JP2007253384A - Multilayered polyimide film - Google Patents

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Takeshi Yoshida
武史 吉田
Tetsuo Okuyama
哲雄 奥山
Satoshi Maeda
郷司 前田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayered polyimide film which has heat resistance and surface adhesiveness and of which the coefficient of linear expansion is within a specific range. <P>SOLUTION: The multilayered polyimide film is constituted by laminating a layer (a) comprising a polyamideimide and a layer (b) comprising a polyimide which has at least a pyromellitic acid residue as a residue of an aromatic tetracarboxylic acid and a diamine residue having an oxidianilin (diaminophenyl ether) skeleton as a residue of an aromatic diamine. The thickness ratio (a)/(b) of the layer (a) and the layer (b) is 0.001-0.5 and the thickness of the layer (b) is 3-50 μm. The coefficient of linear expansion in the surface direction of the multilayered polyimide film is 10-25 ppm/°C. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、耐熱性に優れたポリイミドフィルムを基材フィルム(b)として使用し、その表面をポリアミドイミド(a)で積層することで基材フィルム(b)の耐熱特性を保持し表面物性をポリアミドイミド(a)保有の接着性に優れた物性とした多層ポリイミドフィルムに関する。   This invention uses the polyimide film excellent in heat resistance as a base film (b), and the heat resistance characteristic of a base film (b) is hold | maintained by laminating the surface with a polyamideimide (a), and surface physical properties are obtained. The present invention relates to a multilayer polyimide film having physical properties excellent in adhesion possessed by polyamideimide (a).

ポリイミドフィルムは、−269℃〜300℃までの広い温度範囲での物性変化が極めて少ないために、電気および電子分野での応用、用途が拡大している。電気分野では、例えば車両用モーターや産業用モーター等のコイル絶縁、航空機電線および超導電線の絶縁等に使用されている。一方、電子分野では、例えばフレキシブルプリント基板や、半導体実装用フィルムキャリヤーのベースフィルム等に利用されている。このようにポリイミドフィルムは、種々の機能性ポリマーフィルムの中でも極めて信頼性の高いものとして、電気および電子分野で広く利用されている。しかしながら、最近では電気および電子分野等のファイン化にともなって大きな問題が顕在化してきている。例えば、銅を蒸着又はメッキ等によって銅張したポリイミドフィルム基材からなるプリント基板は、経時変化、環境変化によって銅層の密着力が低下し、更には剥離が発生する傾向にあった。   Polyimide films have very little change in physical properties over a wide temperature range from −269 ° C. to 300 ° C., and therefore, applications and uses in the electric and electronic fields are expanding. In the electric field, for example, it is used for coil insulation of vehicle motors, industrial motors, etc., insulation of aircraft electric wires and superconducting wires. On the other hand, in the electronic field, for example, it is used for a flexible printed circuit board, a base film of a film carrier for semiconductor mounting, and the like. Thus, the polyimide film is widely used in the electrical and electronic fields as a highly reliable film among various functional polymer films. Recently, however, major problems have become apparent with the refinement of the electric and electronic fields. For example, a printed circuit board made of a polyimide film base material in which copper is copper-clad by vapor deposition or plating or the like has a tendency that the adhesive force of the copper layer is lowered due to a change with time and an environmental change, and further peeling occurs.

また、情報通信機器(放送機器、移動体無線、携帯通信機器等)、レーダーや高速情報処理装置などといった電子部品の基材の材料として、従来、セラミックが用いられていた。セラミックからなる基材は耐熱性を有し、近年の情報通信機器の信号帯域の高周波数化(GHz帯に達する)にも対応し得る。しかし、セラミックはフレキシブルでなく、薄くできないので使用できる分野が限定される。
そのため、有機材料からなるフィルムを電子部品の基材として用いる検討がなされ、ポリイミドからなるフィルム、ポリテトラフルオロエチレンからなるフィルムが提案されている。ポリイミドからなるフィルムは耐熱性に優れ、また、強靭であるのでフィルムを薄くできるという長所を備えているが、高周波の信号への適用において、信号強度の低下や信号伝達の遅れなどといった問題が懸念され、引張破断強度、引張弾性率でまだ不十分であり、線膨張係数においても大きすぎるなどの課題を有している。ポリテトラフルオロエチレンからなるフィルムは、高周波にも対応し得るが、引張弾性率が低いのでフィルムを薄くできない点、表面への金属導体や抵抗体などとの接着性が悪いという点、線膨張係数が大きく温度変化による寸法変化が著しくて微細な配線をもつ回路の製造に適さない点等が問題となり、使用できる分野が限定される。このように、耐熱性、高機械的物性、フレキシブル性を具備した基材用として十分な物性のフィルムは未だ得られていない。
In addition, ceramic has been conventionally used as a material for base materials of electronic components such as information communication equipment (broadcast equipment, mobile radio equipment, portable communication equipment, etc.), radar, high-speed information processing devices, and the like. A base material made of ceramic has heat resistance, and can cope with an increase in the frequency band (reaching the GHz band) of information communication equipment in recent years. However, ceramics are not flexible and cannot be thinned, so the fields that can be used are limited.
For this reason, studies have been made to use a film made of an organic material as a base material for an electronic component, and a film made of polyimide and a film made of polytetrafluoroethylene have been proposed. A film made of polyimide has excellent heat resistance and has the advantage that the film can be thin because it is tough. However, there are concerns about problems such as low signal strength and signal transmission delay when applied to high-frequency signals. However, the tensile strength at break and the tensile modulus are still insufficient, and the linear expansion coefficient is too large. A film made of polytetrafluoroethylene can handle high frequencies, but the tensile modulus is low, so the film cannot be made thin, the adhesion to metal conductors and resistors on the surface is poor, and the coefficient of linear expansion However, it is problematic in that it is not suitable for the production of a circuit having fine wiring due to a large dimensional change due to temperature change. Thus, a film having sufficient physical properties for a substrate having heat resistance, high mechanical properties, and flexibility has not been obtained yet.

引張弾性率を高くしたポリイミドフィルムとして、ベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムが提案されている(特許文献1参照)。このポリイミドベンゾオキサゾールフィルムを誘電層とするプリント配線板も提案されている(特許文献2、特許文献3参照)。
これらのベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムは、引張破断強度、引張弾性率で改良され、線膨張係数において満足し得る範囲のものとなっているが、その優れた機械的物性の反面でその表面特性が接着性において不十分であるなどの課題を有していた。
優れた物性のポリイミドの接着性を改良するために種々の提案がなされている、例えば接着性を有しないポリイミドフィルムの少なくとも片面に熱可塑性樹脂層を形成するもの(特許文献4参照)、ポリイミドフィルムとポリアミド系樹脂からなるフィルムとが積層される少なくとも2層フイルム(特許文献5参照)などである。
これらのポリイミドフィルム上に熱可塑性樹脂層を設けたものは、接着性の改良において十分に満足し得るものではなく、これら熱可塑性樹脂の耐熱性の低さは折角のポリイミドフィルムの耐熱性を台無しにする傾向を有していた。
特開平06−56992号公報 特表平11−504369号公報 特表平11−505184号公報 特開平09−169088号公報 特開平07−186350号公報
As a polyimide film having a high tensile modulus, a polyimide benzoxazole film made of polyimide having a benzoxazole ring in the main chain has been proposed (see Patent Document 1). A printed wiring board using the polyimide benzoxazole film as a dielectric layer has also been proposed (see Patent Document 2 and Patent Document 3).
Polyimide benzoxazole films consisting of polyimides with these benzoxazole rings in the main chain have improved tensile tensile strength and tensile elastic modulus and are within the range of satisfactory linear expansion coefficients. In spite of its physical properties, it has problems such as insufficient surface properties in terms of adhesion.
Various proposals have been made to improve the adhesion of polyimide with excellent physical properties. For example, a polyimide film that has a thermoplastic resin layer on at least one surface of a polyimide film that does not have adhesion (see Patent Document 4), a polyimide film And at least a two-layer film in which a film made of polyamide resin is laminated (see Patent Document 5).
Those with a thermoplastic resin layer on these polyimide films are not fully satisfactory in improving adhesion, and the low heat resistance of these thermoplastic resins ruins the heat resistance of the folded polyimide film. Had a tendency to
Japanese Patent Laid-Open No. 06-56992 Japanese National Patent Publication No. 11-504369 Japanese National Patent Publication No. 11-505184 Japanese Patent Laid-Open No. 09-169088 JP 07-186350 A

本発明は、耐熱性に優れたポリイミドフィルムの優れた機械的特性を持ち、かつ接着性などの表面特性が充分に改良されたフィルムを提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a film having excellent mechanical properties of a polyimide film excellent in heat resistance and sufficiently improved surface properties such as adhesiveness.

本発明は、特定ポリイミドの少なくとも片面に特定接着剤層を積層することで前記の課題を解決し、その目的を達成したものである。
すなわち本発明は、下記の構成からなる。
1.下記(a)層と(b)層とが少なくとも積層されてなる構成の多層ポリイミドフィルム。
(a)層:ポリアミドイミド、
(b)層:少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン骨格を有するジアミン残基を有するポリイミド。
2.多層ポリイミドフィルムの構成が(a)/(b)/(a)の三層構造である前記1記載の多層ポリイミドフィルム。
3.(a)層のポリアミドイミドが、固形分換算で1質量%〜30質量%のエポキシ樹脂が配合されてなるポリアミドイミド組成物である前記1又は2記載の多層ポリイミドフィルム。
4.(a)層と(b)層との厚さの比(a)/(b)が0.001〜0.5であり、(b)層の厚さが3〜50μmである前記1〜3のいずれかに記載の多層ポリイミドフィルム。
5.多層ポリイミドフィルムの面方向での線膨張係数が10〜25ppm/℃である前記1〜4いずれかに記載の多層ポリイミドフィルム。
This invention solves the said subject by laminating | stacking a specific adhesive bond layer on the at least single side | surface of a specific polyimide, and achieves the objective.
That is, this invention consists of the following structures.
1. The multilayer polyimide film of the structure by which the following (a) layer and (b) layer are laminated | stacked at least.
(A) Layer: polyamideimide,
(B) Layer: A polyimide having at least a pyromellitic acid residue as an aromatic tetracarboxylic acid residue and a diamine residue having an oxydianiline skeleton as an aromatic diamine residue.
2. 2. The multilayer polyimide film according to 1 above, wherein the multilayer polyimide film has a three-layer structure of (a) / (b) / (a).
3. (A) The multilayer polyimide film according to 1 or 2 above, wherein the polyamideimide of the layer is a polyamideimide composition in which an epoxy resin of 1% by mass to 30% by mass in terms of solid content is blended.
4). The ratio (a) / (b) of the thickness of the (a) layer and the (b) layer is 0.001 to 0.5, and the thickness of the (b) layer is 3 to 50 μm. A multilayer polyimide film according to any one of the above.
5). The multilayer polyimide film according to any one of 1 to 4 above, wherein a linear expansion coefficient in the plane direction of the multilayer polyimide film is 10 to 25 ppm / ° C.

本発明の(a)層のポリアミドイミドと(b)層の少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン骨格を有するジアミン残基(以下ジアミノジフェニルエーテル残基ともいう)を有するポリイミドとを積層したフィルムであって、(a)層と(b)層の厚さの比(a)/(b)が0.001〜0.5であり、(b)層の厚さが3〜50μmである多層ポリイミドフィルムは、(b)層のポリイミドフィルムの有する耐熱性と特定範囲の線膨張係数とを保持し、かつその金属などと接する表面が(a)層の接着性に優れたポリアミドイミドの保有する物性となり両者の優れた点を具備するフィルムとなり、金属薄膜積層材の基材フィルム、金属箔との接合積層フィルムの基材フィルムなどに有効であり、例えばフレキシブルプリント基板などとして極めて有用である。   The polyamideimide of the (a) layer of the present invention and the pyromellitic acid residue as the residue of at least the aromatic tetracarboxylic acid of the (b) layer, and the diamine residue having an oxydianiline skeleton as the residue of the aromatic diamine A film in which polyimide having (hereinafter also referred to as diaminodiphenyl ether residue) is laminated, and the ratio (a) / (b) of the thickness of (a) layer and (b) layer is 0.001 to 0.5. (B) The multilayer polyimide film having a layer thickness of 3 to 50 μm retains the heat resistance of the (b) layer polyimide film and the linear expansion coefficient in a specific range, and is in contact with the metal. The surface becomes a film possessing the physical properties possessed by the polyamide-imide having excellent adhesion of the layer (a) and has both excellent points. It is effective like the substrate film of Lum, for example, very useful as a flexible printed circuit board.

本発明の多層ポリイミドフィルムは、(a)層と(b)層とが少なくとも積層されてなる構成の多層ポリイミドフィルムであり、(a)層はポリアミドイミド層からなり、(b)層は少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドの層であり、(a)層と(b)層の厚さの比(a)/(b)が0.001〜0.5であり、(b)層の厚さが3〜50μmである多層ポリイミドフィルムである。
本発明における(b)層である、少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン骨格を有するジアミン残基を有するポリイミドフィルムは、例えばピロメリット酸(無水物、誘導体も含む)などの芳香族テトラカルボン酸とオキシジアニリン骨格を有するジアミンとを溶媒中で反応せしめそのポリイミドの前駆体であるポリアミド酸溶液を得て、該溶液を支持体上に流延し、乾燥してポリイミドの前駆体フィルム(グリーンフィルムともいう)を得て、該前駆体フィルムをさらに熱処理してイミド化しポリイミドフィルムを得る方法で製造することができる。
The multilayer polyimide film of the present invention is a multilayer polyimide film having a configuration in which at least (a) layer and (b) layer are laminated, (a) layer is composed of a polyamideimide layer, and (b) layer is at least aromatic. A layer of polyimide having a pyromellitic acid residue as a residue of an aromatic tetracarboxylic acid and a diamine residue having an oxydianiline skeleton as a residue of an aromatic diamine, wherein the layers (a) and (b) A multilayer polyimide film having a thickness ratio (a) / (b) of 0.001 to 0.5 and (b) a thickness of 3 to 50 μm.
The polyimide film having a diamine residue having an oxydianiline skeleton as a residue of at least a pyromellitic acid residue as a residue of an aromatic tetracarboxylic acid and a residue of an aromatic diamine as a layer (b) in the present invention, For example, an aromatic tetracarboxylic acid such as pyromellitic acid (including anhydrides and derivatives) and a diamine having an oxydianiline skeleton are reacted in a solvent to obtain a polyamic acid solution that is a precursor of the polyimide. Can be cast on a support, dried to obtain a polyimide precursor film (also referred to as a green film), and the precursor film is further heat-treated to be imidized to obtain a polyimide film.

本発明における(b)層である芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン骨格を有するポリイミドについて以下詳述する。
本発明において、ピロメリット酸残基とは、ピロメリット酸の酸および無水物、ハロゲン化物などの官能性誘導体からの芳香族ジアミンとの反応によって形成されるポリアミド酸もしくはポリイミド中での結合におけるピロメリット酸由来の残基をいう。オキシジアニリン骨格を有するジアミン残基(ジアミノジフェニルエーテル残基)とはオキシジアニリン(ジアミノジフェニルエーテル)とその各種誘導体からの芳香族テトラカルボン酸類との反応によって形成されるポリアミド酸もしくはポリイミド中での結合におけるオキシジアニリン(ジアミノジフェニルエーテル)由来の残基をいう。
以下本発明においては、他芳香族テトラカルボン酸残基、他芳香族ジアミン残基とも、同様の意味を表すものである。
The polyimide having a pyromellitic acid residue as the residue of the aromatic tetracarboxylic acid that is the layer (b) and the oxydianiline skeleton as the residue of the aromatic diamine in the present invention will be described in detail below.
In the present invention, a pyromellitic acid residue is a pyromellitic acid that is formed by a reaction with an aromatic diamine from a functional derivative such as pyromellitic acid and an anhydride or halide. It refers to a residue derived from merit acid. A diamine residue (diaminodiphenyl ether residue) having an oxydianiline skeleton is a bond in polyamic acid or polyimide formed by reaction of oxydianiline (diaminodiphenyl ether) with aromatic tetracarboxylic acids from various derivatives thereof. This is a residue derived from oxydianiline (diaminodiphenyl ether).
Hereinafter, in the present invention, other aromatic tetracarboxylic acid residues and other aromatic diamine residues have the same meaning.

本発明の基材としての(b)層のポリイミドフィルムは、芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸類とを反応させて得られるポリイミドからなり、かつ、ポリイミドが少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、芳香族ジアミン類の残基としてジアミノジフェニルエーテル残基を有するものである。
上述の「反応」は、まず、溶媒中で芳香族ジアミン類と芳香族テトラカルボン酸類とを開環重付加反応などに供して芳香族ポリアミド酸溶液を得て、次いで、この芳香族ポリアミド酸溶液からグリーンフィルムを成形した後に高温熱処理もしくは脱水縮合(イミド化)することによりなされる。
The polyimide film of layer (b) as the substrate of the present invention is made of polyimide obtained by reacting aromatic diamines and aromatic tetracarboxylic acids, and the polyimide is at least a residue of aromatic tetracarboxylic acids. It has a pyromellitic acid residue as a group and a diaminodiphenyl ether residue as a residue of an aromatic diamine.
In the above-mentioned “reaction”, first, aromatic diamines and aromatic tetracarboxylic acids are subjected to a ring-opening polyaddition reaction or the like in a solvent to obtain an aromatic polyamic acid solution, and then the aromatic polyamic acid solution. After forming a green film from the above, it is performed by high-temperature heat treatment or dehydration condensation (imidization).

芳香族ポリアミド酸は、上記芳香族テトラカルボン酸類(酸、無水物、官能性誘導体を総称する、以下芳香族テトラカルボン酸ともいう)と芳香族ジアミン類(以下芳香族ジアミンともいう)との実質的に等モル量を好ましくは90℃以下の重合温度において1分〜数日間不活性有機溶媒中で反応・重合させることにより製造される。芳香族テトラカルボン酸と芳香族ジアミンは混合物としてそのままあるいは溶液として有機溶媒に加えてもよいしあるいは有機溶媒を上記成分に加えてもよい。有機溶媒は重合成分の一部又は全部を溶解してもよくそして好ましくはコポリアミド酸重合物を溶解するものである。
好ましい溶媒には、N,N−ジメチルホルムアミドおよびN,N−ジメチルアセトアミドがある。この種の溶媒のうちで他の有用な化合物はN,N−ジエチルホルムアミドおよびN,N−ジエチルアセトアミドである。用いることのできる他の溶媒はジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、N−シクロヘキシル−2−ピロリドンなどである。溶媒は単独で、お互いに組み合わせてあるいはベンゼン、ベンゾニトリル、ジオキサンなどのような貧溶媒と組み合わせて用いることができる。
溶媒の使用量は芳香族ポリアミド酸溶液の75〜90質量%の範囲にあることが好ましい、この濃度範囲は最適の分子量を与えるからである。芳香族テトラカルボン酸と芳香族ジアミン成分は絶対的に等モル量で用いる必要はない。分子量を調整するために、芳香族テトラカルボン酸:芳香族ジアミンのモル比は0.90〜1.10の範囲にある。
上述したようにして製造した芳香族ポリアミド酸溶液は5〜40質量%好ましくは10〜25質量%のポリアミド酸重合体を含有する。
The aromatic polyamic acid is a substance comprising the above aromatic tetracarboxylic acids (collectively referred to as acids, anhydrides and functional derivatives, hereinafter also referred to as aromatic tetracarboxylic acids) and aromatic diamines (hereinafter also referred to as aromatic diamines). In particular, an equimolar amount is preferably produced by reacting and polymerizing in an inert organic solvent at a polymerization temperature of 90 ° C. or less for 1 minute to several days. The aromatic tetracarboxylic acid and the aromatic diamine may be added to the organic solvent as a mixture or as a solution, or an organic solvent may be added to the above components. The organic solvent may dissolve some or all of the polymerization components and preferably dissolves the copolyamic acid polymer.
Preferred solvents include N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide. Other useful compounds of this type are N, N-diethylformamide and N, N-diethylacetamide. Other solvents that can be used are dimethyl sulfoxide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-cyclohexyl-2-pyrrolidone and the like. Solvents can be used alone or in combination with each other or with poor solvents such as benzene, benzonitrile, dioxane and the like.
The amount of solvent used is preferably in the range of 75-90% by weight of the aromatic polyamic acid solution, since this concentration range gives the optimum molecular weight. The aromatic tetracarboxylic acid and the aromatic diamine component need not be used in absolute equimolar amounts. In order to adjust the molecular weight, the molar ratio of aromatic tetracarboxylic acid: aromatic diamine is in the range of 0.90 to 1.10.
The aromatic polyamic acid solution produced as described above contains 5 to 40% by mass, preferably 10 to 25% by mass of the polyamic acid polymer.

本発明においては、特にこれら芳香族ジアミン類の中でジアミノジフェニルエーテル(オキシジアニリン)が好適なジアミンである。ジアミノジフェニルエーテルの具体例には4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(DADE)、3,3’−ジアミノジフェニルエーテルおよび3,4’−ジアミノジフェニルエーテルが挙げられる。
好ましい態様としてこれらのジアミノジフェニルエーテルに加えて少量のフェニレンジアミン類好ましくはp−フェニレンジアミンが使用できる。さらにこれらの芳香族ジアミン類に加えて他の芳香族ジアミンを適宜選択使用してもよい。
本発明においては、芳香族テトラカルボン酸類の中でピロメリット酸類(ピロメリト酸およびその二無水物(PMDA)ならびにそれらの低級アルコールエステル)が好ましい。
好ましい態様としてピロメリット酸に加えて少量のビフェニルテトラカルボン酸類好ましくは3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸類が使用できる。さらにこれらの芳香族テトラカルボン酸類に加えて他の芳香族テトラカルボン酸類を適宜選択使用してもよい。
本発明において、ジアミノジフェニルエーテル類は全芳香族ジアミン類に対して80〜100モル%、フェニレンジアミン類は全芳香族ジアミン類に対して0〜20モル%、前2者以外の他の芳香族ジアミン類は全芳香族ジアミン類に対して0〜20モル%使用することが好ましい。これらのモル%比がこの範囲を超える場合、可撓性、剛直性、強度、弾性率吸水率性、吸湿膨脹係数、伸度などの耐熱性ポリイミドフィルムとしてのバランスが崩れ好ましくない。
In the present invention, among these aromatic diamines, diaminodiphenyl ether (oxydianiline) is a preferred diamine. Specific examples of diaminodiphenyl ether include 4,4′-diaminodiphenyl ether (DADE), 3,3′-diaminodiphenyl ether and 3,4′-diaminodiphenyl ether.
In a preferred embodiment, a small amount of phenylenediamine, preferably p-phenylenediamine, can be used in addition to these diaminodiphenyl ethers. Furthermore, in addition to these aromatic diamines, other aromatic diamines may be appropriately selected and used.
In the present invention, among the aromatic tetracarboxylic acids, pyromellitic acids (pyromellitic acid and its dianhydride (PMDA) and lower alcohol esters thereof) are preferable.
As a preferred embodiment, in addition to pyromellitic acid, a small amount of biphenyltetracarboxylic acid, preferably 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid can be used. Furthermore, in addition to these aromatic tetracarboxylic acids, other aromatic tetracarboxylic acids may be appropriately selected and used.
In the present invention, diaminodiphenyl ethers are 80 to 100 mol% based on the total aromatic diamines, phenylenediamines are 0 to 20 mol% based on the total aromatic diamines, and other aromatic diamines other than the former two. It is preferable to use 0 to 20 mol% of the aromatics based on the total aromatic diamines. When the mole% ratio exceeds this range, the balance as a heat-resistant polyimide film such as flexibility, rigidity, strength, elastic modulus water absorption, hygroscopic expansion coefficient, and elongation is lost.

本発明において、ピロメリット酸無水物は全芳香族テトラカルボン酸類に対して80〜100モル%、ビフェニルテトラカルボン酸類好ましくは3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸無水物は全芳香族テトラカルボン酸類に対して0〜20モル%、他の芳香族テトラカルボン酸類は全芳香族テトラカルボン酸類に対して0〜20モル%使用することが好ましい。これらのモル%比がこの範囲を超える場合、可撓性、剛直性、強度、弾性率、吸水率、吸湿膨脹係数、伸度などの耐熱性ポリイミドフィルムとしてのバランスが崩れ好ましくない。   In the present invention, pyromellitic anhydride is 80 to 100 mol% with respect to the wholly aromatic tetracarboxylic acid, and biphenyltetracarboxylic acid, preferably 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic anhydride is wholly aromatic. It is preferable to use 0-20 mol% with respect to the aromatic tetracarboxylic acids, and 0-20 mol% with respect to the total aromatic tetracarboxylic acids. When the mole% ratio exceeds this range, the balance as a heat-resistant polyimide film such as flexibility, rigidity, strength, elastic modulus, water absorption rate, hygroscopic expansion coefficient, and elongation is lost, which is not preferable.

前記の芳香族ジアミン類、芳香族テトラカルボン酸類以外に使用できるものは特に限定されないが、例えば以下に示すものである。
5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、6−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、5−アミノ−2−(m−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、6−アミノ−2−(m−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン。
上記芳香族ジアミンにおける芳香環上の水素原子の一部もしくは全てがハロゲン原子、炭素数1〜3のアルキル基又はアルコキシル基、シアノ基、又はアルキル基又はアルコキシル基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数1〜3のハロゲン化アルキル基又はアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。
Although what can be used other than said aromatic diamines and aromatic tetracarboxylic acids is not specifically limited, For example, it shows as follows.
5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole, 6-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole, 5-amino-2- (m-aminophenyl) benzoxazole, 6-amino-2 -(M-aminophenyl) benzoxazole, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] Sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiph Nyl sulfoxide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3, 3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1- Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,2-bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane.
Some or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring in the aromatic diamine are halogen atoms, alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms or alkoxyl groups, cyano groups, or some or all of hydrogen atoms of alkyl groups or alkoxyl groups. An aromatic diamine substituted with a halogenated alkyl group having 1 to 3 carbon atoms substituted with a halogen atom or an alkoxyl group is exemplified.

ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、2,2−ビス[4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル]プロパン酸無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4、4’−オキシジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン酸二無水物、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物などである。
本発明の基材としての(b)層としてのポリイミドフィルムの厚さは特に限定されないが、電子基板の基材に用いることを考慮すると、通常1〜150μm、好ましくは3〜50μmである。この厚さはポリアミド酸溶液を支持体に塗布する際の塗布量や、ポリアミド酸溶液の濃度によって容易に制御し得る。
本発明の基材としてのポリイミドフィルムには、滑剤をポリイミド中に添加含有せしめるなどしてフィルム表面に微細な凹凸を付与しフィルムの滑り性を改善することが好ましい。
滑剤としては、無機や有機の0.03〜3μm程度の平均粒子径を有する微粒子が使用でき、具体例として、酸化チタン、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、燐酸水素カルシウム、ピロ燐酸カルシウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、粘土鉱物などが挙げられる。
Bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), 2,2-bis [4- (3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propanoic acid anhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetra Carboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalene Tetracarboxylic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic acid Anhydrides, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropanoic acid dianhydride, 4,4′-hexafluoroisopropylidenediphthalic anhydride and the like.
Although the thickness of the polyimide film as the (b) layer as the substrate of the present invention is not particularly limited, it is usually from 1 to 150 μm, preferably from 3 to 50 μm in consideration of use as the substrate of the electronic substrate. This thickness can be easily controlled by the amount of the polyamic acid solution applied to the support and the concentration of the polyamic acid solution.
In the polyimide film as the substrate of the present invention, it is preferable to improve the slipperiness of the film by imparting fine irregularities to the film surface by adding a lubricant to the polyimide.
As the lubricant, inorganic or organic fine particles having an average particle diameter of about 0.03 to 3 μm can be used. Specific examples include titanium oxide, alumina, silica, calcium carbonate, calcium phosphate, calcium hydrogen phosphate, calcium pyrophosphate, Examples include magnesium oxide, calcium oxide, and clay minerals.

ポリアミド酸を得るための重合反応(以下、単に「重合反応」ともいう)の条件は従来公知の条件を適用すればよく、具体例として、有機溶媒中、0〜80℃の温度範囲で、10分〜30時間連続して撹拌および/又は混合することが挙げられる。必要により重合反応を分割したり、温度を上下させてもかまわない。この場合に、両モノマーの添加順序には特に制限はないが、芳香族ジアミン類の溶液中に芳香族テトラカルボン酸無水物類を添加するのが好ましい。重合反応によって得られるポリアミド酸溶液に占めるポリアミド酸の質量は、好ましくは5〜40質量%、より好ましくは10〜30質量%であり、前記溶液の粘度はブルックフィールド粘度計による測定(25℃)で、送液の安定性の点から、好ましくは10〜2000Pa・sであり、より好ましくは100〜1000Pa・sである。
本発明におけるポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)は、特に限定するものではないが2.0dl/g以上が好ましく、3.0dl/g以上がさらに好ましい。
Conventionally known conditions may be applied for the polymerization reaction for obtaining the polyamic acid (hereinafter also simply referred to as “polymerization reaction”). As a specific example, in a temperature range of 0 to 80 ° C., 10 Stirring and / or mixing continuously for 30 minutes. If necessary, the polymerization reaction may be divided or the temperature may be increased or decreased. In this case, the order of adding both monomers is not particularly limited, but it is preferable to add aromatic tetracarboxylic acid anhydrides to the solution of aromatic diamines. The mass of the polyamic acid in the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 10 to 30% by mass, and the viscosity of the solution is measured with a Brookfield viscometer (25 ° C.). From the viewpoint of the stability of liquid feeding, it is preferably 10 to 2000 Pa · s, and more preferably 100 to 1000 Pa · s.
The reduced viscosity (ηsp / C) of the polyamic acid in the present invention is not particularly limited, but is preferably 2.0 dl / g or more, and more preferably 3.0 dl / g or more.

重合反応中に真空脱泡することは、良質なポリアミド酸の有機溶媒溶液を製造するのに有効である。また、重合反応の前に芳香族ジアミン類に少量の末端封止剤を添加して重合を制御することを行ってもよい。末端封止剤としては、無水マレイン酸等といった炭素−炭素二重結合を有する化合物が挙げられる。無水マレイン酸を使用する場合の使用量は、芳香族ジアミン類1モル当たり好ましくは0.001〜1.0モルである。
重合反応により得られるポリアミド酸溶液から、(b)層のポリイミドフィルムを形成するためには、ポリアミド酸溶液を支持体上に塗布して乾燥するなどによりグリーンフィルムを得て、次いで、グリーンフィルムを熱処理に供することでイミド化反応させる方法を挙げることができる。
Vacuum defoaming during the polymerization reaction is effective for producing a high-quality polyamic acid organic solvent solution. Moreover, you may perform superposition | polymerization by adding a small amount of terminal blockers to aromatic diamines before a polymerization reaction. Examples of the end capping agent include compounds having a carbon-carbon double bond such as maleic anhydride. The amount of maleic anhydride used is preferably 0.001 to 1.0 mol per mol of aromatic diamine.
In order to form the polyimide film of the layer (b) from the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction, the polyamic acid solution is applied on a support and dried to obtain a green film. A method of imidization reaction by subjecting to heat treatment can be mentioned.

ポリアミド酸溶液を塗布する(共押し出しの場合においても同様)支持体は、ポリアミド酸溶液をフィルム状に成形するに足る程度の平滑性、剛性を有していればよく、表面が金属、プラスチック、ガラス、磁器などであるドラム又はベルト状回転体などが挙げられる。また、適度な剛性と高い平滑性を有する高分子フィルムを利用する方法も好ましい態様である。中でも、支持体の表面は好ましくは金属であり、より好ましくは錆びなくて耐腐食に優れるステンレスである。支持体の表面にはCr、Ni、Snなどの金属メッキを施してもよい。支持体表面は必要に応じて鏡面にしたり、あるいは梨地状に加工することができる。支持体へのポリアミド酸溶液の塗布は、スリット付き口金からの流延、押出機による押出し、スキージコーティング、リバースコーティング、ダイコーティング、アプリケータコーティング、ワイヤーバーコーティング等を含むが、これらに限られず、従来公知の溶液の塗布手段を適宜用いることができる。   The support to which the polyamic acid solution is applied (similarly in the case of coextrusion) only needs to have smoothness and rigidity sufficient to form the polyamic acid solution into a film, and the surface thereof is made of metal, plastic, Examples thereof include a drum or belt-shaped rotating body such as glass and porcelain. A method using a polymer film having moderate rigidity and high smoothness is also a preferred embodiment. Among them, the surface of the support is preferably a metal, more preferably stainless steel that does not rust and has excellent corrosion resistance. The surface of the support may be plated with metal such as Cr, Ni, or Sn. The surface of the support can be mirror-finished or processed into a satin finish as required. Application of the polyamic acid solution to the support includes, but is not limited to, casting from a slit base, extrusion through an extruder, squeegee coating, reverse coating, die coating, applicator coating, wire bar coating, etc. Conventionally known solution coating means can be appropriately used.

本発明における(a)層であるポリアミドイミドは、従来公知の直接法(酸無水物とアミンの反応)、酸クロライド法およびイソシアネート法等で製造することができる。
使用することのできる単量体の例を、酸成分およびアミン成分の形で下記に示すが、アミン成分としてこれらのイソシアネート、酸成分としてこれらの酸無水物および酸塩化物も用いることができる。
アミン成分としては、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−ジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、2,2’−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,4−トリレンジアミン、2,6−トリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、m−キシリレンジアミン、イソホロン、ヘキサメチレンジアミン等が挙げられる。
酸成分としては、テレフタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸、4,4’−ビフェニルジカルボン酸、ピロメリット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマール酸、ダイマー酸、スチルベンジカルボン酸等が挙げられる。
The polyamideimide as the layer (a) in the present invention can be produced by a conventionally known direct method (reaction of acid anhydride and amine), an acid chloride method, an isocyanate method, or the like.
Examples of monomers that can be used are shown below in the form of an acid component and an amine component. These isocyanates can be used as the amine component, and these acid anhydrides and acid chlorides can also be used as the acid component.
Examples of the amine component include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diamino-diphenylsulfone, 4,4′-diaminobenzophenone, 2 2,2'-bis (4-aminophenyl) propane, 2,4-tolylenediamine, 2,6-tolylenediamine, p-xylylenediamine, m-xylylenediamine, isophorone, hexamethylenediamine and the like. .
Examples of the acid component include terephthalic acid, isophthalic acid, trimellitic acid, 4,4′-biphenyldicarboxylic acid, pyromellitic acid, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4, Examples include 4'-biphenylsulfonetetracarboxylic acid, adipic acid, sebacic acid, maleic acid, fumaric acid, dimer acid, stilbene dicarboxylic acid, and the like.

本発明における(a)層であるポリアミドイミドは、固形分換算で1質量%〜30
質量%のエポキシ樹脂を含有せしめることが好ましい態様である。本発明に用いるエポキシ樹脂としては、たとえば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、O−クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、N,N,N’,N’−テトラグリシジルメタキシレンジアミン等のアミン変性エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート等のイソシアヌレートエポキシ樹脂、又はこれらの水素化物やハロゲン化物等をエポキシ当量にかかわらず用いることができる。特に、積層、硬化後の耐熱性と積層時の熱融着性とのバランスから、エピコート154(油化シェル(株)製)等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、配合量は1質量%から30質量%が好ましい。1質量%より少ないと積層時の熱融着性の改良効果が少なく、また、30質量%を超えると積層、硬化後の耐熱性が低下する。また、本発明で用いるエポキシ樹脂は、2種以上の混合物で用いることもできる。
The polyamideimide as the layer (a) in the present invention is 1% by mass to 30% in terms of solid content.
It is a preferable embodiment to contain a mass% of an epoxy resin. Examples of the epoxy resin used in the present invention include phenol novolac type epoxy resins, O-cresol novolac type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, glycidyl ether type epoxy resins, and glycidyl. Epoxy equivalents of ester-type epoxy resins, amine-modified epoxy resins such as N, N, N ′, N′-tetraglycidylmetaxylenediamine, isocyanurate epoxy resins such as triglycidyl isocyanurate, or hydrides and halides thereof. Can be used regardless. In particular, a phenol novolac type epoxy resin such as Epicoat 154 (manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) is preferable from the balance between heat resistance after lamination and curing and heat fusion property at the time of lamination, and the blending amount is from 1% by mass. 30% by mass is preferred. If it is less than 1% by mass, the effect of improving the heat-fusibility at the time of lamination is small, and if it exceeds 30% by mass, the heat resistance after lamination and curing is lowered. Moreover, the epoxy resin used by this invention can also be used with 2 or more types of mixtures.

本発明の多層ポリイミドフィルムの多層化(積層)方法は、両層の密着に問題が生じなければ、特に限定されるものではなくて、かつ他の層例えば接着剤層などを介することなく密着するものであればよく、例えば、共押し出しによる方法、一方の層であるポリイミドフィルム上に他方のポリアミド酸溶液を流延してこれをイミド化する方法、(b)層上に(a)のポリアミド酸溶液をスプレーコートなどで塗布してイミド化する方法などが挙げられる。
多層の構成は、少なくとも(a)層、(b)層が積層されておれば良いが、(b)層上に(a)層が積層されたもの、(a)/(b)/(a)の構成である(b)層の両面に(a)層が積層されたものが好ましい。
The method of multilayering (lamination) of the multilayer polyimide film of the present invention is not particularly limited as long as there is no problem in adhesion between the two layers, and the multilayer polyimide film is adhered without interposing another layer such as an adhesive layer. For example, a method by coextrusion, a method in which the other polyamic acid solution is cast on a polyimide film which is one layer, and imidized by this, (b) a polyamide in (a) on a layer Examples include a method of imidizing by applying an acid solution by spray coating or the like.
The multi-layer structure is sufficient if at least the (a) layer and the (b) layer are laminated, but the (a) layer is laminated on the (b) layer, (a) / (b) / (a The layer (a) is preferably laminated on both sides of the layer (b).

本発明の多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、本発明の主旨からして(a)/(b)の厚さの比(三層構成の場合においても(a)は単層での計算である)は0.001〜0.5が好ましく、より好ましくは0.005〜0.20である。(a)/(b)の厚さの比が0.5を超えると機械的強度が不足したり、線膨張係数が大きくなりすぎる場合がある。一方0.001未満の場合、表面特性の改良効果が不足する場合がある。機械的強度を主に担う(b)層の厚さが3〜50μmであることが好ましい。
これらの構成によって耐熱性を保持して、かつ面方向での線膨張係数が10〜25ppm/℃である多層ポリイミドフィルムとなる。
The thickness ratio of (a) / (b) in the multilayer polyimide film of the present invention is the ratio of the thickness of (a) / (b) (in the case of a three-layer structure (a ) Is a calculation in a single layer) is preferably 0.001 to 0.5, more preferably 0.005 to 0.20. When the thickness ratio of (a) / (b) exceeds 0.5, the mechanical strength may be insufficient or the linear expansion coefficient may be too large. On the other hand, if it is less than 0.001, the effect of improving the surface characteristics may be insufficient. The thickness of the (b) layer mainly responsible for mechanical strength is preferably 3 to 50 μm.
With these structures, a multilayer polyimide film having heat resistance and a linear expansion coefficient in the plane direction of 10 to 25 ppm / ° C. is obtained.

本発明における面方向での線膨張係数(CTE)の測定は下記による。
<多層ポリイミドフィルムの線膨張係数測定>
測定対象の多層ポリイミドフィルムについて、下記条件にてMD方向およびTD方向の伸縮率を測定し、90℃〜100℃、100℃〜110℃、…と10℃の間隔での伸縮率/温度を測定し、この測定を400℃まで行い、100℃から350℃までの全測定値の平均値をCTE(平均値)として算出した。MD方向、TD方向の意味は、流れ方向(MD方向;長尺フィルムの長さ方向)および幅方向(TD方向;長尺フィルムの幅方向)を示すものである。面方向での線膨張係数はMD方向、TD方向の値の平均値である。
装置名 ; MACサイエンス社製TMA4000S
試料長さ ; 10mm
試料幅 ; 2mm
昇温開始温度 ; 25℃
昇温終了温度 ; 400℃
昇温速度 ; 5℃/min
雰囲気 ; アルゴン
The measurement of the linear expansion coefficient (CTE) in the surface direction in the present invention is as follows.
<Measurement of linear expansion coefficient of multilayer polyimide film>
About the multilayer polyimide film to be measured, the stretch rate in the MD direction and the TD direction is measured under the following conditions, and the stretch rate / temperature at intervals of 90 ° C. to 100 ° C., 100 ° C. to 110 ° C.,. Then, this measurement was performed up to 400 ° C., and the average value of all measured values from 100 ° C. to 350 ° C. was calculated as CTE (average value). The meanings of the MD direction and the TD direction indicate the flow direction (MD direction; the length direction of the long film) and the width direction (TD direction; the width direction of the long film). The linear expansion coefficient in the plane direction is an average value of values in the MD direction and the TD direction.
Device name: TMA4000S manufactured by MAC Science
Sample length; 10mm
Sample width: 2 mm
Temperature rise start temperature: 25 ° C
Temperature rising end temperature: 400 ° C
Temperature increase rate: 5 ° C / min
Atmosphere: Argon

本発明の多層ポリイミドフィルムにおける(a)層、(b)層には、滑剤をポリイミド中に添加含有せしめるなどして層(フィルム)表面に微細な凹凸を付与しフィルムの滑り性などを改善することが好ましい。
滑剤としては、無機や有機の0.03μm〜3μm程度の平均粒子径を有する微粒子が使用でき、具体例として、酸化チタン、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、燐酸水素カルシウム、ピロ燐酸カルシウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、粘土鉱物などが挙げられる。
本発明においては得られた多層ポリイミドフィルムの表面(特に(a)の表面)を、コロナ処理、大気圧プラズマ処理、真空プラズマ放電処理することは、更なる接着力を高めるために好ましい実施態様である。
大気圧プラズマ処理は好ましくは不活性ガスプラズマであり、不活性ガスとしては窒素ガス、Ne、Ar、Kr、Xeが用いられる。プラズマを発生させる方法に格別な制限はなく、不活性気体をプラズマ発生装置内に導入し、プラズマを発生させればよい。プラズマ処理に要する時間は特に限定されず、通常1秒〜30分、好ましくは10秒〜10分である。プラズマ処理時のプラズマの周波数と出力、プラズマ発生のためのガス圧、処理温度に関しても格別な制限はなく、プラズマ処理装置で扱える範囲であれば良い。周波数は通常13.56MHz、出力は通常50W〜1000W、ガス圧は通常0.01Pa〜10Pa、温度は、通常20℃〜250℃、好ましくは20℃〜180℃である。出力が高すぎるとフィルム表面に亀裂の入るおそれがある。また、ガス圧が高すぎるとフィルム表面の平滑性が低下するおそれがある。
In the multilayer polyimide film of the present invention, the layer (a) and the layer (b) are provided with a lubricant in the polyimide to give fine irregularities on the surface of the layer (film), thereby improving the slipperiness of the film. It is preferable.
As the lubricant, inorganic or organic fine particles having an average particle diameter of about 0.03 μm to 3 μm can be used. Specific examples include titanium oxide, alumina, silica, calcium carbonate, calcium phosphate, calcium hydrogen phosphate, calcium pyrophosphate, Examples include magnesium oxide, calcium oxide, and clay minerals.
In the present invention, the surface of the obtained multilayer polyimide film (particularly the surface of (a)) is preferably subjected to corona treatment, atmospheric pressure plasma treatment and vacuum plasma discharge treatment in order to further increase the adhesive force. is there.
The atmospheric pressure plasma treatment is preferably an inert gas plasma, and nitrogen gas, Ne, Ar, Kr, or Xe is used as the inert gas. There is no particular limitation on the method for generating plasma, and an inert gas may be introduced into the plasma generator to generate plasma. The time required for the plasma treatment is not particularly limited, and is usually 1 second to 30 minutes, preferably 10 seconds to 10 minutes. There are no particular restrictions on the frequency and output of the plasma during the plasma processing, the gas pressure for generating the plasma, and the processing temperature as long as they can be handled by the plasma processing apparatus. The frequency is usually 13.56 MHz, the output is usually 50 W to 1000 W, the gas pressure is usually 0.01 Pa to 10 Pa, and the temperature is usually 20 ° C. to 250 ° C., preferably 20 ° C. to 180 ° C. If the output is too high, the film surface may crack. If the gas pressure is too high, the smoothness of the film surface may be reduced.

以下、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。なお、実施例などでの評価、測定は前記したもの以外は下記による。また適宜実施例などの記述において記載する。
1.ポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)
ポリマー濃度が0.2g/dlとなるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解した溶液をウベローデ型の粘度管により30℃で測定した。
2.溶液粘度の測定
ポリマー溶液の溶液粘度は(東機産業社製、R115型粘度計)を用い20℃、1rpm、オプションロータ3°R14を使用して測定した。
3.フィルムの厚さ
マイクロメーター(ファインリューフ社製、ミリトロン1254D)を用いて測定した。
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, this invention is not limited by these Examples. In addition, evaluation and measurement in Examples and the like are as follows except for those described above. In addition, it is appropriately described in the description of examples and the like.
1. Reduced viscosity of polyamic acid (ηsp / C)
A solution dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so that the polymer concentration was 0.2 g / dl was measured at 30 ° C. using an Ubbelohde type viscosity tube.
2. Measurement of Solution Viscosity The solution viscosity of the polymer solution was measured using 20 ° C., 1 rpm, and optional rotor 3 ° R14 (Toki Sangyo Co., Ltd., R115 viscometer).
3. Film thickness The film thickness was measured using a micrometer (Millitron 1254D manufactured by Fine Reef Co., Ltd.).

4.剥離強度
測定対象の金属化フィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。測定は、JIS C6481に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ機種名AG−5000A)を用いて行った。
4). Peel strength After the metallized film to be measured was processed into a TAB tape pattern with a wiring width of 90 μm, the peel strength was defined as the strength required when peeled off in the 90 ° direction. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, autograph model name AG-5000A) according to JIS C6481.

〔ポリアミド酸の重合(1)〕
<パラジアミノジフェニルエーテルを有するジアミンからなるポリアミド酸の重合>
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた容器を窒素置換した後、ジアミノジフェニルエーテル(ODA)を入れた。次いで、ジメチルアセトアミド(DMAC)を加えて完全に溶解させてから、ピロメリット酸二無水物(PMDA)をジアミノジフェニルエーテルに対して等モル量加えて、モノマーとしてのODAとPMDAとが1/1のモル比でDMAC中重合し、モノマー仕込濃度が、15質量%となるようにし、25℃にて48時間攪拌すると、褐色の粘調なポリアミド酸溶液(1)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは4.2dl/gであった。溶液粘度は89Pa・sであった。
[Polymerization of polyamic acid (1)]
<Polymerization of polyamic acid composed of diamine having paradiaminodiphenyl ether>
A container equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, and then diaminodiphenyl ether (ODA) was added. Next, dimethylacetamide (DMAC) was added and completely dissolved, and then pyromellitic dianhydride (PMDA) was added in an equimolar amount with respect to diaminodiphenyl ether so that ODA and PMDA as monomers were 1/1. Polymerization was carried out in DMAC at a molar ratio so that the monomer charge concentration was 15% by mass and stirring was carried out at 25 ° C. for 48 hours to obtain a brown viscous polyamic acid solution (1). Ηsp / C of the obtained solution was 4.2 dl / g. The solution viscosity was 89 Pa · s.

〔ポリアミドイミド溶液(2)の調整〕
温度計、攪拌装置、還流コンデンサおよび窒素導入管を備えた4つ口セパラブルフラスコに、無水トリメリット酸19.28g(0.10モル)、2,4−トリレンジイソシアネート(2,4−TDI)3.50g(0.02モル)、ビトリレンジイソシアネート(TODI)21.10g(0.08モル)を、N−メチル−2−ピロリドン(NMP)150gに加え、攪拌しながら160℃まで1時間で昇温し、さらに160℃で5時間反応させポリアミドイミド溶液(2)を得た。得られたポリマーのNMP中での還元粘度は1.81dl/gであった。溶液粘度は25Pa・sであった。
[Preparation of polyamideimide solution (2)]
In a four-necked separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen introduction tube, 19.28 g (0.10 mol) of trimellitic anhydride, 2,4-tolylene diisocyanate (2,4-TDI) ) 3.50 g (0.02 mol) and 21.10 g (0.08 mol) of tolylene diisocyanate (TODI) are added to 150 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP), and the mixture is stirred up to 160 ° C. The temperature was raised over time, and the reaction was further continued at 160 ° C. for 5 hours to obtain a polyamideimide solution (2). The reduced viscosity of the obtained polymer in NMP was 1.81 dl / g. The solution viscosity was 25 Pa · s.

〔ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂(3)の調整〕
上記のポリアミドイミド溶液(2)に、市販のエポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、エピコート154(商品名))を10質量%配合し、NMPを加えて15質量%溶液とすることで、ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(3)を調整した。溶液粘度は14Pa・sであった。
[Adjustment of polyamide-imide epoxy mixed resin (3)]
By blending 10% by mass of a commercially available epoxy resin (produced by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epicoat 154 (trade name)) with the above polyamideimide solution (2), NMP is added to obtain a 15% by mass solution. A polyamideimide epoxy mixed resin solution (3) was prepared. The solution viscosity was 14 Pa · s.

〔ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂(4)の調整〕
上記のポリアミドイミド溶液(2)に、市販のエポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、エピコート154(商品名))を3質量%配合し、NMPを加えて15質量%溶液とすることで、ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(4)を調整した。溶液粘度は13Pa・sであった。
[Adjustment of polyamide-imide epoxy mixed resin (4)]
By blending 3% by mass of a commercially available epoxy resin (Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epicoat 154 (trade name)) with the above polyamideimide solution (2), NMP is added to make a 15% by mass solution. A polyamideimide epoxy mixed resin solution (4) was prepared. The solution viscosity was 13 Pa · s.

〔ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂(5)の調整〕
上記のポリアミドイミド溶液(2)に、市販のエポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、エピコート154(商品名))を50質量%配合し、NMPを加えて15質量%溶液とすることで、ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(5)を調整した。溶液粘度は20Pa・sであった。
[Adjustment of Polyamidoimide Epoxy Mixed Resin (5)]
By blending 50% by mass of a commercially available epoxy resin (produced by Japan Epoxy Resin Co., Ltd., Epicoat 154 (trade name)) with the above polyamideimide solution (2), NMP is added to obtain a 15% by mass solution. A polyamideimide epoxy mixed resin solution (5) was prepared. The solution viscosity was 20 Pa · s.

(実施例1)
上記のポリアミド酸溶液(1)とポリアミドイミド溶液(2)をステンレスベルトに3層共押し出しT型ダイを用いてコーティングした。(1)をコア層((b)層)、(2)をスキン層((a)層)として用いた。ダイのリップギャップはスキン層50μm、コア層400μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ40μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ25μmの褐色の多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムを500mm幅にスリットして多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)/(a)の厚さの比は、0.13/1/0.13である。得られた多層フィルムをエポキシ樹脂で包埋し、フィルム断面が観察できるようにミクロトームで切断し走査型電子顕微鏡にて断面を観察した。断面の電子顕微鏡画像においては組成の異なる層の境目が縞状に観察でき、その厚さ比率は塗布厚から求めた厚さ比率と一致していた。
Example 1
The above-mentioned polyamic acid solution (1) and the polyamidoimide solution (2) were coated on a stainless steel belt using a three-layer coextrusion T-die. (1) was used as the core layer ((b) layer), and (2) was used as the skin layer ((a) layer). The die lip gap was 50 μm skin layer and 400 μm core layer. Next, the polyamic acid film having self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (green film) having a thickness of 40 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown multilayer polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained. This multilayer polyimide film was slit to a width of 500 mm to obtain a multilayer polyimide film. The thickness ratio of (a) / (b) / (a) in this multilayer polyimide film is 0.13 / 1 / 0.13. The obtained multilayer film was embedded with an epoxy resin, cut with a microtome so that the film cross section could be observed, and the cross section was observed with a scanning electron microscope. In the electron microscopic image of the cross section, the boundary between the layers having different compositions could be observed in a striped pattern, and the thickness ratio was consistent with the thickness ratio obtained from the coating thickness.

上記フィルムを連続式スパッタ装置に装着し、周波数13.56MHz、出力400W、ガス圧0.8Paの条件、ニッケル−クロム(クロム含有量10%)合金のターゲット用い、キセノン雰囲気下にてRFスパッタ法により、10Å/秒のレートで厚さ50Åのニッケル−クロム合金被膜を形成した。次いで、100Å/秒のレートで銅を蒸着し、厚さ0.3μmの銅薄膜を形成させた。その後、このフィルムを250mm×400mmに切り出し、プラスチック製の枠に固定し直し、硫酸銅めっき浴を用いて、厚さ5μmの厚付け銅メッキ層を上記銅薄膜上に形成して、金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。
結果を表1に示す。(なお、表中においては、剥離強度以外は多層ポリイミドフィルムの測定結果を示すものである。以下同様である。)
The above film is mounted on a continuous sputtering apparatus, using a target of a frequency of 13.56 MHz, an output of 400 W, a gas pressure of 0.8 Pa, a nickel-chromium (chromium content 10%) alloy target, and an RF sputtering method in a xenon atmosphere. Thus, a nickel-chromium alloy film having a thickness of 50 mm was formed at a rate of 10 mm / sec. Subsequently, copper was vapor-deposited at a rate of 100 liters / second to form a copper thin film having a thickness of 0.3 μm. Thereafter, this film is cut out to 250 mm × 400 mm, fixed to a plastic frame, and a thick copper plating layer having a thickness of 5 μm is formed on the copper thin film using a copper sulfate plating bath. A polyimide film was obtained.
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured.
The results are shown in Table 1. (In the table, the measurement results of the multilayer polyimide film are shown except for the peel strength. The same applies hereinafter.)

(実施例2)
上記のポリアミド酸溶液(1)をステンレスベルトにT型ダイを用いてコーティングした。ダイのリップギャップは400μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ32μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得た。
上記グリーンフィルム上にNMP溶液(2)をT型ダイを用いて再度コーティングした。ダイのリップギャップは50μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつ厚さ36μmの多層ポリイミド酸前駆体フィルムを得た。
実施例1と同様の方法で多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、0.13/1である。
以下実施例1と同様の方法で金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Example 2)
The above polyamic acid solution (1) was coated on a stainless steel belt using a T-type die. The die lip gap was 400 μm. Next, the self-supporting polyamic acid film obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled off from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (green film) having a thickness of 32 μm.
The NMP solution (2) was coated again on the green film using a T-type die. The die lip gap was 50 μm. Next, a multilayer polyimide acid precursor film having a thickness of 36 μm and having a self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was obtained.
A multilayer polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. The thickness ratio of (a) / (b) in this multilayer polyimide film is 0.13 / 1.
Thereafter, a metallized multilayer polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1.
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
上記のポリアミド酸溶液(1)をステンレスベルトにT型ダイを用いてコーティングした。ダイのリップギャップは400μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ32μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ20μmの褐色のポリイミドフィルムを500mm幅にスリットしてポリイミドフィルムを得た。
得られたポリイミドフィルム上にポリアミドイミド溶液(2)をT型ダイを用いて再度コーティングした。ダイのリップギャップは100μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつ厚さ30μmの多層ポリアミド酸前駆体フィルムを得た。
得られた多層ポリアミド酸フィルムを得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ25μmの褐色のフィルムを500mm幅にスリットして多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、0.25/1である。
以下実施例1と同様の方法で金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Example 3)
The above polyamic acid solution (1) was coated on a stainless steel belt using a T-type die. The die lip gap was 400 μm. Next, the self-supporting polyamic acid film obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled off from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (green film) having a thickness of 32 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide film having a thickness of 20 μm was slit into a width of 500 mm to obtain a polyimide film.
The polyamideimide solution (2) was coated again on the obtained polyimide film using a T-type die. The lip gap of the die was 100 μm. Next, a multilayer polyamic acid precursor film having a thickness of 30 μm and having a self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was obtained.
The obtained green film was obtained in a continuous drying furnace at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes. Then, it was cooled to room temperature in 5 minutes, and a brown film having a thickness of 25 μm was slit into a width of 500 mm to obtain a multilayer polyimide film. The thickness ratio of (a) / (b) in this multilayer polyimide film is 0.25 / 1.
Thereafter, a metallized multilayer polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1.
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

(実施例4)
上記のポリアミド酸溶液(1)をステンレスベルトにT型ダイを用いてコーティングした。ダイのリップギャップは400μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ36μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ20μmの褐色のポリイミドフィルムを500mm幅にスリットしてポリイミドフィルムを得た。
得られたポリイミドフィルム上にポリアミドイミド溶液(2)をT型ダイを用いて再度コーティングした。ダイのリップギャップは150μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつ厚さ40μmの多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、0.25/1である。
得られた多層ポリイミドフィルムの(a)層側に、厚さ35μmの銅箔(BHY−22B−T、株式会社日鉱マテリアルズ製)をラミネーターで積層した。
その後、150℃にて2時間処理することで(a)層を硬化させた。その後、このフィルムを250mm×400mmに切り出すことで、金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
Example 4
The above polyamic acid solution (1) was coated on a stainless steel belt using a T-type die. The die lip gap was 400 μm. Next, the self-supporting polyamic acid film obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (green film) having a thickness of 36 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide film having a thickness of 20 μm was slit into a width of 500 mm to obtain a polyimide film.
The polyamideimide solution (2) was coated again on the obtained polyimide film using a T-type die. The die lip gap was 150 μm. Next, a multilayer polyimide film having a thickness of 40 μm and having a self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was obtained. The thickness ratio of (a) / (b) in this multilayer polyimide film is 0.25 / 1.
A 35 μm thick copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) was laminated on the (a) layer side of the obtained multilayer polyimide film with a laminator.
Then, the (a) layer was hardened by processing at 150 degreeC for 2 hours. Then, the metallized multilayer polyimide film was obtained by cutting this film into 250 mm x 400 mm.
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

(実施例5)
NMP溶液(2)の代わりにポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(3)を用いて、実施例4と同様な方法で、金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Example 5)
A metallized multilayer polyimide film was obtained in the same manner as in Example 4 using the polyamideimide epoxy mixed resin solution (3) instead of the NMP solution (2).
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

(実施例6)
NMP溶液(2)の代わりにポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(4)を用いて、実施例4と同様な方法で、金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Example 6)
A metallized multilayer polyimide film was obtained in the same manner as in Example 4 using the polyamideimide epoxy mixed resin solution (4) instead of the NMP solution (2).
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

(実施例7)
ポリアミド酸溶液(1)をステンレスベルトにT型ダイを用いてコーティングした。ダイのリップギャップは520μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ48μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ22μmの褐色のポリイミドフィルムを500mm幅にスリットしてポリイミドフィルムを得た。
ポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(3)をDMACで10倍に希釈した溶液を作製し、得られたポリイミドフィルム上にバーコーターを用いてコーティングした。次いで、90℃にて10分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつ厚さ24μmの多層ポリイミドフィルムを得た。この多層ポリイミドフィルムにおける(a)/(b)の厚さの比は、0.04/1である。上記多層ポリイミドフィルムの(a)層側に、厚さ35μmの銅箔(BHY−22B−T、株式会社日鉱マテリアルズ製)をラミネーターで積層した。
その後、150℃にて2時間処理することで(a)層(接着剤層)を硬化させた。その後、このフィルムを250mm×400mmに切り出すことで、金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Example 7)
The polyamic acid solution (1) was coated on a stainless steel belt using a T-type die. The lip gap of the die was 520 μm. Subsequently, the polyamic acid film having self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (green film) having a thickness of 48 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide film having a thickness of 22 μm was slit to a width of 500 mm to obtain a polyimide film.
A solution obtained by diluting the polyamideimide-epoxy mixed resin solution (3) 10 times with DMAC was prepared, and the resulting polyimide film was coated using a bar coater. Next, a multilayer polyimide film having a thickness of 24 μm and having a self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 10 minutes was obtained. The thickness ratio of (a) / (b) in this multilayer polyimide film is 0.04 / 1. On the (a) layer side of the multilayer polyimide film, a 35 μm thick copper foil (BHY-22B-T, manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.) was laminated with a laminator.
Then, (a) layer (adhesive layer) was hardened by processing at 150 ° C for 2 hours. Then, the metallized multilayer polyimide film was obtained by cutting this film into 250 mm x 400 mm.
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
上記のポリアミド酸溶液(1)をステンレスベルトにT型ダイを用いてコーティングした。ダイのリップギャップは650μmであった。次いで、90℃にて60分間乾燥することにより得られた自己支持性をもつポリアミド酸フィルムをステンレスベルトから剥離して、厚さ60μmのポリイミド前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得た。
得られたグリーンフィルムを、連続式の乾燥炉にて、170℃で3分間、次いで、約20秒間で450℃にまで昇温して450℃にて7分間加熱して、その後、5分間で室温にまで冷却して、厚さ30μmの褐色のポリイミドフィルムを500mm幅にスリットした。
その後実施例1と同様の方法で金属化フィルムを得た。
得られた金属化ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
The above polyamic acid solution (1) was coated on a stainless steel belt using a T-type die. The lip gap of the die was 650 μm. Subsequently, the polyamic acid film having a self-supporting property obtained by drying at 90 ° C. for 60 minutes was peeled from the stainless steel belt to obtain a polyimide precursor film (green film) having a thickness of 60 μm.
The obtained green film was heated in a continuous drying oven at 170 ° C. for 3 minutes, then heated to 450 ° C. in about 20 seconds and heated at 450 ° C. for 7 minutes, and then in 5 minutes. After cooling to room temperature, a brown polyimide film having a thickness of 30 μm was slit into a width of 500 mm.
Thereafter, a metallized film was obtained in the same manner as in Example 1.
After the obtained metallized polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90 ° direction was measured. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
ポリアミドイミド溶液(2)の代わりにポリアミドイミドエポキシ混合樹脂溶液(5)を用いて、実施例4と同様な方法で、金属化多層ポリイミドフィルムを得た。
得られた金属化多層ポリイミドフィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を測定した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 2)
A metallized multilayer polyimide film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the polyamideimide epoxy mixed resin solution (5) was used instead of the polyamideimide solution (2).
After the obtained metallized multilayer polyimide film was processed into a TAB tape pattern having a wiring width of 90 μm, the strength required when peeled off in the 90-degree direction was measured. The results are shown in Table 1.

Figure 2007253384
Figure 2007253384

以上述べてきたように、本発明の多層ポリイミドフィルムは、(a)層のポリアミドイミドと(b)層の少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン(ジアミノジフェニルエーテル)のジアミン残基を有するポリイミドとが積層されたものであり、多層ポリイミドフィルムの面方向での線膨張係数が10〜25ppm/℃である多層ポリイミドフィルムであり、(a)層と(b)層の厚さの比(a)/(b)が0.001〜0.5であり、(b)層の厚さが3〜50μmである多層ポリイミドフィルムは、線膨張係数が特定範囲にあり、耐熱性に優れた特定のポリイミドフィルムを基材フィルム(b)として使用して、その表面をポリアミドイミド(a)で積層することで基材フィルム(b)の保有する特性を保持し、表面物性をポリアミドイミド(a)保有の物性としたことで、耐熱特性に優れ、線膨張係数が特定範囲である多層ポリイミドフィルムとなり、このフィルムを基材フィルムとして用いた場合に、高温での金属薄膜や金属箔との接合に優れ、かつ高温時における変形・反り・歪みなどのないフレキシブルな金属積層板たとえばフレキシブルプリント回路板として極めて有用である。   As described above, the multilayer polyimide film of the present invention comprises (a) a layer of polyamideimide and (b) a layer of at least an aromatic tetracarboxylic acid as a residue of pyromellitic acid and aromatic diamines. It is a multilayer polyimide film in which a polyimide having a diamine residue of oxydianiline (diaminodiphenyl ether) as a residue is laminated, and the linear expansion coefficient in the plane direction of the multilayer polyimide film is 10 to 25 ppm / ° C. A multilayer polyimide film in which the ratio (a) / (b) of the thickness of the (a) layer and the (b) layer is 0.001 to 0.5, and the thickness of the (b) layer is 3 to 50 μm. A specific polyimide film having a linear expansion coefficient in a specific range and excellent in heat resistance is used as a base film (b), and its surface is made of polyamideimide (a). Multilayer polyimide film that retains the properties possessed by the base film (b) by layering and has the surface physical properties possessed by the polyamideimide (a), has excellent heat resistance properties, and a linear expansion coefficient within a specific range When this film is used as a base film, it is a flexible metal laminated board that is excellent in bonding with metal thin films and metal foils at high temperatures, and has no deformation, warpage, or distortion at high temperatures, such as flexible printed circuit boards. As extremely useful.

Claims (6)

下記(a)層と(b)層とが少なくとも積層されてなる構成の多層ポリイミドフィルム。
(a)層:ポリアミドイミド、
(b)層:少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基、および芳香族ジアミン類の残基としてオキシジアニリン骨格を有するジアミン残基を有するポリイミド。
The multilayer polyimide film of the structure by which the following (a) layer and (b) layer are laminated | stacked at least.
(A) Layer: polyamideimide,
(B) Layer: A polyimide having at least a pyromellitic acid residue as an aromatic tetracarboxylic acid residue and a diamine residue having an oxydianiline skeleton as an aromatic diamine residue.
多層ポリイミドフィルムの構成が(a)/(b)/(a)の三層構造である請求項1記載の多層ポリイミドフィルム。   The multilayer polyimide film according to claim 1, wherein the multilayer polyimide film has a three-layer structure of (a) / (b) / (a). (a)層のポリアミドイミドが、固形分換算で1質量%〜30質量%のエポキシ樹脂が配合されてなるポリアミドイミド組成物である請求項1又は2記載の多層ポリイミドフィルム。   The multilayer polyimide film according to claim 1 or 2, wherein the polyamideimide of the layer (a) is a polyamideimide composition comprising 1% by mass to 30% by mass of an epoxy resin in terms of solid content. (a)層と(b)層との厚さの比(a)/(b)が0.001〜0.5であり、(b)層の厚さが3〜50μmである請求項1〜3のいずれかに記載の多層ポリイミドフィルム。   The ratio (a) / (b) of the thickness of the (a) layer and the (b) layer is 0.001 to 0.5, and the thickness of the (b) layer is 3 to 50 μm. 4. The multilayer polyimide film according to any one of 3. 多層ポリイミドフィルムの面方向での線膨張係数が10〜25ppm/℃である請求項1〜4いずれかに記載の多層ポリイミドフィルム。   The multilayer polyimide film according to any one of claims 1 to 4, wherein the multilayer polyimide film has a linear expansion coefficient in the plane direction of 10 to 25 ppm / ° C. 溶液粘度が10Pa・s〜5000Pa・sであるポリイミド前駆体溶液と溶液粘度が1Pa・s〜500Pa・sであるポリアミドイミド溶液を共キャストする工程を含む請求項1〜5の多層ポリイミドフィルム製法。   The method for producing a multilayer polyimide film according to claim 1, comprising a step of co-casting a polyimide precursor solution having a solution viscosity of 10 Pa · s to 5000 Pa · s and a polyamideimide solution having a solution viscosity of 1 Pa · s to 500 Pa · s.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2019026769A (en) * 2017-08-01 2019-02-21 日立化成株式会社 Polyamide-imide resin liquid and method for producing the same
US11851540B2 (en) 2019-07-30 2023-12-26 Samsung Electronics Co., Ltd. Laminated film, and composition for preparing same

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