JP2008095000A - Easily adherable highly elastic polyimide film and method for producing the same - Google Patents

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Takeshi Yoshida
武史 吉田
Ri Ri
莉 李
Masayuki Tsutsumi
正幸 堤
Toshiyuki Tsuchiya
俊之 土屋
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide film having, in combination, high tensile break strength, high tensile modulus and rather low linear expansion coefficient and excellent in surface adhesion. <P>SOLUTION: A polyimide comprising 1-30 mol% polyimide (a) from oxydiphthalic acid and bis(4-aminophenoxy)benzene and 70-99 mol% polyimide (b) from pyromellitic acid and/or biphenyl tetracarboxylic acid and a diamine having benzoxazole skelton and/or phenylene diamine is provided, the polyimide film obtained from the polyimide and having ≥300 MPa tensile break strength and ≥5 GPa tensile modulus is provided, a copper-clad laminate, a printed circuit board and a multilayer circuit board using the polyimide film are also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、引張破断強度、引張弾性率が共に大きく、線膨張係数が低めの特定範囲でありかつ接着性に優れた、特定のポリイミドと特定のポリイミドとが特定比率で混合及び/又は共縮重合されたポリイミドに関し、さらに引張破断強度、引張弾性率が共に大きく、線膨張係数が低めの特定範囲にある、かつ接着性に優れ耐熱性に優れたポリイミドフィルムとこのフィルムを使用した銅張積層板及び多層回路基板に関する。   In the present invention, a specific polyimide and a specific polyimide are mixed and / or co-contracted at a specific ratio, both of which have a high tensile breaking strength and a high tensile elastic modulus, have a low linear expansion coefficient, and excellent adhesion. Regarding polymerized polyimide, polyimide film with high tensile fracture strength and tensile modulus, both in a specific range with low linear expansion coefficient and excellent adhesion and heat resistance, and copper-clad laminate using this film The present invention relates to a board and a multilayer circuit board.

ポリイミドフィルムは、−269℃〜300℃までの広い温度範囲での物性変化が極めて少ないために、電気及び電子分野での応用、用途が拡大している。電気分野では、例えば車両用モーターや産業用モーター等のコイル絶縁、航空機電線及び超導電線の絶縁等に使用されている。一方、電子分野では、例えばフレキシブルプリント基板や、半導体実装用フィルムキャリヤーのベースフィルム等に利用されている。このようにポリイミドフィルムは、種々の機能性ポリマーフィルムの中でも極めて信頼性の高いものとして、電気及び電子分野で広く利用されている。しかしながら、最近では電気及び電子分野等のファイン化にともなって大きな問題が顕在化してきている。例えば、銅を蒸着又はメッキ等によって銅張したポリイミドフィルム基材からなるプリント基板は、経時変化、環境変化によって銅層の密着力が低下し、更には剥離が発生する傾向にあった。   Polyimide films have very little change in physical properties in a wide temperature range from −269 ° C. to 300 ° C., and therefore, applications and uses in the electric and electronic fields are expanding. In the electric field, for example, it is used for coil insulation of vehicle motors, industrial motors, etc., and insulation of aircraft electric wires and superconducting wires. On the other hand, in the electronic field, for example, it is used for a flexible printed circuit board, a base film of a film carrier for semiconductor mounting, and the like. Thus, the polyimide film is widely used in the electric and electronic fields as a highly reliable film among various functional polymer films. Recently, however, major problems have become apparent with the refinement of the electric and electronic fields. For example, a printed circuit board made of a polyimide film base material in which copper is copper-clad by vapor deposition or plating has a tendency that the adhesive strength of the copper layer is lowered due to a change with time and an environmental change, and further peeling occurs.

また、情報通信機器(放送機器、移動体無線、携帯通信機器等)、レーダーや高速情報処理装置などといった電子部品の基材の材料として、従来、セラミックが用いられていた。セラミックからなる基材は耐熱性を有し、近年の情報通信機器の信号帯域の高周波数化(GHz帯に達する)にも対応し得る。しかし、セラミックはフレキシブルでなく、薄くできないので使用できる分野が限定される。
そのため、有機材料からなるフィルムを電子部品の基材として用いる検討がなされ、ポリイミドからなるフィルム、ポリテトラフルオロエチレンからなるフィルムが提案されている。ポリイミドからなるフィルムは耐熱性に優れ、また、強靭であるのでフィルムを薄くできるという長所を備えているが、高周波の信号への適用において、信号強度の低下や信号伝達の遅れなどといった問題が懸念され、引張破断強度、引張弾性率でまだ不十分であり、線膨張係数においても大きすぎるなどの課題を有している。ポリテトラフルオロエチレンからなるフィルムは、高周波にも対応し得るが、引張弾性率が低いのでフィルムを薄くできない点、表面への金属導体や抵抗体などとの接着性が悪いという点、線膨張係数が大きく温度変化による寸法変化が著しくて微細な配線をもつ回路の製造に適さない点等が問題となり、使用できる分野が限定される。このように、耐熱性、高機械的物性、フレキシブル性を具備した基材用として十分な物性のフィルムは未だ得られていない。
引張弾性率を高くしたポリイミドフィルムとして、ベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムが提案されている(特許文献1参照)。このポリイミドベンゾオキサゾールフィルムを誘電層とするプリント配線板も提案されている(特許文献2、特許文献3参照)。
これらのベンゾオキサゾール環を主鎖に有するポリイミドからなるポリイミドベンゾオキサゾールフィルムは、引張破断強度、引張弾性率で改良され、線膨張係数において満足し得る範囲のものとなっているが、その優れた機械的物性の反面でその表面特性が接着性において不十分であるなどの課題を有していた。
In addition, ceramic has been conventionally used as a material for base materials of electronic components such as information communication equipment (broadcast equipment, mobile radio equipment, portable communication equipment, etc.), radar, high-speed information processing devices, and the like. A base material made of ceramic has heat resistance, and can cope with an increase in the frequency band (reaching the GHz band) of information communication equipment in recent years. However, ceramics are not flexible and cannot be thinned, so the fields that can be used are limited.
For this reason, studies have been made to use a film made of an organic material as a base material for an electronic component, and a film made of polyimide and a film made of polytetrafluoroethylene have been proposed. A film made of polyimide has excellent heat resistance and has the advantage that the film can be thin because it is tough. However, there are concerns about problems such as low signal strength and signal transmission delay when applied to high-frequency signals. However, the tensile strength at break and the tensile modulus are still insufficient, and the linear expansion coefficient is too large. A film made of polytetrafluoroethylene can handle high frequencies, but the tensile modulus is low, so the film cannot be made thin, the adhesion to metal conductors and resistors on the surface is poor, and the coefficient of linear expansion However, it is problematic in that it is not suitable for the production of a circuit having fine wiring due to a large dimensional change due to temperature change. Thus, a film having sufficient physical properties for a substrate having heat resistance, high mechanical properties, and flexibility has not been obtained yet.
As a polyimide film having a high tensile modulus, a polyimide benzoxazole film made of polyimide having a benzoxazole ring in the main chain has been proposed (see Patent Document 1). A printed wiring board using the polyimide benzoxazole film as a dielectric layer has also been proposed (see Patent Document 2 and Patent Document 3).
Polyimide benzoxazole films consisting of polyimides with these benzoxazole rings in the main chain have improved tensile tensile strength and tensile elastic modulus and are within the range of satisfactory linear expansion coefficients. In spite of its physical properties, it has problems such as insufficient surface properties in terms of adhesion.

優れた物性のポリイミドの接着性を改良するために種々の提案がなされている、例えば接着性を有しないポリイミドフィルムの少なくとも片面に熱可塑性樹脂層を形成するもの(特許文献4参照)、ポリイミドフィルムとポリアミド系樹脂からなるフィルムとが積層される少なくとも2層フイルム(特許文献5参照)などである。
これらのポリイミドフィルム上に熱可塑性樹脂層を設けたものは、接着性の改良においては満足し得ても、これら熱可塑性樹脂の耐熱性の低さは折角のポリイミドフィルムの耐熱性を台無しにする傾向を有していた。
特開平06−056992号公報 特表平11−504369号公報 特表平11−505184号公報 特開平09−169088号公報 特開平07−186350号公報
Various proposals have been made to improve the adhesion of polyimide with excellent physical properties. For example, a polyimide film that has a thermoplastic resin layer on at least one surface of a polyimide film that does not have adhesion (see Patent Document 4), a polyimide film And at least a two-layer film in which a film made of polyamide resin is laminated (see Patent Document 5).
Even though those with a thermoplastic resin layer on these polyimide films can be satisfied in improving the adhesiveness, the low heat resistance of these thermoplastic resins will ruin the heat resistance of the folded polyimide film. Had a trend.
Japanese Patent Laid-Open No. 06-056792 Japanese National Patent Publication No. 11-504369 Japanese National Patent Publication No. 11-505184 Japanese Patent Laid-Open No. 09-169088 JP 07-186350 A

本発明は、引張破断強度、引張弾性率が共に大きく、線膨張係数が低めの特定範囲でありかつ接着性に優れたポリイミドとポリイミドフィルムを提供することを課題とする     It is an object of the present invention to provide a polyimide and a polyimide film which have both a high tensile breaking strength and a high tensile elastic modulus, a specific range having a low linear expansion coefficient, and excellent adhesion.

本発明者らは鋭意検討した結果、特定のポリイミドと特定のポリイミドとが特定比率で混合及び/又は共縮重合されたポリイミドが、引張破断強度、引張弾性率が共に大きく、線膨張係数が低めの特定範囲にあり、接着性、耐熱性、フレキシブル性をより高いレベルで具備し、このポリイミドからのポリイミドフィルムと、このフィルムを絶縁層として用いて絶縁性の信頼性と軽少(軽薄)化をも達成し得る回路基板や多層回路基板を提供せんとするものである。
すなわち本発明は以下の構成からなる。
1. 下記[化1]の構造単位を有するポリイミドであって、少なくともR1が[化2]から選択される芳香族テトラカルボン酸類の残基、R2が[化3]から選択される芳香族ジアミン類の残基を有するポリイミド(a)を1〜30モル%と、
As a result of intensive studies, the present inventors have found that a polyimide in which a specific polyimide and a specific polyimide are mixed and / or cocondensation-polymerized at a specific ratio has both high tensile rupture strength and tensile elastic modulus and a low linear expansion coefficient. It is in a specific range, and has a higher level of adhesion, heat resistance, and flexibility. Polyimide film from this polyimide and insulation reliability and lightness (light thinness) using this film as an insulating layer It is intended to provide a circuit board and a multilayer circuit board that can also achieve the above.
That is, the present invention has the following configuration.
1. A polyimide having a structural unit of the following [Chemical Formula 1], wherein at least R1 is a residue of an aromatic tetracarboxylic acid selected from [Chemical Formula 2], and R2 is an aromatic diamine selected from [Chemical Formula 3] 1-30 mol% of polyimide (a) having a residue,

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少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基及び/又はビフェニルテトラカルボン酸残基、芳香族ジアミン類の残基としてベンゾオキサゾール骨格を有するジアミンの残基及び/又はフェニレンジアミンの残基を有するポリイミド(b)を70〜99モル%とを含むことを特徴とするポリイミド。
2. 前記1のポリイミドから得られる引張破断強度が300MPa以上、引張弾性率が5GPa以上であるポリイミドフィルム。
3. 面方向での線膨張係数が0〜30ppm/℃である前記2のポリイミドフィルム。
4. 前記2又は3いずれかのポリイミドフィルムを基板として用いた銅張積層板。
5. 前記4の銅張積層板の銅層を一部除去して回路パターンを形成してなるプリント配線板。
6. 前記2〜5いずれかのポリイミドフィルム及び/又はプリント配線板を用いた多層回路基板。
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At least pyromellitic acid residue and / or biphenyltetracarboxylic acid residue as aromatic tetracarboxylic acid residue, diamine residue having benzoxazole skeleton and / or phenylenediamine residue as aromatic diamine residue A polyimide comprising 70 to 99 mol% of a polyimide (b) containing
2. A polyimide film having a tensile strength at break of 300 MPa or more and a tensile modulus of elasticity of 5 GPa or more obtained from the polyimide of 1 above.
3. Said 2 polyimide film whose linear expansion coefficient in a surface direction is 0-30 ppm / degrees C.
4). A copper-clad laminate using the polyimide film of either 2 or 3 as a substrate.
5. A printed wiring board formed by removing a part of the copper layer of the copper-clad laminate of 4 to form a circuit pattern.
6). A multilayer circuit board using the polyimide film and / or printed wiring board according to any one of 2 to 5 above.

本発明の特定のポリイミドと特定のポリイミドとが特定比率で混合及び/又は共縮重合されたポリイミドが、引張破断強度、引張弾性率が共に大きく、線膨張係数が低めの特定範囲にあり、接着性、耐熱性、フレキシブル性をより高いレベルで具備し、このポリイミドからのポリイミドフィルムと、このフィルムを絶縁層として用いて絶縁性の信頼性と軽少(軽薄)化をも達成し得る回路基板や多層回路基板として、高い引張弾性率と引張破断強度と特定範囲の低い線膨張係数とを保持し、かつその金属などと接する表面が接着性に優れ、金属層特に銅層積層体、それからの回路基板、多層回路基板、金属箔(層)との接合フィルムなどに極めて有用である。   A polyimide obtained by mixing and / or co-condensation-polymerizing a specific polyimide and a specific polyimide of the present invention at a specific ratio has both a high tensile breaking strength and a high tensile elastic modulus, and has a specific range with a low linear expansion coefficient. Circuit board that has higher levels of heat resistance, heat resistance, and flexibility, and that can achieve insulation reliability and lightness (light thinness) by using the polyimide film from this polyimide and this film as an insulating layer As a multilayer circuit board, it has high tensile elastic modulus, tensile rupture strength, and low coefficient of linear expansion in a specific range, and its surface in contact with the metal has excellent adhesiveness. It is extremely useful for circuit boards, multilayer circuit boards, bonding films with metal foils (layers), and the like.

本発明のポリイミド及びフィルムは、[化1]の構造単位を有するポリイミドであって、少なくともR1が[化2]から選択される芳香族テトラカルボン酸類の残基、R2が[化3]から選択される芳香族ジアミン類の残基を有するポリイミド(a)を1〜30モル%と、少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基及び/又はビフェニルテトラカルボン酸残基、芳香族ジアミン類の残基としてベンゾオキサゾール骨格を有するジアミンの残基及び/又はフェニレンジアミンの残基を有するポリイミド(b)を70〜99モル%とを含むポリイミド及びそれからのポリイミドフィルムである。   The polyimide and film of the present invention are polyimides having a structural unit of [Chemical Formula 1], wherein at least R1 is a residue of an aromatic tetracarboxylic acid selected from [Chemical Formula 2], and R2 is selected from [Chemical Formula 3] 1 to 30 mol% of the polyimide (a) having a residue of aromatic diamine, and at least as a residue of aromatic tetracarboxylic acid, a pyromellitic acid residue and / or a biphenyltetracarboxylic acid residue, aromatic A polyimide containing 70 to 99 mol% of a polyimide (b) having a diamine residue having a benzoxazole skeleton and / or a phenylenediamine residue as a diamine residue, and a polyimide film therefrom.

本発明におけるポリイミドは、[化1]の構造単位を有するポリイミドであって、少なくともR1が[化2]から選択される芳香族テトラカルボン酸類の残基、R2が[化3]から選択される芳香族ジアミン類の残基を有するポリイミド(a)を1〜30モル%と、少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基及び/又はビフェニルテトラカルボン酸残基、芳香族ジアミン類の残基としてベンゾオキサゾール骨格を有するジアミンの残基及び/又はフェニレンジアミンの残基を有するポリイミド(b)を70〜99モル%とを含むポリイミドであり、フィルムは、例えば芳香族テトラカルボン酸類(無水物、誘導体も含む)であるピロメリット酸及び/又はビフェニルテトラカルボン酸残基とを芳香族ジアミン類であるベンゾオキサゾール骨格を有するジアミン及び/又はフェニレンジアミンとを溶媒中で反応せしめ(b)の前駆体であるポリアミド酸を得、一方芳香族テトラカルボン酸類として例えば4,4’−オキシジフタル酸残基、芳香族ジアミン類として1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンとを溶媒中で反応せしめ(a)の前駆体であるポリアミド酸を得てこれらを混合するか、これらの両者の芳香族テトラカルボン酸と芳香族ジアミンとを同時に溶媒中で反応せしめたポリイミドの前駆体であるポリアミド酸溶液を得て、これらの溶液を支持体上に流延し、乾燥してポリイミドの前駆体フィルム(グリーンフィルムともいう)を得て、該前駆体フィルムをさらに熱処理してイミド化しポリイミドフィルムを得る方法で製造することができる。
本発明での(b)に使用するベンゾオキサゾール骨格(構造)を有する芳香族ジアミン類(芳香族ジアミン、芳香族ジアミンのアミド結合性誘導体などを総称する、以下単に芳香族ジアミンともいう)として、下記の化合物が例示できる。
The polyimide in the present invention is a polyimide having a structural unit of [Chemical Formula 1], wherein at least R1 is a residue of an aromatic tetracarboxylic acid selected from [Chemical Formula 2], and R2 is selected from [Chemical Formula 3]. 1-30 mol% of the polyimide (a) having an aromatic diamine residue, and at least a pyromellitic acid residue and / or a biphenyltetracarboxylic acid residue as an aromatic tetracarboxylic acid residue, an aromatic diamine Is a polyimide containing 70 to 99 mol% of a polyimide (b) having a diamine residue having a benzoxazole skeleton and / or a phenylenediamine residue as the residue, and the film is, for example, an aromatic tetracarboxylic acid ( Pyromellitic acid and / or biphenyltetracarboxylic acid residues (including anhydrides and derivatives) with aromatic diamines A diamine having a benzoxazole skeleton and / or phenylenediamine is reacted in a solvent to obtain a polyamic acid which is a precursor of (b), while aromatic tetracarboxylic acids such as 4,4′-oxydiphthalic acid residue, Reaction with 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene as an aromatic diamine in a solvent to obtain a polyamic acid which is a precursor of (a) and mixing them, or both of these aromatic tetra A polyamic acid solution, which is a polyimide precursor obtained by reacting a carboxylic acid and an aromatic diamine simultaneously in a solvent, is obtained, and these solutions are cast on a support and dried to obtain a polyimide precursor film (green Can also be manufactured by a method in which the precursor film is further heat-treated and imidized to obtain a polyimide film. Kill.
As aromatic diamines having a benzoxazole skeleton (structure) used in (b) in the present invention (aromatic diamines, amide-bonded derivatives of aromatic diamines and the like are collectively referred to as aromatic diamines hereinafter), The following compounds can be exemplified.

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これらの中でも、合成のし易さの観点から、アミノ(アミノフェニル)ベンゾオキサゾールの各異性体が好ましい。ここで、「各異性体」とは、アミノ(アミノフェニル)ベンゾオキサゾールが有する2つアミノ基が配位位置に応じて定められる各異性体である(例;上記[化4」〜[化7]に記載の各化合物)。これらのジアミンは、単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。
本発明における、フェニレンジアミンは、p−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミンなどが挙げられるが好ましくはp−フェニレンジアミンである。
本発明においては、芳香族テトラカルボン酸類(酸、無水物、アミド結合性誘導体を総称する、以下芳香族テトラカルボン酸ともいう)として、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸(ビフェニルテトラカルボン酸及びその二無水物(PMDA)ならびにそれらの低級アルコールエステル)が使用される。ビフェニルテトラカルボン酸のうち3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸又はその二無水物が好ましい。
本発明においては、前記ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン、フェニレンジアミン、[化3]の骨格を有するジアミンをイミド構成の全ジアミンの70モル%以上、好ましくは85モル%以上使用することが好ましい。
また、本発明においては、芳香族テトラカルボン酸類として、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸、[化2]の骨格を有するテトラカルボン酸を全カルボン酸の70モル%以上、好ましくは85モル%以上使用することが好ましい。
Among these, amino (aminophenyl) benzoxazole isomers are preferable from the viewpoint of ease of synthesis. Here, “each isomer” refers to each isomer in which two amino groups of amino (aminophenyl) benzoxazole are determined according to the coordination position (eg, [Chemical Formula 4] to [Chemical Formula 7] above). Each compound described in the above). These diamines may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the phenylene diamine in the present invention include p-phenylene diamine, o-phenylene diamine, m-phenylene diamine, and the like, preferably p-phenylene diamine.
In the present invention, pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid (biphenyltetracarboxylic acid and its) are used as aromatic tetracarboxylic acids (collectively referred to as acids, anhydrides, amide bond derivatives, hereinafter also referred to as aromatic tetracarboxylic acids). Dianhydrides (PMDA) as well as their lower alcohol esters) are used. Of the biphenyltetracarboxylic acids, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid or its dianhydride is preferred.
In the present invention, the aromatic diamine having the benzoxazole structure, the phenylene diamine, and the diamine having the skeleton of [Chemical Formula 3] are used in an amount of 70 mol% or more, preferably 85 mol% or more of the total diamine having an imide structure. .
In the present invention, as the aromatic tetracarboxylic acids, pyromellitic acid, biphenyltetracarboxylic acid, and tetracarboxylic acid having a skeleton of [Chemical Formula 2] are 70 mol% or more, preferably 85 mol% or more of the total carboxylic acid. It is preferable to use it.

前記ジアミンに限定されず下記のジアミン類を全ジアミンの30モル%未満であれば使用することができる。これらのジアミン類としては、例えば、4,4’−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、m−フェニレンジアミン、o−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン、m−アミノベンジルアミン、p−アミノベンジルアミン、   Without being limited to the diamine, the following diamines can be used as long as they are less than 30 mol% of the total diamines. Examples of these diamines include 4,4′-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide. Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl]- 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, m-phenylenediamine, o-phenylenediamine, p-phenylenediamine, m-aminobenzylamine, p-aminobenzylamine,

3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホキシド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,4′-diaminodiphenyl sulfoxide 4,4′-diaminodiphenyl sulfoxide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminobenzophenone, 3,4′- Diaminobenzophenone, 4,4′-diaminobenzophenone, 3,3′-diaminodiphenylmethane, 3,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, 1 , 1-Bi [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1 , 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl ]propane,

1,1−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノシ)フェニル]ブタン、2,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ブタン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3−メチルフェニル]プロパン、2−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−2−[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)−3,5−ジメチルフェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、 1,1-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] butane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] butane, 2- [4- (4-aminophenoxy) Phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3-methylphenyl] propane, 2- [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] -2- [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) -3,5-dimethylphen Le] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane,

1,4−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、4,4’−ビス[(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ベンゼン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、3,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、 1,4-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) ) Biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- ( 4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) ) Benzoyl] benzene, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,4-bis [4- (3 Aminophenoxy) benzoyl] benzene, 4,4′-bis [(3-aminophenoxy) benzoyl] benzene, 1,1-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide,

2,2−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、4,4’−ビス[3−(4−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[3−(3−アミノフェノキシ)ベンゾイル]ジフェニルエーテル、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾフェノン、4,4’−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ジフェニルスルホン、ビス[4−{4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ}フェニル]スルホン、1,4−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェノキシ−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−トリフルオロメチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−フルオロフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−メチルフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−アミノ−6−シアノフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、 2,2-bis [3- (3-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] methane, 1,1 -Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, 1,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ethane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, 4,4 '-Bis [3- (4-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [3- (3-aminophenoxy) benzoyl] diphenyl ether, 4,4'-bis [4- (4-amino-α) , Α-dimethylbenzyl) phenoxy] benzophenone, 4,4′-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) phenoxy] diphenylsulfone, bis 4- {4- (4-aminophenoxy) phenoxy} phenyl] sulfone, 1,4-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-aminophenoxy) phenoxy-α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-trifluoromethylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3 -Bis [4- (4-amino-6-fluorophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-methylphenoxy) -α, α-dimethylbenzyl Benzene, 1,3-bis [4- (4-amino-6-cyanophenoxy) -α, α-dimethylbenzyl] benzene,

3,3’−ジアミノ−4,4’−ジフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−フェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−5’−フェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4,5’−ジビフェノキシベンゾフェノン、3,3’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノ−5−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−4−ビフェノキシベンゾフェノン、3,4’−ジアミノ−5’−ビフェノキシベンゾフェノン、1,3−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−5−フェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(3−アミノ−4−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノ−5−ビフェノキシベンゾイル)ベンゼン、2,6−ビス[4−(4−アミノ−α,α−ジメチルベンジル)フェノキシ]ベンゾニトリル及び上記芳香族ジアミンにおける芳香環上の水素原子の一部もしくは全てがハロゲン原子、炭素数1〜3のアルキル基又はアルコキシル基、シアノ基、又はアルキル基又はアルコキシル基の水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子で置換された炭素数1〜3のハロゲン化アルキル基又はアルコキシル基で置換された芳香族ジアミン等が挙げられる。 3,3′-diamino-4,4′-diphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5,5′-diphenoxybenzophenone, 3,4′-diamino-4,5′-diphenoxybenzophenone, 3, 3'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4-phenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-phenoxybenzophenone, 3,3 '-Diamino-4,4'-dibiphenoxybenzophenone, 4,4'-diamino-5,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-4,5'-dibiphenoxybenzophenone, 3,3'- Diamino-4-biphenoxybenzophenone, 4,4′-diamino-5-biphenoxybenzophenone, 3,4 -Diamino-4-biphenoxybenzophenone, 3,4'-diamino-5'-biphenoxybenzophenone, 1,3-bis (3-amino-4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino- 4-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-amino-5-phenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (3-amino) -4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (3-amino-4-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,3-bis (4-amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 1,4-bis (4-Amino-5-biphenoxybenzoyl) benzene, 2,6-bis [4- (4-amino-α, α-dimethylbenzyl) pheno Si] A part or all of the hydrogen atoms on the aromatic ring in the benzonitrile and the aromatic diamine are halogen atoms, alkyl groups having 1 to 3 carbon atoms or alkoxyl groups, cyano groups, or alkyl groups or alkoxyl group hydrogen atoms. Examples thereof include aromatic diamines substituted with a halogenated alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, partially or entirely substituted with halogen atoms, or alkoxyl groups.

本発明における芳香族テトラカルボン酸類としてのピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸は、下記[化17]、[化18]で示され、[化2]の骨格を有するテトラカルボン酸としては下記[化19]、[化20]で例示できる。   In the present invention, pyromellitic acid and biphenyltetracarboxylic acid as aromatic tetracarboxylic acids are represented by the following [Chemical Formula 17] and [Chemical Formula 18], and tetracarboxylic acids having a skeleton of [Chemical Formula 2] are represented by the following [Chemical Formulas]. 19] and [Chemical 20].

Figure 2008095000
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Figure 2008095000
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本発明においては、全カルボン酸類の30モル%未満より好ましくは15モル%未満であれば前記以外の下記に例示される芳香族テトラカルボン酸類を使用してもよい。   In the present invention, aromatic tetracarboxylic acids exemplified below other than the above may be used as long as they are less than 30 mol%, preferably less than 15 mol% of the total carboxylic acids.

Figure 2008095000
Figure 2008095000

Figure 2008095000
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本発明においては、全カルボン酸類の30モル%未満であれば下記に例示される非芳香族のテトラカルボン酸二無水物類を一種又は二種以上、適宜併用してもよい。
非芳香族のテトラカルボン酸二無水物類としては、例えば、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、ペンタン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサ−1−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、3−エチルシクロヘキサ−1−エン−3−(1,2),5,6−テトラカルボン酸二無水物、1−メチル−3−エチルシクロヘキサン−3−(1,2),5,6−テトラカルボン酸二無水物、1−メチル−3−エチルシクロヘキサ−1−エン−3−(1,2),5,6−テトラカルボン酸二無水物、1−エチルシクロヘキサン−1−(1,2),3,4−テトラカルボン酸二無水物、1−プロピルシクロヘキサン−1−(2,3),3,4−テトラカルボン酸二無水物、1,3−ジプロピルシクロヘキサン−1−(2,3),3−(2,3)−テトラカルボン酸二無水物、ジシクロヘキシル−3,4,3’,4’−テトラカルボン酸二無水物、
In the present invention, one or two or more non-aromatic tetracarboxylic dianhydrides exemplified below may be used in combination as appropriate as long as they are less than 30 mol% of the total carboxylic acids.
Non-aromatic tetracarboxylic dianhydrides include, for example, butane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pentane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, Cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, cyclohex-1-ene-2 , 3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 3-ethylcyclohex-1-ene-3- (1,2), 5,6-tetracarboxylic dianhydride, 1-methyl-3-ethyl Cyclohexane-3- (1,2), 5,6-tetracarboxylic dianhydride, 1-methyl-3-ethylcyclohex-1-ene-3- (1,2), 5,6-tetracarboxylic acid Dianhydride, 1-ethylcyclohexa -1- (1,2), 3,4-tetracarboxylic dianhydride, 1-propylcyclohexane-1- (2,3), 3,4-tetracarboxylic dianhydride, 1,3-dipropyl Cyclohexane-1- (2,3), 3- (2,3) -tetracarboxylic dianhydride, dicyclohexyl-3,4,3 ′, 4′-tetracarboxylic dianhydride,

ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、1−プロピルシクロヘキサン−1−(2,3),3,4−テトラカルボン酸二無水物、1,3−ジプロピルシクロヘキサン−1−(2,3),3−(2,3)−テトラカルボン酸二無水物、ジシクロヘキシル−3,4,3’,4’−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクタン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらのテトラカルボン酸二無水物は単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。 Bicyclo [2.2.1] heptane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 1-propylcyclohexane-1- (2,3), 3,4-tetracarboxylic dianhydride, 1 , 3-Dipropylcyclohexane-1- (2,3), 3- (2,3) -tetracarboxylic dianhydride, dicyclohexyl-3,4,3 ′, 4′-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.1] Heptane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.2] octane-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2.2] Oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride and the like. These tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸無水物類とを重合してポリアミド酸を得るときに用いる溶媒は、原料となるモノマー及び生成するポリアミド酸のいずれをも溶解するものであれば特に限定されないが、極性有機溶媒が好ましく、例えば、N−メチル−2−ピロリドン、N−アセチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホリックアミド、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、スルホラン、ハロゲン化フェノール類等があげられる。
重合反応によって得られるポリアミド酸溶液に占めるポリアミド酸の濃度は、好ましくは5〜40質量%、より好ましくは10〜30質量%であり、前記溶液の粘度はブルックフィールド粘度計による測定(25℃)で、送液の安定性の点から、好ましくは10〜2000Pa・sであり、より好ましくは100〜1000Pa・sである。
本発明におけるポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)は、特に限定するものではないが、引張弾性率、引張破断強度、引張破断伸度を向上するために3.0dl/g以上が好ましく、4.0dl/g以上がさらに好ましい。
The solvent used when polymerizing aromatic diamines and aromatic tetracarboxylic acid anhydrides to obtain polyamic acid is particularly limited as long as it dissolves both the raw material monomer and the polyamic acid to be produced. Although not preferred, polar organic solvents are preferred, such as N-methyl-2-pyrrolidone, N-acetyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide Hexamethylphosphoric amide, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol dimethyl ether, sulfolane, halogenated phenols and the like.
The concentration of the polyamic acid in the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 10 to 30% by mass, and the viscosity of the solution is measured with a Brookfield viscometer (25 ° C.). And from the stability point of liquid feeding, Preferably it is 10-2000 Pa.s, More preferably, it is 100-1000 Pa.s.
The reduced viscosity (ηsp / C) of the polyamic acid in the present invention is not particularly limited, but is preferably 3.0 dl / g or more in order to improve the tensile elastic modulus, tensile breaking strength, and tensile breaking elongation. More preferably, 0.0 dl / g or more.

本発明におけるポリイミド又はポリイミドフィルムにおいては、その中に滑剤を添加・含有せしめて、層(フィルム)表面に微細な凹凸を付与し層(フィルム)の接着性などを改善することが好ましい。滑剤としては、無機や有機の0.03μm〜3μm程度の平均粒子径を有する微粒子が使用でき、具体例として、酸化チタン、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、燐酸カルシウム、燐酸水素カルシウム、ピロ燐酸カルシウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、粘土鉱物などが挙げられる。
これらの微粒子はポリイミドやフィルムに対して好ましくは、0.20〜2.0質量%の範囲で含有させることが必要である。微粒子の含有量が0.20質量%未満であるときは、接着性の向上がそれほどなく好ましくない。一方2.0質量%を超えると表面凹凸が大きくなり過ぎ接着性の向上が見られても平滑性の低下を招くなどによる課題を残し好ましくない。これらの滑剤の添加・含有は(a)層においても同様に摘要してもよい。
In the polyimide or polyimide film of the present invention, it is preferable to add and contain a lubricant therein to give fine irregularities on the surface of the layer (film) to improve the adhesion of the layer (film). As the lubricant, inorganic or organic fine particles having an average particle diameter of about 0.03 μm to 3 μm can be used. Specific examples include titanium oxide, alumina, silica, calcium carbonate, calcium phosphate, calcium hydrogen phosphate, calcium pyrophosphate, Examples include magnesium oxide, calcium oxide, and clay minerals.
These fine particles are preferably contained in the range of 0.20 to 2.0 mass% with respect to the polyimide or film. When the content of the fine particles is less than 0.20% by mass, there is not so much improvement in adhesion, which is not preferable. On the other hand, if it exceeds 2.0% by mass, the surface unevenness becomes too large, and even if the adhesiveness is improved, problems such as a decrease in smoothness remain, which is not preferable. These lubricants may be added and contained in the layer (a) as well.

重合反応により得られるポリアミド酸溶液から、ポリイミドフィルムを形成する方法としては、ポリアミド酸溶液を支持体上に塗布して乾燥するなどによりグリーンフィルムを得て、次いで、グリーンフィルムを熱処理に供することでイミド化反応させる方法が挙げられる。
ポリアミド酸溶液を塗布する支持体は、ポリアミド酸溶液をフィルム状に成形するに足る程度の平滑性、剛性を有していればよく、表面が金属、プラスチック、ガラス、磁器などであるドラム又はベルト状回転体などが挙げられる。中でも、支持体の表面は好ましくは金属であり、より好ましくは錆びなくて耐腐食に優れるステンレスである。支持体の表面にはCr、Ni、Snなどの金属メッキを施してもよい。支持体表面は必要に応じて鏡面にする、あるいは梨地状に加工することができる。またポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルムなどの高分子フィルムを支持体として用いることも可能である。
As a method of forming a polyimide film from the polyamic acid solution obtained by the polymerization reaction, a green film is obtained by applying the polyamic acid solution on a support and drying, and then subjecting the green film to a heat treatment. A method of imidization reaction may be mentioned.
The support on which the polyamic acid solution is applied is only required to have smoothness and rigidity sufficient to form the polyamic acid solution into a film, and a drum or belt whose surface is made of metal, plastic, glass, porcelain, etc. And the like. Among them, the surface of the support is preferably a metal, more preferably stainless steel that does not rust and has excellent corrosion resistance. The surface of the support may be plated with metal such as Cr, Ni, or Sn. The surface of the support can be mirror-finished or processed into a satin finish as necessary. In addition, a polymer film such as a polyethylene terephthalate film or a polyethylene naphthalate film can be used as the support.

支持体へのポリアミド酸溶液の塗布は、スリット付き口金からの流延、押出機による押出し、スキージコーティング、リバースコーティング、ダイコーティング、アプリケータコーティング、ワイヤーバーコーティング等を含むが、これらに限られず、従来公知の溶液の塗布手段を適宜用いることができる。
ポリアミド酸溶液をフィルム状に成形して前駆体フィルム(グリーンフィルム)を得て、これをイミド化して、ポリイミドフィルムを得る。その具体的なイミド化方法としては、従来公知のイミド化反応を適宜用いることが可能である。例えば、閉環触媒や脱水剤を含まないポリアミド酸溶液を用いて、加熱処理に供することでイミド化反応を進行させる方法(所謂、熱閉環法)やポリアミド酸溶液に閉環触媒及び脱水剤を含有させておいて、上記閉環触媒及び脱水剤の作用によってイミド化反応を行わせる、化学閉環法を挙げることができるが、ポリイミドフィルム表裏面の表面面配向度の差が小さいポリイミドフィルムを得るためには、熱閉環法が好ましい。
Application of the polyamic acid solution to the support includes, but is not limited to, casting from a slit base, extrusion through an extruder, squeegee coating, reverse coating, die coating, applicator coating, wire bar coating, etc. Conventionally known solution coating means can be appropriately used.
A polyamic acid solution is formed into a film to obtain a precursor film (green film), which is imidized to obtain a polyimide film. As a specific imidization method, a conventionally known imidation reaction can be appropriately used. For example, using a polyamic acid solution that does not contain a ring-closing catalyst or a dehydrating agent, the imidization reaction proceeds by subjecting it to a heat treatment (so-called thermal ring-closing method), or a polycyclic acid solution containing a ring-closing catalyst and a dehydrating agent. In order to obtain a polyimide film in which the difference in surface orientation between the front and back surfaces of the polyimide film is small, a chemical ring closing method can be mentioned in which an imidization reaction is performed by the action of the above ring closing catalyst and dehydrating agent. The thermal ring closure method is preferred.

熱閉環法の加熱最高温度は、100〜500℃が例示され、好ましくは200〜480℃である。加熱最高温度がこの範囲より低いと充分に閉環されづらくなり、またこの範囲より高いと劣化が進行し、フィルムが脆くなりやすくなる。より好ましい態様としては、150〜250℃で3〜20分間処理した後に350〜500℃で3〜20分間処理する2段階熱処理が挙げられる。
化学閉環法では、ポリアミド酸溶液を支持体に塗布した後、イミド化反応を一部進行させて自己支持性を有するフィルムを形成した後に、加熱によってイミド化を完全に行わせることができる。この場合、イミド化反応を一部進行させる条件としては、好ましくは100〜200℃による3〜20分間の熱処理であり、イミド化反応を完全に行わせるための条件は、好ましくは200〜400℃による3〜20分間の熱処理である。
100-500 degreeC is illustrated as a heating maximum temperature of a thermal ring closure method, Preferably it is 200-480 degreeC. When the maximum heating temperature is lower than this range, it is difficult to close the ring sufficiently, and when it is higher than this range, deterioration proceeds and the film tends to become brittle. A more preferable embodiment includes a two-stage heat treatment in which treatment is performed at 150 to 250 ° C. for 3 to 20 minutes and then treatment is performed at 350 to 500 ° C. for 3 to 20 minutes.
In the chemical ring closure method, after the polyamic acid solution is applied to a support, the imidization reaction is partially advanced to form a self-supporting film, and then imidization can be performed completely by heating. In this case, the condition for partially proceeding with the imidization reaction is preferably a heat treatment for 3 to 20 minutes at 100 to 200 ° C., and the condition for allowing the imidization reaction to be completely performed is preferably 200 to 400 ° C. For 3 to 20 minutes.

本発明におけるポリイミドフィルムは、高引張破断強度、高引張弾性率、低線膨張係数を保有し、かつ表面接着性が優れたものであり、得られたポリイミドフィルムは、好ましい態様として、引張破断強度が300MPa以上、引張弾性率が6GPa以上であり、面方向での線膨張係数が0〜30ppm/℃である優れた性能のポリイミドフィルムである。   The polyimide film in the present invention has high tensile strength at break, high tensile modulus, low linear expansion coefficient, and excellent surface adhesion, and the obtained polyimide film has a tensile strength at break as a preferred embodiment. Is a polyimide film having excellent performance with a tensile modulus of 6 GPa or more and a linear expansion coefficient in the plane direction of 0 to 30 ppm / ° C.

本発明における面方向での線膨張係数(CTE)の測定は下記による。
<(b)層のフィルム及び多層ポリイミドフィルムの面方向での線膨張係数>
測定対象のフィルムについて、下記条件にてMD方向及びTD方向の伸縮率を測定し、90℃〜100℃、100℃〜110℃、…と10℃の間隔での伸縮率/温度を測定し、この測定を400℃まで行い、100℃から350℃までの全測定値の平均値をCTE(平均値)として算出した。MD方向、TD方向の意味は、流れ方向(MD方向;長尺フィルムの長さ方向)及び幅方向(TD方向;長尺フィルムの幅方向)を示すものである。
面方向の線膨張係数はMD方向、TD方向の値の平均値である。
装置名 ; MACサイエンス社製TMA4000S
試料長さ ; 10mm
試料幅 ; 2mm
昇温開始温度 ; 25℃
昇温終了温度 ; 400℃
昇温速度 ; 5℃/min
雰囲気 ; アルゴン
The measurement of the coefficient of linear expansion (CTE) in the plane direction in the present invention is as follows.
<Linear expansion coefficient in the surface direction of (b) layer film and multilayer polyimide film>
For the film to be measured, the stretch rate in the MD direction and the TD direction is measured under the following conditions, and the stretch rate / temperature at intervals of 90 ° C. to 100 ° C., 100 ° C. to 110 ° C.,. This measurement was performed up to 400 ° C., and the average value of all measured values from 100 ° C. to 350 ° C. was calculated as CTE (average value). The meanings of the MD direction and the TD direction indicate the flow direction (MD direction; the length direction of the long film) and the width direction (TD direction; the width direction of the long film).
The linear expansion coefficient in the plane direction is an average value of values in the MD direction and the TD direction.
Device name: TMA4000S manufactured by MAC Science
Sample length; 10mm
Sample width: 2 mm
Temperature rise start temperature: 25 ° C
Temperature rising end temperature: 400 ° C
Temperature increase rate: 5 ° C / min
Atmosphere: Argon

引張破断強度、引張弾性率の測定は下記による。
<ポリイミドフィルム及び多層ポリイミドフィルムの引張破断強度、引張弾性率の測定>
測定対象のフィルムを、MD方向及びTD方向にそれぞれ100mm×10mmの短冊状に切り出したものを試験片とした。引張試験機(島津製作所製、オートグラフ(商品名)機種名AG−5000A)を用い、引張速度50mm/分、チャック間距離40mmの条件で、MD方向、TD方向それぞれについて、引張弾性率、引張破断強度及び引張破断伸度を測定した。
Measurements of tensile strength at break and tensile modulus are as follows.
<Measurement of tensile strength and tensile modulus of polyimide film and multilayer polyimide film>
A test piece was prepared by cutting a film to be measured into strips of 100 mm × 10 mm in the MD direction and the TD direction, respectively. Using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corp., Autograph (trade name) model name AG-5000A) under the conditions of a tensile speed of 50 mm / min and a distance between chucks of 40 mm, the tensile modulus and tension in each of the MD and TD directions. The breaking strength and tensile breaking elongation were measured.

以下、実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。なお、以下の実施例における物性の評価方法は前記した以外は以下の通りである。
1.ポリアミド酸の還元粘度(ηsp/C)
ポリマー濃度が0.2g/dlとなるようにN−メチル−2−ピロリドンに溶解した溶液をウベローデ型の粘度管により30℃で測定した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated more concretely, this invention is not limited by a following example. The physical property evaluation methods in the following examples are as follows except for the above.
1. Reduced viscosity of polyamic acid (ηsp / C)
A solution dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone so that the polymer concentration was 0.2 g / dl was measured at 30 ° C. using an Ubbelohde type viscosity tube.

2.フィルムの厚さ
マイクロメーター(ファインリューフ社製、ミリトロン1254D)を用いて測定した。
2. Film thickness The film thickness was measured using a micrometer (Millitron 1254D manufactured by Fine Reef Co., Ltd.).

3.剥離強度
測定対象の金属積層ポリイミドフィルムにマスキングテープを貼り付け、塩化第二鉄水溶液にてマスキングされていない部分の銅層をエッチング除去することで線幅1mmのパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。常温での測定を初期剥離強度とし、PCT環境(121℃、100%RH、2atom、168hr)に放置した後測定した剥離強度をPCT後剥離強度とした。JIS C6418に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ(商品名)機種名AG−5000A)を用いて行った。
3. Peel strength A masking tape is attached to the metal laminated polyimide film to be measured, and after processing into a pattern with a line width of 1 mm by etching away the copper layer that is not masked with ferric chloride aqueous solution, the direction of 90 degrees The peel strength was defined as the strength required when peeled off. The measurement at room temperature was taken as the initial peel strength, and the peel strength measured after standing in a PCT environment (121 ° C., 100% RH, 2 atoms, 168 hours) was taken as the post-PCT peel strength. According to JIS C6418, a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (trade name) model name AG-5000A) was used.

〔ポリアミド酸溶液(1)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール(p−DAMBO)500質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド5000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをN,N−ジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−ZL(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物(PMDA)485質量部を加え,25℃の反応温度で48時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(1)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは4.2dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (1)]
(PMDA / p-DAMBO)
After the inside of a reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, 500 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole (p-DAMBO) was charged. Next, after adding 5000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-ZL (Nissan Chemical Industry Co., Ltd.) in which colloidal silica is dispersed in N, N-dimethylacetamide 40.5 parts by mass (containing 8.1 parts by mass of silica), 485 parts by mass of pyromellitic dianhydride (PMDA), and stirring for 48 hours at a reaction temperature of 25 ° C. A tonic polyamic acid solution (1) was obtained. Ηsp / C of the obtained solution was 4.2 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(2)の作製〕
(ODPA/TPER)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン930質量部を仕込んだ。次いで、を入れ、N,N−ジメチルアセトアミド15000質量部を導入し、均一になるようによく攪拌した後、コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−ZL(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,この溶液を0度まで冷やし、4,4’−オキシジフタル酸無水物990質量部を加え、17時間攪拌した。薄黄色で粘調なポリアミド酸溶液(2)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは3.1dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (2)]
(ODPA / TPER)
The inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, and then charged with 930 parts by mass of 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene. Next, 15000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide was introduced, and after stirring well so as to be uniform, Snowtex (trade name) DMAC-ZL (Nissan Chemical Co., Ltd.) formed by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide 40.5 parts by mass (manufactured by Kogyo Co., Ltd.) (containing 8.1 parts by mass of silica) was added, the solution was cooled to 0 ° C., 990 parts by mass of 4,4′-oxydiphthalic anhydride was added, and the mixture was stirred for 17 hours. . A pale yellow and viscous polyamic acid solution (2) was obtained. The solution obtained had a ηsp / C of 3.1 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(3)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO:ODPA/TPER=95:5)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール303質量部と1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン21質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド3000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−Zl(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物293質量部と4,4’−オキシジフタル酸無水物22質量部を加え、25℃の反応温度で50時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(3)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは2.64dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (3)]
(PMDA / p-DAMBO: ODPA / TPER = 95: 5)
After purging the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod with nitrogen, 303 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole and 1,3-bis (4-aminophenoxy) 21 parts by mass of benzene was charged. Next, after adding 3000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-Zl (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) obtained by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide. Add 5 parts by weight (including 8.1 parts by weight of silica), add 293 parts by weight of pyromellitic dianhydride and 22 parts by weight of 4,4′-oxydiphthalic anhydride, and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 50 hours. As a result, a pale yellow and viscous polyamic acid solution (3) was obtained. Ηsp / C of the obtained solution was 2.64 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(4)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO:ODPA/TPER=90:10)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール282質量部と1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン41質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド3000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−Zl(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物273質量部と4,4’−オキシジフタル酸無水物43質量部を加え、25℃の反応温度で50時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(4)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは2.95dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (4)]
(PMDA / p-DAMBO: ODPA / TPER = 90: 10)
After purging the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod with nitrogen, 282 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole and 1,3-bis (4-aminophenoxy) 41 parts by mass of benzene was charged. Next, after adding 3000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-Zl (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) obtained by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide. Add 5 parts by mass (including 8.1 parts by mass of silica), add 273 parts by mass of pyromellitic dianhydride and 43 parts by mass of 4,4′-oxydiphthalic anhydride, and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 50 hours. As a result, a pale yellow and viscous polyamic acid solution (4) was obtained. The obtained solution had a ηsp / C of 2.95 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(5)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO:ODPA/TPER=80:20)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール242質量部と1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン79質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド3000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−Zl(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物234質量部と4,4’−オキシジフタル酸無水物83質量部を加え、25℃の反応温度で50時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(5)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは2.37dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (5)]
(PMDA / p-DAMBO: ODPA / TPER = 80: 20)
After purging the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod with nitrogen, 242 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole and 1,3-bis (4-aminophenoxy) 79 parts by mass of benzene was charged. Next, after adding 3000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-Zl (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) obtained by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide. Add 5 parts by weight (including 8.1 parts by weight of silica), add 234 parts by weight of pyromellitic dianhydride and 83 parts by weight of 4,4′-oxydiphthalic anhydride, and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 50 hours. As a result, a pale yellow and viscous polyamic acid solution (5) was obtained. The solution obtained had a ηsp / C of 2.37 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(6)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO:ODPA/TPER=75:25)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール282質量部と1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン41質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド3000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−Zl(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物273質量部と4,4’−オキシジフタル酸無水物43質量部を加え、25℃の反応温度で50時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(6)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは2.18dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (6)]
(PMDA / p-DAMBO: ODPA / TPER = 75: 25)
After purging the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod with nitrogen, 282 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole and 1,3-bis (4-aminophenoxy) 41 parts by mass of benzene was charged. Next, after adding 3000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-Zl (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) obtained by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide. Add 5 parts by mass (including 8.1 parts by mass of silica), add 273 parts by mass of pyromellitic dianhydride and 43 parts by mass of 4,4′-oxydiphthalic anhydride, and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 50 hours. As a result, a pale yellow and viscous polyamide acid solution (6) was obtained. The obtained solution had a ηsp / C of 2.18 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(7)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO:ODPA/TPER=50:50)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、5−アミノ−2−(p−アミノフェニル)ベンゾオキサゾール138質量部と1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン178質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド3000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−Zl(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物133質量部と4,4’−オキシジフタル酸無水物189質量部を加え、25℃の反応温度で50時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(7)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは2.06dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (7)]
(PMDA / p-DAMBO: ODPA / TPER = 50: 50)
After the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, 138 parts by mass of 5-amino-2- (p-aminophenyl) benzoxazole and 1,3-bis (4-aminophenoxy) 178 parts by mass of benzene was charged. Next, after adding 3000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-Zl (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) obtained by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide. Add 5 parts by weight (including 8.1 parts by weight of silica), add 133 parts by weight of pyromellitic dianhydride and 189 parts by weight of 4,4′-oxydiphthalic anhydride, and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 50 hours. As a result, a pale yellow and viscous polyamic acid solution (7) was obtained. The obtained solution had a ηsp / C of 2.06 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(8)の作製〕
(PMDA/p−DAMBO:ODPA/TPER=80:20)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、上記記載のポリアミド酸溶液(1)397質量部とポリアミド酸溶液(2)135質量部を加え、25℃の反応温度で10時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(8)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは3.41dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (8)]
(PMDA / p-DAMBO: ODPA / TPER = 80: 20)
After replacing the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring bar with nitrogen, 397 parts by mass of the polyamic acid solution (1) and 135 parts by mass of the polyamic acid solution (2) were added, and the reaction was performed at 25 ° C. After stirring at temperature for 10 hours, a pale yellow and viscous polyamic acid solution (8) was obtained. Ηsp / C of the obtained solution was 3.41 dl / g.

〔ポリアミド酸溶液(9)の作製〕
(PMDA/PDA:ODPA/TPER=90:10)
窒素導入管、温度計、攪拌棒を備えた反応容器内を窒素置換した後、パラフェニレンジアミン176質量部と1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン53質量部を仕込んだ。次いで、N,N−ジメチルアセトアミド3000質量部を加えて完全に溶解させた後,コロイダルシリカをジメチルアセトアミドに分散してなるスノーテックス(商品名)DMAC−Zl(日産化学工業株式会社製)40.5質量部(シリカを8.1質量部含む)を加え,ピロメリット酸二無水物354質量部と4,4’−オキシジフタル酸無水物56質量部を加え、25℃の反応温度で50時間攪拌すると、淡黄色で粘調なポリアミド酸溶液(9)が得られた。得られた溶液のηsp/Cは1.96dl/gであった。
[Preparation of polyamic acid solution (9)]
(PMDA / PDA: ODPA / TPER = 90: 10)
After the inside of the reaction vessel equipped with a nitrogen introduction tube, a thermometer, and a stirring rod was purged with nitrogen, 176 parts by mass of paraphenylenediamine and 53 parts by mass of 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene were charged. Next, after adding 3000 parts by mass of N, N-dimethylacetamide and completely dissolving it, Snowtex (trade name) DMAC-Zl (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) obtained by dispersing colloidal silica in dimethylacetamide. Add 5 parts by mass (including 8.1 parts by mass of silica), add 354 parts by mass of pyromellitic dianhydride and 56 parts by mass of 4,4′-oxydiphthalic anhydride, and stir at a reaction temperature of 25 ° C. for 50 hours. As a result, a pale yellow and viscous polyamide acid solution (9) was obtained. The obtained solution had a ηsp / C of 1.96 dl / g.

(実施例1)
ポリアミド酸溶液(3)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
上記フィルムを連続式スパッタ装置に装着し、周波数13.56MHz、出力400W、ガス圧0.8Paの条件、ニッケル−クロム(クロム含有量10%)合金のターゲット用い、アルゴン雰囲気下にてRFスパッタ法により、10Å/秒のレートで厚さ50Åのニッケル−クロム合金被膜を形成した。次いで、100Å/秒のレートで銅を蒸着し、厚さ0.3μmの銅薄膜を形成させた。その後、このフィルムを250mm×400mmに切り出し、プラスチック製の枠に固定し直し、硫酸銅めっき浴を用いて、厚さ8μmの厚付け銅メッキ層を上記銅薄膜上に形成して、金属化ポリイミドフィルムを得た。

測定対象の金属化フィルムを90μm配線幅のTABテープパターンに加工した後、90度方向に引き剥がしたときに要する強度を以って剥離強度とした。測定は、JIS C6418に準じて引張試験機(株式会社島津製作所製、オートグラフ(登録商標)機種名AG−5000A)を用いて行った。得られたポリイミドフィルムの特性などを表1と表2に示す。
(Example 1)
The polyamic acid solution (3) was coated on the non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
The above film is mounted on a continuous sputtering apparatus, RF sputter method is performed in an argon atmosphere using a nickel-chromium (chromium content 10%) alloy target under the conditions of frequency 13.56 MHz, output 400 W, gas pressure 0.8 Pa. Thus, a nickel-chromium alloy film having a thickness of 50 mm was formed at a rate of 10 mm / sec. Subsequently, copper was vapor-deposited at a rate of 100 Å / second to form a copper thin film having a thickness of 0.3 μm. Thereafter, this film is cut out to 250 mm × 400 mm, fixed to a plastic frame, and a thick copper plating layer having a thickness of 8 μm is formed on the copper thin film using a copper sulfate plating bath. A film was obtained.

After the metallized film to be measured was processed into a TAB tape pattern with a wiring width of 90 μm, the peel strength was defined as the strength required when the metallized film was peeled off in the 90-degree direction. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by Shimadzu Corporation, Autograph (registered trademark) model name AG-5000A) according to JIS C6418. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained polyimide film.

(実施例2)
ポリアミド酸溶液(4)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。
(Example 2)
The polyamic acid solution (4) is coated on a non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap is 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm. The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained. Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film.

(実施例3)
ポリアミド酸溶液(5)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。
(Example 3)
The polyamic acid solution (5) was coated on a non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film.

(実施例4)
ポリアミド酸溶液(8)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。
Example 4
The polyamic acid solution (8) was coated on the non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film.

(実施例5)
ポリアミド酸溶液(6)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。
(Example 5)
The polyamic acid solution (6) was coated on the non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film.

(実施例6)
ポリアミド酸溶液(4)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、115μm、塗工幅700mm)、110℃にて7.5分間乾燥することで、厚さが9μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ5μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。
(Example 6)
The polyamic acid solution (4) was coated on the non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 115 μm, coating width). 700 mm) and 7.5 minutes at 110 ° C. to obtain a polyamic acid film having a thickness of 9 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 5 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film.

(実施例7)
ポリアミド酸溶液(9)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目475℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。
(Example 7)
The polyamic acid solution (9) was coated on a non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (A-4100, thickness: 188 μm, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 475 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film.

(比較例1)
ポリアミド酸溶液(2)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目400℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。得られたフィルムは、高接着性であるものの、CTEが高いフィルムであった。
(Comparative Example 1)
The polyamic acid solution (2) is coated on a non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap is 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 400 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film. Although the obtained film was highly adhesive, it was a film having a high CTE.

(比較例2)
ポリアミド酸溶液(1)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目400℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。得られたフィルムは、低CTEであるものの、接着性の低いフィルムであった。
(Comparative Example 2)
The polyamic acid solution (1) was coated on the non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 400 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film. The obtained film was a film having low CTE but low adhesion.

(比較例3)
ポリアミド酸溶液(7)を、ポリエチレンテレフタレート製フィルム(東洋紡績株式会社製、A−4100、厚さ188μm)の無滑剤面上に、コンマコーターを用いてコーティングし(ギャップは、230μm、塗工幅700mm)、110℃にて15分間乾燥することで、厚さが18μmのポリアミド酸フィルムを得た。
上記のポリアミド酸フィルムを3つの熱処理ゾーンを有するピンテンターに通し、一段目150℃×2分、2段目220℃×2分、3段目400℃×4分間の熱処理を行い、500mm幅にスリットして、厚さ10μmのポリイミドフィルムを得た。
以下実施例1と同様の方法で金属積層ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性などを表1、表2に示す。得られたフィルムは、高接着性であるものの、CTEが高いフィルムであった。
(Comparative Example 3)
The polyamic acid solution (7) was coated on a non-lubricant surface of a polyethylene terephthalate film (Toyobo Co., Ltd., A-4100, thickness 188 μm) using a comma coater (gap: 230 μm, coating width). 700 mm) and dried at 110 ° C. for 15 minutes to obtain a polyamic acid film having a thickness of 18 μm.
The above polyamic acid film is passed through a pin tenter having three heat treatment zones, the first stage 150 ° C. × 2 minutes, the second stage 220 ° C. × 2 minutes, the third stage 400 ° C. × 4 minutes, and slit to 500 mm width. Thus, a polyimide film having a thickness of 10 μm was obtained.
Thereafter, a metal laminated polyimide film was obtained in the same manner as in Example 1. Tables 1 and 2 show characteristics of the obtained film. Although the obtained film was highly adhesive, it was a film having a high CTE.

<両面COF及び多層基板の製造>
実施例1で得られた両面金属積層ポリイミドフィルムを250mm幅にスリットし、両端に搬送用のスプロケット孔及び位置合わせ用の孔、及びスルーホール接続孔をパンチングした。次いでロールトゥロール式のデスミア処理装置を経て、ダイレクトメタライズ工程に通し、スルーホール部分を導通させた後に、ロールトゥロール方式の連続的電気めっき装置によりスルーホールめっきを行った。
めっき以後は通常のドライフィルムレジストを用いる両面回路加工工程を通し、所定のパターンを露光して現像を行なった後、パターニングしたレジストをマスクとし、塩化第二鉄水溶液を用いてエッチング処理を施した。レジスト剥離後、パッド部を残して液状レジスト型のソルダーレジストを塗布・乾燥、マスク露光、現像し、パッド部分には、厚さ1.5μmの錫めっきを施し、各ポリイミドフィルムロールを用いて幅250mm、長さ約300mのプリント配線板(COF用フィルム基板)ロールを得、リールに巻き取った。得られた各COF用フィルム基板の最も線幅の細い回路部分は線幅/線間=45/55μmであった。
上記の両面COF3枚の間に接着シート(パイララックスLF)を挟み、180℃、20MPaにて15分間プレス積層した。その後NCドリルマシンを用い、ドリルの回転速度12000rpmで、穴径φ200μmのスルーホールを作製した。スルーホール内面を無電解めっき及び電解めっきにより層間接続することで、10層の多層回路基板を作製した。得られた多層回路基板は、外観良好、反りのなし、接続不良無しの高信頼な基板が得られた。
上記と同様の方法で実施例2−7の金属積層ポリイミドフィルムを用いて作製した多層回路基板は、いずれも外観良好、反りのなし、接続不良無しの高信頼な基板が得られた。
<Manufacture of double-sided COF and multilayer substrate>
The double-sided metal laminated polyimide film obtained in Example 1 was slit into a width of 250 mm, and a sprocket hole for conveyance, a hole for alignment, and a through-hole connection hole were punched at both ends. Next, after passing through a direct metallization process through a roll-to-roll type desmear treatment apparatus and conducting the through-hole portion, through-hole plating was performed by a roll-to-roll type continuous electroplating apparatus.
After plating, through a double-sided circuit processing process using a normal dry film resist, a predetermined pattern was exposed and developed, and then the patterned resist was used as a mask and etching was performed using an aqueous ferric chloride solution. . After removing the resist, apply a liquid resist type solder resist leaving the pad part, dry, mask exposure and development, and apply 1.5 μm thick tin plating to the pad part, and use each polyimide film roll A printed wiring board (COF film substrate) roll having a length of 250 mm and a length of about 300 m was obtained and wound on a reel. The circuit portion with the narrowest line width of each of the obtained COF film substrates had a line width / line spacing = 45/55 μm.
An adhesive sheet (Pyrarax LF) was sandwiched between the three double-sided COFs, and press-laminated at 180 ° C. and 20 MPa for 15 minutes. Then, using a NC drill machine, a through hole having a hole diameter of 200 μm was prepared at a drill rotation speed of 12000 rpm. A 10-layer multilayer circuit board was fabricated by interlayer connection of the inner surface of the through hole by electroless plating and electrolytic plating. The obtained multilayer circuit board was a highly reliable board having good appearance, no warping, and no poor connection.
All the multilayer circuit boards produced using the metal laminated polyimide film of Example 2-7 by the same method as described above were able to obtain highly reliable boards having good appearance, no warping, and no poor connection.

Figure 2008095000
Figure 2008095000

Figure 2008095000
Figure 2008095000

本発明のポリイミドから得られるポリイミドフィルムは、高温での金属薄膜や金属箔との接合に優れ、かつ高温時における変形・反り・歪みなどのないフレキシブルな金属積層板たとえばフレキシブルプリント回路板などの層間絶縁層として極めて有用であり、絶縁層形成時の加圧加熱成型時において、基材としてのポリイミドフィルムの変形が抑制できる。高引張破断強度、高引張弾性率、低面方向での線膨張係数を兼ね備えた本発明のポリイミドフィルムは、しかも表面接着性に優れており多層プリント配線板などの層間絶縁に使用した場合に得られる多層プリント配線板などの軽少(軽薄)化を達成しうるものであり、電子機器の高機能化、高性能化、軽小化に有用である。   The polyimide film obtained from the polyimide of the present invention is excellent in bonding with a metal thin film or metal foil at high temperature, and is a flexible metal laminated board free from deformation, warpage, distortion at high temperature, for example, an interlayer such as a flexible printed circuit board It is extremely useful as an insulating layer, and deformation of a polyimide film as a base material can be suppressed during pressure heating molding when forming the insulating layer. The polyimide film of the present invention, which has high tensile breaking strength, high tensile modulus, and linear expansion coefficient in the low surface direction, is excellent in surface adhesion and is obtained when used for interlayer insulation such as multilayer printed wiring boards. The multilayer printed wiring board can be made lighter (lighter and thinner), and is useful for enhancing the functionality, performance, and miniaturization of electronic devices.

Claims (6)

下記[化1]の構造単位を有するポリイミドであって、少なくともR1が[化2]から選択される芳香族テトラカルボン酸類の残基、R2が[化3]から選択される芳香族ジアミン類の残基を有するポリイミド(a)を1〜30モル%と、
Figure 2008095000
Figure 2008095000
Figure 2008095000
少なくとも芳香族テトラカルボン酸類の残基としてピロメリット酸残基及び/又はビフェニルテトラカルボン酸残基、芳香族ジアミン類の残基としてベンゾオキサゾール骨格を有するジアミンの残基及び/又はフェニレンジアミンの残基を有するポリイミド(b)を70〜99モル%とを含むことを特徴とするポリイミド。
A polyimide having a structural unit of the following [Chemical Formula 1], wherein at least R1 is a residue of an aromatic tetracarboxylic acid selected from [Chemical Formula 2], and R2 is an aromatic diamine selected from [Chemical Formula 3] 1-30 mol% of polyimide (a) having a residue,
Figure 2008095000
Figure 2008095000
Figure 2008095000
At least pyromellitic acid residue and / or biphenyltetracarboxylic acid residue as aromatic tetracarboxylic acid residue, diamine residue having benzoxazole skeleton and / or phenylenediamine residue as aromatic diamine residue A polyimide comprising 70 to 99 mol% of a polyimide (b) containing
請求項1記載のポリイミドから得られる引張破断強度が300MPa以上、引張弾性率が5GPa以上であるポリイミドフィルム。   A polyimide film having a tensile strength at break of 300 MPa or more and a tensile modulus of elasticity of 5 GPa or more obtained from the polyimide according to claim 1. 面方向での線膨張係数が0〜30ppm/℃である請求項2記載のポリイミドフィルム。   The polyimide film according to claim 2, wherein the linear expansion coefficient in the plane direction is 0 to 30 ppm / ° C. 請求項2又は3いずれかに記載のポリイミドフィルムを基板として用いた銅張積層板。   A copper-clad laminate using the polyimide film according to claim 2 as a substrate. 請求項4に記載の銅張積層板の銅層を一部除去して回路パターンを形成してなるプリント配線板。   The printed wiring board formed by removing a part of copper layer of the copper clad laminated board of Claim 4, and forming a circuit pattern. 請求項2〜5いずれかに記載のポリイミドフィルム及び/又はプリント配線板を用いた多層回路基板。   The multilayer circuit board using the polyimide film and / or printed wiring board in any one of Claims 2-5.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010209245A (en) * 2009-03-11 2010-09-24 Toyobo Co Ltd Polyimide film
JP2012006149A (en) * 2010-06-22 2012-01-12 Toyobo Co Ltd Polyimide board, metal-laminated polyimide board, and printed wiring board
JP2012076278A (en) * 2010-09-30 2012-04-19 Nippon Kayaku Co Ltd Copper-clad laminated plate and method of manufacturing the laminated plate, and wiring board including the laminated plate
CN103101282A (en) * 2013-03-06 2013-05-15 湖南文理学院 Preparation method of high-adhesion adhesive-free flexible copper-clad plates
US20170192282A1 (en) * 2015-11-19 2017-07-06 Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Blue phase liquid crystal display device and display module of the same
WO2022085619A1 (en) * 2020-10-22 2022-04-28 株式会社カネカ Non-thermoplastic polyimide film, multilayer polyimide film, and metal-clad laminated plate

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010209245A (en) * 2009-03-11 2010-09-24 Toyobo Co Ltd Polyimide film
JP2012006149A (en) * 2010-06-22 2012-01-12 Toyobo Co Ltd Polyimide board, metal-laminated polyimide board, and printed wiring board
JP2012076278A (en) * 2010-09-30 2012-04-19 Nippon Kayaku Co Ltd Copper-clad laminated plate and method of manufacturing the laminated plate, and wiring board including the laminated plate
CN103101282A (en) * 2013-03-06 2013-05-15 湖南文理学院 Preparation method of high-adhesion adhesive-free flexible copper-clad plates
CN103101282B (en) * 2013-03-06 2016-01-06 湖南文理学院 A kind of preparation method of high-adhesiveness glue-free flexible copper-clad plate
US20170192282A1 (en) * 2015-11-19 2017-07-06 Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Blue phase liquid crystal display device and display module of the same
US9897873B2 (en) * 2015-11-19 2018-02-20 Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Blue phase liquid crystal display device and display module of the same
WO2022085619A1 (en) * 2020-10-22 2022-04-28 株式会社カネカ Non-thermoplastic polyimide film, multilayer polyimide film, and metal-clad laminated plate

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