JP2007093293A - 対物レンズの傾き調整用光学系 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出光出射系が、レーザ光源と、このレーザ光源からの光束を平行光束とするコリメートレンズ系と、この平行光束を拡散有限光にして被検対物レンズに入射させる負レンズ系とを含み、この負レンズ系が、被検対物レンズが正しく光軸上に位置するとき、拡散有限光として被検対物レンズの環状平面部に入射した光束を再び該環状平面部で反射させて入射拡散光束と同一光路で戻すことができるオートコリメーション凹面を備えている対物レンズの傾き調整用光学系。
【選択図】図1
Description
まず、半導体レーザ11から射出しコリメートレンズ系12により平行光束とされた光の一部は、反射基準平行平面板15で反射され、干渉縞観察CCD21に入射する。反射基準平行平面板15を透過した平行光束は、負レンズ系16を通ることで有限の拡散光となる。その後、この拡散光は、被検対物レンズWを通り、被検対物レンズWの後側焦点F2と反射基準凹面鏡17の反射凹面17Rの曲率中心が一致したオートコリメーション状態において、該反射凹面17Rで反射して入射と同じ光路を通り干渉縞観察CCD21に入射する。
干渉縞観察CCD21では反射基準平行平面板15での反射光と反射基準凹面鏡17の反射凹面17Rで反射された反射光との干渉により干渉縞が発生する。したがって、この干渉縞を解析し、被検対物レンズWの透過波面を計算する。
W1 レンズ部
W2 環状平面部
10 干渉計
11 半導体レーザ
12 コリメートレンズ系
13 第一ハーフミラー
14 第二ハーフミラー
16 負レンズ系
17 反射基準凹面鏡
17R 反射凹面
R1 凹面
R2 オートコリメーション凹面
18 20 結像レンズ
19 点像観察用CCD
21 干渉縞観察CCD
22 点像モニタ
23 干渉縞モニタ
Claims (5)
- レンズ部の外周を囲むようにして設けられた環状平面部を有する被検対物レンズの傾きを検出するために該被検対物レンズに傾き検出用の検出光を出射する検出光出射系と、上記被検対物レンズから反射された検出光を受光する検出光受光系とを備え、該検出光受光系により上記環状平面部から反射された検出光の受光位置を検出することにより、上記被検対物レンズの基準面に対する傾きを検出する対物レンズの傾き調整用光学系であって、
上記検出光出射系は、レーザ光源と、このレーザ光源からの光束を平行光束とするコリメートレンズ系と、この平行光束を拡散有限光にして上記被検対物レンズに入射させる負レンズ系とを備えており、
この負レンズ系は、上記被検対物レンズが正しく光軸上に位置するとき、拡散有限光として被検対物レンズの環状平面部に入射した光束を再び該環状平面部で反射させて入射拡散光束と同一光路で戻すことができるオートコリメーション凹面を有している対物レンズの傾き調整用光学系。 - 請求項1記載の対物レンズの傾き調整用光学系において、上記負レンズ系は、その光軸が被検対物レンズの環状平面部に直交し、該負レンズ系の焦点から上記環状平面部までの距離と、上記オートコリメーション凹面の曲率中心から上記環状平面部までの距離とが等しい状態においてオートコリメーション状態となる対物レンズの傾き調整用光学系。
- 請求項1または2記載の対物レンズの傾き調整用光学系において、上記負レンズ系の平行光束入射面は、入射平行光束を被検対物レンズの環状平面部に入射する拡散光とする凹面からなっている対物レンズの傾き調整用光学系。
- 請求項1ないし3のいずれか1項記載の対物レンズの傾き調整用光学系において、上記検出光受光系は、点像観察CCDであり、点像の状態により被検対物レンズの傾き及び光軸方向の位置ズレを検出する対物レンズの傾き調整用光学系。
- 請求項1ないし4のいずれか1項記載の対物レンズの傾き調整用光学系において、さらに、上記負レンズ系の光学的に前後に位置させた反射基準平行平面板と反射基準凹面鏡、及びこの反射基準平行平面板と反射基準凹面鏡で反射された2つの光束による干渉縞を観察する干渉縞観察CCDが備えられている対物レンズの傾き調整用光学系。
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