JP2007090225A - 磁性異物の除去装置 - Google Patents

Abstract

【課題】粉粒体や液体の処理物から磁性異物を磁気吸着で効率よく除去でき、かつ、メンテナンス周期を延長できる磁性異物の除去装置を提供することである。
【解決手段】電磁石４の一対のポール６ａ、６ｂを傾斜トラフ３の移送面３ａの全幅に亙って対峙させ、これらのポール６ａ、６ｂの対向面に、移送方向へ延びる複数の凹部９と凸部１０を、凹部９同士および凸部１０同士が対向するように形成することにより、ポール６ａ、６ｂ間の磁力が強くなる複数の凸部１０同士が対向する広範囲の部位で磁性異物Ｂを移送面３ａとポール６ａの凸部１０とに効率よく磁気吸着して除去するとともに、移送方向へ延びる凹部９同士が対向する部位では、磁性異物Ｂが移送面３ａに磁気吸着されないようにして、この磁性異物Ｂが磁気吸着されない部位を処理物がスムーズに移送されるようにし、メンテナンス周期を延長できるようにした。
【選択図】図２

Description

本発明は、粉粒体または液体の処理物から磁石による磁気吸着で磁性異物を除去する磁性異物の除去装置に関する。

各種添加原料、プリント基板用等の樹脂粉粒体、食品、薬品用等の無機粉粒体や有機粉粒体等の粉粒体、またはインクや薬液等の液体から磁性異物を除去する磁性異物の除去装置には、これらの粉粒体または液体の移送路に磁石を近接させて配置し、この磁石による磁気吸着で粉粒体や液体の処理物から磁性異物を除去するようにしたものがある（例えば、特許文献１、２参照）。

特許文献１に記載されたものでは、筒状のシート材で覆ったインクの移送路で、シート材の裏側に移送方向へ極の異なる永久磁石を交互に並べて配置し、移送路を流れるインクから磁性異物を除去している。また、特許文献２に記載されたものでは、傾斜基板で形成した樹脂粉粒体の移送路で、傾斜基板の裏側に近接させて複数の永久磁石を移送方向へ並べて配置し、傾斜した移送路を落下する樹脂粉粒体から磁性異物を除去している。

なお、粉粒体や液体の処理物から磁性異物を除去するものではないが、半導体ウエハの無端搬送ベルトの途中に、電磁石の一対のポールを搬送ベルトの上下に対峙させ、搬送ベルトに付着する磁性異物を電磁石による磁気吸着で除去するようにしたものもある（例えば、特許文献３参照）。

特開平１１−７６８６１号公報（第１図） 特開２０００−１４７１３４号公報（第４、６、７図） 特開平１０−２８４５７１号公報（第１図）

特許文献１および２に記載された磁性異物の除去装置のように、移送路の裏側に永久磁石を近接させて配置したものは、永久磁石は磁力があまり強くないので、これらを移送路にかなり接近させて配置する必要があり、移送路の配置形態が制約される問題がある。また、このように永久磁石を接近させて配置しても、移送路を移送される粉粒体や液体の層厚が厚くなると、その上層側に含まれる磁性異物を効率よく除去できない問題もある。

この問題に対処するためには、特許文献３に記載されたもののように、磁力の強い電磁石の一対のポールを移送路の上下に対峙させることが考えられるが、電磁石のポール間の磁力はポールのエッジ部が対向する位置で最も強くなるので、移送路を横断する上流側のポールのエッジ部が対向する位置で優先的に、磁性異物が移送路の移送面に堰のように磁気吸着され、粉粒体や液体の処理物のスムーズな移送が阻害される。このように磁性異物の堰で処理物の移送が阻害されると、その下流側のポールが対向する部位の移送面に未だ十分な吸着余力が残るにも拘わらず、磁気吸着された磁性異物を取り除くために移送面を清掃する必要があり、除去装置のメンテナンス周期が短くなる問題がある。

そこで、本発明の課題は、粉粒体や液体の処理物から磁性異物を磁気吸着で効率よく除去でき、かつ、メンテナンス周期を延長できる磁性異物の除去装置を提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明は、磁性異物を含む粉粒体または液体の処理物の移送路に磁石を近接させて配置し、この磁石による磁気吸着で前記移送路を移送される処理物に含まれる磁性異物を除去する磁性異物の除去装置において、前記磁石を電磁石とし、この電磁石の一対のポールを前記移送路の全幅に亘って対峙させ、この対峙させたポールの対向面に、前記処理物の移送方向へ延びる複数の凹部と凸部を形成した構成を採用した。

すなわち、磁石を磁力の強い電磁石とし、この電磁石の一対のポールを移送路の全幅に亘って対峙させ、この対峙させたポールの対向面に、処理物の移送方向へ延びる複数の凹部と凸部を形成することにより、ポール間の磁力が強くなる複数の凸部を形成した広範囲の部位を活用して、磁性異物を移送路の移送面または移送面と対向するポールの凸部に効率よく磁気吸着して除去するとともに、ポール間の磁力が弱くなる移送方向へ延びる凹部を形成した部位では、磁性異物が移送面にあまり磁気吸着されないようにして、この磁性異物が磁気吸着されない移送方向へ延びる部位を処理物がスムーズに移送されるようにし、メンテナンス周期を延長できるようにした。

前記対峙させたポールの両方の対向面に前記凹部と凸部を形成し、凹部同士および凸部同士を対向させることにより、凸部同士を対向させた部位で、移送面および移送面と対向するポールの凸部の両方に、磁性異物を磁気吸着して除去することができる。

前記対峙させたポールの両方の対向面に前記凹部と凸部を形成し、凹部と凸部を対向させることによっても、移送面と反対側のポールに凸部が形成された部位の移送面および移送面と対向するポールの凸部の両方に、磁性異物を磁気吸着して除去することができる。

前記複数の凸部の一部または全部を、前記処理物の移送方向で傾斜または屈曲させることにより、磁力が弱い凹部同士が対向する部位に移送されてくる処理物も、途中で磁力の強い凸部同士が対向する部位を通過するようにし、より効率よく磁性異物を除去することができる。

前記複数の凸部の一部または全部の幅を、前記処理物の移送方向の上流側で狭くすることにより、磁性異物は凸部同士が対向する上流側の部位でより磁気吸着されやすいので、この上流側での磁性異物の吸着量を減らして、凸部同士が対向する下流側の部位にも満遍なく磁性異物を磁気吸着することができ、よりメンテナンス周期を延長することができる。

前記移送路に振動を付与する手段を設けることにより、処理物に含まれる磁性異物同士を接触しやすくし、これらの接触した磁性異物同士を磁気結合させて、より磁気吸着されやすくすることができる。

本発明の磁性異物の除去装置は、磁石を磁力の強い電磁石とし、この電磁石の一対のポールを移送路の全幅に亘って対峙させ、この対峙させたポールの対向面に、処理物の移送方向へ延びる複数の凹部と凸部を形成したので、ポール間の磁力が強くなる複数の凸部を形成した広範囲の部位を活用して、磁性異物を移送路の移送面または移送面と対向するポールの凸部に効率よく磁気吸着して除去できるとともに、ポール間の磁力が弱くなる移送方向へ延びる凹部を形成した部位では、磁性異物が移送面にあまり磁気吸着されないようにして、この磁性異物が磁気吸着されない移送方向へ延びる部位を処理物がスムーズに移送されるようにし、メンテナンス周期を延長することができる。

前記対峙させたポールの両方の対向面に凹部と凸部を形成し、凹部同士および凸部同士を対向させることにより、凸部同士を対向させた部位で、移送面および移送面と対向するポールの凸部の両方に、磁性異物を磁気吸着して除去することができる。

前記対峙させたポールの両方の対向面に凹部と凸部を形成し、凹部と凸部を対向させることによっても、移送面と反対側のポールに凸部が形成された部位の移送面および移送面と対向するポールの凸部の両方に、磁性異物を磁気吸着して除去することができる。

前記複数の凸部の一部または全部を、処理物の移送方向で傾斜または屈曲させることにより、磁力が弱い凹部同士が対向する部位に移送されてくる処理物も、途中で磁力の強い凸部同士が対向する部位を通過するようにし、より効率よく磁性異物を除去することができる。

前記複数の凸部の一部または全部の幅を、処理物の移送方向の上流側で狭くすることにより、この上流側での磁性異物の吸着量を減らして、凸部同士が対向する下流側の部位にも満遍なく磁性異物を磁気吸着し、よりメンテナンス周期を延長することができる。

前記移送路に振動を付与する手段を設けることにより、処理物に含まれる磁性異物同士を接触しやすくし、これらの接触した磁性異物同士を磁気結合させて、より磁気吸着されやすくすることができる。

以下、図面に基づき、本発明の実施形態を説明する。図１乃至図３は、第１の実施形態を示す。この磁性異物の除去装置は、図１に示すように、粉粒体の処理物を供給装置１からガイド筒２を介して、移送路としての傾斜トラフ３に連続的に供給し、粉粒体に含まれる磁性異物を、傾斜トラフ３の途中でその全幅に亘って対峙させた電磁石４のコイル５を巻回した一対のポール６ａ、６ｂ間の磁力により、傾斜トラフ３の移送面３ａに磁気吸着して除去するものであり、磁性異物を除去された粉粒体は、傾斜トラフ３から落下して回収容器７に回収される。傾斜トラフ３には振動を付与するバイブレータ８が取り付けられており、傾斜トラフ３を移送される粉粒体に含まれる磁性異物同士を接触しやすくし、これらの接触した磁性異物同士を磁気結合させて、移送面３ａに磁気吸着されやすくするようになっている。

図２および図３（ａ）、（ｂ）に示すように、前記電磁石４の両方のポール６ａ、６ｂは、互いに対向する対向面に、矢印Ａの移送方向へ延びる複数の凹部９と凸部１０を、これらの凹部９同士および凸部１０同士が対向するように形成されている。傾斜トラフ３の移送面３ａを矢印Ａの方向へ落下しながら移送される粉粒体に含まれる磁性異物Ｂは、ポール６ａ、６ｂ間の磁力が強い凸部１０同士が対向する部位で移送面３ａと、移送面３ａに対向するポール６ａの凸部１０に磁気吸着される。したがって、図２に示したように、磁性異物Ｂの吸着量がかなり多くなっても、ポール６ａ、６ｂ間の磁力が弱い凹部９同士が対向する移送方向へ延びる部位では、移送面３ａに磁性異物Ｂがあまり吸着されず、この部位を通して粉粒体をスムーズに移送することができる。

図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ前記ポール６ａ、６ｂの対向面の変形例を示す。図４（ａ）に示す変形例は、各凸部１０を矢印Ａの移送方向に対して傾斜させたものである。したがって、この変形例では、磁力の弱い凹部９同士が対向する部位に移送されてくる粉粒体も、途中で磁力の強い凸部１０同士が対向する部位を通過し、より効率よく磁性異物が除去される。

図４（ｂ）に示す変形例は、各凸部１０を矢印Ａの移送方向で左右対称に外側へ屈曲させたものである。この変形例でも、磁力の弱い凹部９同士が対向する部位に移送されてくる粉粒体が、途中で磁力の強い凸部１０同士が対向する部位を通過し、より効率よく磁性異物が除去される。

図４（ｃ）に示す変形例は、各凸部１０の幅を矢印Ａの移送方向の上流側で狭く形成したものである。この変形例では、各凸部１０の幅が狭い上流側での磁性異物の吸着量が減らされ、凸部１０同士が対向する下流側の部位にも満遍なく磁性異物が磁気吸着され、よりメンテナンス周期を延長することができる。

図４（ｄ）に示す変形例は、各凸部１０を矢印Ａの移送方向に対して傾斜させるとともに、その幅を移送方向の上流側で狭く形成したものである。この変形例では、上述した磁性異物をより効率よく除去できる効果と、メンテナンス周期をより延長できる効果の両方を得ることができる。

図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）も、それぞれ前記ポール６ａ、６ｂの対向面の変形例を示す。図５（ａ）に示す変形例は、図４（ａ）に示したものに対して、各凸部１０をポール６ａ、６ｂの対向面の左右で反対側に傾斜させたもの、図５（ｂ）に示す変形例は、図４（ｂ）に示したものに対して、各凸部１０を左右対称に内側へ屈曲させたもの、図５（ｃ）に示す変形例は、矢印Ａの移送方向で各凸部１０を左右対称に２箇所で屈曲させたもの、図５（ｄ）に示す変形例は、図５（ａ）に示したものに対して、各凸部１０をさらに大きく傾斜させ、その間の凹部９を一部交差させたものである。

図６は、第２の実施形態を示す。この磁性異物の除去装置は、基本的な構成は第１の実施形態のものと同じであり、前記電磁石４の両方のポール６ａ、６ｂの対向面に形成した複数の凹部９と凸部１０を、凹部９と凸部１０が対向するように形成した点が異なる。したがって、この実施形態では、磁性異物Ｂが、傾斜トラフ３の移送面３ａと反対側のポール６ｂに凸部１０が形成された部位の移送面３ａと、移送面３ａに対向するポール６ａの凸部１０とに磁気吸着される。

図７は、第３の実施形態を示す。この磁性異物の除去装置は、傾斜トラフ３の移送面３ａと反対側のポール６ｂの対向面にのみ複数の凹部９と凸部１０を形成したものである。この実施形態では、ポール６ｂに凸部１０が形成された部位の移送面３ａのみに磁性異物Ｂが磁気吸着される。

図８は、第４の実施形態を示す。この磁性異物の除去装置は、第３の実施形態のものと逆に、傾斜トラフ３の移送面３ａと対向するポール６ａの対向面にのみ複数の凹部９と凸部１０を形成したものである。この実施形態では、ポール６ａの凸部１０のみに磁性異物Ｂが磁気吸着される。

上述した各実施形態では、傾斜トラフを移送される粉粒体の処理物から磁性異物を除去するものとしたが、本発明に係る磁性異物の除去装置は液体の処理物から磁性異物を除去するものにも適用することができ、その移送路には傾斜トラフ以外のものを用いることもできる。

第１の実施形態の磁性異物の除去装置を示す縦断面図 図１の要部を拡大して示す切欠き斜視図 ａは図２の横断面図、ｂは図２のポールの対向面を示す平面図 ａ、ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ図３（ｂ）のポールの対向面の変形例を示す平面図 ａ、ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ図３（ｂ）のポールの対向面の変形例を示す平面図 第２の実施形態の磁性異物の除去装置を示す要部拡大横断面図 第３の実施形態の磁性異物の除去装置を示す要部拡大横断面図 第４の実施形態の磁性異物の除去装置を示す要部拡大横断面図

符号の説明

１ 供給装置
２ ガイド筒
３ 傾斜トラフ
３ａ 移送面
４ 電磁石
５ コイル
６ａ、６ｂ ポール
７ 回収容器
８ バイブレータ
９ 凹部
１０ 凸部

Claims (6)

1. 磁性異物を含む粉粒体または液体の処理物の移送路に磁石を近接させて配置し、この磁石による磁気吸着で前記移送路を移送される処理物に含まれる磁性異物を除去する磁性異物の除去装置において、前記磁石を電磁石とし、この電磁石の一対のポールを前記移送路の全幅に亘って対峙させ、この対峙させたポールの対向面に、前記処理物の移送方向へ延びる複数の凹部と凸部を形成したことを特徴とする磁性異物の除去装置。
2. 前記対峙させたポールの両方の対向面に前記凹部と凸部を形成し、凹部同士および凸部同士を対向させるようにした請求項１に記載の磁性異物の除去装置。
3. 前記前記対峙させたポールの両方の対向面に前記凹部と凸部を形成し、凹部と凸部を対向させるようにした請求項１に記載の磁性異物の除去装置。
4. 前記複数の凸部の一部または全部を、前記処理物の移送方向で傾斜または屈曲させた請求項１乃至３のいずれかに記載の磁性異物の除去装置。
5. 前記複数の凸部の一部または全部の幅を、前記処理物の移送方向の上流側で狭くした請求項１乃至４のいずれかに記載の磁性異物の除去装置。
6. 前記移送路に振動を付与する手段を設けた請求項１乃至５のいずれかに記載の磁性異物の除去装置。

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