JP2003200527A - Metal foil laminate and double-side metal foil laminate - Google Patents

Metal foil laminate and double-side metal foil laminate

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JP2003200527A
JP2003200527A JP2002162636A JP2002162636A JP2003200527A JP 2003200527 A JP2003200527 A JP 2003200527A JP 2002162636 A JP2002162636 A JP 2002162636A JP 2002162636 A JP2002162636 A JP 2002162636A JP 2003200527 A JP2003200527 A JP 2003200527A
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metal foil
polyimide
silane
resin composition
modified polyimide
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Hideki Aida
秀樹 合田
Takayuki Fujiwara
隆行 藤原
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Arakawa Chemical Industries Ltd
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Arakawa Chemical Industries Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a metal foil laminate excellent in interlaminar adhesion, dynamic strength and heat resistance and reduced in curling. <P>SOLUTION: The metal foil laminate is obtained by casting a silane modified polyimide resin composition (A), which contains an alkoxy group-containing silane modified polyimide (a) obtained by reacting polyamic acid (1) and/or polyimide (2) with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3) and a polar solvent, on a metal foil. The metal foil laminate is obtained by casting a silane modified polyimide resin composition (B), which contains the alkoxy group-containing silane modified polyimide (a) obtained by reacting polyamic acid (1) and/or polyimide (2) with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), the polar solvent (b) and an inorganic filler (c), on the metal foil. A double-side metal foil laminate is obtained by plating the polyimide resin side of the metal foil laminate. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はアルコキシ基含有シ
ラン変性ポリイミド(a)および極性溶剤(b)を含有
するシラン変性ポリイミド樹脂組成物(A)を銅箔上に
キャストして得られる金属箔積層体に関する。当該金属
箔積層体は、フレキシブルプリント板(FPC)やテー
プ・オートメイティッド・ボンディング(TAB)とし
て使用することができる。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a metal foil laminate obtained by casting a silane-modified polyimide resin composition (A) containing an alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) and a polar solvent (b) on a copper foil. Regarding the body The metal foil laminate can be used as a flexible printed board (FPC) or tape automated bonding (TAB).

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電化製品や電子機器の軽薄短小化
に伴う内部部品の小型化により、電化製品・電子機器に
用いられる回路基板の小型化・高密度化が求められてい
る。回路の小型化を実現するには、安価で電気的性質等
の各種物性に優れた材料が必要とされ、耐熱性や電気的
性質に優れ、しかも柔軟性を有するポリイミドフィルム
が、フレキシブルプリント板(FPC)やテープ・オー
トメイティッド・ボンディング(TAB)として広く使
用されるようになってきている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization of internal parts accompanying the miniaturization of electric appliances and electronic devices, there has been a demand for miniaturization and high density of circuit boards used for electric appliances and electronic devices. In order to realize the miniaturization of the circuit, it is necessary to use a material that is inexpensive and has excellent physical properties such as electrical properties. A polyimide film that has excellent heat resistance and electrical properties and is flexible is a flexible printed board ( It has come to be widely used as FPC) and tape automated bonding (TAB).

【0003】現在、ポリイミドフィルムをフレキシブル
プリント板(FPC)やテープ・オートメイティッド・
ボンディング(TAB)などの基板材料として使用する
ため、エポキシ樹脂などの接着剤を用いて銅箔と張り合
わせる方法が採用されているが、接着剤の耐熱性等が劣
るため、本来のポリイミドの特性を十分に発揮すること
ができていない。
At present, polyimide films are used for flexible printed circuit boards (FPC) and tape automated tapes.
Since it is used as a substrate material for bonding (TAB) and the like, a method of laminating it with a copper foil using an adhesive such as an epoxy resin has been adopted, but since the heat resistance of the adhesive is inferior, the original characteristics of polyimide are used. Has not been able to fully exert.

【0004】そのため、耐熱性の劣る接着剤を使用しな
いで、銅箔にポリアミック酸溶液を塗布し、乾燥、イミ
ド化したり、熱可塑性ポリイミドを熱圧着させたポリイ
ミド基材についての検討が行なわれているが、当該方法
によって得られるポリイミドの銅箔積層体は、接着強度
が小さいため、ファインピッチ化、高周波対応に必要と
なる凹凸の少ない(表面粗度の小さい)銅箔に使用する
ことが困難であり、加えて耐熱特性が損なわれるという
問題点も指摘されている。
Therefore, a polyimide base material obtained by applying a polyamic acid solution to a copper foil, drying and imidizing it, or thermocompressing a thermoplastic polyimide without using an adhesive having poor heat resistance has been studied. However, since the polyimide copper foil laminate obtained by this method has a low adhesive strength, it is difficult to use it for copper foil with a small number of irregularities (small surface roughness) required for fine pitch and high frequency compatibility. In addition, there is a problem that the heat resistance is impaired.

【0005】また、高分子学会編「高分子論文集」,第
57巻,No.4,233頁,2000年発行に記載さ
れているように、ポリアミック酸を基材である銅箔に直
接塗布した場合には、銅箔界面付近のポリイミドに銅イ
オンのマイグレーションが起き易いため絶縁性が低下す
る不利がある。十分な絶縁性を確保するには、より厚み
のあるイミド層とすればよいが、電子回路の高密度高集
積化が急速に進む現状では、当該厚みを増やすのは到底
受け入れられない。従って、薄膜で銅イオンのマイグレ
ーションを高度に抑制しうる金属箔積層体の技術開発が
求められている。
In addition, “Polymer Papers”, Volume 57, No. As described in p. 233, published in 2000, when polyamic acid is directly applied to a copper foil as a base material, migration of copper ions easily occurs in the polyimide near the interface of the copper foil, resulting in insulation properties. Has the disadvantage of decreasing. In order to secure sufficient insulation, a thicker imide layer may be used, but under the present circumstances where the density and integration of electronic circuits are rapidly increasing, increasing the thickness is unacceptable. Therefore, there is a demand for technological development of a metal foil laminate capable of highly suppressing migration of copper ions in a thin film.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解決し、接着剤を使用せずに、凹凸の少ない銅箔に対
する密着性に優れ、銅イオンのマイグレーションの少な
い金属箔積層体を提供する事を目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above problems and provides a metal foil laminate having excellent adhesion to a copper foil with less unevenness and less migration of copper ions without using an adhesive. The purpose is to provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく検討を行なったところ、特定のアルコキシ基
含有シラン変性ポリイミドを銅箔上にキャストすること
により得られる金属箔積層体を用いることにより上記課
題を解決することができるということを見出した。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted investigations to solve the above-mentioned problems, and found that a metal foil laminate obtained by casting a specific alkoxy group-containing silane-modified polyimide on a copper foil. It has been found that the above problems can be solved by using them.

【0008】すなわち、本発明は、ポリアミック酸
(1)及び/又はポリイミド(2)と、エポキシ基含有
アルコキシシラン部分縮合物(3)とを反応させてなる
アルコキシ基含有シラン変性ポリイミド(a)、並びに
極性溶剤(b)を含有するシラン変性ポリイミド樹脂組
成物(A)を銅箔上にキャストして得られる金属箔積層
体;ポリアミック酸(1)及び/又はポリイミド(2)
と、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)
とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン変性ポリイ
ミド(a)、極性溶剤(b)並びに無機フィラー(c)
を含有するシラン変性ポリイミド樹脂組成物(B)を金
属箔上にキャストして得られる金属箔積層体;ポリアミ
ック酸(1)及び/又はポリイミド(2)と、エポキシ
基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)とを反応させ
てなるアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド(a)並
びに極性溶剤(b)を含有するシラン変性ポリイミド樹
脂組成物(A)を金属箔上にキャストした後、更に線膨
張係数が25ppm以下のフィルムを形成するポリイミ
ドポリマー、極性溶剤(b)を含有する樹脂組成物をキ
ャストして得られる金属箔積層体;ポリアミック酸
(1)及び/又はポリイミド(2)と、エポキシ基含有
アルコキシシラン部分縮合物(3)とを反応させてなる
アルコキシ基含有シラン変性ポリイミド(a)並びに極
性溶剤(b)を含有するシラン変性ポリイミド樹脂組成
物(A)を金属箔上にキャストした後、更に線膨張係数
が25ppm以下の硬化フィルムを形成するシラン変性
ポリイミド樹脂組成物(A)をキャストして得られる金
属箔積層体;当該金属箔積層体のポリイミド樹脂側をメ
ッキすることにより得られる両面金属箔積層体に関す
る。
That is, according to the present invention, an alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) obtained by reacting a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2) with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), And a metal foil laminate obtained by casting a silane-modified polyimide resin composition (A) containing a polar solvent (b) on a copper foil; polyamic acid (1) and / or polyimide (2).
And an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3)
Alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a), polar solvent (b) and inorganic filler (c)
A metal foil laminate obtained by casting a silane-modified polyimide resin composition (B) containing on a metal foil; a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2), and an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate ( 3) The silane-modified polyimide resin composition (A) containing the alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) and the polar solvent (b) obtained by reacting with 3) is cast on a metal foil, and then the linear expansion coefficient is 25 ppm. A metal foil laminate obtained by casting a resin composition containing a polyimide polymer for forming the following film and a polar solvent (b); a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2), and an epoxy group-containing alkoxysilane. Contains an alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) obtained by reacting with a partial condensate (3) and a polar solvent (b) A metal foil laminate obtained by casting the silane-modified polyimide resin composition (A) on a metal foil, and then casting the silane-modified polyimide resin composition (A) that forms a cured film having a linear expansion coefficient of 25 ppm or less. A double-sided metal foil laminate obtained by plating the polyimide resin side of the metal foil laminate.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明のアルコキシ基含有シラン
変性ポリイミド組成物を構成するポリアミック酸(1)
としては、主鎖がアミド結合により形成され、当該アミ
ド結合と反応してイミド結合を形成し得るカルボキシル
基を有する樹脂であって、例えばテトラカルボン酸類と
ジアミン類を、極性溶剤中、通常−20℃〜60℃で反
応させて得られるポリアミック酸溶液が使用できる。ポ
リイミド(2)としては、分子中にイミド基を有するポ
リマーであって、例えば上記ポリアミック酸溶液を80
〜160℃で脱水閉環反応させることにより得られるポ
リイミド溶液が使用できる。なお、ポリアミック酸
(1)には、ポリアミック酸(1)の一部を脱水閉環さ
せることによりイミド化させたものも含まれる。ポリア
ミック酸(1)及び/又はポリイミド(2)の分子量は
特に限定されないが、数平均分子量3000〜5000
0程度のものが好ましい。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Polyamic acid (1) which constitutes an alkoxy group-containing silane-modified polyimide composition of the present invention
As a resin having a carboxyl group whose main chain is formed by an amide bond and which can react with the amide bond to form an imide bond, for example, tetracarboxylic acids and diamines in a polar solvent, usually -20 A polyamic acid solution obtained by reacting at 60 ° C to 60 ° C can be used. The polyimide (2) is a polymer having an imide group in the molecule, and for example, the polyamic acid solution may be 80
A polyimide solution obtained by a dehydration ring-closing reaction at ˜160 ° C. can be used. The polyamic acid (1) also includes those obtained by imidizing a part of the polyamic acid (1) by dehydration ring closure. The molecular weight of the polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) is not particularly limited, but the number average molecular weight is 3000 to 5000.
It is preferably about 0.

【0010】上記のテトラカルボン酸類としては、例え
ば、ピロメリット酸無水物、1,23,4−ベンゼンテ
トラカルボン酸無水物、1,4,5,8−ナフタレンテ
トラカルボン酸無水物、2,3,6,7−ナフタレンテ
トラカルボン酸無水物、3,3’,4,4’−ビフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,
4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、2,3,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルエー
テルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−
ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,
3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸
二無水物、2,3,3’,4’−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,3’,
4,4’−テトラカルボキシフェニル)テトラフルオロ
プロパン二無水物、2,2’−ビス(3,4−ジカルボ
キシフェノキシフェニル)スルホン二無水物、2,2−
ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水
物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プ
ロパン二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸無水
物、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、2,
3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸無水物、な
どを例示することが出来、これらは1種を単独で又は2
種以上を組み合わせて使用される。
Examples of the above-mentioned tetracarboxylic acids include pyromellitic acid anhydride, 1,23,4-benzenetetracarboxylic acid anhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic acid anhydride, and 2,3. , 6,7-Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2, 3, 3 ',
4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3', 4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenyl ether tetracarboxylic acid dianhydride Things, 2, 3, 3 ', 4'-
Diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,
3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,3', 4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,3 ',
4,4'-Tetracarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,2'-bis (3,4-dicarboxyphenoxyphenyl) sulfone dianhydride, 2,2-
Bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, cyclopentanetetracarboxylic acid anhydride, butane-1,2,3, 4-tetracarboxylic acid, 2,
3,5-tricarboxycyclopentyl acetic acid anhydride, etc. can be exemplified, and these can be used alone or in combination with 2
Used in combination of two or more species.

【0011】また、本発明の効果を失わない範囲で、ト
リメリット酸無水物、ブタン−1,2,4−トリカルボン
酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸などのトリ
カルボン酸類、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ビメリン酸、スベリン酸、セバシン
酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸な
ど脂肪族ジカルボン酸類やそれらの酸無水物、イソフタ
ル酸、テレフタル酸、ジフェニルメタン−4,4’−ジ
カルボン酸など芳香族ジカルボン酸類やそれらの酸無水
物を併用することが出来る。但し、テトラカルボン酸類
に対するこれらの割合が多すぎると、得られる硬化物の
絶縁性や耐熱性が落ちる傾向があるため、通常、その使
用量はテトラカルボン酸に対し、30モル%以下である
ことが好ましい。
Further, within the range of not losing the effects of the present invention, tricarboxylic acids such as trimellitic anhydride, butane-1,2,4-tricarboxylic acid and naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid, oxalic acid, Malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, vimelic acid, suberic acid, sebacic acid, undecanedioic acid, dodecanedioic acid, tridecanedioic acid and other aliphatic dicarboxylic acids and their acid anhydrides, isophthalic acid, terephthalic acid, Aromatic dicarboxylic acids such as diphenylmethane-4,4'-dicarboxylic acid and their acid anhydrides can be used in combination. However, if the ratio of these to the tetracarboxylic acid is too large, the insulating property and heat resistance of the obtained cured product tend to deteriorate, so the amount used is usually 30 mol% or less relative to the tetracarboxylic acid. Is preferred.

【0012】上記のジアミン類としては、4,4’−ジ
アミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェ
ニルエーテル、4,4’−ジアミノフェニルメタン、
3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジフェニルメ
タン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,
4’−ジ(m−アミノフェノキシ)ジフェニルスルホ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、1,4
−ジアミノベンゼン、2,5−ジアミノトルエン、イソ
ホロンジアミン、4−(2−アミノフェノキシ)−1,
3−ジアミノベンゼン、4−(4−アミノフェノキシ)
−1,3−ジアミノベンゼン、2−アミノ−4−(4−
アミノフェニル)チアゾール、2−アミノ−4−フェニ
ル−5−(4−アミノフェニル)チアゾール、ベンジジ
ン、3,3’,5,5’−テトラメチルベンジジン、オ
クタフルオロベンジジン、o−トリジン、m−トリジ
ン、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミ
ン、1,2−ビス(アニリノ)エタン、2,2−ビス
(p−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス(p−
アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,6−ジ
アミノナフタレン、ジアミノベンゾトリフルオライド、
1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,
4’−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、ジア
ミノアントラキノン、1,3−ビス(アニリノ)ヘキサ
フルオロプロパン、1,4−ビス(アニリノ)オクタフ
ルオロプロパン、2,2−ビス〔4−(p−アミノフェ
ノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどを例示
でき、これらは1種単独で又は2種以上を組み合わせて
使用される。
Examples of the above diamines are 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminophenylmethane,
3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,
4'-di (m-aminophenoxy) diphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 1,4
-Diaminobenzene, 2,5-diaminotoluene, isophoronediamine, 4- (2-aminophenoxy) -1,
3-diaminobenzene, 4- (4-aminophenoxy)
-1,3-diaminobenzene, 2-amino-4- (4-
Aminophenyl) thiazole, 2-amino-4-phenyl-5- (4-aminophenyl) thiazole, benzidine, 3,3 ′, 5,5′-tetramethylbenzidine, octafluorobenzidine, o-tolidine, m-tolidine. , P-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 1,2-bis (anilino) ethane, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2-bis (p-
Aminophenyl) hexafluoropropane, 2,6-diaminonaphthalene, diaminobenzotrifluoride,
1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene, 4,
4'-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, diaminoanthraquinone, 1,3-bis (anilino) hexafluoropropane, 1,4-bis (anilino) octafluoropropane, 2,2-bis [4- (p- Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane and the like can be exemplified, and these are used alone or in combination of two or more.

【0013】上記テトラカルボン酸類と上記ジアミン類
を、(テトラカルボン酸類のモル数)/(ジアミン類を
モル数)=(0.5〜0.8)/(1.2〜2.0)の
範囲で反応させて得られる分子末端が無水カルボン酸基
またはアミノ基のいずれかであるポリイミドアダクト体
を使用することもできる。
The above tetracarboxylic acids and the above diamines are represented by the following formula: (moles of tetracarboxylic acids) / (moles of diamines) = (0.5 to 0.8) / (1.2 to 2.0) It is also possible to use a polyimide adduct having a carboxylic acid anhydride group or an amino group at the molecular end obtained by the reaction within the range.

【0014】ポリアミック酸(1)及び/又はポリイミ
ド(2)は、上記テトラカルボン酸類とジアミン類を、
(テトラカルボン酸類のモル数/ジアミン類をモル数)
=0.9〜1.1の範囲で極性溶剤(b)中で反応させ
たポリアミック酸溶液を経て得られる。当該極性溶剤
(b)としては、生成するポリアミック酸(1)及び/
又はポリイミド(2)を溶解するものであれば、種類お
よび使用量は特に限定されないが、N−メチル―2―ピ
ロリドンやジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミ
ド、クレゾール、ジメチルスルホキシド、N―メチルカ
プロラクタム、メチルトリグライム、メチルジグライ
ム、ベンジルアルコールなどの極性溶剤をポリイミド換
算固形残分5〜40%となるようにすることが好まし
い。ここでポリイミド換算固形残分とは、ポリアミック
酸(1)及び/又はポリイミド(2)が完全にポリイミ
ドに硬化した時の、溶液に対するポリイミドの重量%を
表す。ポリイミド換算固形残分が5%未満では、ポリア
ミック酸(1)及び/又はポリイミド(2)溶液の製造
コストが高くなる。一方、40%を超えると、ポリアミ
ック酸(1)及び/又はポリイミド(2)溶液が室温で
高粘度となるためハンドリングが悪くなる傾向がある。
ポリアミック酸の反応温度は、特に限定されないが、−
20〜60℃に調整するのが好ましい。
The polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) contains the above-mentioned tetracarboxylic acids and diamines,
(Moles of tetracarboxylic acids / moles of diamines)
= 0.9 to 1.1, and is obtained through the polyamic acid solution reacted in the polar solvent (b). As the polar solvent (b), the generated polyamic acid (1) and / or
Alternatively, the kind and the amount used are not particularly limited as long as they can dissolve the polyimide (2), but N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethylacetamide, cresol, dimethylsulfoxide, N-methylcaprolactam, methyltriglyme. It is preferable to use a polar solvent such as methyl diglyme or benzyl alcohol so that the solid residue in terms of polyimide becomes 5 to 40%. Here, the polyimide-reduced solid residue represents the weight% of the polyimide with respect to the solution when the polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) is completely cured into the polyimide. If the solid residue in terms of polyimide is less than 5%, the production cost of the polyamic acid (1) and / or polyimide (2) solution will be high. On the other hand, when it exceeds 40%, the polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) solution has a high viscosity at room temperature, so that the handling tends to be poor.
The reaction temperature of the polyamic acid is not particularly limited,
It is preferable to adjust the temperature to 20 to 60 ° C.

【0015】 ポリイミド(2)は、上記のポリアミッ
ク酸(1)を脱水閉環して得られる。脱水閉環反応は6
0〜150℃の温度で加熱して行う。またこの脱水閉環
反応は脱水剤と触媒量の第3級アミンを使用しても構わ
ない。ここで言う脱水剤としては、例えば無水酢酸等の
脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物などが挙げられる。ま
た触媒としては、例えばトリエチルアミンなどの脂肪族
第3級アミン類、ジメチルアニリン等の芳香族第3級ア
ミン類、ピリジン、ピコリン、イソキノリン等の複素環
式第3級アミン類などが挙げられる。
The polyimide (2) is obtained by dehydration ring closure of the above polyamic acid (1). 6 for dehydration ring closure
The heating is performed at a temperature of 0 to 150 ° C. Further, this dehydration ring-closing reaction may use a dehydrating agent and a catalytic amount of a tertiary amine. Examples of the dehydrating agent here include aliphatic acid anhydrides such as acetic anhydride, aromatic acid anhydrides, and the like. Examples of the catalyst include aliphatic tertiary amines such as triethylamine, aromatic tertiary amines such as dimethylaniline, and heterocyclic tertiary amines such as pyridine, picoline, and isoquinoline.

【0016】 なお、本発明に用いるポリアミック酸
(1)は、ポリアミック酸(1)溶液に濁りや沈殿が生
じない限り、脱水閉環反応を進行させて、一部をイミド
化させることで、製膜時の硬化収縮を小さくし、反り、
カールを防止する事ができるため好ましい。ただ、脱水
閉環反応を進行させすぎることにより、当該溶液に濁り
や沈殿が生じると、エポキシ基含有アルコキシシラン部
分縮合物(3)との反応が進行しなくなるため、目的と
するアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド(A)が得
られなくなる。なお、ポリイミド(2)において、濁り
や沈殿を生じる時のイミド基の生成存在割合は、テトラ
カルボン酸やジアミンの種類、溶剤の種類によって異な
る。
The polyamic acid (1) used in the present invention can be formed into a film by causing a dehydration ring closure reaction to partially imidize the polyamic acid (1) solution unless turbidity or precipitation occurs in the solution. Curing shrinkage is reduced,
It is preferable because curl can be prevented. However, if turbidity or precipitation occurs in the solution due to excessive progress of the dehydration ring-closing reaction, the reaction with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3) will not proceed, and thus the desired alkoxy group-containing silane modification The polyimide (A) cannot be obtained. In the polyimide (2), the ratio of the imide groups produced when turbidity or precipitation occurs depends on the type of tetracarboxylic acid or diamine and the type of solvent.

【0017】本発明で使用されるエポキシ基含有アルコ
キシシラン部分縮合物(3)は、1分子中に1つの水酸
基を持つエポキシ化合物(以下、単にエポキシ化合物と
いう)とアルコキシシラン部分縮合物との脱アルコール
反応によって得られるものであり、特開2001−11
4894号公報記載の方法で合成する。
The epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3) used in the present invention is a compound obtained by removing an epoxy compound having one hydroxyl group in a molecule (hereinafter simply referred to as an epoxy compound) and an alkoxysilane partial condensate. It is obtained by an alcohol reaction and is disclosed in JP-A-2001-11.
It is synthesized by the method described in Japanese Patent No. 4894.

【0018】かかるエポキシ化合物としては、1分子中
に水酸基を1つもつエポキシ化合物であれば、エポキシ
基の数は特に限定されない。また、エポキシ化合物とし
ては、分子量が小さいもの程、アルコキシシラン部分縮
合物に対する相溶性がよく、耐熱性や密着性付与効果が
高いことから、炭素数が15以下のものが好適である。
その具体例としては、エピクロロヒドリンと、水、2価
アルコールまたは2つの水酸基を有するフェノール類と
を反応させて得られる分子末端に1つの水酸基を有する
モノグリシジルエーテル類;エピクロロヒドリンとグリ
セリンやペンタエリスリトールなどの3価以上の多価ア
ルコールとを反応させて得られる分子末端に1つの水酸
基を有するポリグリシジルエーテル類;エピクロロヒド
リンとアミノモノアルコールとを反応させて得られる分
子末端に1つの水酸基を有するエポキシ化合物;分子中
に1つの水酸基を有する脂環式炭化水素モノエポキシド
(例えば、エポキシ化テトラヒドロベンジルアルコー
ル)などが例示できる。これらのエポキシ化合物の中で
も、グリシドールが耐熱性付与効果の点で最も優れてお
り、またアルコキシシラン部分縮合物との反応性も高い
ため、最適である。
As the epoxy compound, the number of epoxy groups is not particularly limited as long as it is an epoxy compound having one hydroxyl group in one molecule. Further, as the epoxy compound, the one having a carbon number of 15 or less is preferable because the smaller the molecular weight, the better the compatibility with the alkoxysilane partial condensate and the higher the effect of imparting heat resistance and adhesion.
As a specific example thereof, monoglycidyl ethers having one hydroxyl group at the molecular end obtained by reacting epichlorohydrin with water, dihydric alcohol or phenols having two hydroxyl groups; epichlorohydrin and Polyglycidyl ethers having one hydroxyl group at the molecular end obtained by reacting a trihydric or higher polyhydric alcohol such as glycerin or pentaerythritol; a molecular end obtained by reacting epichlorohydrin and aminomonoalcohol Examples thereof include an epoxy compound having one hydroxyl group; and an alicyclic hydrocarbon monoepoxide having one hydroxyl group in the molecule (for example, epoxidized tetrahydrobenzyl alcohol). Among these epoxy compounds, glycidol is the most excellent in the heat resistance imparting effect, and is also most suitable because it has high reactivity with the alkoxysilane partial condensate.

【0019】アルコキシシラン部分縮合物としては、 一般式(1):R1 Si(OR2(4-m) (式中、mは0または1の整数示し、R1は炭素数8以
下のアルキル基またはアリール基、R2は炭素数4以下
の低級アルキル基を示す。)で表される加水分解性アル
コキシシランモノマーを、酸または塩基触媒、および水
の存在下で加水分解し、部分的に縮合させて得られるも
のが用いられる。
As the alkoxysilane partial condensate, General formula (1): R1 mSi (OR2)(4-m) (In the formula, m represents an integer of 0 or 1, and R1Is carbon number 8 or more
Lower alkyl or aryl group, R2Is carbon number 4 or less
Is a lower alkyl group. ) Hydrolyzable Al
Coxysilane monomer, acid or base catalyst, and water
Hydrolyzed in the presence of and partially condensed
Is used.

【0020】アルコキシシラン部分縮合物の構成原料で
ある加水分解性アルコキシシランモノマーの具体的とし
ては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、
テトラプロポキシシラン、テトライソプロポキシシラン
等のテトラアルコキシシラン類、メチルトリメトキシシ
ラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキ
シシラン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメト
キシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピル
トリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラ
ン、イソプロピルトリメトキシシラン、イソプロピルト
リエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類などがあ
げられる。通常、これらのなかでも特に、グリシドール
との反応性が高いことから、アルコキシシラン部分縮合
物(B)としてはテトラメトキシシランまたはメチルト
リメトキシシランを70モル%以上用いて合成されたも
のが好ましい。
Specific examples of the hydrolyzable alkoxysilane monomer which is a constituent raw material of the alkoxysilane partial condensate include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane,
Tetraalkoxysilanes such as tetrapropoxysilane and tetraisopropoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane. Examples thereof include trialkoxysilanes such as silane, n-propyltriethoxysilane, isopropyltrimethoxysilane, and isopropyltriethoxysilane. Usually, among these, particularly, since the alkoxysilane partial condensate (B) has a high reactivity with glycidol, a compound synthesized by using 70 mol% or more of tetramethoxysilane or methyltrimethoxysilane is preferable.

【0021】当該アルコキシシラン部分縮合物の数平均
分子量は230〜2000程度、1分子中のSiの平均
個数は2〜11程度であることが好ましい。
The number average molecular weight of the alkoxysilane partial condensate is preferably about 230 to 2000, and the average number of Si in one molecule is preferably about 2 to 11.

【0022】エポキシ化合物とアルコキシシラン部分縮
合物との使用割合は、アルコキシ基が実質的に残存する
ような割合であれば特に制限されないが、得られるエポ
キシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)中のエポ
キシ基の割合が、通常は、エポキシ化合物の水酸基の当
量/アルコキシシラン縮合物のアルコキシル基の当量=
0.01/1〜0.5/1となる仕込み比率で、アルコ
キシシラン縮合物(B)とエポキシ化合物を脱アルコー
ル反応させることが好ましい。
The ratio of the epoxy compound and the alkoxysilane partial condensate to be used is not particularly limited as long as the alkoxy group substantially remains, but in the resulting epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3). The ratio of the epoxy group of is usually the equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate =
It is preferable that the alkoxysilane condensate (B) and the epoxy compound are dealcoholized at a charging ratio of 0.01 / 1 to 0.5 / 1.

【0023】アルコキシシラン部分縮合物とエポキシ化
合物の反応は、たとえば、前記各成分を仕込み、加熱し
て生成するアルコールを留去しながら、脱アルコール反
応を行なう。反応温度は50〜150℃程度、好ましく
は70〜110℃であり、全反応時間は1〜15時間程
度である。
The reaction of the alkoxysilane partial condensate with the epoxy compound is carried out by, for example, charging the above-mentioned respective components and distilling off the alcohol produced by heating to carry out a dealcoholization reaction. The reaction temperature is about 50 to 150 ° C., preferably 70 to 110 ° C., and the total reaction time is about 1 to 15 hours.

【0024】本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリ
イミドは、前記ポリアミック酸(1)及び/又はポリイ
ミド(2)と前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分
縮合物(3)とを反応させて得られる。ポリアミック酸
(1)及び/又はポリイミド(2)とエポキシ基含有ア
ルコキシシラン部分縮合物(3)の使用割合は、特に制
限されないが、(エポキシ基含有アルコキシシラン部分
縮合物(3)のエポキシ基の当量)/(ポリアミック酸
(1)及び/又はポリイミド(2)に使用したテトラカ
ルボン酸類のカルボン酸基の当量)が0.01〜0.3
の範囲とするのが好ましい。上記数値が0.01未満で
あると金属箔との密着性が得られにくく、0.3を超え
ると金属箔積層体が脆くなり好ましくない。
The alkoxy group-containing silane-modified polyimide of the present invention is obtained by reacting the polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3). The use ratio of the polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3) is not particularly limited, but (of the epoxy group of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3) Equivalent) / (equivalent of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used in polyamic acid (1) and / or polyimide (2)) is 0.01 to 0.3
The range is preferably If the above numerical value is less than 0.01, it is difficult to obtain adhesion to the metal foil, and if it exceeds 0.3, the metal foil laminate becomes brittle, which is not preferable.

【0025】かかるアルコキシ基含有シラン変性ポリイ
ミド(a)の製造は、たとえば、前記各成分を仕込み、
実質的に無水状態で加熱して反応を行なう。本反応はポ
リアミック酸(1)のカルボン酸基、或いはポリイミド
(2)の分子末端の無水カルボン酸基又はアミノ基と、
前記エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)
のエポキシ基の反応を主目的にしており、本反応中にエ
ポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)のアル
コキシシリル部位のゾル−ゲル反応によるシリカの生
成、ポリアミック酸のイミド基への閉環反応を抑える必
要がある。そこで、反応温度は50〜120℃程度、好
ましくは60〜100℃であり、全反応時間は1〜30
時間程度で行うのが好ましい。
The production of the alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) is carried out, for example, by charging the above-mentioned components,
The reaction is carried out by heating in a substantially anhydrous state. This reaction is carried out with a carboxylic acid group of polyamic acid (1) or a carboxylic acid anhydride group or an amino group at the molecular end of polyimide (2),
Epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3)
The main purpose of this reaction is to react the epoxy group of the epoxy group. During this reaction, silica is formed by the sol-gel reaction of the alkoxysilyl moiety of the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), and the ring closure reaction of the polyamic acid to the imide group. Need to be suppressed. Therefore, the reaction temperature is about 50 to 120 ° C., preferably 60 to 100 ° C., and the total reaction time is 1 to 30.
It is preferable to perform it for about an hour.

【0026】また、上記の脱アルコール反応に際して
は、反応促進のために従来公知のエポキシ基とカルボン
酸とを反応させる際に使用する触媒を使用することがで
きる。1,8−ジアザ−ビシクロ[5,4,0]−7−
ウンデセン、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチル
アミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノ
ール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノールなど
の三級アミン類;2−メチルイミダゾール、2−フェニ
ルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾー
ル、2−ヘプタデシルイミダゾール、ベンズイミダゾー
ルなどのイミダゾール類;トリブチルホスフィン、メチ
ルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、ジ
フェニルホスフィン、フェニルホスフィンなどの有機ホ
スフィン類;テトラフェニルホスホニウム・テトラフェ
ニルボーレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール
・テトラフェニルボーレート、N−メチルモルホリン・
テトラフェニルボーレートなどのテトラフェニルボロン
塩などをあげることができる。反応触媒はポリアミック
酸のポリイミド換算固形残分100重量部に対し、0.
01〜5重量部の割合で使用するのが好ましい。
Further, in the dealcoholization reaction, a catalyst which is conventionally used for reacting an epoxy group with a carboxylic acid can be used to accelerate the reaction. 1,8-diaza-bicyclo [5,4,0] -7-
Tertiary amines such as undecene, triethylenediamine, benzyldimethylamine, triethanolamine, dimethylaminoethanol, tris (dimethylaminomethyl) phenol; 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, Imidazoles such as 2-heptadecyl imidazole and benzimidazole; organic phosphines such as tributylphosphine, methyldiphenylphosphine, triphenylphosphine, diphenylphosphine and phenylphosphine; tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methyl Imidazole tetraphenylborate, N-methylmorpholine
Examples thereof include tetraphenylboron salts such as tetraphenylborate. The reaction catalyst was 0.1% by weight based on 100 parts by weight of the solid residue of polyamic acid in terms of polyimide.
It is preferably used in a proportion of 01 to 5 parts by weight.

【0027】なお、上記反応は、極性溶剤(b)中で行
うことが好ましい。極性溶剤(b)としては、ポリアミ
ック酸(1)及び/又はポリイミド(2)およびエポキ
シ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)を溶解する
溶剤であれば特に制限はない。このような溶剤として
は、例えば、ポリアミック酸(1)製造時に使用したも
のが例示できる。
The above reaction is preferably carried out in the polar solvent (b). The polar solvent (b) is not particularly limited as long as it can dissolve the polyamic acid (1) and / or the polyimide (2) and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3). Examples of such a solvent include those used at the time of producing the polyamic acid (1).

【0028】こうして得られたアルコキシ基含有シラン
変性ポリイミド(a)と極性溶剤(b)を含有するシラ
ン変性ポリイミド樹脂組成物(A)は、その分子中にア
ルコキシシラン部分縮合物に由来するアルコキシ基を有
している。当該アルコキシ基の含有量は、特に限定はさ
れないが、このアルコキシ基は極性溶剤(b)の蒸発や
加熱処理により、または水分(湿気)との反応によりゾ
ル−ゲル反応や脱アルコール縮合して、相互に結合した
硬化物を形成するために必要となるため、アルコキシ基
含有シラン変性ポリイミド(a)は通常、アルコキシシ
ラン部分縮合物(3)のアルコキシ基の50〜95モル
%、好ましくは60〜90モル%を未反応のままで保持
しておくのが良い。かかるアルコキシ基含有シラン変性
ポリイミドから得られる硬化物は、 一般式(2):R1 SiO(4-m)/2 (式中、mは0または1の整数示し、Rは炭素数8以
下のアルキル基またはアリール基を示す。)で示される
ゲル化した微細なシリカ部位(シロキサン結合の高次網
目構造)を有するポリイミド-シリカハイブリッドであ
る。また本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミ
ドは、ポリアミック酸(1)及び/又はポリイミド
(2)がシラン変性されたものを主成分とするが、本発
明のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド樹脂組成物
中には未反応のポリアミック酸(1)及び/又はポリイ
ミド(2)やアルコキシシラン部分縮合物、エポキシ基
含有アルコキシシラン部分縮合物(3)、反応に使用し
た溶剤や触媒を含有されていてもよい。なお、未反応の
アルコキシシラン部分縮合物、エポキシ基含有アルコキ
シシラン部分縮合物(3)は硬化時に、加水分解、重縮
合によりシリカ硬化し、アルコキシ基含有シラン変性ポ
リイミドと一体化し、ポリイミド−シリカハイブリッド
となる。
Alkoxy group-containing silane thus obtained
Sila containing modified polyimide (a) and polar solvent (b)
The modified polyimide resin composition (A) has an
It has an alkoxy group derived from the partial condensate of lucoxysilane.
is doing. The content of the alkoxy group is not particularly limited.
However, this alkoxy group does not evaporate the polar solvent (b) or
Heat treatment or reaction with moisture (humidity)
They were bound to each other by the Rugel reaction or dealcohol condensation.
Since it is necessary to form a cured product, an alkoxy group
The silane-containing polyimide (a) containing is usually an alkoxysilane.
50 to 95 mol of the alkoxy group of the partial condensate of orchid (3)
%, Preferably 60-90 mol% unreacted
It is good to do it. Modification of silane containing such alkoxy groups
The cured product obtained from polyimide is General formula (2): R1 mSiO(4-m) / 2 (In the formula, m represents an integer of 0 or 1, and R1Is carbon number 8 or more
The lower alkyl group or aryl group is shown. )
Gelled fine silica sites (higher-order network of siloxane bonds
Is a polyimide-silica hybrid having an eye structure)
It Further, the alkoxy group-containing silane-modified polyimid of the present invention
Is polyamic acid (1) and / or polyimide
The main component of (2) is silane-modified.
Mitsui alkoxy group-containing silane-modified polyimide resin composition
Unreacted polyamic acid (1) and / or polyimide
Mido (2), alkoxysilane partial condensate, epoxy group
Containing alkoxysilane partial condensate (3), used in the reaction
It may contain a solvent or a catalyst. In addition, unreacted
Alkoxysilane partial condensate, epoxy group-containing alkoxy
Silane partial condensate (3) undergoes hydrolysis and polycondensation during curing.
The silica cures when combined with the alkoxy group-containing silane-modified
Polyimide-silica hybrid, integrated with Liimide
Becomes

【0029】金属箔積層体のカールを抑制する目的で、
本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド樹脂組
成物には従来公知の無機フィラー(c)を添加しても構
わない。無機フィラーとしては、シリカ、アルミナ、チ
タニア、酸化マグネシウムなどの酸化物、カオリン、タ
ルク、モンモリロナイトなどの複合酸化物、炭酸カルシ
ウム、炭酸バリウムなどの炭酸塩、硫酸カルシウム、硫
酸バリウムなどの硫酸塩、チタン酸バリウム、チタン酸
カリウムなどのチタン酸塩、リン酸第3カルシウム、リ
ン酸第2カルシウム、リン酸第1カルシウムなどのリン
酸塩などを用いることができるが、これらに限定される
わけではない。これら無機フィラー(c)の中でもアル
コキシ基含有シラン変性ポリイミド樹脂組成物(B)の
安定性、無機フィラーの分散性、カール抑制の効果を考
慮すると、シリカを用いるのが最も好ましい。
For the purpose of suppressing curling of the metal foil laminate,
A conventionally known inorganic filler (c) may be added to the alkoxy group-containing silane-modified polyimide resin composition of the present invention. As the inorganic filler, oxides such as silica, alumina, titania and magnesium oxide, complex oxides such as kaolin, talc and montmorillonite, carbonates such as calcium carbonate and barium carbonate, sulfates such as calcium sulfate and barium sulfate, titanium. Barium acid, titanates such as potassium titanate, and phosphates such as tricalcium phosphate, dicalcium phosphate, and monocalcium phosphate can be used, but are not limited thereto. . Among these inorganic fillers (c), silica is most preferably used in consideration of the stability of the alkoxy group-containing silane-modified polyimide resin composition (B), the dispersibility of the inorganic filler, and the curl suppressing effect.

【0030】通常、無機フィラー(c)は、平均粒子径
としては0.01μm以上5μm以下の範囲が好まし
い。また配合量としては、シラン変性ポリイミド樹脂組
成物(B)の樹脂分に対し、50重量%以下の範囲が好
ましい。なお、これらの粒子の添加の方法は、シラン変
性ポリイミド樹脂組成物(B)を使用して製膜する迄の
段階であれば特に制限はなく、例えば、ポリアミック酸
(1)及び/又はポリイミド(2)の重合段階や、エポ
キシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)との反応
で添加してもよく、また製膜の際に添加してもよい。
Usually, the average particle diameter of the inorganic filler (c) is preferably 0.01 μm or more and 5 μm or less. Further, the blending amount is preferably in the range of 50% by weight or less based on the resin content of the silane-modified polyimide resin composition (B). The method of adding these particles is not particularly limited as long as it is a stage until a film is formed using the silane-modified polyimide resin composition (B). For example, polyamic acid (1) and / or polyimide ( It may be added at the polymerization stage of 2) or by reaction with the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), or may be added at the time of film formation.

【0031】また、その他、前記シラン変性ポリイミド
樹脂組成物(A)または(B)には、本発明の効果を損
なわない範囲で、各種用途の必要に応じて、有機溶剤、
可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防
止剤、増白剤、着色剤、導電剤離型剤、表面処理剤、粘
度調節剤、カップリング剤等を配合してもよい。
Further, in addition to the silane-modified polyimide resin composition (A) or (B), an organic solvent may be added to the silane-modified polyimide resin composition (A) or (B), if necessary for various purposes, as long as the effects of the present invention are not impaired.
Plasticizers, weathering agents, antioxidants, heat stabilizers, lubricants, antistatic agents, brighteners, colorants, conductive agents release agents, surface treatment agents, viscosity modifiers, coupling agents, etc. Good.

【0032】金属箔積層体に用いる金属箔としては、電
解銅箔、圧延銅箔、アルミニウム箔またはステンレス箔
等を例示する事が出来る。これらの中でも電解銅箔や圧
延銅箔が導電性、耐熱性、力学強度が優れており好まし
い。一般にFPCやTAB用には接着剤との密着性を得
る目的で、銅箔の接着面の表面粗度を上げた表面処理銅
箔が使用されているが、前記シラン変性ポリイミド樹脂
組成物から得れれるキャスト膜は、接着剤を使用しなく
ても金属箔との密着性が極めて優れているため、また特
に表面粗化の必要がなく、未処理銅箔やファインピッ
チ、高周波対応の粗度の低い銅箔でも充分な密着性が得
られる。金属箔として、表面粗度(Rz)の余り大きく
ないものが好ましく、具体的にはRzが7μm以下、特
に3μm以下の銅箔を用いるのが好ましい。金属箔の厚
さは特に制限はないが、70μm以下、特に3〜35μ
mであることが好ましい。
Examples of the metal foil used in the metal foil laminate include electrolytic copper foil, rolled copper foil, aluminum foil, stainless steel foil and the like. Among these, electrolytic copper foil and rolled copper foil are preferable because they have excellent conductivity, heat resistance, and mechanical strength. Generally, for FPC and TAB, a surface-treated copper foil having an increased surface roughness of the adhesive surface of the copper foil is used for the purpose of obtaining adhesion with an adhesive, but obtained from the silane-modified polyimide resin composition. The cast film obtained has excellent adhesion to metal foil without the use of an adhesive, and there is no need for surface roughening. Untreated copper foil, fine pitch, and high-frequency roughness Sufficient adhesion can be obtained even with low copper foil. As the metal foil, one having a surface roughness (Rz) that is not so large is preferable, and specifically, a copper foil having Rz of 7 μm or less, particularly 3 μm or less is preferably used. The thickness of the metal foil is not particularly limited, but 70 μm or less, particularly 3 to 35 μm.
It is preferably m.

【0033】本発明の金属箔積層体は、シラン変性ポリ
イミド樹脂組成物(A)または(B)を金属箔上に、公
知の方法によりキャストすることにより得られる。キャ
スト膜の乾燥、硬化は2段階で行う事が好ましい。硬化
温度及び時間は使用したポリイミド(1)及び/又はポ
リアミック酸(2)の脱水閉環の量、及び溶剤の種類に
よって適宜決定する。1段階目は主に乾燥を目的として
80〜150℃で3〜30分行う事が好ましい。次いで
200〜500℃、1〜40分で残存溶剤を完全に除
き、完全にイミドに閉環させる。この時、1段階目の乾
燥工程において、完全硬化したポリイミドフィルムに対
して50重量%以下まで揮発分を除いておく事が好まし
い。何故なら、50重量%を超える揮発分が2段階目の
硬化工程で生じると、硬化フィルムが収縮、クラックを
生じるため好ましくない。このとき揮発分としては、溶
剤、アルコール、水が生じる。
The metal foil laminate of the present invention can be obtained by casting the silane-modified polyimide resin composition (A) or (B) on a metal foil by a known method. It is preferable to dry and cure the cast film in two stages. The curing temperature and time are appropriately determined depending on the amount of dehydration ring closure of the used polyimide (1) and / or polyamic acid (2) and the type of solvent. The first stage is preferably performed at 80 to 150 ° C. for 3 to 30 minutes mainly for the purpose of drying. Then, the residual solvent is completely removed at 200 to 500 ° C. for 1 to 40 minutes to completely ring-close the imide. At this time, it is preferable to remove volatile matter up to 50% by weight or less based on the completely cured polyimide film in the first drying step. The reason is that if a volatile content exceeding 50% by weight occurs in the second curing step, the cured film contracts and cracks, which is not preferable. At this time, a solvent, alcohol, and water are generated as volatile components.

【0034】上記金属積層体は金属箔/硬化フィルムの
密着強度が高く、信頼性が高いが、アルコキシ基含有シ
ラン変性ポリイミド樹脂組成物(A)を構成するテトラ
カルボン酸類やジアミン類、アルコキシシラン部分縮合
物(3)の種類によっては、銅箔と線膨張率が異なるこ
とから金属箔がカールを生じ、平滑性が失われることが
ある。このような場合には、以下の手法によって解決す
る事が可能である。
The above-mentioned metal laminate has high adhesion strength between metal foil / cured film and high reliability, but tetracarboxylic acids, diamines, and alkoxysilane moieties constituting the alkoxy group-containing silane-modified polyimide resin composition (A). Depending on the type of the condensate (3), the coefficient of linear expansion is different from that of the copper foil, so that the metal foil may curl and the smoothness may be lost. In such a case, it is possible to solve it by the following method.

【0035】アルコキシ基含有シラン変性ポリイミド
(a)及び極性溶剤(b)に対し、無機フィラー(c)
を添加し、シラン変性ポリイミド樹脂組成物(B)を調
製、キャストして得られる、ポリイミド硬化フィルムの
線膨張係数を25ppm以下、好ましくは5〜20pp
mに調整することで解決できる。この時用いる無機フィ
ラー(c)の量は、アルコキシ基含有シラン変性ポリイ
ミドの種類によって異なるが、硬化フィルムの柔軟性を
考慮すれば、硬化フィルムに対し、50重量%以下で無
機フィラー(c)を用いることが好ましい。
Inorganic filler (c) for the alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) and polar solvent (b)
And a silane-modified polyimide resin composition (B) is prepared and cast to obtain a cured polyimide film having a linear expansion coefficient of 25 ppm or less, preferably 5 to 20 pp.
It can be solved by adjusting to m. The amount of the inorganic filler (c) used at this time varies depending on the type of the alkoxy group-containing silane-modified polyimide, but if the flexibility of the cured film is taken into consideration, the inorganic filler (c) is added at 50% by weight or less based on the cured film. It is preferable to use.

【0036】また硬化フィルムの線膨張係数が25pp
mを越えるシラン変性ポリイミド樹脂組成物であって
も、フィルム膜厚が10μm以下であれば、カールは生
じず、フィルム膜厚を薄くすることで解決できる。
The cured film has a linear expansion coefficient of 25 pp.
Even if the silane-modified polyimide resin composition exceeds m, if the film thickness is 10 μm or less, curling does not occur and can be solved by reducing the film thickness.

【0037】またシラン変性ポリイミド樹脂組成物をキ
ャストした面に、更に従来公知の線膨張係数が25pp
m以下のポリイミドをコーティングし、金属箔/ポリイ
ミド-シリカハイブリッド/ポリイミドの3層構造とす
ることで、カールを解決する事も可能である。この時に
フィルム硬化方法は特に限定されず、例えば、シラン変
性ポリイミド樹脂組成物を金属箔にキャストの後、前記
2段階目の硬化条件で硬化条件で製膜し、更に低線膨張
のポリイミドをキャストし、硬化しても構わない。また
シラン変性ポリイミド樹脂組成物を金属箔上にキャスト
の後、1段階目の乾燥工程のみを行い、低線膨張性ポリ
イミドをキャストし、再度、乾燥工程の後、両層を2段
階目の条件で硬化させても構わない。
On the surface on which the silane-modified polyimide resin composition is cast, a conventionally known linear expansion coefficient is 25 pp.
It is also possible to solve the curl by coating a polyimide of m or less to form a three-layer structure of metal foil / polyimide-silica hybrid / polyimide. At this time, the film curing method is not particularly limited. For example, after casting the silane-modified polyimide resin composition on a metal foil, a film is formed under the curing conditions under the second-stage curing conditions, and then a polyimide having a low linear expansion is cast. However, it may be cured. Also, after casting the silane-modified polyimide resin composition on the metal foil, only the first step of the drying step is performed to cast the low linear expansion polyimide, and after the drying step, both layers are subjected to the second step conditions. It may be cured with.

【0038】また上記の従来公知の低線膨張ポリイミド
の代わりに、無機フィラー(c)の配合によって、硬化
フィルムの線膨張係数を25ppm以下にしたシラン変
性ポリイミド樹脂組成物を使用し、金属箔/ポリイミド
-シリカハイブリッド/低線膨張ポリイミド-シリカハイ
ブリッドの構成としてもよい。
Instead of the above-mentioned conventionally known low linear expansion polyimide, a silane-modified polyimide resin composition having a linear expansion coefficient of a cured film of 25 ppm or less by using an inorganic filler (c) is used. Polyimide
-Silica hybrid / low linear expansion polyimide-silica hybrid may be used.

【0039】またこれらの硬化フィルムの膜厚は用途に
よって適宜決定すればよいが、FPC及びTABに用い
る場合には、銅箔を除くポリイミド部分として3〜10
0μm、特に5〜50μmが好ましい。
The thickness of these cured films may be appropriately determined depending on the application, but when used for FPC and TAB, it is 3 to 10 as the polyimide portion excluding the copper foil.
0 μm, particularly 5 to 50 μm is preferable.

【0040】更にこれらの片面に金属箔が接着した金属
箔積層体のポリイミド側に、メッキをすることにより両
面金属箔積層体とすることもできる。金属メッキを充填
する方法としては、無電解メッキ法、無電解メッキ法と
電解メッキ法との併用法、パルスメッキ法、熱溶解法、
プラズマ法、スパッタ法等の公知の方法を採用し得る
が、量産性の点で、無電解メッキ法、無電解メッキと電
解メッキとの併用が特に好ましい。因に、無電解メッキ
法は、触媒となる金属を基材の表面及び内壁に析出さ
せ、次いで銅等を無電解メッキ法で析出させてメッキさ
せるものである。また、無電解メッキと電解メッキの併
用法は、無電解メッキを薄く析出させ、次いで金属を電
解メッキにて厚付けしてメッキさせるものである。本発
明では、メッキ金属としては、特に限定されず、例えば
銅、ニッケル、金、銀、白金、錫、鉛、コバルト、タン
グステン、モリブテン、パラジウム及びこれらの合金が
挙げられる。これらのうちでは特に銅が好ましい。
Further, a double-sided metal foil laminate can be obtained by plating the polyimide side of the metal foil laminate having a metal foil adhered on one side thereof. As a method for filling the metal plating, electroless plating method, combined use of electroless plating method and electrolytic plating method, pulse plating method, heat melting method,
Although a known method such as a plasma method or a sputtering method can be adopted, an electroless plating method or a combination of electroless plating and electrolytic plating is particularly preferable from the viewpoint of mass productivity. Incidentally, in the electroless plating method, a metal serving as a catalyst is deposited on the surface and inner wall of the base material, and then copper or the like is deposited by the electroless plating method for plating. The combined method of electroless plating and electrolytic plating is to deposit electroless plating thinly, and then to plate metal by thickening it by electrolytic plating. In the present invention, the plating metal is not particularly limited, and examples thereof include copper, nickel, gold, silver, platinum, tin, lead, cobalt, tungsten, molybdenum, palladium and alloys thereof. Of these, copper is particularly preferable.

【0041】[0041]

【発明の効果】本発明のアルコキシ基含有シラン変性ポ
リイミドを用いたシラン変性ポリイミド樹脂組成物を使
用すると、層間密着性、力学強度、耐熱性に優れ、しか
もカールや銅イオンのマイグレーションの少ない金属箔
積層体を製造する事ができる。
When the silane-modified polyimide resin composition using the alkoxy-group-containing silane-modified polyimide of the present invention is used, it is excellent in interlayer adhesion, mechanical strength and heat resistance, and has less curling and copper ion migration. A laminated body can be manufactured.

【0042】[0042]

【実施例】以下、実施例および比較例をあげて本発明を
具体的に説明する。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to Examples and Comparative Examples.

【0043】合成例1(エポキシ基含有アルコキシシラ
ン部分縮合物(3)の製造) 攪拌機、分水器、温度計
および窒素ガス導入管を備えた反応装置に、グリシドー
ル(日本油脂(株)製、商品名「エピオールOH」)1
400gおよびテトラメトキシシラン部分縮合物(多摩
化学(株)製、商品名「メチルシリケート51」、Si
の平均個数が4)8957.9gを仕込み、窒素気流
下、攪拌しながら、90℃に昇温した後、触媒としてジ
ブチル錫ジラウレート2.0gを加え、反応させた。反
応中、分水器を使って生成したメタノールを留去し、そ
の量が約630gに達した時点で冷却した。昇温後冷却
までに要した時間は5時間であった。ついで、13kP
aで約10分間、系内に残存するメタノール約80gを
減圧除去した。このようにして、エポキシ基含有アルコ
キシシラン部分縮合物(3A)を得た。なお、仕込み時
のエポキシ化合物の水酸基の当量/アルコキシシラン縮
合物(B)のアルコキシル基の当量(当量比)=0.1
0、エポキシ当量は512g/eqである。
Synthesis Example 1 (Production of Epoxy Group-Containing Alkoxysilane Partial Condensate (3)) Glycidol (manufactured by NOF Corporation) Product name "Epiol OH") 1
400 g and tetramethoxysilane partial condensate (manufactured by Tama Chemical Co., Ltd., trade name “methyl silicate 51”, Si
The average number of 4) was 8957.9 g, and the mixture was heated to 90 ° C. with stirring under a nitrogen stream, and 2.0 g of dibutyltin dilaurate as a catalyst was added and reacted. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and when the amount reached about 630 g, the mixture was cooled. The time required for cooling after the temperature was raised was 5 hours. Then, 13kP
About 80 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at a for about 10 minutes. Thus, an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3A) was obtained. The equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound at the time of charging / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) (equivalent ratio) = 0.1
0, the epoxy equivalent is 512 g / eq.

【0044】合成例2(エポキシ基含有アルコキシシラ
ン部分縮合物(3)の製造) 合成例1と同様の反応装
置に、グリシドール1400gおよびメチルトリメトキ
シシラン部分縮合物(多摩化学(株)製、商品名「MT
MS−B」、Siの平均個数が6)9142.1gを仕
込み、窒素気流下、攪拌しながら、90℃に昇温した
後、触媒としてジブチル錫ジラウレート2.0gを加
え、反応させた。反応中、分水器を使って生成したメタ
ノールを留去し、その量が約640gに達した時点で冷
却した。昇温後冷却までに要した時間は6.5時間であ
った。ついで、13kPaで約10分間、系内に残存す
るメタノール約32gを減圧除去した。このようにし
て、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3
B)を得た。なお、仕込み時のエポキシ化合物の水酸基
の当量/アルコキシシラン縮合物(B)のアルコキシル
基の当量(当量比)=0.068、エポキシ当量は83
2g/eqである。
Synthetic Example 2 (Production of Epoxy Group-Containing Alkoxysilane Partial Condensate (3)) In the same reactor as in Synthetic Example 1, 1400 g of glycidol and methyltrimethoxysilane partial condensate (manufactured by Tama Chemical Co., Ltd., product Name "MT
MS-B ”, the average number of Si was 6) 9142.1 g was charged, and the temperature was raised to 90 ° C. with stirring under a nitrogen stream, and 2.0 g of dibutyltin dilaurate as a catalyst was added and reacted. During the reaction, the produced methanol was distilled off using a water separator, and when the amount reached about 640 g, the mixture was cooled. The time required for cooling after raising the temperature was 6.5 hours. Then, about 32 g of methanol remaining in the system was removed under reduced pressure at 13 kPa for about 10 minutes. Thus, the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3
B) was obtained. The equivalent of the hydroxyl group of the epoxy compound at the time of charging / the equivalent of the alkoxyl group of the alkoxysilane condensate (B) (equivalent ratio) = 0.068, and the epoxy equivalent was 83.
It is 2 g / eq.

【0045】合成例3(アルコキシ基含有シラン変性ポ
リイミド樹脂組成物(A)の製造) 攪拌機、冷却管、温度計および窒素ガス導入管を備えた
2Lの4ツ口フラスコに、N−メチルピロリドンを仕込
み、40℃以下に冷却しながら、4,4’−ジアミノジ
フェニルエーテルとピロメリット酸を(テトラカルボン
酸類のモル数)/(ジアミン類をモル数)=0.99に
なるように加え、40℃で1時間反応させ、ポリアミッ
ク酸溶液を得る。その後、1時間かけて90℃に昇温
し、脱水閉環反応を行い、ポリイミド(2A)を得た。I
Rを用いて分析したところ、イミド閉環率は25%であ
った。ポリイミド(2A)溶液を80℃に加熱し、エポ
キシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3A)を、
(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3)の
エポキシ基の当量)/(ポリアミック酸(1)及び/又
はポリイミド(2)に使用したテトラカルボン酸類のカ
ルボン酸基の当量)=0.07になる様に加え、80℃
で16時間、反応した。室温まで冷却し、硬化残分17
%のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド(A―1)
溶液を得た。
Synthesis Example 3 (Production of Alkoxy Group-Containing Silane-Modified Polyimide Resin Composition (A)) N-methylpyrrolidone was placed in a 2 L 4-necked flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a thermometer and a nitrogen gas introducing tube. While charging and cooling to 40 ° C. or lower, 4,4′-diaminodiphenyl ether and pyromellitic acid were added so that (the number of moles of tetracarboxylic acid) / (the number of moles of diamine) = 0.99, and 40 ° C. To react for 1 hour to obtain a polyamic acid solution. Then, the temperature was raised to 90 ° C. over 1 hour to carry out a dehydration ring closure reaction to obtain a polyimide (2A). I
When analyzed using R, the imide ring closure rate was 25%. The polyimide (2A) solution is heated to 80 ° C., and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3A) is added.
(Equivalent weight of epoxy group of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3)) / (Equivalent weight of carboxylic acid group of tetracarboxylic acid used in polyamic acid (1) and / or polyimide (2)) = 0.07 In addition to 80 ℃
And reacted for 16 hours. Cool to room temperature and leave a cure residue of 17
% Alkoxy group-containing silane-modified polyimide (A-1)
A solution was obtained.

【0046】合成例4(アルコキシ基含有シラン変性ポ
リイミド樹脂組成物(A)の製造) 合成例3で得たポリイミド(2A)溶液を80℃に加熱
し、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3
B)を、(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(3)のエポキシ基の当量)/(ポリアミック酸(1)
及び/又はポリイミド(2)に使用したテトラカルボン
酸類のカルボン酸基の当量)=0.10になる様に加
え、80℃で14時間、反応した後、室温まで冷却し、
硬化残分17%のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミ
ド(A―2)溶液を得た。
Synthesis Example 4 (Production of Alkoxy Group-Containing Silane-Modified Polyimide Resin Composition (A)) The polyimide (2A) solution obtained in Synthesis Example 3 was heated to 80 ° C. to obtain an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3
B) is the (epoxy group equivalent of epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3)) / (polyamic acid (1)
And / or the equivalent of the carboxylic acid group of the tetracarboxylic acid used in the polyimide (2)) = 0.10, reacted at 80 ° C. for 14 hours, and then cooled to room temperature,
An alkoxy group-containing silane-modified polyimide (A-2) solution having a curing residue of 17% was obtained.

【0047】合成例5(アルコキシ基含有シラン変性ポ
リイミド樹脂組成物(A)の製造) 合成例3と同様の装置に、攪拌機、窒素導入管を備えた
反応容器に、N−メチル−2−ピロリドンを加え、さら
に、パラフェニレンジアミンと3,3’,4,4’−ビ
フェニルテトラカルボン酸無水物とを0.99になるよ
うに加え、1時間反応させ、ポリアミック酸(1A)を
得た。IRを用いて分析したところ、イミド閉環率は0
%であった。ポリアミック酸(1A)溶液を80℃に加
熱し、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物(3
A)を、(エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮合物
(3)のエポキシ基の当量)/(ポリアミック酸(1)
及び/又はポリイミド(2)に使用したテトラカルボン
酸類のカルボン酸基の当量)=0.07になる様に加
え、80℃で16時間、反応した。室温まで冷却し、硬
化残分17%のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド
(A―3)溶液を得た。
Synthesis Example 5 (Production of alkoxy group-containing silane-modified polyimide resin composition (A)) N-methyl-2-pyrrolidone was placed in a reaction vessel equipped with a stirrer and a nitrogen inlet tube in the same apparatus as in Synthesis Example 3. Was further added, and paraphenylenediamine and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid anhydride were added so as to have a ratio of 0.99, and the mixture was reacted for 1 hour to obtain a polyamic acid (1A). When analyzed using IR, the imide ring closure rate was 0.
%Met. The polyamic acid (1A) solution was heated to 80 ° C., and the epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3
A) is the (epoxy group equivalent of the epoxysilane-containing alkoxysilane partial condensate (3)) / (polyamic acid (1)
And / or the equivalent amount of the carboxylic acid group of the tetracarboxylic acid used for the polyimide (2) = 0.07, and reacted at 80 ° C. for 16 hours. After cooling to room temperature, an alkoxy group-containing silane-modified polyimide (A-3) solution having a curing residue of 17% was obtained.

【0048】製造例1〜3 合成例3〜5のアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド
溶液を、順にシラン変性ポリイミド樹脂組成物(1)〜
(3)とした。
Production Examples 1 to 3 The alkoxy group-containing silane-modified polyimide solutions of Synthetic Examples 3 to 5 were sequentially processed into silane-modified polyimide resin compositions (1) to
(3).

【0049】製造例4(シラン変性ポリイミド樹脂組成
物(B)の製造) 合成例4で得たアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド
(A―1)溶液にシリカフィラー((株)トクヤマ製
商品名ファインシールT―32:平均粒子径1.5μ
m)をアルコキシ基含有シラン変性ポリイミド(A―
1)溶液の硬化残分あたり30重量%混合し、ミキサー
で充分に攪拌して、シラン変性ポリイミド樹脂組成物
(4)を得た。
Production Example 4 (Production of Silane-Modified Polyimide Resin Composition (B)) The alkoxy group-containing silane-modified polyimide (A-1) solution obtained in Synthesis Example 4 was mixed with silica filler (manufactured by Tokuyama Corp.).
Trade name Fineseal T-32: Average particle size 1.5μ
m) is an alkoxy group-containing silane-modified polyimide (A-
1) 30 wt% of the curing residue of the solution was mixed and sufficiently stirred with a mixer to obtain a silane-modified polyimide resin composition (4).

【0050】比較製造例1(シラン変性ポリイミド樹脂
組成物の製造) ポリイミドワニス((株)I.S.T製 商品名Pyr
e−ML:モノマー組成 ピロメリット酸無水物、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、溶剤:N−メチル
ピロリドン ポリイミド硬化残分:15%)をそのまま
用い、ポリイミド樹脂組成物(H―1)とした。
Comparative Production Example 1 (Production of Silane-Modified Polyimide Resin Composition) Polyimide varnish (trade name: Pyr, manufactured by IST Co., Ltd.)
e-ML: monomer composition, pyromellitic dianhydride, 4,
4′-diaminodiphenyl ether, solvent: N-methylpyrrolidone, polyimide curing residue: 15%) were used as they were to obtain a polyimide resin composition (H-1).

【0051】比較製造例2(シラン変性ポリイミド樹脂
組成物の製造) 合成例5で得たポリアミック酸(2A)をそのまま用
い、シラン変性ポリイミド樹脂組成物(H―2)とし
た。
Comparative Production Example 2 (Production of Silane-Modified Polyimide Resin Composition) The polyamic acid (2A) obtained in Synthesis Example 5 was used as it was to obtain a silane-modified polyimide resin composition (H-2).

【0052】[0052]

【表1】 [Table 1]

【0053】(熱膨張性)製造例1〜4のシラン変性ポ
リイミド樹脂組成物、比較製造例1、2で得られたポリ
イミド樹脂組成物を、ブリキ板上にキャストし、120
℃で20分乾燥させた後、ブリキ板上から剥ぎ取り、2
50℃で20分硬化させて、膜厚25μmのポリイミド
―シリカハイブリッドフィルム、及びポリイミドフィル
ムを得た。熱応力歪測定装置(セイコー電子工業製TM
A120C)で、40〜200℃の線膨張係数を測定し
た。結果を表2に示す。
(Thermal Expansion Property) The silane-modified polyimide resin compositions of Production Examples 1 to 4 and the polyimide resin compositions obtained in Comparative Production Examples 1 and 2 were cast on a tin plate to give 120
After drying at ℃ for 20 minutes, peel off from the tin plate, 2
After curing at 50 ° C. for 20 minutes, a polyimide-silica hybrid film having a film thickness of 25 μm and a polyimide film were obtained. Thermal stress strain measurement device (TM manufactured by Seiko Denshi Kogyo)
A120C), the linear expansion coefficient of 40-200 degreeC was measured. The results are shown in Table 2.

【0054】[0054]

【表2】 [Table 2]

【0055】実施例1(金属積層体の製造) シラン変性ポリイミド樹脂組成物(1)を電解銅箔(古
河電気工業(株)製 商品名「FO-WS」、膜厚18
μm、表面粗度 Rz=1.5)に対し、#75バーコ
ーターで塗布し、120℃で20分乾燥後、360℃で
10分硬化させて、ポリイミド膜厚25μmの金属積層
体を得た。
Example 1 (Production of Metal Laminate) A silane-modified polyimide resin composition (1) was used as an electrolytic copper foil (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd. under the trade name “FO-WS”, film thickness 18).
μm, surface roughness Rz = 1.5) was applied with a # 75 bar coater, dried at 120 ° C. for 20 minutes and then cured at 360 ° C. for 10 minutes to obtain a metal laminate having a polyimide film thickness of 25 μm. .

【0056】実施例2〜4、比較例1および2(金属積
層体の製造) シラン変性ポリイミド樹脂組成物(1)の代わりに、順
にシラン変性ポリイミド樹脂組成物(2)〜(4)、ポ
リイミド樹脂組成物(H−1)、(H−2)を用いた他
は実施例1と同様にしてポリイミド膜厚25μmの金属
積層体を得た。
Examples 2 to 4, Comparative Examples 1 and 2 (Production of Metal Laminates) Instead of the silane-modified polyimide resin composition (1), silane-modified polyimide resin compositions (2) to (4) and polyimide in this order. A metal laminate having a polyimide film thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin compositions (H-1) and (H-2) were used.

【0057】実施例5(金属積層体の製造) 実施例1と同様にして、ポリイミド膜厚5μmの金属積
層体を得た。
Example 5 (Production of Metal Laminate) A metal laminate having a polyimide film thickness of 5 μm was obtained in the same manner as in Example 1.

【0058】実施例6(金属積層体の製造) 実施例1と同様にして、シラン変性ポリイミド樹脂組成
物(1)を銅箔にキャストし、120℃で20分乾燥し
て得られたポリイミドの膜厚が6μmの金属積層体のポ
リイミド樹脂側に、ポリイミド樹脂組成物(H―2)を
キャストし、再度、120℃で20分乾燥、360℃で
10分硬化させて2層のポリイミド層合計の膜厚が26
μmの金属積層体を得た。
Example 6 (Production of Metal Laminate) In the same manner as in Example 1, a silane-modified polyimide resin composition (1) was cast on a copper foil and dried at 120 ° C. for 20 minutes to obtain a polyimide. The polyimide resin composition (H-2) was cast on the polyimide resin side of the metal laminate having a film thickness of 6 μm, dried again at 120 ° C. for 20 minutes, and cured at 360 ° C. for 10 minutes to obtain a total of two polyimide layers. Has a film thickness of 26
A metal laminate having a thickness of μm was obtained.

【0059】実施例7(金属積層体の製造) 実施例1と同様にして、シラン変性ポリイミド樹脂組成
物(1)を銅箔にキャストし、120℃で20分乾燥し
て得られたポリイミドの膜厚が6μmの金属積層体のポ
リイミド樹脂側に、シラン変性ポリイミド樹脂組成物
(4)をキャストし、再度、120℃で20分乾燥、3
60℃で10分硬化させて2層のポリイミド層合計の膜
厚が25μmの金属積層体を得た。
Example 7 (Production of Metal Laminate) In the same manner as in Example 1, a silane-modified polyimide resin composition (1) was cast on a copper foil and dried at 120 ° C. for 20 minutes to obtain a polyimide. The silane-modified polyimide resin composition (4) was cast on the polyimide resin side of the metal laminate having a film thickness of 6 μm, and dried again at 120 ° C. for 20 minutes.
It was cured at 60 ° C. for 10 minutes to obtain a metal laminate having a total film thickness of 25 μm of two polyimide layers.

【0060】比較例3 実施例1と同様にして、ポリイミド樹脂組成物(H―
1)を銅箔にキャストし、120℃で20分乾燥して得
られたポリイミドの膜厚が6μmの金属積層体のポリイ
ミド樹脂側に、シラン変性ポリイミド樹脂組成物(4)
をキャストし、再度、120℃で20分乾燥、360℃
で10分硬化させて2層のポリイミド層合計の膜厚が2
6μmの金属積層体を得た。
Comparative Example 3 In the same manner as in Example 1, a polyimide resin composition (H-
1) is cast on a copper foil and dried at 120 ° C. for 20 minutes, and a silane-modified polyimide resin composition (4) is provided on the polyimide resin side of the metal laminate having a polyimide film thickness of 6 μm.
Cast, dried again at 120 ° C for 20 minutes, 360 ° C
After curing for 10 minutes, the total thickness of the two polyimide layers is 2
A metal laminate having a thickness of 6 μm was obtained.

【0061】(密着性)実施例1〜7の金属箔積層体
(1〜7)、及び比較例1、2の金属箔積層体(H−
1、H−2)をJIS K−5400の一般試験法によ
るゴバン目セロハンテープ剥離試験を行ない、以下の基
準で判定した。評価結果を表3に示す。 ◎:100/100 〇:99〜90/100 △:89〜50/100 ×:49〜0/100
(Adhesion) Metal foil laminates (1-7) of Examples 1-7 and metal foil laminates (H- of Comparative Examples 1 and 2)
No. 1, H-2) was subjected to a goggles cellophane tape peeling test according to the general test method of JIS K-5400, and judged according to the following criteria. The evaluation results are shown in Table 3. ⊚: 100/100 ◯: 99 to 90/100 Δ: 89 to 50/100 ×: 49 to 0/100

【0062】(平滑性)実施例1〜7の金属箔積層体
(1〜7)、及び比較例1、2の金属箔積層体(H−
1、H−2)の平滑性を目視により評価した。評価結果
を表3に示す。 〇:反りが無い。 △:反りが見られる。 ×:カールしている。
(Smoothness) The metal foil laminates of Examples 1 to 7 (1 to 7) and the metal foil laminates of Comparative Examples 1 and 2 (H-
1, H-2) was visually evaluated for smoothness. The evaluation results are shown in Table 3. ◯: There is no warp. Δ: Warpage is seen. X: Curled.

【0063】(半田耐熱性)実施例1〜7の金属箔積層
体(1〜7)、及び比較例1、2の金属箔積層体(H−
1、H−2)を300℃の半田浴に10分間浸漬し、発
泡の有無を評価した。評価結果を表3に示す。 〇:発
泡無しで良好。 △:一部に発泡有り ×:全面に発泡が発生
(Solder Heat Resistance) Metal foil laminates (1-7) of Examples 1 to 7 and metal foil laminates (H- of Comparative Examples 1 and 2).
1, H-2) was immersed in a solder bath at 300 ° C. for 10 minutes, and the presence or absence of foaming was evaluated. The evaluation results are shown in Table 3. ◯: Good without foaming. △: Partially foamed ×: Foamed on the entire surface

【0064】(耐熱密着性)実施例1〜7の金属箔積層
体(1〜7)、及び比較例1、2の金属箔積層体(H−
1、H−2)を300℃の半田浴で10分間浸漬した
後、10分間放冷する。この操作を10回繰り返し、密
着性を評価した。評価結果を表3に示す。 ◎:外観に変化なく、半田浴浸漬前後で密着性に変化が
ない 〇:膨れが生じ、密着性が落ちる。 ×:半田浴浸漬中に積層体が剥離した。
(Heat Resistance Adhesion) The metal foil laminates (1-7) of Examples 1 to 7 and the metal foil laminates (H- of Comparative Examples 1 and 2).
1, H-2) is immersed in a solder bath at 300 ° C. for 10 minutes and then left to cool for 10 minutes. This operation was repeated 10 times and the adhesion was evaluated. The evaluation results are shown in Table 3. ⊚: No change in appearance, no change in adhesiveness before and after immersion in solder bath ◯: Swelling occurs and adhesiveness decreases. X: The laminate peeled off during immersion in the solder bath.

【0065】[0065]

【表3】 表3中、実施例6のポリイミド組成物欄において(1)
→(H−2)はシラン変性ポリイミド樹脂組成物(1)
をキャスト後、さらにポリイミド樹脂組成物(H−2)
をキャストすることを示す。実施例7、比較例3も同様
の意である。
[Table 3] In Table 3, in the polyimide composition column of Example 6, (1)
→ (H-2) is a silane-modified polyimide resin composition (1)
After casting, further polyimide resin composition (H-2)
Indicates to cast. Example 7 and comparative example 3 have the same meaning.

【0066】(メッキ密着性)実施例1、3、4、7、
比較例1、2の金属箔積層体に、コンディショナー処
理、マイクロエッチング、酸洗、触媒化、アクセレレー
タ処理を順次行い、無電解銅メッキを行い、0.3μm
厚の薄い銅メッキを表面に施した。このようにして得ら
れた金属箔積層体のポリイミド樹脂側に、更に電解メッ
キを行い、導体厚みを30μmとした後、ピール強度を
JIS C 6481に準じて測定した。評価結果を表
4に示す。
(Plating Adhesion) Examples 1, 3, 4, 7,
The metal foil laminates of Comparative Examples 1 and 2 are sequentially subjected to conditioner treatment, micro etching, pickling, catalysis, and accelerator treatment, and electroless copper plating is performed to 0.3 μm.
A thin copper plating was applied to the surface. The polyimide resin side of the metal foil laminate thus obtained was further electroplated to have a conductor thickness of 30 μm, and the peel strength was measured according to JIS C 6481. The evaluation results are shown in Table 4.

【0067】[0067]

【表4】 [Table 4]

【0068】実施例8(金属積層体の製造) シラン変性ポリイミド樹脂組成物(1)を電解銅箔(古
河電気工業(株)製 商品名「FO-WS」、膜厚18
μm、表面粗度 Rz=1.5)に対し、#36バーコ
ーターで塗布し、120℃で20分乾燥後、360℃で
10分硬化させて、ポリイミド膜厚約15μmの金属積
層体を得た。
Example 8 (Production of Metal Laminate) A silane-modified polyimide resin composition (1) was used as an electrolytic copper foil (manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd. under the product name “FO-WS”, film thickness 18).
μm, surface roughness Rz = 1.5) was applied with a # 36 bar coater, dried at 120 ° C. for 20 minutes, and then cured at 360 ° C. for 10 minutes to obtain a metal laminate having a polyimide film thickness of about 15 μm. It was

【0069】実施例9、10、比較例4および5(金属
積層体の製造) シラン変性ポリイミド樹脂組成物(1)の代わりに、順
にシラン変性ポリイミド樹脂組成物(2)、(3)、ポ
リイミド樹脂組成物(H−1)、(H−2)を用いた他
は実施例1と同様にしてポリイミド膜厚約15μmの金
属積層体を得た。
Examples 9, 10, Comparative Examples 4 and 5 (Production of Metal Laminate) Instead of the silane-modified polyimide resin composition (1), silane-modified polyimide resin compositions (2), (3) and polyimide A metal laminate having a polyimide film thickness of about 15 μm was obtained in the same manner as in Example 1 except that the resin compositions (H-1) and (H-2) were used.

【0070】(銅イオンのマイグレーション)実施例8
〜10、比較例4、5の金属箔積層体を、室温、湿度9
5%の状態で3日間静置した。金属箔積層体のイミド面
を、エックス線光電子分光計((株)島津製作所製、商
品名「ESCA−3200」)を用い、電圧0.6ke
V、電流値50mAで5分間、アルゴンイオンエッチン
グしたイミド面を、電圧10KV、電流30mA、積算
回数3回の条件下に表面分析した。更に表面エッチング
/表面分析を繰り返し、銅箔由来の銅原子(ゼロ価)が
現れるまで分析を進めた。実施例あるいは比較例の金属
箔積層体において、イミド層は合計200〜250分の
エッチングで消失し、銅箔由来の銅原子が現れた。銅箔
表面から2μmのイミド層における炭素原子に対する銅
イオン(2価)濃度を求めてマイグレーションの評価と
した。
(Copper Ion Migration) Example 8
10 and the metal foil laminates of Comparative Examples 4 and 5 at room temperature and humidity of 9
It was left still for 3 days in a state of 5%. The imide surface of the metal foil laminate was measured with an X-ray photoelectron spectrometer (manufactured by Shimadzu Corporation, trade name “ESCA-3200”) at a voltage of 0.6 ke.
The imide surface subjected to argon ion etching for 5 minutes at a current value of 50 mA for V was subjected to surface analysis under the conditions of a voltage of 10 KV, a current of 30 mA, and an integration number of 3 times. Further, the surface etching / surface analysis was repeated until the copper atoms derived from the copper foil (zero valence) appeared. In the metal foil laminates of Examples or Comparative Examples, the imide layer disappeared after etching for a total of 200 to 250 minutes, and copper atoms derived from copper foil appeared. The migration was evaluated by determining the copper ion (divalent) concentration with respect to carbon atoms in the imide layer 2 μm from the copper foil surface.

【0071】[0071]

【表5】 表5から明らかなように、比較例4、5の金属箔積層体
では銅イオンが検出され、銅のマイグレーションが確認
できた。これに対し実施例8〜10では、銅イオン濃度
が比較例4、5に比べて低く、耐マイグレーション性に
優れていることが分かる。
[Table 5] As is clear from Table 5, copper ions were detected in the metal foil laminates of Comparative Examples 4 and 5, and copper migration was confirmed. On the other hand, in Examples 8 to 10, the copper ion concentration was lower than in Comparative Examples 4 and 5, and it was found that the migration resistance was excellent.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4F100 AA01A AB01B AB33B AK49A AL05A AL08A BA02 CA23 EH46 EH462 EJ08 EJ082 EJ86 EJ862 GB41 JA02A JL11 YY00A 4J002 CM041 CP181 DE076 DE136 DE146 DE186 DE236 DG046 DG056 DH046 DJ006 DJ016 DJ036 DJ046 FD016 GF00 GQ01 HA05 4J043 PA02 PA19 PC195 PC196 QB15 QB26 QB31 RA35 SA06 SA07 SA42 SA44 SA54 SA55 SA61 SB01 TA11 TA12 TA13 TA21 TA22 TB01 TB02 UA032 UA041 UA122 UA131 UA132 UA141 UA151 UA152 UA251 UA261 UA262 UA711 UB011 UB012 UB021 UB022 UB051 UB061 UB062 UB121 UB122 UB131 UB132 UB152 UB281 UB301 UB302 VA011 VA041 VA042 VA051 VA081 VA082 XA16 XA19 YA06 YA08 YB08 YB40 ZA23 ZB50    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 4F100 AA01A AB01B AB33B AK49A                       AL05A AL08A BA02 CA23                       EH46 EH462 EJ08 EJ082                       EJ86 EJ862 GB41 JA02A                       JL11 YY00A                 4J002 CM041 CP181 DE076 DE136                       DE146 DE186 DE236 DG046                       DG056 DH046 DJ006 DJ016                       DJ036 DJ046 FD016 GF00                       GQ01 HA05                 4J043 PA02 PA19 PC195 PC196                       QB15 QB26 QB31 RA35 SA06                       SA07 SA42 SA44 SA54 SA55                       SA61 SB01 TA11 TA12 TA13                       TA21 TA22 TB01 TB02 UA032                       UA041 UA122 UA131 UA132                       UA141 UA151 UA152 UA251                       UA261 UA262 UA711 UB011                       UB012 UB021 UB022 UB051                       UB061 UB062 UB121 UB122                       UB131 UB132 UB152 UB281                       UB301 UB302 VA011 VA041                       VA042 VA051 VA081 VA082                       XA16 XA19 YA06 YA08 YB08                       YB40 ZA23 ZB50

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリアミック酸(1)及び/又はポリイ
ミド(2)と、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮
合物(3)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン
変性ポリイミド(a)並びに極性溶剤(b)を含有する
シラン変性ポリイミド樹脂組成物(A)を金属箔上にキ
ャストして得られる金属箔積層体。
1. An alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) obtained by reacting a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2) with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), and a polar solvent (b). A metal foil laminate obtained by casting a silane-modified polyimide resin composition (A) containing a) on a metal foil.
【請求項2】 ポリアミック酸(1)及び/又はポリイ
ミド(2)と、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮
合物(3)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン
変性ポリイミド(a)、極性溶剤(b)並びに無機フィ
ラー(c)を含有するシラン変性ポリイミド樹脂組成物
(B)を金属箔上にキャストして得られる金属箔積層
体。
2. An alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) obtained by reacting a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2) with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), a polar solvent (b). ) And a silane-modified polyimide resin composition (B) containing an inorganic filler (c) are cast on a metal foil to obtain a metal foil laminate.
【請求項3】 ポリアミック酸(1)及び/又はポリイ
ミド(2)と、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮
合物(3)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン
変性ポリイミド(a)並びに極性溶剤(b)を含有する
シラン変性ポリイミド樹脂組成物(A)を金属箔上にキ
ャストした後、更に線膨張係数が25ppm以下のフィ
ルムを形成するポリイミドポリマー、極性溶剤(b)を
含有する樹脂組成物をキャストして得られる金属箔積層
体。
3. An alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) obtained by reacting a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2) with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), and a polar solvent (b). ) Containing a silane-modified polyimide resin composition (A) is cast on a metal foil, and then a resin composition containing a polar polymer (b) and a polyimide polymer that forms a film having a linear expansion coefficient of 25 ppm or less. The metal foil laminated body obtained by doing.
【請求項4】 ポリアミック酸(1)及び/又はポリイ
ミド(2)と、エポキシ基含有アルコキシシラン部分縮
合物(3)とを反応させてなるアルコキシ基含有シラン
変性ポリイミド(a)並びに極性溶剤(b)を含有する
シラン変性ポリイミド樹脂組成物(A)を金属箔上にキ
ャストした後、更に線膨張係数が25ppm以下の硬化
フィルムを形成するシラン変性ポリイミド樹脂組成物
(A)をキャストして得られる金属箔積層体。
4. An alkoxy group-containing silane-modified polyimide (a) obtained by reacting a polyamic acid (1) and / or a polyimide (2) with an epoxy group-containing alkoxysilane partial condensate (3), and a polar solvent (b). Obtained by casting a silane-modified polyimide resin composition (A) containing a) on a metal foil and then casting a silane-modified polyimide resin composition (A) which forms a cured film having a linear expansion coefficient of 25 ppm or less. Metal foil laminate.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の金属箔
積層体のポリイミド樹脂側をメッキして得られる両面金
属箔積層体。
5. A double-sided metal foil laminate obtained by plating the polyimide resin side of the metal foil laminate according to claim 1.
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