JP2002293933A - Alkoxy group-containing silane modified polyamic acid resin composition and polyimide-silica hybrid cured material - Google Patents

Alkoxy group-containing silane modified polyamic acid resin composition and polyimide-silica hybrid cured material

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JP2002293933A
JP2002293933A JP2001238729A JP2001238729A JP2002293933A JP 2002293933 A JP2002293933 A JP 2002293933A JP 2001238729 A JP2001238729 A JP 2001238729A JP 2001238729 A JP2001238729 A JP 2001238729A JP 2002293933 A JP2002293933 A JP 2002293933A
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resin composition
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modified polyamic
partial condensate
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秀樹 合田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an alkoxy group-containing silane modified polyamide acid resin composition capable of providing a cured material having excellent mechanical strength and heat resistance, and a transparent polyimide-silica hybrid cured material having excellent heat resistance, mechanical strength and insulation properties and causing no warpage, nor crack. SOLUTION: This silane modified polyamic acid resin composition is characterized by comprising an alkoxy group-containing silane modified polyamide acid resin obtained by reacting a polyamic acid with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate prepared by subjecting an epoxy compound containing one hydroxy group in one molecule and an alkoxysilane partial condensate to a dealcoholization reaction and a polar solvent.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はアルコキシ基含有シ
ラン変性ポリアミック酸および溶剤を含有するシラン変
性ポリアミック酸樹脂組成物、その半硬化物、ならびに
ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に関する。特
に、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミック酸を含有
するシラン変性ポリアミック酸樹脂組成物は、コーティ
ング、含浸、フィルム成形などの手法を用いて、電気絶
縁用樹脂組成物および電気絶縁材料として、また耐熱接
着剤や耐熱コーティング剤として使用することが出来
る。
The present invention relates to a silane-modified polyamic acid resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid and a solvent, a semi-cured product thereof, and a polyimide-silica hybrid cured product. In particular, a silane-modified polyamic acid resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid can be used as a resin composition for electrical insulation and an electrical insulation material using techniques such as coating, impregnation, and film forming, and as a heat-resistant adhesive. And heat-resistant coating agents.

【0002】すなわち、本発明のアルコキシ基含有シラ
ン変性ポリアミック酸樹脂組成物や当該樹脂組成物をコ
ーティング、含浸、フィルム成形等を行って得られるポ
リイミド−シリカハイブリッド硬化物は、プリント基板
用銅張り板やビルドアッププリント基板用層間絶縁材
料、半導体の層間絶縁膜、ソルダーレジストなどのレジ
ストインキ、導電ペースト、TABテープ等の電子材料
の他、液晶配向膜など液晶部品、電線被覆剤として電気
絶縁用途に有用である。また本発明のアルコキシ基含有
シラン変性ポリアミック酸樹脂組成物はプリント基板用
接着剤などの耐熱接着剤や、金属塗料等や耐熱コーティ
ング剤としても有用である。
That is, an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention and a polyimide-silica hybrid cured product obtained by coating, impregnating, film forming, etc. the resin composition are used for a copper-clad board for a printed circuit board. Insulating material for liquid crystal components such as liquid crystal alignment film, electric wire coating agent, as well as electronic materials such as interlayer insulating material for PCB and build-up printed circuit board, interlayer insulating film of semiconductor, resist ink such as solder resist, conductive paste, TAB tape, etc. Useful. Further, the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is also useful as a heat-resistant adhesive such as an adhesive for printed circuit boards, a metal paint, or a heat-resistant coating agent.

【0003】[0003]

【従来の技術】ポリイミド樹脂は、一般に芳香族テトラ
カルボン酸無水物と芳香族ジアミンを原料とし、これら
を縮合反応して合成されるポリアミック酸を閉環反応し
て得られる。このようなポリイミド樹脂は、耐熱性や電
気的性質が優れ、しかも柔軟性があるため、従来より、
耐熱性材料や絶縁性材料として、フィルム、コーティン
グ剤等の各種形態で、電子材料、液晶、接着剤、塗料な
どの分野で幅広く用いられている。
2. Description of the Related Art Polyimide resins are generally obtained by subjecting an aromatic tetracarboxylic anhydride and an aromatic diamine as raw materials to a ring-closing reaction of a polyamic acid synthesized by a condensation reaction thereof. Such a polyimide resin has excellent heat resistance and electrical properties, and is flexible, so that,
As a heat-resistant material or an insulating material, it is widely used in various forms such as films and coating agents in the fields of electronic materials, liquid crystals, adhesives, and paints.

【0004】しかしながら、電子材料分野など各分野に
おける近年の発展に伴い、当該分野で用いるポリイミド
に対して、より高水準の機械的強度、低熱膨張性、絶縁
性、高密着性などが要求されるようになっている。
However, with recent developments in various fields such as the field of electronic materials, polyimides used in the field are required to have higher levels of mechanical strength, low thermal expansion, insulation, and high adhesion. It has become.

【0005】ポリイミド系重合体に一層優れた機械的強
度、低熱膨張性を付与する目的で、一般的には充填材な
どが適宜に添加されるが、これら組成物では弾性率など
機械的強度が若干向上するものの十分ではなく、却って
得られる皮膜は脆くなって柔軟性や密着性が低下する傾
向にある。
In order to impart more excellent mechanical strength and low thermal expansion to the polyimide-based polymer, a filler or the like is generally added as appropriate. However, these compositions have poor mechanical strength such as elastic modulus. Although it is slightly improved, it is not sufficient. On the contrary, the obtained film tends to be brittle, and the flexibility and adhesion tend to be reduced.

【0006】また、特開昭62−283153号公報、
特開昭63−99234号公報、特開昭63−9923
5号公報、特開昭63−99236号公報などには、ア
ルコキシシランをポリアミック酸溶液に混合して得られ
るシリカハイブリッド材料が提案されている。しかしな
がら、これらの材料から得られる皮膜では、シリカが当
該皮膜中に十分には分散しておらず、そのため皮膜が白
化したり、そりを生じたり、また弾性率など力学強度や
耐熱性の向上も不十分である。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-283153,
JP-A-63-99234, JP-A-63-9923
No. 5, JP-A-63-99236 and the like propose a silica hybrid material obtained by mixing an alkoxysilane with a polyamic acid solution. However, in the coatings obtained from these materials, silica is not sufficiently dispersed in the coatings, so that the coatings are whitened or warped, and the mechanical strength such as the elastic modulus and the heat resistance are also improved. Not enough.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、力学強度、
耐熱性に優れた硬化物を収得しうるアルコキシ基含有シ
ラン変性ポリアミック酸樹脂組成物を提供する事を目的
とする。またこのアルコキシ基含有シラン変性ポリアミ
ック酸を使用することにより、耐熱性、力学強度、絶縁
性に優れ、しかもそり、割れ等を生じず、透明なポリイ
ミド−シリカハイブリッド硬化物を得ることが出来る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a mechanical strength,
An object of the present invention is to provide an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition capable of obtaining a cured product having excellent heat resistance. In addition, by using the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid, a transparent cured polyimide-silica hybrid material having excellent heat resistance, mechanical strength, and insulating properties, without causing warpage, cracking, and the like can be obtained.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは前記課題を
解決すべく、鋭意検討を重ねた結果、ポリアミック酸
(1)のカルボキシル基の一部をエポキシ基含有アルコ
キシシラン部分縮合物(2)と反応させて得られるアル
コキシ基含有シラン変性ポリアミック酸を含有する樹脂
組成物を用いることにより、前記目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに到った。
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that a part of the carboxyl groups of the polyamic acid (1) is partially condensed with an epoxy-containing alkoxysilane (2). The present inventors have found that the above-mentioned object can be achieved by using a resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting with the above), and completed the present invention.

【0009】すなわち、本発明は、ポリアミック酸
(1)と、1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ化合
物(A)とアルコキシシラン部分縮合物(B)との脱ア
ルコール反応によって得られるエポキシ基含有アルコキ
シシラン部分縮合物(2)とを反応させてなるアルコキ
シ基含有シラン変性ポリアミック酸、および極性溶剤を
含有することを特徴とするシラン変性ポリアミック酸樹
脂組成物;該シラン変性ポリアミック酸樹脂組成物を基
材に塗布または含浸したものを、150〜500℃の温
度で、乾燥、硬化して得られるポリイミド−シリカハイ
ブリッド硬化物;該シラン変性ポリアミック酸樹脂組成
物を基材に塗布し、150℃未満の温度で、乾燥、硬化
して得られるポリアミック酸−シリカ半硬化物;該ポリ
アミック酸−シリカ半硬化物を150〜500℃の温度
で、硬化して得られるポリイミド−シリカハイブリッド
硬化物;該アルコキシ基含有シラン変性ポリアミック酸
を含有する電気絶縁用樹脂組成物;該電気絶縁用樹脂組
成物から得られる電気絶縁材料;該アルコキシ基含有シ
ラン変性ポリアミック酸を含有する耐熱接着剤;該アル
コキシ基含有シラン変性ポリアミック酸を含有するコー
ティング剤に関する。
That is, the present invention provides an epoxy group-containing compound obtained by a dealcoholation reaction between a polyamic acid (1), an epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule, and an alkoxysilane partial condensate (B). A silane-modified polyamic acid resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting with an alkoxysilane partial condensate (2) and a polar solvent; A polyimide-silica hybrid cured product obtained by drying and curing a substance applied or impregnated on a substrate at a temperature of 150 to 500 ° C; applying the silane-modified polyamic acid resin composition to a substrate, Polyamic acid-silica semi-cured product obtained by drying and curing at a temperature of: Polyimide-silica hybrid cured product obtained by curing a compound at a temperature of 150 to 500 ° C .; an electrical insulating resin composition containing the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid; obtained from the electrical insulating resin composition The present invention relates to an electric insulating material; a heat-resistant adhesive containing the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid; and a coating agent containing the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明のアルコキシ基含有シラン
変性ポリアミック酸組成物を構成するポリアミック酸
(1)としては、分子中にアミド結合分子骨格中の隣接
炭素原子のそれぞれにカルボキシル基とアミド基を有す
る樹脂であって、例えばテトラカルボン酸類とジアミン
類を、極性溶剤中、通常−20℃〜60℃で反応させて
得られるポリアミック酸溶液が使用できる。ポリアミッ
ク酸(1)の分子量は特に限定されないが、数平均分子
量3000〜50000程度のものが好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The polyamic acid (1) constituting the alkoxy-containing silane-modified polyamic acid composition of the present invention includes a carboxyl group and an amide group in each of adjacent carbon atoms in an amide-bonded molecular skeleton. For example, a polyamic acid solution obtained by reacting a tetracarboxylic acid and a diamine in a polar solvent at a temperature of usually −20 ° C. to 60 ° C. can be used. The molecular weight of the polyamic acid (1) is not particularly limited, but preferably has a number average molecular weight of about 3,000 to 50,000.

【0011】上記のテトラカルボン酸類としては、例え
ば、ピロメリット酸無水物、1,23,4−ベンゼンテ
トラカルボン酸無水物、1,4,5,8−ナフタレンテ
トラカルボン酸無水物、2,3,6,7−ナフタレンテ
トラカルボン酸無水物、3,3’,4,4’−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,
4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエー
テルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−
ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,3’,
4,4’−テトラカルボキシフェニル)テトラフルオロ
プロパン二無水物、2,2’−ビス(3,4−ジカルボ
キシフェノキシフェニル)スルホン二無水物、2,2−
ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水
物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プ
ロパン二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸無水
物、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、2,
3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸無水物、な
どを例示することが出来、これらは1種を単独で又は2
種以上を組み合わせて使用される。
The above tetracarboxylic acids include, for example, pyromellitic anhydride, 1,23,4-benzenetetracarboxylic anhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic anhydride, 2,3 , 6,7-Naphthalenetetracarboxylic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2, 3,3 ',
4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylethertetracarboxylic dianhydride Thing, 2,3,3 ', 4'-
Diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,3 ′,
4,4'-tetracarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,2'-bis (3,4-dicarboxyphenoxyphenyl) sulfone dianhydride, 2,2-
Bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic anhydride, butane-1,2,3, 4-tetracarboxylic acid, 2,
3,5-tricarboxycyclopentyl acetic anhydride, etc., which may be used alone or in combination with
Used in combination of more than one species.

【0012】また、本発明の効果を失わない範囲で、ト
リメリット酸無水物、ブタン−1,2,4−トリカルボン
酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸などのトリ
カルボン酸類、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ビメリン酸、スベリン酸、セバシン
酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸な
ど脂肪族ジカルボン酸類やそれらの酸無水物、イソフタ
ル酸、テレフタル酸、ジフェニルメタン−4,4’−ジ
カルボン酸など芳香族ジカルボン酸類やそれらの酸無水
物を併用することが出来る。但し、テトラカルボン酸類
に対するこれらの割合が多すぎると、得られる硬化物の
絶縁性や耐熱性が落ちる傾向があるため、通常、その使
用量はテトラカルボン酸に対し、30モル%以下である
ことが好ましい。
Further, within the range not losing the effects of the present invention, tricarboxylic acids such as trimellitic anhydride, butane-1,2,4-tricarboxylic acid, naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid, oxalic acid, Aliphatic dicarboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, bimeric acid, suberic acid, sebacic acid, undecandioic acid, dodecandioic acid, tridecandioic acid and their acid anhydrides, isophthalic acid, terephthalic acid, Aromatic dicarboxylic acids such as diphenylmethane-4,4'-dicarboxylic acid and their acid anhydrides can be used in combination. However, if these ratios are too large, the insulating properties and heat resistance of the obtained cured product tend to decrease. Therefore, the use amount is usually 30 mol% or less based on the tetracarboxylic acid. Is preferred.

【0013】上記のジアミン類としては、4,4’−ジ
アミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェ
ニルエーテル、4,4’−ジアミノフェニルメタン、
3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメ
タン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,
4’−ジ(m−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、1,4
−ジアミノベンゼン、2,5−ジアミノトルエン、イソ
ホロンジアミン、4−(2−アミノフェノキシ)−1,
3−ジアミノベンゼン、4−(4−アミノフェノキシ)
−1,3−ジアミノベンゼン、2−アミノ−4−(4−
アミノフェニル)チアゾール、2−アミノ−4−フェニ
ル−5−(4−アミノフェニル)チアゾール、ベンジジ
ン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オ
クタフルオロベンジジン、o−トリジン、m−トリジ
ン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミ
ン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、2,2−ビス
(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−
アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,6−ジ
アミノナフタレン、ジアミノベンゾトリフルオライド、
1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,
4’−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジア
ミノアントラキノン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサ
フルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフ
ルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(p−アミノフェ
ノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどを例示
でき、これらは1種単独で又は2種以上を組み合わせて
使用される。
The above diamines include 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminophenylmethane,
3,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 4,
4′-di (m-aminophenoxy) diphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 1,4
-Diaminobenzene, 2,5-diaminotoluene, isophoronediamine, 4- (2-aminophenoxy) -1,
3-diaminobenzene, 4- (4-aminophenoxy)
-1,3-diaminobenzene, 2-amino-4- (4-
Aminophenyl) thiazole, 2-amino-4-phenyl-5- (4-aminophenyl) thiazole, benzidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, o-tolidine, m-tolidine , P-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 1,2-bis (anilino) ethane, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p-
Aminophenyl) hexafluoropropane, 2,6-diaminonaphthalene, diaminobenzotrifluoride,
1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene, 4,
4'-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluoropropane, 2,2-bis [4- (p- [Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane and the like, and these are used alone or in combination of two or more.

【0014】上記テトラカルボン酸類と上記ジアミン類
を、(テトラカルボン酸類のモル数)/(ジアミン類を
モル数)=(0.5〜0.8)/(1.2〜2.0)の
範囲で反応させて得られる分子末端に無水カルボン酸基
またはアミノ基いずれかであるポリイミドアダクト体を
使用することもできる。
The above-mentioned tetracarboxylic acids and the above-mentioned diamines are obtained by the following formula: (mol number of tetracarboxylic acids) / (mol number of diamines) = (0.5-0.8) / (1.2-2.0) A polyimide adduct having either a carboxylic anhydride group or an amino group at the molecular terminal obtained by reacting within the range can also be used.

【0015】ポリアミック酸(1)は、上記テトラカル
ボン酸類とジアミン類を、(テトラカルボン酸類のモル
数/ジアミン類をモル数)=0.9〜1.1の範囲で極
性溶剤中で反応させて得られる。当該極性溶剤として
は、生成するポリアミック酸(1)を溶解するものであ
れば、種類および使用量は特に限定されないが、N−メ
チル―2―ピロリドンやジメチルホルムアミド、ジメチ
ルアセトアミド、クレゾールなど非プロトン性極性溶剤
をポリイミド換算固形残分5〜40%で製造するのが好
ましい。ここでポリイミド換算固形残分とは、ポリアミ
ック酸(1)が完全にポリイミドに硬化した時の、ポリ
アミック酸(1)溶液に対するポリイミドの重量%を表
す。ポリイミド換算固形残分が5%未満では、ポリアミ
ック酸(1)溶液の製造コストが高くなる。一方、40
%を超えると、ポリアミック酸(1)溶液が室温で高粘
度となるためハンドリングが悪くなる傾向がある。また
ポリアミック酸の反応温度は、アミド酸基が残存する温
度であれば特に限定されないが、−20〜60℃に調整
するのが好ましい。−20℃未満の製造は不経済である
し、60℃を超えるとポリアミック酸中のアミド酸基が
イミド基に閉環する割合が増え、エポキシ基含有アルコ
キシシラン部分縮合物(2)との反応点が減少するため
好ましくない。
The polyamic acid (1) is prepared by reacting the above tetracarboxylic acids and diamines in a polar solvent in the range of (moles of tetracarboxylic acids / moles of diamines) = 0.9 to 1.1. Obtained. The type and amount of the polar solvent are not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid (1) to be formed, but non-protonic solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, and cresol can be used. It is preferable to produce the polar solvent with a polyimide residue of 5 to 40% in terms of polyimide. Here, the solid residue in terms of polyimide represents the weight% of the polyimide based on the solution of the polyamic acid (1) when the polyamic acid (1) is completely cured into the polyimide. When the solid residue in terms of polyimide is less than 5%, the production cost of the polyamic acid (1) solution increases. On the other hand, 40
%, The polyamic acid (1) solution has a high viscosity at room temperature, so that handling tends to be poor. The reaction temperature of the polyamic acid is not particularly limited as long as the amic acid group remains, but is preferably adjusted to −20 to 60 ° C. When the temperature is lower than −20 ° C., it is uneconomical. When the temperature is higher than 60 ° C., the ratio of the amide acid group in the polyamic acid to the imide group increases, and the reaction point with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) Is undesirably reduced.

【0016】本発明で使用されるエポキシ基含有アルコ
キシシラン部分縮合物(2)は、1分子中に1つの水酸
基を持つエポキシ化合物(A)(以下、単にエポキシ化
合物(A)という)とアルコキシシラン部分縮合物
(B)との脱アルコール反応によって得られるものであ
る。
The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) used in the present invention comprises an epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule (hereinafter simply referred to as epoxy compound (A)) and an alkoxysilane. It is obtained by a dealcoholation reaction with the partial condensate (B).

【0017】かかるエポキシ化合物(A)としては、1
分子中に水酸基を1つもつエポキシ化合物であれば、エ
ポキシ基の数は特に限定されない。また、エポキシ化合
物(A)としては、分子量が小さいもの程、アルコキシ
シラン部分縮合物(3)に対する相溶性がよく、耐熱性
や密着性付与効果が高いことから、炭素数が15以下の
ものが好適である。その具体例としては、エピクロロヒ
ドリンと、水、2価アルコールまたは2つの水酸基を有
するフェノール類とを反応させて得られる分子末端に1
つの水酸基を有するモノグリシジルエーテル類;エピク
ロロヒドリンとグリセリンやペンタエリスリトールなど
の3価以上の多価アルコールとを反応させて得られる分
子末端に1つの水酸基を有するポリグリシジルエーテル
類;エピクロロヒドリンとアミノモノアルコールとを反
応させて得られる分子末端に1つの水酸基を有するエポ
キシ化合物;分子中に1つの水酸基を有する脂環式炭化
水素モノエポキシド(例えば、エポキシ化テトラヒドロ
ベンジルアルコール)などが例示できる。これらのエポ
キシ化合物の中でも、グリシドールが耐熱性付与効果の
点で最も優れており、またアルコキシシラン部分縮合物
(B)との反応性も高いため、最適である。
The epoxy compound (A) includes 1
The number of epoxy groups is not particularly limited as long as the epoxy compound has one hydroxyl group in the molecule. As the epoxy compound (A), the smaller the molecular weight, the better the compatibility with the alkoxysilane partial condensate (3) and the higher the heat resistance and the effect of imparting adhesion. It is suitable. As a specific example, one is added to the molecular terminal obtained by reacting epichlorohydrin with water, a dihydric alcohol or a phenol having two hydroxyl groups.
Monoglycidyl ethers having two hydroxyl groups; polyglycidyl ethers having one hydroxyl group at the molecular terminal obtained by reacting epichlorohydrin with trihydric or higher polyhydric alcohols such as glycerin and pentaerythritol; epichlorohydrin Epoxy compounds having one hydroxyl group at the molecular terminal obtained by reacting phosphorus with aminomonoalcohol; alicyclic hydrocarbon monoepoxides having one hydroxyl group in the molecule (eg, epoxidized tetrahydrobenzyl alcohol); it can. Among these epoxy compounds, glycidol is the most excellent in terms of the effect of imparting heat resistance, and has high reactivity with the alkoxysilane partial condensate (B), so that it is optimal.

【0018】アルコキシシラン部分縮合物(B)として
は、 一般式(1):R1 Si(OR2(4-m) (式中、mは0または1の整数示し、R1は炭素数8以
下のアルキル基またはアリール基、R2は炭素数4以下
の低級アルキル基を示す。)で表される加水分解性アル
コキシシランモノマーを、酸または塩基触媒、および水
の存在下で加水分解し、部分的に縮合させて得られるも
のが用いられる。
As the alkoxysilane partial condensate (B)
Is represented by the general formula (1): R1 mSi (ORTwo)(4-m)  (Wherein, m represents an integer of 0 or 1;1Has 8 or more carbon atoms
A lower alkyl or aryl group, RTwoIs carbon number 4 or less
Represents a lower alkyl group. )
Coxysilane monomer is converted to acid or base catalyst, and water
Is obtained by hydrolysis and partial condensation in the presence of
Is used.

【0019】アルコキシシラン部分縮合物(B)の構成
原料である加水分解性アルコキシシランモノマーの具体
的としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシ
ラン、テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシ
シラン等のテトラアルコキシシラン類、メチルトリメト
キシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプ
ロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルト
リメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プ
ロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシ
シラン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピ
ルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類など
があげられる。通常、これらのなかでも特に、グリシド
ールとの反応性が高いことから、アルコキシシラン部分
縮合物(B)としてはテトラメトキシシランまたはメチ
ルトリメトキシシランを70モル%以上用いて合成され
たものが好ましい。
Specific examples of the hydrolyzable alkoxysilane monomer which is a constituent material of the alkoxysilane partial condensate (B) include tetraalkoxysilanes such as tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetrapropoxysilane and tetraisopropoxysilane. , Methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, isopropyltrimethoxysilane, And trialkoxysilanes such as isopropyltriethoxysilane. In general, among these, in particular, because of high reactivity with glycidol, the alkoxysilane partial condensate (B) is preferably synthesized using 70% by mole or more of tetramethoxysilane or methyltrimethoxysilane.

【0020】なお、これらアルコキシシラン部分縮合物
(B)としては、前記例示のものを特に制限なく使用で
きるが、これら例示物のうちの2種以上を混合使用する
場合には、アルコキシシラン部分縮合物(B)の総量中
でテトラメトキシシラン部分縮合物またはメチルトリメ
トキシシラン部分縮合物を70重量%以上用いることが
好ましい。
As the alkoxysilane partial condensate (B), those described above can be used without particular limitation. When two or more of these examples are used in combination, the alkoxysilane partial condensate may be used. It is preferable to use 70% by weight or more of a partial condensate of tetramethoxysilane or a partial condensate of methyltrimethoxysilane in the total amount of the product (B).

【0021】当該アルコキシシラン部分縮合物(B)の
数平均分子量は230〜2000程度、1分子中のSi
の平均個数は2〜11程度であることが好ましい。Si
の平均個数が2未満であると、エポキシ化合物(A)と
の脱メタノール反応の際、反応せずにアルコールと一緒
に系外に流出するアルコキシシラン類の量が増え、また
11を超えると、エポキシ基含有アルコキシシラン部分
縮合物(2)のポリアミック酸(1)との反応性が落
ち、目的とするアルコキシ基含有シラン変性ポリアミッ
ク酸が得られにくい。
The alkoxysilane partial condensate (B) has a number-average molecular weight of about 230 to 2,000.
Is preferably about 2 to 11. Si
Is less than 2, the amount of alkoxysilanes flowing out of the system together with the alcohol without reacting during the demethanol reaction with the epoxy compound (A) increases. The reactivity of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) with the polyamic acid (1) decreases, making it difficult to obtain the desired alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid.

【0022】エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合
物(2)は、エポキシ化合物(A)とアルコキシシラン
部分縮合物(B)を脱アルコール反応させることにより
得られる。エポキシ化合物(A)とアルコキシシラン部
分縮合物(B)との使用割合は、アルコキシ基が実質的
に残存するような割合であれば特に制限されないが、得
られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(2)中のエポキシ基の割合が、通常は、エポキシ化合
物(A)の水酸基の当量/アルコキシシラン縮合物
(B)のアルコキシル基の当量=0.01/1〜0.5
/1となる仕込み比率で、アルコキシシラン縮合物
(B)とエポキシ化合物(A)を脱アルコール反応させ
ることが好ましい。前記仕込み比率が少なくなるとエポ
キシ変性されていないアルコキシシラン部分縮合物
(B)の割合が増加するため、ポリイミド−シリカハイ
ブリッド硬化物が不透明化する傾向があるため、前記仕
込み比率は、0.03以上/1とするのがより好まし
い。また、前記仕込み比率が大きくなると、エポキシ基
含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基が
多官能化し、アルコキシ基含有シラン変性ポリアミック
酸合成時にゲル化しやすくなるため、前記仕込み比率
は、0.4以下/1とするのがより好ましい。
The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) can be obtained by subjecting the epoxy compound (A) and the alkoxysilane partial condensate (B) to a dealcoholization reaction. The use ratio of the epoxy compound (A) and the alkoxysilane partial condensate (B) is not particularly limited as long as the alkoxy group substantially remains, but the obtained epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate ( The ratio of the epoxy group in 2) is usually the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound (A) / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) = 0.01 / 1 to 0.5.
It is preferable that the alkoxysilane condensate (B) and the epoxy compound (A) are subjected to a dealcoholization reaction at a charge ratio of / 1. Since the proportion of the alkoxysilane partial condensate (B) that is not epoxy-modified increases when the charge ratio decreases, the polyimide-silica hybrid cured product tends to be opaque. Therefore, the charge ratio is 0.03 or more. / 1 is more preferable. In addition, when the charging ratio is increased, the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) becomes polyfunctional, and the epoxy group is easily gelled during the synthesis of the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid. More preferably, the ratio is 4 or less / 1.

【0023】アルコキシシラン部分縮合物(B)とエポ
キシ化合物(A)の反応は、たとえば、前記各成分を仕
込み、加熱して生成するアルコールを留去しながら、脱
アルコール反応を行なう。反応温度は50〜150℃程
度、好ましくは70〜110℃であり、全反応時間は1
〜15時間程度である。なお、脱アルコール反応を11
0℃を超える温度で行うと、反応系中でアルコキシシラ
ンの縮合に伴って、反応生成物の分子量が上がりすぎ、
高粘度化やゲル化する傾向がある。このような場合に
は、脱アルコール反応を反応途中で、停止させるなどの
方法により高粘度化、ゲル化を防止できる。
In the reaction between the alkoxysilane partial condensate (B) and the epoxy compound (A), for example, the above-mentioned components are charged, and a dealcoholization reaction is carried out while distilling off alcohol produced by heating. The reaction temperature is about 50 to 150 ° C, preferably 70 to 110 ° C, and the total reaction time is 1
It is about 15 hours. In addition, the dealcoholation reaction was performed 11
When the reaction is carried out at a temperature exceeding 0 ° C., the molecular weight of the reaction product becomes too high with the condensation of alkoxysilane in the reaction system,
There is a tendency to increase viscosity and gel. In such a case, viscosity increase and gelation can be prevented by, for example, stopping the dealcoholation reaction during the reaction.

【0024】また、上記のアルコキシシラン部分縮合物
(B)とエポキシ化合物(A)の脱アルコール反応に際
しては、反応促進のために従来公知のエステルと水酸基
のエステル交換触媒の内、エポキシ環を開環しないもの
を使用することができる。たとえば、リチウム、ナトリ
ウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、マグネシウ
ム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、亜鉛、ア
ルミニウム、チタン、コバルト、ゲルマニウム、錫、
鉛、アンチモン、砒素、セリウム、硼素、カドミウム、
マンガンのような金属や、これら酸化物、有機酸塩、ハ
ロゲン化物、アルコキシド等があげられる。これらのな
かでも、特に有機錫、有機酸錫が好ましく、具体的に
は、ジブチル錫ジラウレート、オクチル酸錫などが有効
である。
In the above dealcoholation reaction between the alkoxysilane partial condensate (B) and the epoxy compound (A), the epoxy ring is opened among the conventionally known ester-hydroxyl ester exchange catalysts to promote the reaction. Those that do not ring can be used. For example, lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, magnesium, calcium, barium, strontium, zinc, aluminum, titanium, cobalt, germanium, tin,
Lead, antimony, arsenic, cerium, boron, cadmium,
Examples thereof include metals such as manganese, and oxides, organic acid salts, halides, and alkoxides thereof. Among these, organic tin and organic acid tin are particularly preferable, and specifically, dibutyltin dilaurate and tin octylate are effective.

【0025】また、上記反応は溶剤中で行うこともでき
る。溶剤としては、アルコキシシラン縮合物とグリシド
ールを溶解し、且つエポキシ化合物(A)のエポキシ基
に対して不活性なものであれば、特に限定されない。こ
のような有機溶剤としては、例えば、N−メチル―2―
ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトア
ミド、キシレンなどの溶媒を用いるのが好ましい。
The above reaction can be carried out in a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the alkoxysilane condensate and glycidol and is inert to the epoxy group of the epoxy compound (A). As such an organic solvent, for example, N-methyl-2-
It is preferable to use a solvent such as pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, or xylene.

【0026】本発明の目的物であるアルコキシ基含有シ
ラン変性ポリアミック酸は、前記ポリアミック酸(1)
と前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(2)とを反応させて得られる。ポリアミック酸(1)
とエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)の
使用割合は、特に制限されないが、(エポキシ基含有ア
ルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基の当量)
/(ポリアミック酸(1)に使用したテトラカルボン酸
類のカルボン酸基の当量)が0.01〜0.4の範囲と
するのが好ましい。上記数値が0.01未満であると本
発明の効果が得られにくく、0.4を超えるとポリイミ
ド−シリカハイブリッド硬化物が不透明になるため好ま
しくない。なお、数平均分子量が20000以上のポリ
アミック酸を使用した場合、上記値が、0.3以上であ
ると、エポキシ基とカルボン酸基の反応によりゲル化を
招きやすくなるため好ましくない。
The alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid which is the object of the present invention is the polyamic acid (1)
And the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). Polyamic acid (1)
The use ratio of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2) is not particularly limited.
/ (Equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used for polyamic acid (1)) is preferably in the range of 0.01 to 0.4. When the above value is less than 0.01, the effect of the present invention is hardly obtained, and when it exceeds 0.4, the cured polyimide-silica hybrid becomes opaque, which is not preferable. When a polyamic acid having a number average molecular weight of 20,000 or more is used, if the value is 0.3 or more, gelation is apt to occur due to a reaction between an epoxy group and a carboxylic acid group, which is not preferable.

【0027】かかるアルコキシ基含有シラン変性ポリア
ミック酸組成物の製造は、たとえば、前記各成分を仕込
み、実質的に無水状態で加熱して反応を行なう。本反応
はポリアミック酸(1)のカルボン酸基と前記エポキシ
基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基
の反応を主目的にしており、本反応中にエポキシ基含有
アルコキシシラン部分縮合物(2)のアルコキシシリル
部位のゾル−ゲル反応によるシリカの生成、ポリアミッ
ク酸のイミド基への閉環反応を抑える必要がある。そこ
で、反応温度は50〜120℃程度、好ましくは60〜
100℃であり、全反応時間は1〜30時間程度で行う
のが好ましい。
In the production of such an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid composition, for example, the above-mentioned components are charged, and the reaction is carried out by heating in a substantially anhydrous state. The main purpose of this reaction is to react the carboxylic acid group of the polyamic acid (1) with the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). During the reaction, the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate ( It is necessary to suppress the formation of silica by the sol-gel reaction of the alkoxysilyl moiety of 2) and the ring-closing reaction of the polyamic acid to the imide group. Therefore, the reaction temperature is about 50 to 120 ° C., preferably 60 to 120 ° C.
The reaction is preferably performed at 100 ° C. for a total reaction time of about 1 to 30 hours.

【0028】また、上記の脱アルコール反応に際して
は、反応促進のために従来公知のエポキシ基とカルボン
酸とを反応させる際に使用する触媒を使用することがで
きる。1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]―7―
ウンデセン、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチル
アミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノ
ール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノールなど
の三級アミン類;2−メチルイミダゾール、2−フェニ
ルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾー
ル、2−ヘプタデシルイミダゾール、ベンズイミダゾー
ルなどのイミダゾール類;トリブチルホスフィン、メチ
ルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジ
フェニルホスフィン、フェニルホスフィンなどの有機ホ
スフィン類;テトラフェニルホスホニウム・テトラフェ
ニルボーレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール
・テトラフェニルボーレート、N−メチルモルホリン・
テトラフェニルボーレートなどのテトラフェニルボロン
塩などをあげることができる。反応触媒はポリアミック
酸のポリイミド換算固形残分100重量部に対し、0.
01〜5重量部の割合で使用するのが好ましい。
In the above dealcoholization reaction, a conventionally known catalyst used for reacting an epoxy group with a carboxylic acid for accelerating the reaction can be used. 1,8-diaza-bicyclo [5,4,0] -7-
Tertiary amines such as undecene, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl) phenol; 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole; Imidazoles such as 2-heptadecylimidazole and benzimidazole; organic phosphines such as tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine; tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methyl Imidazole tetraphenylborate, N-methylmorpholine
And tetraphenylboron salts such as tetraphenylborate. The reaction catalyst was used in an amount of 0.1 part by weight based on 100 parts by weight of the solid residue of the polyamic acid in terms of polyimide.
Preferably, it is used in a proportion of from 01 to 5 parts by weight.

【0029】なお、上記反応は、溶剤中で行うことが好
ましい。溶剤としては、ポリアミック酸(1)およびエ
ポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)を溶解
する溶剤であれば特に制限はない。このような溶剤とし
ては、例えば、ポリアミック酸製造時に使用したものが
例示できる。
The above reaction is preferably performed in a solvent. The solvent is not particularly limited as long as it dissolves the polyamic acid (1) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2). Examples of such a solvent include those used during the production of polyamic acid.

【0030】こうして得られたアルコキシ基含有シラン
変性ポリアミック酸樹脂組成物は、その分子中にアルコ
キシシラン部分縮合物(B)に由来するアルコキシ基を
有している。当該アルコキシ基の含有量は、特に限定は
されないが、このアルコキシ基は溶剤の蒸発や加熱処理
により、または水分(湿気)との反応によりゾル−ゲル
反応や脱アルコール縮合して、相互に結合した硬化物を
形成するために必要となるため、アルコキシ基含有シラ
ン変性ポリアミック酸は通常、アルコキシシラン部分縮
合物(B)のアルコキシ基の50〜95モル%、好まし
くは60〜90モル%を未反応のままで保持しておくの
が良い。かかるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミッ
ク酸から得られる硬化物は、 一般式(2):R1 SiO(4-m)/2 (式中、mは0または1の整数示し、Rは炭素数8以
下のアルキル基またはアリール基を示す。)で示される
ゲル化した微細なシリカ部位(シロキサン結合の高次網
目構造)を有するものである。また本発明のアルコキシ
基含有シラン変性ポリアミック酸は、ポリアミック酸
(1)中のカルボン酸基の一部がシラン変性されたポリ
アミック酸を主成分とするが、本発明のアルコキシ基含
有シラン変性ポリアミック酸中には未反応のポリアミッ
ク酸(1)やアルコキシシラン部分縮合物(B)、エポ
キシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)、反応に
使用した溶剤や触媒を含有されていてもよい。なお、未
反応のアルコキシシラン部分縮合物(B)、エポキシ基
含有アルコキシシラン部分縮合物(2)は硬化時に、加
水分解、重縮合によりシリカ硬化し、アルコキシ基含有
シラン変性ポリアミック酸と一体化する。
The alkoxy group-containing silane thus obtained
The modified polyamic acid resin composition contains alcohol in its molecule.
An alkoxy group derived from the xysilane partial condensate (B)
Have. The content of the alkoxy group is not particularly limited.
However, this alkoxy group is not
Or sol-gel by reaction with water (moisture)
Reaction and dealcohol condensation condense the mutually bonded cured products
Since it is necessary for forming
Modified polyamic acid is usually partially contracted with alkoxysilane.
50 to 95 mol% of the alkoxy group of the compound (B), preferably
Or 60-90 mol% of unreacted
Is good. Such alkoxy group-containing silane-modified polyamid
The cured product obtained from citric acid has the general formula (2): R1 mSiO(4-m) / 2  (Wherein, m represents an integer of 0 or 1;1Has 8 or more carbon atoms
The following shows an alkyl group or an aryl group. )
Gelled fine silica sites (higher order network of siloxane bonds)
Eye structure). The alkoxy of the present invention
The group-containing silane-modified polyamic acid is a polyamic acid.
(1) Polysiloxane in which some of the carboxylic acid groups in the silane are modified
Amic acid as the main component, but containing the alkoxy group of the present invention.
Unreacted polyamine is contained in the silane-modified polyamic acid.
Acid (1), alkoxysilane partial condensate (B), epoxy
Xyl group-containing alkoxysilane partial condensate (2)
The solvent or catalyst used may be contained. Not yet
Reaction alkoxysilane partial condensate (B), epoxy group
The contained alkoxysilane partial condensate (2) is added during curing.
Silica cured by water decomposition and polycondensation, containing alkoxy group
Integrates with silane-modified polyamic acid.

【0031】本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリ
アミック酸樹脂組成物を各種用途に使用する場合、アル
コキシ基含有シラン変性ポリアミック酸樹脂を含有して
いれば、その他の成分は特に限定されるものではない。
When the alkoxy-containing silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is used for various applications, other components are not particularly limited as long as the composition contains the alkoxy-containing silane-modified polyamic acid resin. .

【0032】前記樹脂組成物は使用目的に応じて、溶剤
により適宜に濃度を調整できる。溶剤としては、アルコ
キシ基含有シラン変性ポリアミック酸を溶解できるもの
であれば、特に制限なく使用できる。また、硬化物の力
学的強度や耐熱性を調整する目的で、硬化物のシリカ量
を調整する必要がある場合、前記アルコキシ基シラン変
樹脂組成物に、アルコキシシラン部分縮合物(B)やポ
リアミック酸(1)を配合しても構わない。また、かか
る樹脂組成物には、アルコキシ基含有シラン変性ポリア
ミック酸のアルコキシシリル部位を硬化させるときには
加水分解、重縮合を促進するため、アルコキシ基含有シ
ラン変性ポリアミック酸組成物中に、少量の水や、有機
錫、有機酸錫系触媒を含有することもできる。
The concentration of the resin composition can be appropriately adjusted by a solvent according to the purpose of use. Any solvent can be used without particular limitation as long as it can dissolve the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid. When it is necessary to adjust the amount of silica in the cured product for the purpose of adjusting the mechanical strength and heat resistance of the cured product, the alkoxysilane silane-modified resin composition may be added to the alkoxysilane partial condensate (B) or polyamic acid. The acid (1) may be blended. Further, in such a resin composition, when curing the alkoxysilyl site of the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid, to promote hydrolysis and polycondensation, a small amount of water or the like is contained in the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid composition. , An organic tin, or an organic acid tin-based catalyst.

【0033】また、その他、前記シラン変性ポリアミッ
ク酸樹脂組成物には、本発明の効果を損なわない範囲
で、各種用途の必要に応じて、充填剤、離型剤、表面処
理剤、難燃剤、粘度調節剤、可塑剤、抗菌剤、防黴剤、
レベリング剤、消泡剤、着色剤、安定剤、カップリング
剤等を配合してもよい。
In addition, the silane-modified polyamic acid resin composition may further include a filler, a release agent, a surface treatment agent, a flame retardant, and the like, as long as the effects of the present invention are not impaired. Viscosity modifier, plasticizer, antibacterial agent, fungicide,
A leveling agent, an antifoaming agent, a coloring agent, a stabilizer, a coupling agent and the like may be added.

【0034】本発明のポリアミック酸−シリカハイブリ
ッド半硬化物やポリイミド−シリカハイブリッド硬化物
は、前記シラン変性ポリアミック酸樹脂組成物から得ら
れるものである。すなわち、シラン変性ポリアミック酸
樹脂組成物から、ポリイミド−シリカハイブリッド硬化
物を直接的に得るには、当該組成物を基材にコーティン
グの加工を施した後、150〜500℃程度で硬化させ
る。150℃未満の場合には、アミド酸基からイミド基
への閉環反応が不完全となり、500℃を超える場合に
はポリアミック酸の種類によってはポリイミド−シリカ
ハイブリッド硬化物が熱分解するため好ましくない。こ
のように直接ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を
得る方法は、厚み50μm以下の硬化物を得るには問題
が生じないが、これを超える厚膜硬化物を作製する時に
はボイドや発泡が生じることが多い。そのような場合に
は、前記シラン変性ポリアミック酸樹脂組成物からポリ
アミック酸−シリカハイブリッド半硬化物を作製し、更
にポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に硬化する方
法が有用である。具体的には、前記シラン変性ポリアミ
ック酸樹脂組成物を基材にコーティング、含浸などの加
工を施した後、150℃未満の温度で、溶剤の乾燥と、
シラン変性ポリアミック酸樹脂組成物中のアルコキシ基
含有シラン変性ポリアミック酸や、未反応のアルコキシ
シラン部分縮合物(B)およびエポキシ基含有アルコキ
シシラン部分縮合物(2)をゾル−ゲル硬化反応して、
ポリアミック酸−シリカハイブリッド半硬化物を得る。
更にこのポリアミック酸−シリカハイブリッド半硬化物
を150〜500℃で硬化してポリイミド−シリカハイ
ブリッド硬化物を得る。
The semi-cured polyamic acid-silica hybrid and the cured polyimide-silica hybrid of the present invention are obtained from the silane-modified polyamic acid resin composition. That is, in order to directly obtain a polyimide-silica hybrid cured product from the silane-modified polyamic acid resin composition, the composition is coated on a substrate and then cured at about 150 to 500 ° C. When the temperature is lower than 150 ° C., the ring-closing reaction from the amic acid group to the imide group becomes incomplete. When the temperature exceeds 500 ° C., the cured polyimide-silica hybrid is thermally decomposed depending on the kind of the polyamic acid, which is not preferable. As described above, the method of directly obtaining a polyimide-silica hybrid cured product does not cause a problem in obtaining a cured product having a thickness of 50 μm or less, but often produces voids and foam when producing a thick film cured product exceeding this thickness. . In such a case, it is useful to prepare a semi-cured polyamic acid-silica hybrid from the silane-modified polyamic acid resin composition, and then cure the semi-cured polyamic acid-silica hybrid cured product. Specifically, after performing processing such as coating and impregnating the silane-modified polyamic acid resin composition on a substrate, drying the solvent at a temperature of less than 150 ° C.,
A sol-gel curing reaction of the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid in the silane-modified polyamic acid resin composition, the unreacted alkoxysilane partial condensate (B) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2),
A semi-cured polyamic acid-silica hybrid is obtained.
Further, the polyamic acid-silica hybrid semi-cured product is cured at 150 to 500 ° C. to obtain a polyimide-silica hybrid cured product.

【0035】本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリ
アミック酸を含有するシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物は電気絶縁用樹脂組成物として、更にそれを硬化し
たポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は電気絶縁材
料として使用することができる。ここで電気絶縁用樹脂
組成物および電気絶縁材料とは、プリント基板用銅張り
板やビルドアッププリント基板用層間絶縁材料、半導体
の層間絶縁膜、ソルダーレジストなどのレジストイン
キ、導電ペースト、TABテープ等の電子材料の他、液
晶配向膜など液晶部品、電線被覆剤等を意味する。
The silane-modified polyamic acid resin composition containing an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid of the present invention is used as a resin composition for electrical insulation, and the cured polyimide-silica hybrid material obtained by curing the same is used as an electrical insulation material. be able to. Here, the resin composition for electrical insulation and the electrical insulating material include copper-clad boards for printed boards and interlayer insulating materials for build-up printed boards, interlayer insulating films for semiconductors, resist inks such as solder resists, conductive pastes, TAB tapes, and the like. In addition to the above electronic materials, it means liquid crystal components such as liquid crystal alignment films, wire coating agents, and the like.

【0036】本発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物からプリント基板用銅張り板を作製する場合には、
その作製方法は特に限定されるものではないが、例え
ば、特公平3−78411号や特開平9−121086
号、特開昭60−243120号にある方法を例示する
ことが出来る。具体的には、当該樹脂組成物をガラス板
に塗布し、150℃未満の温度で、溶剤を蒸発させ半硬
化物のフィルムを作製し、再度、当該樹脂組成物を塗布
して硬化する。この作業を数回繰り返し、厚さ25〜1
00μmのポリイミド−シリカハイブリッドフィルムを
作製、ガラス板から剥離させる。このハイブリッドフィ
ルムに、無電解メッキなどによって導電層を形成させて
銅張り板を作製する。或いは銅箔上に当該樹脂組成物を
塗布し、半硬化物を経る方法にて硬化する作業を数回繰
り返し、同様の厚さの片面銅張り板を得る。通常、ポリ
イミドフィルムは銅などの導体層と密着性が低く、ポリ
イミドフィルムと導体層の間に接着剤層を設け、3層基
板とするのが普通であるが、当該樹脂組成物からできる
ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物は導体など金属
に対する密着性に優れているため、特別に接着剤層を設
ける必要がない。
When preparing a copper-clad board for a printed board from the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention,
The manufacturing method is not particularly limited. For example, Japanese Patent Publication No. 3-78411 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-121086.
And JP-A-60-243120. Specifically, the resin composition is applied to a glass plate, the solvent is evaporated at a temperature lower than 150 ° C. to produce a semi-cured film, and the resin composition is applied again and cured. This operation is repeated several times to obtain a thickness of 25 to 1
A polyimide-silica hybrid film of 00 μm is prepared and peeled from the glass plate. A conductive layer is formed on the hybrid film by electroless plating or the like to produce a copper-clad board. Alternatively, the operation of applying the resin composition on a copper foil and curing by a method of passing through a semi-cured material is repeated several times to obtain a single-sided copper-clad board having the same thickness. Usually, a polyimide film has low adhesion to a conductor layer such as copper, and an adhesive layer is usually provided between the polyimide film and the conductor layer to form a three-layer substrate. Since the cured silica hybrid has excellent adhesion to a metal such as a conductor, it is not necessary to provide a special adhesive layer.

【0037】本発明の電気絶縁用樹脂組成物からビルド
アップ基板用層間絶縁材料を得る方法としては特に限定
されないが、例えば以下に示す方法を例示できる。上記
銅張り板作製方法によって得られた銅張り板を使用し、
レジストエッチングによって回路を形成させる。より具
体的には、ゴム、フィラーなどを適宜含有した当該樹脂
組成物を、この回路を形成した配線基板にスプレーコー
ティング法、カーテンコーティング法等の公知の方法で
塗布した後、上記のような半硬化物を経る方法によって
方法に従ってポリイミド−シリカハイブリッド硬化物に
硬化させる。その後、必要に応じて所定のスルーホール
部等の穴あけを行った後、粗化剤により処理し、その表
面を湯洗することによって、凹凸を形成させ、銅などの
金属をめっき処理する。当該めっき方法としては、無電
解めっき、電解めっき処理が好ましく、また上記の粗化
剤としては酸化剤、アルカリおよび有機溶剤の中から選
ばれた少なくとも1種が用いられる。このような操作を
所望に応じて順次繰り返し、層間絶縁層および所定の回
路パターンの導体層を交互にビルドアップして形成する
ことができる。但し、スルーホール部の穴あけは、最外
層の樹脂絶縁層の形成後に行なう。
The method for obtaining the interlayer insulating material for a build-up substrate from the resin composition for electrical insulation of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include the following methods. Using the copper-clad board obtained by the copper-clad board manufacturing method,
A circuit is formed by resist etching. More specifically, after applying the resin composition appropriately containing rubber, filler and the like to a wiring board on which this circuit is formed by a known method such as a spray coating method, a curtain coating method, or the like, It is cured into a polyimide-silica hybrid cured product according to the method of passing through the cured product. Thereafter, if necessary, a predetermined through-hole portion or the like is drilled, and then the surface is treated with a roughening agent, and the surface is washed with hot water to form irregularities, and a metal such as copper is plated. As the plating method, electroless plating and electrolytic plating are preferable, and at least one selected from oxidizing agents, alkalis, and organic solvents is used as the roughening agent. Such an operation is sequentially repeated as desired, and the interlayer insulating layer and the conductor layer having a predetermined circuit pattern can be alternately built up and formed. However, drilling of the through-hole portion is performed after forming the outermost resin insulating layer.

【0038】本発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物から半導体の層間絶縁膜を作製する場合には、半導
体上に当該樹脂組成物をスピンコートし、直接ハイブリ
ッド硬化物を得る方法によって得られる。層間絶縁膜に
用いる場合は、特に硬化物の線膨張率が低いことが要求
されるため、本発明の電気絶縁用樹脂組成物において
は、アルコキシシラン部分縮合物(3)としてテトラメ
トキシシラン部分縮合物を用いることが好ましい。
When an interlayer insulating film of a semiconductor is produced from the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention, it can be obtained by a method of directly spin-coating the resin composition on a semiconductor to obtain a hybrid cured product. When used as an interlayer insulating film, the cured product is required to have a particularly low coefficient of linear expansion. Therefore, in the resin composition for electrical insulation of the present invention, tetramethoxysilane partial condensation is used as the alkoxysilane partial condensate (3). It is preferable to use a substance.

【0039】本発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物をソルダーレジストなどのレジストインキとして使
用する場合には、スクリーン印刷方式で、プリント基板
上に塗布した後、半硬化物を経てハイブリッド硬化物を
得る方法によって、レジストインキ硬化物とする。好適
には、レジストインキ用組成物として、アルコキシ基含
有シラン変性ポリアミック酸およびエポキシ樹脂硬化剤
の他、必要に応じてアクリル酸エステルやメタクリル酸
エステルなどのエチレン性不飽和二重結合を有するビニ
ル系モノマー、フタロシアニンブルーをはじめとする各
種の顔料、シリカ、アルミナ等の充填剤、レベリング剤
などを添加してレジストインキ用樹脂組成物とする。
When the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is used as a resist ink such as a solder resist, it is applied on a printed circuit board by a screen printing method, and then a hybrid cured product is obtained through a semi-cured product. Depending on the method, the resist ink is cured. Preferably, as a resist ink composition, in addition to alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid and epoxy resin curing agent, if necessary, a vinyl-based compound having an ethylenically unsaturated double bond such as an acrylate or a methacrylate. A monomer, various pigments such as phthalocyanine blue, fillers such as silica and alumina, and a leveling agent are added to obtain a resin composition for resist ink.

【0040】本発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物を導電ペーストに使用する場合には、真球状やリン
片状の銀やニッケルなどの導電粉を絶縁材料に配合しな
ければならない。導電粉の含有量は、導電性と経済性の
観点から、導電ペーストに対して50〜80重量%であ
ることが好ましい。この含有率が50重量%未満である
と抵抗値が高くなる傾向にあり、80重量%を超えると
接着性が低下したり製品の価格が上昇するなどの不利が
ある。導電ペーストは高温や高湿等の過酷な条件にさら
された後に比抵抗変化が小さくなければならないため、
吸水率を低減させる観点から、本発明の電気絶縁用樹脂
組成物におけるアルコキシ基含有シラン変性ポリアミッ
ク酸の構成成分であるアルコキシシラン部分縮合物
(3)として、メチルトリメトキシシランの部分縮合物
を用いることが特に好ましい。
When the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is used in a conductive paste, a spherical or flaky conductive powder such as silver or nickel must be mixed with the insulating material. The content of the conductive powder is preferably 50 to 80% by weight based on the conductive paste from the viewpoint of conductivity and economy. If the content is less than 50% by weight, the resistance tends to increase, and if it exceeds 80% by weight, there are disadvantages such as a decrease in adhesiveness and an increase in the price of the product. Since the conductive paste must have a small specific resistance change after being exposed to severe conditions such as high temperature and high humidity,
From the viewpoint of reducing the water absorption, a partial condensate of methyltrimethoxysilane is used as the alkoxysilane partial condensate (3), which is a component of the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid in the resin composition for electrical insulation of the present invention. Is particularly preferred.

【0041】本発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物からTABテープを作製する場合には、例えば上記
銅張り板と同様の方法で当該樹脂組成物を硬化させたポ
リイミド−シリカハイブリッド硬化物フィルムを厚み5
0〜100μmで作製した後、更にエポキシ樹脂とエポ
キシ樹脂硬化剤からなる溶液を塗布し、乾燥して、膜厚
20μm程度の半硬化状態(Bステージ状態)を作製
し、ポリエチレン製の剥離フィルム20μm程度を重ね
合わせ、100℃程度に加熱して圧着し、TABテープ
とする。
When a TAB tape is prepared from the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention, for example, a cured polyimide-silica hybrid film obtained by curing the resin composition in the same manner as the above-mentioned copper clad board is used. 5
After preparing at 0 to 100 μm, a solution comprising an epoxy resin and an epoxy resin curing agent is further applied and dried to prepare a semi-cured state (B-stage state) having a film thickness of about 20 μm, and a polyethylene release film of 20 μm The layers are overlapped with each other, heated to about 100 ° C. and pressure-bonded to form a TAB tape.

【0042】本願発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂
組成物から液晶配向膜を作製する場合には、通常は当該
樹脂組成物をそのまま基板に塗布し、例えば、あらかじ
めITO(Indium Tin Oxide)等の透明電極が形成され
た液晶挾持基板上に吹付け法等の方法により塗布し、直
接あるいは半硬化物を経て硬化する方法によって、ポリ
イミド−シリカハイブリッド層を形成し、その表面をラ
ビングすることによって液晶配向膜とされる。
When a liquid crystal alignment film is prepared from the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention, the resin composition is usually applied to a substrate as it is, and for example, a transparent electrode such as ITO (Indium Tin Oxide) is prepared in advance. A polyimide-silica hybrid layer is formed on the liquid crystal holding substrate on which is formed by a method such as a spraying method or the like by directly or through a semi-cured material, and the surface is rubbed to form a liquid crystal alignment film. It is said.

【0043】なお、本発明のシラン変性ポリアミック酸
樹脂組成物は耐熱接着剤、耐熱コーティング剤としても
使用することが出来る。
The silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention can be used as a heat-resistant adhesive or a heat-resistant coating agent.

【0044】本発明のシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物をプリント基板用接着剤として使用する場合には、
特開平9−121086号、特開平11−8448号に
あるように、ポリイミドなど耐熱フィルム上に、当該樹
脂組成物を塗布し、半硬化物を経て、ポリイミド−シリ
カハイブリッド硬化物の接着剤層を形成さた後、ビルド
アップ層間絶縁膜作製時と同様に、メッキ処理をして、
銅張り板を形成する。
When the silane-modified polyamic acid resin composition of the present invention is used as an adhesive for printed circuit boards,
As described in JP-A-9-121086 and JP-A-11-8448, the resin composition is applied on a heat-resistant film such as polyimide, and the semi-cured product is applied to form an adhesive layer of a polyimide-silica hybrid cured product. After being formed, plating is performed in the same way as when the build-up interlayer insulating film is made,
Form a copper clad board.

【0045】本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリ
アミック酸を含有するシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物を電線被覆剤として用いる場合には、例えば特開平
3−93107号にあるように、当該樹脂組成物中に銅
線を速度5〜30cm/秒程度の速度で通過させ、30
0〜500℃で5分程度加熱し、絶縁層約4〜10μm
のエナメル線を作製する。更に厚膜化する場合は、上記
操作を繰り返せば良い。
When the silane-modified polyamic acid resin composition containing the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid of the present invention is used as an electric wire coating agent, for example, as described in JP-A-3-93107, Through a copper wire at a speed of about 5 to 30 cm / sec.
Heat at 0-500 ° C for about 5 minutes, and insulate about 4-10 μm
To prepare an enameled wire. To further increase the film thickness, the above operation may be repeated.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポ
リアミック酸を用いたシラン変性ポリアミック酸樹脂組
成物を使用すると、耐熱性、力学強度に優れ、しかもボ
イド(気泡)等を生じない硬化物が得られる硬化物を作
成することができる。
When the silane-modified polyamic acid resin composition using the alkoxy-containing silane-modified polyamic acid of the present invention is used, a cured product excellent in heat resistance and mechanical strength and free from voids (bubbles) is obtained. Cured product can be prepared.

【0047】[0047]

【実施例】以下、実施例および比較例をあげて本発明を
具体的に説明する。
The present invention will be described below in detail with reference to examples and comparative examples.

【0048】製造例1(エポキシ基含有アルコキシシラ
ン部分縮合物(2)の製造) 攪拌機、分水器、温度計および窒素ガス導入管を備えた
反応装置に、グリシドール(日本油脂(株)製、商品名
「エピオールOH」)1400gおよびテトラメトキシ
シラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「メチル
シリケート51」、Siの平均個数が4)8957.9
gを仕込み、窒素気流下、攪拌しながら、90℃に昇温
した後、触媒としてジブチル錫ジラウレート2.0gを
加え、反応させた。反応中、分水器を使って生成したメ
タノールを留去し、その量が約630gに達した時点で
冷却した。昇温後冷却までに要した時間は5時間であっ
た。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存する
メタノール約80gを減圧除去した。このようにして、
エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2A)を
得た。なお、仕込み時のエポキシ化合物(A)の水酸基
の当量/アルコキシシラン縮合物(B)のアルコキシル
基の当量(当量比)=0.10、エポキシ当量は512
g/eqである。
Production Example 1 (Production of Epoxy Group-Containing Alkoxysilane Partial Condensate (2)) Glycidol (manufactured by NOF CORPORATION) was equipped with a stirrer, a water separator, a thermometer and a nitrogen gas inlet tube. 1400 g of trade name “Epiol OH”) and a partial condensate of tetramethoxysilane (trade name “methyl silicate 51” manufactured by Tama Chemical Co., Ltd., average number of Si is 4) 8957.9
g, the temperature was raised to 90 ° C. while stirring under a nitrogen stream, and 2.0 g of dibutyltin dilaurate was added as a catalyst to cause a reaction. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and cooled when the amount reached about 630 g. The time required for cooling after heating was 5 hours. Then, about 80 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. In this way,
An epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2A) was obtained. The equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound (A) / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) (equivalent ratio) at the time of preparation = 0.10, and the epoxy equivalent was 512.
g / eq.

【0049】製造例2(エポキシ基含有アルコキシシラ
ン部分縮合物(2)の製造) 製造例1と同様の反応装置に、グリシドール180.0
gおよびテトラメトキシシラン部分縮合物(多摩化学
(株)製、商品名「メチルシリケート56」、Siの平
均個数が10)1926.3gを仕込み、窒素気流下、
攪拌しながら、90℃に昇温した後、触媒としてジブチ
ル錫ジラウレート0.5gを加え、反応させた。反応
中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、その
量が約80gに達した時点で冷却した。昇温後冷却まで
に要した時間は6.5時間であった。ついで、13kP
aで約10分間、系内に残存するメタノール約5gを減
圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコキ
シシラン部分縮合物(2B)を得た。なお、仕込み時の
エポキシ化合物(A)の水酸基の当量/アルコキシシラ
ン縮合物(B)のアルコキシル基の当量(当量比)=
0.068、エポキシ当量は832g/eqである。
Production Example 2 (Production of Epoxy Group-Containing Alkoxysilane Partial Condensate (2)) Glycidol 180.0 was added to the same reactor as in Production Example 1.
g and 1926.3 g of a partial condensate of tetramethoxysilane (manufactured by Tama Chemical Co., Ltd., trade name “methyl silicate 56”, average number of Si is 10), and charged under nitrogen stream.
After the temperature was raised to 90 ° C. with stirring, 0.5 g of dibutyltin dilaurate was added as a catalyst and reacted. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and cooled when the amount reached about 80 g. The time required for cooling after the temperature rise was 6.5 hours. Then, 13kP
a, about 5 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure for about 10 minutes. Thus, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2B) was obtained. The equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound (A) at the time of preparation / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) (equivalent ratio) =
0.068, epoxy equivalent is 832 g / eq.

【0050】製造例3(エポキシ基含有アルコキシシラ
ン部分縮合物(2)の製造) 製造例1と同様の反応装置に、グリシドール1400g
およびメチルトリメトキシシラン部分縮合物(多摩化学
(株)製、商品名「MTMS−B」、Siの平均個数が
6)9142.1gを仕込み、窒素気流下、攪拌しなが
ら、90℃に昇温した後、触媒としてジブチル錫ジラウ
レート2.0gを加え、反応させた。反応中、分水器を
使って生成したメタノールを留去し、その量が約640
gに達した時点で冷却した。昇温後冷却までに要した時
間は6.5時間であった。ついで、13kPaで約10
分間、系内に残存するメタノール約32gを減圧除去し
た。このようにして、エポキシ基含有アルコキシシラン
部分縮合物(2C)を得た。なお、仕込み時のエポキシ
化合物(A)の水酸基の当量/アルコキシシラン縮合物
(B)のアルコキシル基の当量(当量比)=0.06
8、エポキシ当量は832g/eqである。
Production Example 3 (Production of Epoxy Group-Containing Alkoxysilane Partial Condensate (2)) In the same reactor as in Production Example 1, 1400 g of glycidol was added.
And 9142.1 g of a partial condensate of methyltrimethoxysilane (trade name “MTMS-B”, manufactured by Tama Chemical Co., Ltd., average number of Si is 6), and heated to 90 ° C. while stirring under a nitrogen stream. After that, 2.0 g of dibutyltin dilaurate was added as a catalyst and reacted. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and the amount became about 640.
g when it was cooled. The time required for cooling after the temperature rise was 6.5 hours. Then, about 10 at 13kPa
For about 30 minutes, about 32 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure. Thus, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2C) was obtained. Incidentally, the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound (A) at the time of the preparation / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) (equivalent ratio) = 0.06.
8. Epoxy equivalent is 832 g / eq.

【0051】実施例1(シラン変性ポリアミック酸樹脂
組成物の製造) 攪拌機、冷却管、温度計および窒素ガス導入管を備えた
2Lの3ツ口フラスコに、ポリアミック酸((株)I.
S.T製 商品名Pyre−ML:モノマー組成ピロメ
リット酸無水物、4,4’−ジアミノジフェニルエーテ
ル、溶剤:N−メチルピロリドン ポリイミド換算固形
残分:15%)1400gおよびN−メチルピロリドン
500gを加え、80℃まで昇温し、エポキシ基含有ア
ルコキシシラン部分縮合物(2A)39.4gと触媒と
して2−メチルイミダゾール0.23gを加え、80℃
で4時間、反応した。室温まで冷却し、硬化残分12%
のシラン変性ポリアミック酸樹脂組成物を得た。なお、
仕込み時の(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合
物(2)のエポキシ基の当量)/(ポリアミック酸
(1)に使用したテトラカルボン酸類のカルボン酸基の
当量)=0.07であった。
Example 1 (Production of a silane-modified polyamic acid resin composition) A 2 L three-necked flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a thermometer and a nitrogen gas introducing tube was charged with polyamic acid (I.I.
S. T-brand Pyre-ML: monomer composition pyromellitic anhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether, solvent: N-methylpyrrolidone Solid residue in terms of polyimide: 15%) 1400 g and N-methylpyrrolidone 500 g were added thereto. C., and 39.4 g of an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2A) and 0.23 g of 2-methylimidazole as a catalyst were added.
For 4 hours. Cool down to room temperature, cure residue 12%
A silane-modified polyamic acid resin composition was obtained. In addition,
At the time of preparation, (equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2)) / (equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used for polyamic acid (1)) = 0.07.

【0052】実施例2(シラン変性ポリアミック酸樹脂
組成物の製造) 実施例1と同様の装置に、Pyre−MLを1400g
およびN−メチルピロリドン500gを加え、80℃ま
で昇温し、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(2B)64.0gと触媒として2−メチルイミダゾー
ル0.23gを加え、80℃で4時間、反応した。室温
まで冷却し、硬化残分12%のシラン変性ポリアミック
酸樹脂組成物を得た。なお、仕込み時の(エポキシ基含
有アルコキシシラン部分縮合物(2)のエポキシ基の当
量)/(ポリアミック酸(1)に使用したテトラカルボ
ン酸類のカルボン酸基の当量)=0.07であった。
Example 2 (Production of silane-modified polyamic acid resin composition) In the same apparatus as in Example 1, 1400 g of Pyre-ML was added.
And 500 g of N-methylpyrrolidone, and the temperature was raised to 80 ° C., 64.0 g of an epoxy-containing alkoxysilane partial condensate (2B) and 0.23 g of 2-methylimidazole as a catalyst were added, and the reaction was carried out at 80 ° C. for 4 hours. did. After cooling to room temperature, a silane-modified polyamic acid resin composition having a cured residue of 12% was obtained. At the time of preparation, (equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2)) / (equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used for polyamic acid (1)) = 0.07. .

【0053】実施例3(シラン変性ポリアミック酸樹脂
組成物の製造) 実施例1と同様の装置に、Pyre−MLを1400g
およびN−メチルピロリドン500gを加え、80℃ま
で昇温し、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(2C)40.2gと触媒として2−メチルイミダゾー
ル0.24gを加え、80℃で4時間、反応した。室温
まで冷却し、硬化残分12%のアルコキシ基含有シラン
変性ポリアミック酸樹脂組成物を得た。なお、仕込み時
の(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2)
のエポキシ基の当量)/(ポリアミック酸(1)に使用
したテトラカルボン酸類のカルボン酸基の当量)=0.
07であった。
Example 3 (Production of silane-modified polyamic acid resin composition) In the same apparatus as in Example 1, 1400 g of Pyre-ML was added.
And 500 g of N-methylpyrrolidone, and the temperature was raised to 80 ° C .; 40.2 g of an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2C) and 0.24 g of 2-methylimidazole as a catalyst were added, and the reaction was carried out at 80 ° C. for 4 hours. did. After cooling to room temperature, an alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid resin composition having a cured residue of 12% was obtained. In addition, at the time of preparation, (epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2)
/ Equivalent of epoxy group) / (equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used in polyamic acid (1)) = 0.
07.

【0054】比較例1 ポリイミドワニス(Pyre−ML)をそのまま用い
た。
Comparative Example 1 A polyimide varnish (Pyre-ML) was used as it was.

【0055】比較例2 ポリイミドワニス(Pyre−ML)100gにテトラ
メトキシシラン部分縮合物(メチルシリケート51)を
4.4g混合し、樹脂組成物を作製した。
Comparative Example 2 A resin composition was prepared by mixing 4.4 g of tetramethoxysilane partial condensate (methyl silicate 51) with 100 g of polyimide varnish (Pyre-ML).

【0056】実施例4〜6、比較例3、4 実施例1〜3、比較例1および2のシラン変性ポリアミ
ック酸樹脂組成物をステンレス板上に塗布し、150℃
で30分間乾燥、硬化したものを更に300℃で30分
硬化させた。この作業を約10回程度繰り返し、膜厚5
0μmのポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を得
た。このポリイミド−シリカハイブリッド硬化物をステ
ンレス板から剥離し、以降の性能評価に用いた。
Examples 4 to 6, Comparative Examples 3 and 4 The silane-modified polyamic acid resin compositions of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 and 2 were applied on a stainless steel plate and heated at 150 ° C.
And cured at 300 ° C. for 30 minutes. This operation is repeated about 10 times, and the film thickness 5
A polyimide-silica hybrid cured product of 0 μm was obtained. This cured product of the polyimide-silica hybrid was peeled from the stainless steel plate, and used for subsequent performance evaluation.

【0057】(そり・割れ)得られたポリイミド−シリ
カハイブリッド硬化物を目視により判断した。結果を表
1に示す。 ○:硬化物にクラックがない。 ×:硬化物にそりや割れがある。
(Warping / cracking) The obtained cured polyimide-silica hybrid was visually judged. Table 1 shows the results. :: The cured product has no crack. ×: The cured product has warpage or cracks.

【0058】(外観)得られたポリイミド−シリカハイ
ブリッド硬化物を目視により判断した。結果を表1に示
す。 ○:透明。 ×:白化している。
(Appearance) The resulting cured polyimide-silica hybrid was visually judged. Table 1 shows the results. :: transparent. ×: Whitened.

【0059】[0059]

【表1】 [Table 1]

【0060】実施例のポリイミド−シリカハイブリッド
硬化物は透明でそりや割れを生じないが、比較例4に示
す硬化物は白濁し、そりが激しいため良好な硬化膜形成
は出来なかった。
Although the cured polyimide-silica product of the example was transparent and did not cause warpage or cracking, the cured product shown in Comparative Example 4 was cloudy and severely warped, so that a favorable cured film could not be formed.

【0061】(フィルム物性)実施例4〜6、比較例3
で作製した硬化フィルムをダンベル1号で切り抜き、テ
ンシロン試験機(オリエンテック社製,商品名UCT−
500)を用いて、50mm/分の引っ張り速度で、フ
ィルムを引き伸ばし、破断するまでのフィルム伸びおよ
び破断時の強度、弾性率を測定した。25℃で3回、同
じ方法で引っ張り試験を行い、その平均値を表2に示
す。
(Film physical properties) Examples 4 to 6, Comparative Example 3
Cut out the cured film prepared in Step 1 with a dumbbell No. 1, and use a Tensilon tester (Orientec, trade name UCT-
500), the film was stretched at a pulling speed of 50 mm / min, and the film elongation to break and the strength and elastic modulus at break were measured. Tensile tests were performed at 25 ° C. three times by the same method, and the average value is shown in Table 2.

【0062】[0062]

【表2】 [Table 2]

【0063】実施例のポリイミド−シリカハイブリッド
硬化物は、比較例のポリイミドに比べ、弾性率、破断強
度が高いため、特にプリント基板用銅張り板、電線被覆
剤として好適である。
The polyimide-silica hybrid cured product of the example is higher in elastic modulus and breaking strength than the polyimide of the comparative example, and thus is particularly suitable as a copper-clad board for a printed board and a wire coating agent.

【0064】(耐引っ掻き性)JIS K−5400の
塗料一般試験方法による鉛筆引っかき試験を行なった。
結果を表3に示す。
(Scratch resistance) A pencil scratch test was carried out according to a paint general test method of JIS K-5400.
Table 3 shows the results.

【0065】[0065]

【表3】 [Table 3]

【0066】実施例の実施例のポリイミド−シリカハイ
ブリッド硬化物は、比較例のポリイミドに比べ、鉛筆硬
度が硬く、金属塗料や耐熱コーティング剤、電線被覆剤
として特に好適である。
The polyimide-silica hybrid cured product of the example of the present invention has a higher pencil hardness than the polyimide of the comparative example, and is particularly suitable as a metal paint, a heat-resistant coating agent, and a wire coating agent.

【0067】(絶縁性)実施例4、6および比較例3で
得られた硬化フィルムを使って、周波数1MHzで誘電
率および誘電損失を測定した。結果を表4に示す。
(Insulation) Using the cured films obtained in Examples 4 and 6 and Comparative Example 3, the dielectric constant and the dielectric loss were measured at a frequency of 1 MHz. Table 4 shows the results.

【0068】[0068]

【表4】 [Table 4]

【0069】実施例のポリイミド−シリカハイブリッド
硬化物は、比較例のポリイミドに比べ、鉛誘電率が低
く、プリント基板用銅張り板やビルドアッププリント基
板用層間絶縁材料、半導体の層間絶縁膜、レジストイン
キ、導電ペースト、TABテープ等の電気絶縁材料に最
適である。
The polyimide-silica hybrid cured product of the example has a lower lead dielectric constant than the polyimide of the comparative example, and has an interlayer insulating material for a copper-clad board for a printed board or a build-up printed board, an interlayer insulating film of a semiconductor, a resist. Ideal for electrical insulating materials such as ink, conductive paste, TAB tape, etc.

【0070】(熱膨張性)実施例4、5および比較例3
で得られた硬化フィルムを使って、熱応力歪測定装置
(セイコー電子工業製TMA120C)で、100〜2
00℃の線膨張率を測定した。結果を表5に示す。
(Thermal Expansion) Examples 4 and 5 and Comparative Example 3
Using the cured film obtained in the above, with a thermal stress strain measuring device (TMA120C manufactured by Seiko Denshi Kogyo), 100 to 2
The coefficient of linear expansion at 00 ° C. was measured. Table 5 shows the results.

【0071】[0071]

【表5】 [Table 5]

【0072】実施例で得られた硬化フィルムは何れも、
線膨張率が低く、電気絶縁用材料に有用である。
The cured films obtained in the examples were all
It has a low coefficient of linear expansion and is useful as an electrical insulating material.

【0073】(密着性)実施例1〜3のシラン変性ポリ
アミック酸樹脂組成物および比較例1のポリアミック酸
樹脂組成物を、ガラス板、銅板に膜厚10μmとなるよ
うに塗布し、150℃で30分、300℃で30分間硬
化させ、ポリイミド−シリカハイブリッド硬化物を形成
させた。JIS K−5400の一般試験法によるゴバ
ン目セロハンテープ剥離試験を行ない、以下の基準で判
定した。評価結果を表6に示す。 〇:100〜90/100 △:89〜50/100 ×:49〜0/100
(Adhesion) The silane-modified polyamic acid resin compositions of Examples 1 to 3 and the polyamic acid resin composition of Comparative Example 1 were applied to a glass plate and a copper plate so as to have a film thickness of 10 μm, and were heated at 150 ° C. Curing was performed at 300 ° C. for 30 minutes for 30 minutes to form a polyimide-silica hybrid cured product. A Goban cellophane tape peeling test was performed by a general test method of JIS K-5400, and the evaluation was made based on the following criteria. Table 6 shows the evaluation results. 〇: 100 to 90/100 Δ: 89 to 50/100 ×: 49 to 0/100

【0074】[0074]

【表6】 [Table 6]

【0075】実施例のポリイミド−シリカハイブリッド
硬化物はガラス板に対する密着性が特に優れており、液
晶配向板に最適である。また銅板に対する密着性も比較
例のポリイミド膜に比べ、良好なため、プリント基板用
銅張り板やビルドアッププリント基板用層間絶縁材料、
半導体の層間絶縁膜、レジストインキ、導電ペースト等
の電子材料に好適である。
The polyimide-silica hybrid cured product of the examples has particularly excellent adhesion to a glass plate and is most suitable for a liquid crystal alignment plate. In addition, because the adhesion to the copper plate is better than the polyimide film of the comparative example, the copper-clad board for the printed board and the interlayer insulating material for the build-up printed board,
It is suitable for electronic materials such as a semiconductor interlayer insulating film, resist ink, and conductive paste.

【0076】(熱収縮率)実施例4、5、6および比較
例3で得られた硬化フィルムを使って、JISC 23
8に準じて熱収縮率を測定した。結果を表7に示す。
(Thermal Shrinkage) Using the cured films obtained in Examples 4, 5, 6 and Comparative Example 3, JISC 23
The heat shrinkage was measured according to 8. Table 7 shows the results.

【0077】[0077]

【表7】 [Table 7]

【0078】実施例のポリイミド−シリカハイブリッド
硬化物は、比較例のポリイミドに比べ、熱収縮率が低
く、プリント基板用銅張り板やビルドアッププリント基
板用層間絶縁材料、TABテープ等に使用した時の反り
が少ないため好ましい。
The cured product of the polyimide-silica hybrid of the example has a lower heat shrinkage than the polyimide of the comparative example, and is used for a copper clad board for a printed board, an interlayer insulating material for a build-up printed board, a TAB tape, and the like. This is preferable because the warpage is small.

【0079】実施例7(シラン変性ポリアミック酸樹脂
組成物の製造) 攪拌機、冷却管、温度計および窒素ガス導入管を備えた
2Lの3ツ口フラスコに、ポリアミック酸(荒川化学工
業(株)製 商品名 I-30:モノマー組成ピロメリ
ット酸無水物、4,4’−ジアミノジフェニルエーテ
ル、溶剤:ジメチルアセトアミド ポリイミド換算固形
残分:15%)1400gを80℃まで昇温し、エポキ
シ基含有アルコキシシラン部分縮合物(2A)39.4
gと触媒として2−メチルイミダゾール0.23gを加
え、80℃で4時間、反応した。室温まで冷却し、硬化
残分16%のシラン変性ポリアミック酸樹脂組成物を得
た。なお、仕込み時の(エポキシ基含有アルコキシシラ
ン部分縮合物(2)のエポキシ基の当量)/(ポリアミ
ック酸(1)に使用したテトラカルボン酸類のカルボン
酸基の当量)=0.07であった。
Example 7 (Production of silane-modified polyamic acid resin composition) A polyamic acid (manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd.) was placed in a 2 L three-necked flask equipped with a stirrer, a cooling pipe, a thermometer, and a nitrogen gas introduction pipe. Trade name I-30: monomer composition pyromellitic anhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether, solvent: dimethylacetamide Solid residue in terms of polyimide: 15%) 1400 g was heated to 80 ° C, and an epoxy group-containing alkoxysilane portion was obtained. Condensate (2A) 39.4
g and 0.23 g of 2-methylimidazole as a catalyst were added and reacted at 80 ° C. for 4 hours. After cooling to room temperature, a silane-modified polyamic acid resin composition having a cured residue of 16% was obtained. At the time of preparation, (equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2)) / (equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used for polyamic acid (1)) = 0.07. .

【0080】実施例8(プリント基板用銅張り板) 実施例7で合成したシラン変性ポリアミック酸100g
に2―メチル―4エチルイミダゾール0.5gを配合
後、厚さ35μmの厚延銅箔にアプリケーターで塗布
し、120℃、10分乾燥後、180℃で2時間硬化さ
せ、プリント基板用銅張り板を得た。
Example 8 (Copper clad board for printed circuit board) 100 g of silane-modified polyamic acid synthesized in Example 7
Was mixed with 0.5 g of 2-methyl-4-ethylimidazole, applied to a thick rolled copper foil having a thickness of 35 μm with an applicator, dried at 120 ° C. for 10 minutes, cured at 180 ° C. for 2 hours, and copper-clad for printed circuit boards I got a board.

【0081】実施例9(ビルドアップ基板用層間絶縁
膜) IPC規格のBパターンを有する基板上にスクリーン印
刷法で、実施例7のシラン変性アミック酸溶液に2―メ
チル―4エチルイミダゾール0.5gを混合した溶液を
塗布し、120℃、10分乾燥後、180℃、2時間硬
化させ、50μm厚の層間絶縁膜を形成させた。導体パ
ターンとのピール強度(JIS C6481)は13N
/cmであった。次に、表面を粗化された層間電気絶縁
塗膜を有するプリント配線板をコンディショナー処理、
マイクロエッチング、酸洗、触媒化、アクセレレータ処
理を順次行い、無電解銅メッキを行い、0.3μm厚の
薄い銅メッキを表面を粗化された層間電気絶縁塗膜上に
施し多層フレキシブル基板を作製した。引きはがし強さ
は、JIS C 6481に準じて測定し、8.0N/
cmであった。
Example 9 (Interlayer insulating film for build-up substrate) 0.5 g of 2-methyl-4-ethylimidazole was added to the silane-modified amic acid solution of Example 7 by a screen printing method on a substrate having an IPC B pattern. Was applied, dried at 120 ° C. for 10 minutes, and cured at 180 ° C. for 2 hours to form an interlayer insulating film having a thickness of 50 μm. Peel strength with conductor pattern (JIS C6481) is 13N
/ Cm. Next, the printed wiring board having an interlayer electrical insulating coating whose surface is roughened is subjected to a conditioner treatment,
Micro-etching, pickling, catalyzing, accelerator processing are sequentially performed, electroless copper plating is performed, and a thin copper plating of 0.3 μm thickness is applied on the roughened interlayer electric insulating coating film to produce a multilayer flexible substrate. did. The peeling strength was measured according to JIS C 6481, and was 8.0 N /
cm.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/312 H01L 21/312 A 5F058 21/60 311 21/60 311W H05K 1/03 610 H05K 1/03 610P Fターム(参考) 4J002 CM041 DJ016 GH01 GJ01 GQ00 GQ01 4J038 DJ031 4J040 EH031 4J043 PA19 QB15 QB26 QB31 RA02 RA05 RA35 SA06 SA47 SA54 TA21 TA22 TA23 TA47 TA71 UA042 UA121 UA122 UA131 UA132 UA251 UA261 UA262 UA762 UB011 UB121 UB281 UB291 UB301 UB401 YB02 YB08 YB29 YB40 ZA31 ZA32 ZA35 ZA42 ZA46 5F044 MM06 5F058 AA02 AC04 AF04 AH02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 21/312 H01L 21/312 A 5F058 21/60 311 21/60 311W H05K 1/03 610 H05K 1/03 610P F-term (reference) 4J002 CM041 DJ016 GH01 GJ01 GQ00 GQ01 4J038 DJ031 4J040 EH031 4J043 PA19 QB15 QB26 QB31 RA02 RA05 RA35 SA06 SA47 SA54 TA21 TA22 TA23 TA47 TA71 UA042 UA121 UA121 UA131 UA131 UA131 UA131 UA131 UA131 UA131 YB29 YB40 ZA31 ZA32 ZA35 ZA42 ZA46 5F044 MM06 5F058 AA02 AC04 AF04 AH02

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリアミック酸(1)と、1分子中に1
つの水酸基を持つエポキシ化合物(A)とアルコキシシ
ラン部分縮合物(B)との脱アルコール反応によって得
られるエポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(2)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性
ポリアミック酸、および極性溶剤を含有することを特徴
とするシラン変性ポリアミック酸樹脂組成物。
1. A polyamic acid (1) and one compound per molecule
Alkoxy-containing silane-modified polyamic acid obtained by reacting an epoxy-containing alkoxysilane partial condensate (2) obtained by a dealcoholation reaction between an epoxy compound having two hydroxyl groups (A) and an alkoxysilane partial condensate (B) And a polar solvent, and a silane-modified polyamic acid resin composition.
【請求項2】 1分子中に1つの水酸基を持つエポキシ
化合物(A)がグリシドールである請求項1に記載のシ
ラン変性ポリアミック酸樹脂組成物。
2. The silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound (A) having one hydroxyl group in one molecule is glycidol.
【請求項3】 (エポキシ基含有アルコキシシラン部分
縮合物(2)のエポキシ基の当量)/(ポリアミック酸
(1)に使用したテトラカルボン酸類のカルボン酸基の
当量)が0.01〜0.4である請求項1または2に記
載のシラン変性ポリアミック酸樹脂組成物。
3. The ratio of (equivalent of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (2)) / (equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used for polyamic acid (1)) is 0.01 to 0.1. 3. The silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1 or 2, wherein
【請求項4】 アルコキシシラン部分縮合物(B)がテ
トラメトキシシラン部分縮合物またはメチルトリメトキ
シシラン部分縮合物である請求項1〜3のいずれかに記
載のシラン変性ポリアミック酸樹脂組成物。
4. The silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1, wherein the alkoxysilane partial condensate (B) is a tetramethoxysilane partial condensate or a methyltrimethoxysilane partial condensate.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載のシラン
変性ポリアミック酸樹脂組成物を基材に塗布し、150
℃未満の温度で、乾燥、硬化して得られるポリアミック
酸−シリカ半硬化物。
5. A silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1, which is applied to a substrate,
A polyamic acid-silica semi-cured product obtained by drying and curing at a temperature of less than ° C.
【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載のシラン
変性ポリアミック酸樹脂組成物を基材に塗布または含浸
したものを、150〜500℃の温度で、乾燥、硬化し
て得られるポリイミド−シリカハイブリッド硬化物。
6. A polyimide obtained by applying or impregnating a substrate with the silane-modified polyamic acid resin composition according to claim 1 at a temperature of 150 to 500 ° C. -A silica hybrid cured product.
【請求項7】 請求項5記載の半硬化物を150〜50
0℃の温度で、硬化して得られるポリイミド−シリカハ
イブリッド硬化物。
7. The semi-cured product according to claim 5, wherein the cured product is 150 to 50.
A polyimide-silica hybrid cured product obtained by curing at a temperature of 0 ° C.
【請求項8】 請求項1〜4のいずれかに記載のアルコ
キシ基含有シラン変性ポリアミック酸を含有する電気絶
縁用樹脂組成物。
8. An electrical insulating resin composition comprising the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid according to claim 1.
【請求項9】 請求項8の電気絶縁用樹脂組成物から得
られる電気絶縁材料。
9. An electrical insulating material obtained from the electrical insulating resin composition according to claim 8.
【請求項10】 請求項1〜4のいずれかに記載のアル
コキシ基含有シラン変性ポリアミック酸を含有する耐熱
接着剤。
10. A heat-resistant adhesive containing the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid according to claim 1.
【請求項11】 請求項1〜4のいずれかに記載のアル
コキシ基含有シラン変性ポリアミック酸を含有する耐熱
コーティング剤。
11. A heat-resistant coating agent comprising the alkoxy group-containing silane-modified polyamic acid according to claim 1.
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