなかでも特に、グリシドールとの反応性が高いことから、アルコキシシラン部分縮合物(B)としてはテトラメトキシシラン又はメチルトリメトキシシランを70モル%以上用いて合成されたものが好ましい。
アルコキシシラン部分縮合物(B)の数平均分子量は230〜2000程度、1分子中のSiの平均個数は2〜11程度であることが好ましい。
As the alkoxysilane partial condensate (B),
Formula (1): R 1 m Si (OR 2 ) (4-m)
(In the formula, m represents an integer of 0 or 1, R 1 represents an alkyl group or aryl group having 8 or less carbon atoms, and R 2 represents a lower alkyl group having 4 or less carbon atoms.)
A hydrolyzable alkoxysilane monomer represented by the formula (1) is hydrolyzed in the presence of an acid or base catalyst and water and partially condensed.
Specific examples of the hydrolyzable alkoxysilane monomer that is a raw material of the alkoxysilane partial condensate (B) include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetrapropoxysilane, methyltrimethoxysilane, and ethyltrimethoxy. Examples include trialkoxysilanes such as silane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, and isopropyltriethoxysilane. Usually, among these, since the reactivity with glycidol is particularly high, the alkoxysilane partial condensate (B) is preferably synthesized using tetramethoxysilane or methyltrimethoxysilane in an amount of 70 mol% or more.
The number average molecular weight of the alkoxysilane partial condensate (B) is preferably about 230 to 2000, and the average number of Si in one molecule is preferably about 2 to 11.

エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)は、エポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)を脱アルコール反応させることにより得られる。エポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との使用割合は、アルコキシ基が実質的に残存するような割合であれば特に制限されないが、得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)中のエポキシ基の割合が、通常は、エポキシ化合物(A)の水酸基の当量/アルコキシシラン縮合物(B)のアルコキシル基の当量=0.01/1〜0.5/1となる仕込み比率で、アルコキシシラン縮合物(B)とエポキシ化合物(A)を脱アルコール反応させることが好ましい。アルコキシシラン部分縮合物(B)とエポキシ化合物(A)の反応は、たとえば、前記各成分を仕込み、加熱して生成するアルコールを留去しながら、脱アルコール反応を行う。反応温度は50〜150℃程度、好ましくは70〜110℃であり、全反応時間は1〜15時間程度である。
アルコキシシラン部分縮合物(B)とエポキシ化合物(A)の脱アルコール反応に際しては、反応促進のために従来公知のエステルと水酸基のエステル交換触媒の内、エポキシ環を開環しないものを使用することができる。たとえば、リチウム、ナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、亜鉛、アルミニウム、チタン、コバルト、ゲルマニウム、錫、硼素、カドミウム、マンガンのような金属や、これら酸化物、有機酸塩、ハロゲン化物、アルコキシド等があげられる。これらのなかでも、特に有機錫、有機酸錫が好ましく、具体的には、ジブチル錫ジラウレート、オクチル酸錫などが有効である。反応は溶剤中で行うこともできる。溶剤としては、アルコキシシラン縮合物とグリシドールを溶解し、且つエポキシ化合物(A)のエポキシ基に対して不活性なものであれば、特に限定されない。このような有機溶剤としては、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、キシレンなどの溶媒を用いるのが好ましい。
The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) is obtained by subjecting the epoxy compound (A) and the alkoxysilane partial condensate (B) to a dealcoholization reaction. The proportion of the epoxy compound (A) and the alkoxysilane partial condensate (B) used is not particularly limited as long as the alkoxy group substantially remains, but the resulting epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate ( 2) The amount of the epoxy group in the mixture is usually such that the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound (A) / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) = 0.01 / 1 to 0.5 / 1. It is preferable to subject the alkoxysilane condensate (B) and the epoxy compound (A) to a dealcoholization reaction at a ratio. In the reaction of the alkoxysilane partial condensate (B) and the epoxy compound (A), for example, a dealcoholization reaction is performed while the above components are charged and alcohol produced by heating is distilled off. The reaction temperature is about 50 to 150 ° C., preferably 70 to 110 ° C., and the total reaction time is about 1 to 15 hours.
In the dealcoholization reaction of the alkoxysilane partial condensate (B) and the epoxy compound (A), use of a conventionally known ester-hydroxyl transesterification catalyst that does not open the epoxy ring in order to accelerate the reaction. Can do. For example, metals such as lithium, sodium, potassium, magnesium, calcium, zinc, aluminum, titanium, cobalt, germanium, tin, boron, cadmium, manganese, oxides, organic acid salts, halides, alkoxides, etc. It is done. Among these, organic tin and organic acid tin are particularly preferable, and specifically, dibutyltin dilaurate and tin octylate are effective. The reaction can also be carried out in a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the alkoxysilane condensate and glycidol and is inert to the epoxy group of the epoxy compound (A). As such an organic solvent, for example, a solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, xylene is preferably used.

アルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸は、前記ポリアミド酸(1)と前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させて得られる。ポリアミド酸(1)とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)の使用割合は、特に制限されないが、(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基の当量)/(ポリアミド酸(1)に使用したテトラカルボン酸類のカルボン酸基の当量)が0.01〜0.4の範囲とするのが好ましい。
上記の反応に際しては、反応促進のために従来公知のエポキシ基とカルボン酸とを反応させる際に使用する触媒を使用することができる。1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノールなどの三級アミン類;2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、ベンズイミダゾールなどのイミダゾール類;トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィンなどの有機ホスフィン類;テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボーレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール・テトラフェニルボーレート、N−メチルモルホリン・テトラフェニルボーレートなどのテトラフェニルボロン塩などをあげることができる。反応触媒はポリアミド酸のポリイミド換算固形残分100質量部に対し、0.01〜5質量部の割合で使用するのが好ましい。
The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid is obtained by reacting the polyamic acid (1) with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). The use ratio of the polyamic acid (1) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) is not particularly limited, but (equivalent of the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2)) / (polyamic acid ( The equivalent of the carboxylic acid group of the tetracarboxylic acids used in 1) is preferably in the range of 0.01 to 0.4.
In the above reaction, a catalyst used for reacting a conventionally known epoxy group with a carboxylic acid for promoting the reaction can be used. Tertiary amines such as 1,8-diaza-bicyclo [5,4,0] -7-undecene, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl) phenol; Imidazoles such as methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 2-heptadecylimidazole and benzimidazole; organic phosphines such as tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine Class: Tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole tetraphenylborate, N-methylmorpholine tetraphenylborate And the like tetraphenyl boron salts and the like. The reaction catalyst is preferably used at a ratio of 0.01 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the polyimide-residue solid residue of the polyamic acid.

反応は、溶剤中で行うことが好ましい。溶剤としては、ポリアミド酸(1)およびエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)を溶解する溶剤であれば特に制限はない。このような溶剤としては、例えば、ポリアミド酸製造時にN−メチル−2−ピロリドンやジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、クレゾールなど非プロトン性極性溶剤使用したものが例示できる。
上記に述べたようにして得られたアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物は、その分子中にアルコキシシラン部分縮合物(B)に由来するアルコキシ基を有している。当該アルコキシ基の含有量は、特に限定はされないが、このアルコキシ基は溶剤の蒸発や加熱処理により、又は水分(湿気)との反応によりゾル−ゲル反応や脱アルコール縮合して、相互に結合した硬化物を形成するために必要となるため、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸は通常、アルコキシシラン部分縮合物(B)のアルコキシ基の50〜95モル%、好ましくは60〜90モル%を未反応のままで保持しておくのが良い。
アルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物を使用する場合、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸樹脂を含有していれば、その他の成分は特に限定されるものではなく、充填剤、離型剤、表面処理剤、難燃剤、粘度調節剤、可塑剤、抗菌剤、防黴剤、レベリング剤、消泡剤、着色剤、安定剤、カップリング剤等を配合してもよい。
本発明において前記シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物からシラン変性ポリイミドが得られるものである。すなわち、シラン変性ポリアミド酸樹脂組成物から、当該組成物を基材にコーティングなどの加工を施した後、150〜500℃程度で硬化させることでシラン変性ポリイミドが得られる。得られるシラン変性ポリイミド(硬化物ともいう)の特性や効果を発揮させるために、本発明の樹脂組成物は特定範囲の低い線膨張係数を有する基材の表面に塗布などして乾燥・硬化し、積層化することが好ましい。
The reaction is preferably performed in a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid (1) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). Examples of such solvents include those using aprotic polar solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, and cresol at the time of polyamic acid production.
The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition obtained as described above has an alkoxy group derived from the alkoxysilane partial condensate (B) in the molecule. The content of the alkoxy group is not particularly limited, but the alkoxy group is bonded to each other by evaporation of a solvent, heat treatment, or sol-gel reaction or dealcoholization condensation by reaction with moisture (humidity). Since it is necessary to form a cured product, the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid is usually 50 to 95 mol%, preferably 60 to 90 mol% of the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate (B). It is better to keep it as it is.
When the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition is used, other components are not particularly limited as long as the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin is contained, and the filler, release agent, surface Treatment agents, flame retardants, viscosity modifiers, plasticizers, antibacterial agents, antifungal agents, leveling agents, antifoaming agents, colorants, stabilizers, coupling agents and the like may be blended.
In the present invention, a silane-modified polyimide is obtained from the silane-modified polyamic acid resin composition. That is, from the silane-modified polyamic acid resin composition, the composition is subjected to processing such as coating on the substrate, and then cured at about 150 to 500 ° C. to obtain a silane-modified polyimide. In order to exhibit the characteristics and effects of the resulting silane-modified polyimide (also referred to as cured product), the resin composition of the present invention is applied to the surface of a substrate having a low linear expansion coefficient in a specific range and dried and cured. It is preferable to laminate.

本発明における特定範囲の低い線膨張係数を有する基材としては、線熱膨張係数(CTE)が0ppm/℃以上20ppm/℃以下の値を有する有機基材もしくは無機基材、例えばシリコンウェハやベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドフィルム(以下(b)層ともいう)が挙げられ、これらの表面に本発明のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物を塗布などして、反りや割れ、剥がれなどが少ない積層体を得ることができる。
本発明のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物の効果がより有効に発揮するのは、有機基材もしくは無機基材が、線熱膨張係数(CTE)が0ppm/℃以上10ppm/℃以下であり、反りや割れ、剥がれなどをより低減した積層体を得ることができる。
上記積層のための方法は、両層の密着に問題が生じなければ、特に限定されるものではなくて、かつ他の層例えば接着剤層などを介することなく密着するものであればよく、例えば、共押し出しによる方法、シリコンウェハやポリイミドフィルム表面上に本発明のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物を流延、乾燥、硬化してシラン変性ポリイミドとする方法、シリコンウェハやポリイミドフィルム表面上にシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物をスプレーコートなどの塗布を行い、乾燥、硬化してシラン変性ポリイミドとする方法などが挙げられる。
Examples of the substrate having a low linear expansion coefficient in a specific range in the present invention include an organic substrate or an inorganic substrate having a linear thermal expansion coefficient (CTE) of 0 ppm / ° C. or more and 20 ppm / ° C. or less, such as a silicon wafer or benzo Examples include polyimide films having a diamine residue having an oxazole skeleton (hereinafter also referred to as layer (b)), and the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is applied to these surfaces to warp, crack, peel off, etc. A laminated body with less can be obtained.
The effect of the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is more effectively exhibited when the organic base material or inorganic base material has a linear thermal expansion coefficient (CTE) of 0 ppm / ° C. or more and 10 ppm / ° C. or less, and warpage. In addition, it is possible to obtain a laminate in which cracking, peeling, and the like are further reduced.
The method for laminating is not particularly limited as long as there is no problem in adhesion between both layers, and any method may be used as long as it adheres without using another layer such as an adhesive layer. , A method by coextrusion, a method in which the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is cast on the surface of a silicon wafer or a polyimide film, dried and cured to obtain a silane-modified polyimide, a silane-modified on the surface of a silicon wafer or a polyimide film Examples thereof include a method in which the polyamic acid resin composition is applied by spray coating or the like, dried and cured to obtain a silane-modified polyimide.

本発明の多層体の構成は、少なくとも(a)層、(b)層が積層されておれば良いが、(b)層上に(a)層が積層されたもの、(a)/(b)/(a)の構成である(b)層の両面に(a)層が積層されたものが好ましい。
本発明の前記多層体における(a)/(b)の厚さの比は特に限定されないが、本発明の主旨からして(a)/(b)の厚さの比(三層構成の場合においても(a)は単層での計算である)は0.001〜0.5であり、より好ましくは0.3以下である。(a)/(b)の厚さの比が0.5を超えると機械的強度が不足したり線膨張係数が大きくなりすぎる場合がある。一方0.001未満の場合、表面特性の改良効果が不足する場合がある。
The multilayer body of the present invention may have at least the (a) layer and the (b) layer laminated, but the (a) layer is laminated on the (b) layer, (a) / (b ) / (A) is preferred in which the (a) layer is laminated on both sides of the (b) layer.
The thickness ratio of (a) / (b) in the multilayer body of the present invention is not particularly limited, but for the purpose of the present invention, the thickness ratio of (a) / (b) (in the case of a three-layer structure) (A) is a calculation in a single layer) is 0.001 to 0.5, more preferably 0.3 or less. If the thickness ratio of (a) / (b) exceeds 0.5, the mechanical strength may be insufficient or the linear expansion coefficient may be too large. On the other hand, if it is less than 0.001, the effect of improving the surface characteristics may be insufficient.

本発明の多層体の厚さは特に限定されないが、フレキシブルプリント回路板の基材として用いる場合は、機械的強度を主に担う(b)層の厚さが3〜50μmであると好適である。
また、本発明における(b)層の一例である、少なくとも芳香族ジアミン類の残基としてベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドフィルムは、優れた引張破断強度と引張弾性率とを有し、線膨張係数も比較的低い値を有するものであるが、より好ましくはこれらの少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、芳香族ジアミン類の残基としてベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドフィルムが、引張破断強度が300MPa以上、引張弾性率が5GPa以上、線膨張係数が1〜5ppm/℃であるフィルムである。
The thickness of the multilayer body of the present invention is not particularly limited, but when used as a substrate of a flexible printed circuit board, it is preferable that the thickness of the layer (b) mainly responsible for mechanical strength is 3 to 50 μm. .
In addition, a polyimide film having a diamine residue having a benzoxazole skeleton as at least an aromatic diamine residue, which is an example of the layer (b) in the present invention, has excellent tensile breaking strength and tensile elastic modulus. The linear expansion coefficient also has a relatively low value, but more preferably has at least a pyromellitic acid residue as a residue of an aromatic tetracarboxylic acid and a benzoxazole skeleton as a residue of an aromatic diamine. A polyimide film having a diamine residue is a film having a tensile breaking strength of 300 MPa or more, a tensile modulus of 5 GPa or more, and a linear expansion coefficient of 1 to 5 ppm / ° C.

引張破断強度、引張弾性率、線膨張係数の測定は下記による。
<ポリイミドフィルムの引張破断強度、引張弾性率の測定>
測定対象のポリイミドフィルムを、MD方向およびTD方向にそれぞれ100mm×10mmの短冊状に切り出したものを試験片とした。引張試験機(島津製作所製、オートグラフ(登録商標)機種名AG−5000A)を用い、引張速度50mm/分、チャック間距離40mmの条件で、MD方向、TD方向それぞれについて、引張弾性率、引張破断強度および引張破断伸度を測定した。
<線膨張係数の測定>
測定対象のポリイミドフィルムなどについて、30℃〜40℃、40℃〜50℃、…と10℃の間隔での伸縮率/温度を測定し、この測定を400℃まで行い、100℃から350℃までの全測定値の平均値をCTE(平均値)として算出した。
装置名 ; MACサイエンス社製TMA4000S
試料長さ ; 10mm
試料幅 ; 2mm
昇温開始温度 ; 25℃
昇温終了温度 ; 400℃
昇温速度 ; 5℃/min
雰囲気 ; アルゴン
Measurements of tensile strength at break, tensile modulus, and linear expansion coefficient are as follows.
<Measurement of tensile strength and tensile modulus of polyimide film>
A test piece was prepared by cutting a polyimide film to be measured into a strip of 100 mm × 10 mm in the MD direction and the TD direction, respectively. Using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corp., Autograph (registered trademark) model name AG-5000A) under the conditions of a tensile speed of 50 mm / min and a distance between chucks of 40 mm, the tensile modulus and tension in each of the MD and TD directions. The breaking strength and tensile breaking elongation were measured.
<Measurement of linear expansion coefficient>
For polyimide films to be measured, etc., the stretch rate / temperature at intervals of 30 ° C. to 40 ° C., 40 ° C. to 50 ° C.,... And 10 ° C. is measured. The average value of all measured values was calculated as CTE (average value).
Device name: TMA4000S manufactured by MAC Science
Sample length; 10mm
Sample width: 2 mm
Temperature rise start temperature: 25 ° C
Temperature rising end temperature: 400 ° C
Temperature increase rate: 5 ° C / min
Atmosphere: Argon

本発明の多層ポリイミドフィルムにおける(a)層、(b)層には、滑剤をポリイミド中に添加含有せしめるなどして層(フィルム)表面に微細な凹凸を付与しフィルムの滑り性などを改善することが好ましい。
滑剤としては、無機や有機の0.03μm〜3μm程度の平均粒子径を有する微粒子が使用でき、具体例として、酸化チタン、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、燐酸水素カルシウム、ピロ燐酸カルシウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、粘土鉱物などが挙げられる。
本発明においては得られた多層ポリイミドフィルムの表面(特に(a)の表面)を、コロナ処理、大気圧プラズマ処理、真空プラズマ放電処理することは、更なる接着力を高めるために好ましい実施態様である。
大気圧プラズマ処理は好ましくは不活性ガスプラズマであり、不活性ガスとしては窒素ガス、Ne、Ar、Kr、Xeが用いられる。プラズマを発生させる方法に格別な制限はなく、不活性気体をプラズマ発生装置内に導入し、プラズマを発生させればよい。プラズマ処理に要する時間は特に限定されず、通常1秒〜30分、好ましくは10秒〜10分である。プラズマ処理時のプラズマの周波数と出力、プラズマ発生のためのガス圧、処理温度に関しても格別な制限はなく、プラズマ処理装置で扱える範囲であれば良い。周波数は通常13.56MHz、出力は通常50W〜1000W、ガス圧は通常0.01Pa〜10Pa、温度は、通常20℃〜250℃、好ましくは20℃〜180℃である。出力が高すぎるとフィルム表面に亀裂の入るおそれがある。また、ガス圧が高すぎるとフィルム表面の平滑性が低下するおそれがある。
In the multilayer polyimide film of the present invention, the layer (a) and the layer (b) are provided with a lubricant in the polyimide to give fine irregularities on the surface of the layer (film), thereby improving the slipperiness of the film. It is preferable.
As the lubricant, inorganic or organic fine particles having an average particle diameter of about 0.03 μm to 3 μm can be used. Specific examples include titanium oxide, alumina, silica, calcium carbonate, calcium phosphate, calcium hydrogen phosphate, calcium pyrophosphate, Examples include magnesium oxide, calcium oxide, and clay minerals.
In the present invention, the surface of the obtained multilayer polyimide film (particularly the surface of (a)) is preferably subjected to corona treatment, atmospheric pressure plasma treatment and vacuum plasma discharge treatment in order to further increase the adhesive force. is there.
The atmospheric pressure plasma treatment is preferably an inert gas plasma, and nitrogen gas, Ne, Ar, Kr, or Xe is used as the inert gas. There is no particular limitation on the method for generating plasma, and an inert gas may be introduced into the plasma generator to generate plasma. The time required for the plasma treatment is not particularly limited, and is usually 1 second to 30 minutes, preferably 10 seconds to 10 minutes. There are no particular restrictions on the frequency and output of the plasma during the plasma processing, the gas pressure for generating the plasma, and the processing temperature as long as they can be handled by the plasma processing apparatus. The frequency is usually 13.56 MHz, the output is usually 50 W to 1000 W, the gas pressure is usually 0.01 Pa to 10 Pa, and the temperature is usually 20 ° C. to 250 ° C., preferably 20 ° C. to 180 ° C. If the output is too high, the film surface may crack. If the gas pressure is too high, the smoothness of the film surface may be reduced.

以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。なお、実施例などでの評価、測定は前記したもの以外は下記による。また適宜実施例などの記述において記載する。
1.ポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)
ポリマー濃度が0.2g/dlとなるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解した溶液をウベローデ型の粘度管により30℃で測定した。
2.フィルムの厚さ
マイクロメーター(ファインリューフ社製、ミリトロン(登録商標)1254D)を用いて測定した。
3.剥離強度
(多層フィルムの剥離強度)
測定対象の多層フィルムを、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。測定は、JIS C6418に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ(登録商標)機種名AG−5000A)を用いて行った。
(金属化フィルムの剥離強度)
測定対象の金属化フィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。測定は、JIS C6418に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ(登録商標)機種名AG−5000A)を用いて行った。
4.塗膜の付着性
測定対象の塗膜の付着性を碁盤目試験による残膜率で評価した。碁盤目試験は、総数100マス(1マス;1mm幅)の碁盤目に対してJIS K5600の試験方法に準じて実施した。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited by these Examples. In addition, evaluation and measurement in Examples and the like are as follows except for those described above. In addition, it is appropriately described in the description of examples and the like.
1. Reduced viscosity of polyamic acid (ηsp / C)
A solution dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so that the polymer concentration was 0.2 g / dl was measured at 30 ° C. using an Ubbelohde type viscosity tube.
2. Film thickness The film thickness was measured using a micrometer (Finereuf, Millitron (registered trademark) 1254D).
3. Peel strength (peel strength of multilayer film)
The peel strength was defined as the strength required when the multilayer film to be measured was peeled off in the 90-degree direction. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (registered trademark) model name AG-5000A) according to JIS C6418.
(Peeling strength of metallized film)
After the metallized film to be measured was processed into a TAB tape pattern with a wiring width of 90 μm, the peel strength was defined as the strength required when peeled off in the 90 ° direction. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (registered trademark) model name AG-5000A) according to JIS C6418.
4). Adhesiveness of the coating film The adhesiveness of the coating film to be measured was evaluated based on the residual film ratio by a cross-cut test. The cross cut test was carried out according to the test method of JIS K5600 on a cross cut of a total of 100 squares (1 square; 1 mm width).

〔ポリアミド酸(イ)の重合〕
<ベンゾオキサゾール構造を有するジアミンからなるポリアミド酸の重合>
窒素導入管,温度計,攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール500質量部を仕込んだ。次いで、N−メチル−2−ピロリドン9000質量部を加えて完全に溶解させた後,ピロメリット酸二無水物485質量部を加え,25℃の反応温度で48時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(イ)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは4.2dl/gであった。
[Polymerization of polyamic acid (a)]
<Polymerization of a polyamic acid composed of a diamine having a benzoxazole structure>
The inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, and then 500 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole was charged. Next, 9000 parts by mass of N-methyl-2-pyrrolidone was added and completely dissolved, and then 485 parts by mass of pyromellitic dianhydride was added and stirred at a reaction temperature of 25 ° C. for 48 hours. A polyamic acid solution (I) was obtained. Ηsp / C of the obtained solution was 4.2 dl / g.

〔シラン変性ポリアミド酸(ロ)の重合〕
攪拌機、分水器、温度計および窒素ガス導入管を備えた反応装置に、グリシドール(日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」)1400質量部およびテトラメトキシシラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「メチルシリケート51」、Siの平均個数が4)4478.9質量部を仕込み、窒素気流下、ジブチル錫ジラウレートを1.1質量部加え反応させた。反応中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、その量が約580質量部に達した時点で冷却した。昇温後冷却までに要した時間は6時間であった。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存するメタノール約30質量部を減圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を得た。
なお、仕込み時のエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基(当量比)=0.20、エポキシ当量は279g/eqである。
窒素導入管,温度計,攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール500質量部を仕込んだ。次いで、N−メチル−2−ピロリドン9000質量部を加えて完全に溶解させた後,ピロメリット酸二無水物485質量部を加え,25℃の反応温度で48時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液が得られた。得られた溶液のηsp/Cは4.2dl/gであった。
次に、80℃まで昇温し、上記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物324質量部を加え、80℃で9時間攪拌し、シラン変性ポリアミド酸(ロ)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミド酸に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.52であった。
[Polymerization of silane-modified polyamic acid (b)]
In a reactor equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer, and a nitrogen gas introduction pipe, 1400 parts by mass of glycidol (manufactured by NOF Corporation, trade name “Epiol OH”) and a tetramethoxysilane partial condensate (Tama Chemical ( Co., Ltd., trade name “Methyl silicate 51”, Si having an average number of 4) of 4478.9 parts by mass, and 1.1 parts by mass of dibutyltin dilaurate was added and reacted under a nitrogen stream. During the reaction, methanol produced using a water separator was distilled off, and the reaction was cooled when the amount reached about 580 parts by mass. The time required for cooling after raising the temperature was 6 hours. Subsequently, about 30 parts by mass of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. In this way, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was obtained.
In addition, the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound at the time of preparation / the alkoxy group of the alkoxysilane partial condensate (equivalent ratio) = 0.20, and the epoxy equivalent is 279 g / eq.
The inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, and then 500 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole was charged. Next, 9000 parts by mass of N-methyl-2-pyrrolidone was added and completely dissolved, and then 485 parts by mass of pyromellitic dianhydride was added and stirred at a reaction temperature of 25 ° C. for 48 hours. A polyamic acid solution was obtained. Ηsp / C of the obtained solution was 4.2 dl / g.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 324 parts by mass of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 9 hours to obtain a silane-modified polyamic acid (B). (Equivalent epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid) = 0.52.

〔シラン変性ポリアミド酸(ハ)の重合〕
攪拌機、分水器、温度計および窒素ガス導入管を備えた反応装置に、グリシドール(日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」)1400質量部およびテトラメトキシシラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「メチルシリケート51」、Siの平均個数が4)4478.9質量部を仕込み、窒素気流下、ジブチル錫ジラウレートを1.1質量部加え反応させた。反応中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、その量が約580質量部に達した時点で冷却した。昇温後冷却までに要した時間は6時間であった。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存するメタノール約30質量部を減圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物を得た。
なお、仕込み時のエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン部分縮合物のアルコキシ基(当量比)=0.20、エポキシ当量は279g/eqであった。
別途、窒素導入管,温度計,攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、ピロメリット酸無水物545質量部、4,4’ジアミノジフェニルエーテル500質量部を9000質量部のジメチルアセトアミドとを仕込んだ。20℃の反応温度で48時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液が得られた。得られた溶液のηsp/Cは2.5dl/gであった。
次に、80℃まで昇温し、上記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物324質量部を加え、80℃で9時間攪拌し、シラン変性ポリアミド酸(ハ)を得た。(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物のエポキシ基の当量/ポリアミド酸に使用したテトラカルボン酸二無水物(A)のモル数)=0.54であった。
[Polymerization of silane-modified polyamic acid (c)]
In a reactor equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer, and a nitrogen gas introduction pipe, 1400 parts by mass of glycidol (manufactured by NOF Corporation, trade name “Epiol OH”) and a tetramethoxysilane partial condensate (Tama Chemical ( Co., Ltd., trade name “Methyl silicate 51”, Si having an average number of 4) of 4478.9 parts by mass, and 1.1 parts by mass of dibutyltin dilaurate was added and reacted under a nitrogen stream. During the reaction, methanol produced using a water separator was distilled off, and the reaction was cooled when the amount reached about 580 parts by mass. The time required for cooling after raising the temperature was 6 hours. Subsequently, about 30 parts by mass of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. In this way, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was obtained.
In addition, the hydroxyl group equivalent of the epoxy compound at the time of preparation / the alkoxy group (equivalent ratio) of the alkoxysilane partial condensate = 0.20, and the epoxy equivalent was 279 g / eq.
Separately, the inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, and then 545 parts by mass of pyromellitic acid anhydride, 500 parts by mass of 4,4′diaminodiphenyl ether and 9000 parts by mass of dimethylacetamide were added. Prepared. After stirring for 48 hours at a reaction temperature of 20 ° C., a pale yellow and viscous polyamic acid solution was obtained. The solution obtained had a ηsp / C of 2.5 dl / g.
Next, the temperature was raised to 80 ° C., 324 parts by mass of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate was added, and the mixture was stirred at 80 ° C. for 9 hours to obtain a silane-modified polyamide acid (C). (Equivalent epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate / number of moles of tetracarboxylic dianhydride (A) used for polyamic acid) = 0.54.

(実施例1)
(b)層として上記のポリアミド酸溶液(イ)、(a)層としてシラン変性ポリアミド酸(ロ)を共押出しT型ダイを用いてステンレスベルト上にコーティングした。ダイのリップギャップは(a)層150μm、(b)層500μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ40μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルムともいう)を得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ25μmの褐色のポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムを500mm幅にスリットして多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、0.1/1である。得られた多層フィルムをエポキシ樹脂に包埋し、フィルム断面が観察できるようにミクロトームで切断し走査型電子顕微鏡にて断面を観察した。断面の電子顕微鏡画像においては組成の異なる層の境目が縞状に観察でき、その厚さの比率は塗布厚から求めた厚さの比率と一致していた。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ25μmの褐色のポリイミドフィルムを500mm幅にスリットした。
測定対象の多層ポリイミドフィルムを90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。測定は、JIS C6418に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ(登録商標)機種名AG−5000A)を用いて行った。
上記フィルムを連続式スパッタ装置に装着し、周波数13.56MHz、出力400W、ガス圧0.8Paの条件、ニッケル−クロム(クロム含有量10%)合金のターゲットを用い、キセノン雰囲気下にてRFスパッタ法により、10Å/秒のレートで厚さ50Åのニッケル−クロム合金被膜を形成した。次いで、100Å/秒のレートで銅を蒸着し、厚さ0.3μmの銅薄膜を形成させた。その後、このフィルムを250mm×400mmに切り出し、プラスチック製の枠に固定し直し、硫酸銅めっき浴を用いて、厚さ5μmの厚付け銅メッキ層を上記銅薄膜上に形成して、金属化ポリイミドフィルムを得た。
測定対象の金属化ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。測定は、JIS C6418に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ(登録商標)機種名AG−5000A)を用いて行った。
多層フィルムの物性、金属化ポリイミドフィルムの評価を表1、表2に示す。
なお、ポリアミド酸溶液(イ)だけを使用して単層フィルムを同様にしてポリイミドフィルムを製造した、その線膨張係数は、1.5ppm/℃であり、引張破断強度が390MPa、引張弾性率が6.8GPaであった。
Example 1
(B) The above-mentioned polyamic acid solution (a) as a layer and silane-modified polyamic acid (b) as a layer (a) were coextruded and coated on a stainless steel belt using a T-type die. The lip gap of the die was (a) layer 150 μm and (b) layer 500 μm. Next, the polyamic acid film having self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled off from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (also referred to as a green film) having a thickness of 40 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained. This polyimide film was slit to a width of 500 mm to obtain a multilayer polyimide film. The thickness ratio of (a) / (b) in this multilayer polyimide film is 0.1 / 1. The obtained multilayer film was embedded in an epoxy resin, cut with a microtome so that the film cross section could be observed, and the cross section was observed with a scanning electron microscope. In the electron microscopic image of the cross section, the boundary between the layers having different compositions could be observed in a striped manner, and the thickness ratio coincided with the thickness ratio obtained from the coating thickness.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide film having a thickness of 25 μm was slit into a width of 500 mm.
The peel strength was defined as the strength required when the multilayer polyimide film to be measured was peeled off in the 90-degree direction. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (registered trademark) model name AG-5000A) according to JIS C6418.
The above-mentioned film is mounted on a continuous sputtering apparatus, using a target of a frequency of 13.56 MHz, an output of 400 W, a gas pressure of 0.8 Pa, a nickel-chromium (chromium content 10%) alloy, and RF sputtering in a xenon atmosphere. By the method, a nickel-chromium alloy film having a thickness of 50 mm was formed at a rate of 10 mm / sec. Subsequently, copper was vapor-deposited at a rate of 100 liters / second to form a copper thin film having a thickness of 0.3 μm. Thereafter, this film is cut out to 250 mm × 400 mm, fixed to a plastic frame, and a thick copper plating layer having a thickness of 5 μm is formed on the copper thin film using a copper sulfate plating bath. A film was obtained.
After the metallized polyimide film to be measured was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the peel strength was defined as the strength required when peeled off in the 90 ° direction. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (registered trademark) model name AG-5000A) according to JIS C6418.
Tables 1 and 2 show the physical properties of the multilayer film and the evaluation of the metallized polyimide film.
In addition, the polyimide film was similarly manufactured using the polyamic-acid solution (I) similarly to the single layer film, The linear expansion coefficient is 1.5 ppm / degrees C, Tensile breaking strength is 390 MPa, Tensile modulus is It was 6.8 GPa.

(比較例1)
上記のポリアミド酸溶液(イ)とシラン変性ポリアミド酸(ハ)をそれぞれ実施例2と同様にして、ステンレスベルトに共押出しT型ダイを用いてコーティングした。ダイのリップギャップはスキン層150μm、コア層500μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ40μmのグリーンフィルムを得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ25μmの褐色のポリイミドベンゾオキサゾールフィルムを得た。このポリイミドベンゾオキサゾールフィルムを500mm幅にスリットして多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、0.1/1である。得られた多層フィルムをエポキシ樹脂に包埋し、フィルム断面が観察できるようにミクロトームで切断し走査型電子顕微鏡にて断面を観察した。断面の電子顕微鏡画像においては組成の異なる層の境目が縞状に観察でき、その厚さの比率は塗布厚から求めた厚さの比率とほぼ一致していた。
上記フィルムを連続式スパッタ装置に装着し、周波数13.56MHz、出力400W、ガス圧0.8Paの条件、ニッケル−クロム(クロム含有量10%)合金のターゲットを用い、キセノン雰囲気下にてRFスパッタ法により、10Å/秒のレートで厚さ50Åのニッケル−クロム合金被膜を形成した。次いで、100Å/秒のレートで銅を蒸着し、厚さ0.3μmの銅薄膜を形成させた。その後、このフィルムを250mm×400mmに切り出し、プラスチック製の枠に固定し直し、硫酸銅めっき浴を用いて、厚さ5μmの厚付け銅メッキ層を上記銅薄膜上に形成して、金属化ポリイミドフィルムを得た。
多層フィルムの物性、金属化ポリイミドフィルムの評価を表1、表2に示す。
(Comparative Example 1)
The above-mentioned polyamic acid solution (I) and silane-modified polyamic acid (C) were coated on a stainless steel belt in the same manner as in Example 2 and coated using a T-die. The die lip gap was 150 μm skin layer and 500 μm core layer. Next, the polyamic acid film having self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled from the stainless steel belt to obtain a green film having a thickness of 40 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide benzoxazole film having a thickness of 25 μm was obtained. This polyimide benzoxazole film was slit to a width of 500 mm to obtain a multilayer polyimide film. The thickness ratio of (a) / (b) in this multilayer polyimide film is 0.1 / 1. The obtained multilayer film was embedded in an epoxy resin, cut with a microtome so that the film cross section could be observed, and the cross section was observed with a scanning electron microscope. In the electron microscopic image of the cross section, the boundary between the layers having different compositions can be observed in a striped pattern, and the thickness ratio is almost the same as the thickness ratio obtained from the coating thickness.
The above-mentioned film is mounted on a continuous sputtering apparatus, using a target of a frequency of 13.56 MHz, an output of 400 W, a gas pressure of 0.8 Pa, a nickel-chromium (chromium content 10%) alloy, and RF sputtering in a xenon atmosphere. By the method, a nickel-chromium alloy film having a thickness of 50 mm was formed at a rate of 10 mm / sec. Subsequently, copper was vapor-deposited at a rate of 100 liters / second to form a copper thin film having a thickness of 0.3 μm. Thereafter, this film is cut out to 250 mm × 400 mm, fixed to a plastic frame, and a thick copper plating layer having a thickness of 5 μm is formed on the copper thin film using a copper sulfate plating bath. A film was obtained.
Tables 1 and 2 show the physical properties of the multilayer film and the evaluation of the metallized polyimide film.

(実施例2)
上記のポリアミド酸溶液(ロ)をスピンコーターでシリコンウェハ上に回転塗布し、ホットプレートを用いて120℃で5分間乾燥を行い、さらに、200℃で30分間、400℃で60分間の熱処理を行い、ポリイミドの膜を得た。
この膜に対して碁盤目試験を実施した結果を表3に示す。
(比較例2)
上記のポリアミド酸溶液(ハ)をスピンコーターでシリコンウェハ上に回転塗布し、ホットプレートを用いて120℃で5分間乾燥を行い、さらに、200℃で30分間、400℃で60分間の熱処理を行い、ポリイミドの膜を得た。
この膜に対して碁盤目試験を実施した結果を表3に示す。
(Example 2)
The above polyamic acid solution (b) is spin-coated on a silicon wafer with a spin coater, dried at 120 ° C. for 5 minutes using a hot plate, and further subjected to heat treatment at 200 ° C. for 30 minutes and at 400 ° C. for 60 minutes. And a polyimide film was obtained.
Table 3 shows the results of a cross-cut test performed on this film.
(Comparative Example 2)
The above polyamic acid solution (c) is spin-coated on a silicon wafer with a spin coater, dried at 120 ° C. for 5 minutes using a hot plate, and further subjected to heat treatment at 200 ° C. for 30 minutes and at 400 ° C. for 60 minutes. And a polyimide film was obtained.
Table 3 shows the results of a cross-cut test performed on this film.

(多層フィルムの物性)

Figure 2007106836
(Physical properties of multilayer film)
Figure 2007106836

(金属化ポリイミドフィルムの評価)

Figure 2007106836
(Evaluation of metallized polyimide film)
Figure 2007106836

Figure 2007106836
Figure 2007106836

以上述べてきたように、本発明のベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリアミド酸(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸、および極性溶剤を含有するシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物は、耐熱性、機械的強度、絶縁性に優れ、透明なポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を提供することができる。この樹脂組成物を乾燥、硬化して得られるシラン変性ポリイミドの層と特定範囲の低い線膨張係数を持つ基板やフィルム基材とを積層した積層体は、両者の接合性が優れ、そり、割れ、剥がれ等を生じず、例えば、フレキシブルプリント基板などにおける積層材として極めて有用である。   As described above, the polyamic acid (1) having a diamine residue having a benzoxazole skeleton of the present invention, an epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule, and an alkoxysilane partial condensate (B) The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) obtained by dealcoholization reaction with silane-modified polyamic acid resin composition containing a polar solvent is heat resistant. Further, a transparent polyimide-silica hybrid cured product having excellent mechanical strength and insulating properties can be provided. A laminate in which a layer of a silane-modified polyimide obtained by drying and curing this resin composition and a substrate or film base material having a low linear expansion coefficient in a specific range has excellent bondability between them, warping, cracking For example, it is extremely useful as a laminated material in a flexible printed circuit board and the like without causing peeling.

Claims (4)

ベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリアミド酸(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミド酸、および極性溶剤を含有することを特徴とするシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。   Epoxy group obtained by dealcoholization reaction of polyamic acid (1) having diamine residue having benzoxazole skeleton, epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule and alkoxysilane partial condensate (B) A silane-modified polyamic acid resin composition comprising an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting the containing alkoxysilane partial condensate (2) and a polar solvent. 線熱膨張係数(CTE)が0ppm/℃以上20ppm/℃以下の値を有する有機基材もしくは無機基材の表面に塗布して使用される請求項1に記載のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。   The silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1, wherein the silane-modified polyamic acid resin composition is used by being applied to the surface of an organic substrate or an inorganic substrate having a linear thermal expansion coefficient (CTE) of 0 ppm / ° C or more and 20 ppm / ° C or less. シリコンウェハの表面に塗布して使用される請求項1に記載のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。   The silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1, wherein the silane-modified polyamic acid resin composition is used by being applied to the surface of a silicon wafer. ベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドフィルムの表面に塗布して使用される請求項1に記載のシラン変性ポリアミド酸樹脂組成物。   The silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1, wherein the silane-modified polyamic acid resin composition is used by being applied to the surface of a polyimide film having a diamine residue having a benzoxazole skeleton.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010266477A (en) * 2009-05-12 2010-11-25 Jsr Corp Liquid crystal aligner and liquid crystal display element
WO2011142363A1 (en) * 2010-05-10 2011-11-17 イビデン株式会社 Hybrid material and method for producing same
CN108912968A (en) * 2018-08-20 2018-11-30 无锡创彩光学材料有限公司 A kind of imitation wood composite paint and preparation method thereof
CN111808306A (en) * 2020-06-16 2020-10-23 浙江中科玖源新材料有限公司 Polyimide film with low thermal expansion coefficient and preparation method thereof

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11505184A (en) * 1995-05-09 1999-05-18 ザ ダウ ケミカル カンパニー Printed wiring board having polyimide benzoxazole dielectric layer and its manufacture
JP2002293933A (en) * 2001-01-24 2002-10-09 Arakawa Chem Ind Co Ltd Alkoxy group-containing silane modified polyamic acid resin composition and polyimide-silica hybrid cured material
JP2003200527A (en) * 2001-11-01 2003-07-15 Arakawa Chem Ind Co Ltd Metal foil laminate and double-side metal foil laminate
JP2004059697A (en) * 2002-07-26 2004-02-26 Arakawa Chem Ind Co Ltd Resin composition for coating and circuit board of metal foil laminate
JP2005132904A (en) * 2003-10-29 2005-05-26 Toyobo Co Ltd Method for producing precursor of polyimidobenzoxazole

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11505184A (en) * 1995-05-09 1999-05-18 ザ ダウ ケミカル カンパニー Printed wiring board having polyimide benzoxazole dielectric layer and its manufacture
JP2002293933A (en) * 2001-01-24 2002-10-09 Arakawa Chem Ind Co Ltd Alkoxy group-containing silane modified polyamic acid resin composition and polyimide-silica hybrid cured material
JP2003200527A (en) * 2001-11-01 2003-07-15 Arakawa Chem Ind Co Ltd Metal foil laminate and double-side metal foil laminate
JP2004059697A (en) * 2002-07-26 2004-02-26 Arakawa Chem Ind Co Ltd Resin composition for coating and circuit board of metal foil laminate
JP2005132904A (en) * 2003-10-29 2005-05-26 Toyobo Co Ltd Method for producing precursor of polyimidobenzoxazole

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010266477A (en) * 2009-05-12 2010-11-25 Jsr Corp Liquid crystal aligner and liquid crystal display element
WO2011142363A1 (en) * 2010-05-10 2011-11-17 イビデン株式会社 Hybrid material and method for producing same
JPWO2011142363A1 (en) * 2010-05-10 2013-07-22 イビデン株式会社 Hybrid material and manufacturing method thereof
JP5749714B2 (en) * 2010-05-10 2015-07-15 イビデン株式会社 Hybrid material and manufacturing method thereof
CN108912968A (en) * 2018-08-20 2018-11-30 无锡创彩光学材料有限公司 A kind of imitation wood composite paint and preparation method thereof
CN111808306A (en) * 2020-06-16 2020-10-23 浙江中科玖源新材料有限公司 Polyimide film with low thermal expansion coefficient and preparation method thereof
CN111808306B (en) * 2020-06-16 2023-04-07 浙江中科玖源新材料有限公司 Polyimide film with low thermal expansion coefficient and preparation method thereof

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