JP2007090139A - 超音波発生装置及び超音波美容装置 - Google Patents

超音波発生装置及び超音波美容装置 Download PDF

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Abstract

【課題】本発明は、安定的に目標の駆動周波数で超音波を発生することができる超音波発生装置及びこの超音波発生装置を用いた超音波美容装置を提供する。
【解決手段】本発明の超音波発生装置1は、電気振動を生成する駆動部11と、駆動部11からの電気振動を超音波の機械振動に変換する超音波振動子12と、一方面に超音波振動子12が接合され超音波振動子12からの超音波の機械振動を他方面の放射面に伝達するホーン13と、超音波振動子12のインピーダンスを測定する測定部14と、負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合のそれとの交点におけるインピーダンス、及び、測定部14で測定したインピーダンスに基づいて超音波振動子12を駆動すべき目標駆動周波数を求め、この求めた目標駆動周波数で超音波振動子12が振動するように、駆動部11を制御する制御部15とを備えることを特徴とする。
【選択図】図2

Description

本発明は、安定的に目標の駆動周波数で超音波を発生することができる超音波発生装置及び該超音波発生装置を用いた超音波美容装置に関する。
近年、超音波は、その性質から、剤浸透促進、美容、霧化、乳化、分散、攪拌、洗浄、接合、加工等の様々な分野に応用されており、超音波を発生する超音波発生装置が開発されている。
図10及び図11は、背景技術に係る超音波発生装置の構成を示す図である。図10は、振動子をホーンに接着するタイプの超音波発生装置であり、図11は、振動子をホーンにボルト締めするタイプの超音波発生装置である。図10及び図11において、(A)は、全体構成を示し、(B)は、ホーン部分を拡大した図である。
図10及び図11において、背景技術に係る超音波発生装置500A、500Bは、電気振動を生成する駆動部511A、511Bと、駆動部511A、511Bからの電気振動を超音波の機械振動に変換する超音波振動子512A、512Bと、一方面の接合面513−1A、513−1Bに超音波振動子512A、512Bが接合され超音波振動子512A、512Bからの超音波の機械振動を他方面の放射面513−2A、513−2Bに伝達する伝達部材の一例としてのホーン513A、513Bとを備えて構成される。
超音波振動子512A、512Bとホーン513A、513Bとの接合タイプは、2つに大別することができ、例えば、図10(B)に示すように、超音波振動子512Aがホーン513Aの接合面512−1Aに接着剤514Aによって接着される接着タイプと、図11(B)に示すように、重ね合わされた2つの振動子512−1Bから成る超音波振動子512Bがホーン513Bの接合面513−1Bにボルト514Bによって締結されるボルト締めタイプとがある。ボルト締めタイプでは、ボルト514Bと超音波振動子512Bとの間、振動子512−1B間、超音波振動子512Bとホーン513Bとの間には、導電性シート512−2Bが挟まれている。接着タイプは、主に、数百kHz以上の高周波数タイプに用いられ、ボルト締めタイプは、主に、100kHz以下の低周波数タイプに用いられる。
図12及び図13は、超音波振動ブロックの特性を説明するための図である。図14は、超音波振動ブロックの振動モードを説明するための図である。図12は、振動子をホーンに接着するタイプの超音波発生装置であり、図13は、振動子をホーンにボルト締めするタイプの超音波発生装置である。図12(A)、図13(A)及び図14(B)は、超音波振動ブロックと超音波振動の振動幅位相位置との関係を示す図であり、図12(B)、図13(B)及び図14(A)は、超音波振動ブロックのインピーダンス周波数特性を示す図であり、その横軸は、周波数fであり、その縦軸は、常用対数表示のインピーダンスZである。なお、超音波は、縦波であるが図12(A)、図13(A)及び図14(B)では便宜上横波として図示している。また、超音波の波長λは、(波長λ)=(音速v)/(周波数f)であるため、伝播する媒質の音速によって変化する。
超音波振動子512A、512Bとホーン513A、513Bと接合部材とから成る超音波振動ブロック501A、501Bのサイズは、図12(A)及び図13(A)に示すように、超音波振動ブロック501A、501Bの両端面501−1A、501−2A(513−2A)、501−1B、501−2B(513−2B)に定在波の腹が位置するように、ホーン513A、513Bの接合面513−1A、513−1Bから放射面513−2A、513−2Bまでの厚さL1、L3(図10(B)、図11(A))や、超音波振動ブロック501A、501Bの全体の長さL2、L4(図10(A)、図11(A))が設計されており、ホーン513A、513Bに接合されている状態の超音波振動子512A、512Bは、図12(B)及び図13(B)に示すように、周波数fの変化に対しインピーダンスZが変化する固有のインピーダンス周波数特性CA、CBを有している。
このインピーダンス周波数特性CA、CBは、周波数fが高くなるに従って、インピーダンスZが小さくなって周波数frA、frBで極小ZrA、ZrBとなり、その後大きくなって周波数faA、faBで極大ZaA、ZaBとなり、そして再び小さくなるプロファイルであり、このプロファイルが、図14(A)に示すように、振動モードごとに繰り返している。このインピーダンスZが極小ZrA、ZrBとなる点が共振点であり、インピーダンスZが極大ZaA、ZaBとなる点が反共振点である。共振点では、インピーダンスZが極小ZrA、ZrBとなることから超音波振動子512A、512Bに電流が多く流れ、反共振点では、逆に、インピーダンスZが極大ZaA、ZaBとなることから超音波振動子512A、512Bに流れる電流は、少ない。
図14(B)に示すように、接着タイプの超音波振動ブロック501Aにおける超音波は、その両端面501−1A、501−2A(513−2A)に定在波の腹が位置するように設計されていることから、半波長λ/2の整数倍の定在波となっている。振動モードは、超音波振動ブロック501Aに生じている定在波の相違を表しており、例えば、超音波振動ブロック501Aに生じている定在波が半波長の1倍である場合の振動モードは、基本モードであり、超音波振動ブロック501Aに生じている定在波が半波長の3倍である場合の振動モードは、3倍モードであり、そして、超音波振動ブロック501Aに生じている定在波が半波長の5倍である場合の振動モードは、5倍モードである。なお、図14では、接着タイプの超音波振動ブロック501Aで振動モードを説明しているが、ボルト締めタイプの超音波振動ブロック501Bについても同様である。
ここで、超音波振動ブロック501Aの接合部材は、接着剤514Aの層であり、超音波振動ブロック501Bの接合部材は、ボルト514Bである。また、超音波振動ブロック501Aにおける一方端面501−1Aは、超音波振動子512Aにおけるホーン513Aと接合している面に対向する面(ホーン513Aと接合していない面)であり、他方端面501−2Aは、ホーン513Aの放射面513−2Aである。超音波振動ブロック501Bにおける一方端面501−1Bは、ボルト514Bにおける超音波振動子512Bと接している面に対向する面(超音波振動子512Bと接していない面)であり、他方端面501−2Bは、ホーン513Bの放射面513−2Bである。
このような構成の超音波発生装置500A、500Bでは、駆動部511A、511Bで生成された電気振動EVは、超音波振動子512A、512Bに印加され、超音波振動子512A、512Bで超音波の機械振動に変換されて接合面513−1A、513−1Bからホーン513A、513Bに伝えられ、そして、超音波の機械振動がホーン513A、513Bの放射面513−2A、513−2Bから放射される。上記剤浸透促進及び美容等の超音波処理を施される対象物Oは、ホーン513A、513Bの放射面513−2A、513−2Bに、直接、又は、水やジェルやゲル等の超音波伝達用媒体を介して接触され、放射面513−2A、513−2Bから放射された超音波は、対象物Oに伝えられ、超音波処理に供される。
そして、図12(B)及び図13(B)に示すように、超音波振動ブロック501A、501Bが共振点から反共振点までの発振範囲RRA、RRBにおける何れかの周波数f、例えば駆動周波数fdA、fdBで超音波振動するように、超音波発生装置500A、500Bが制御される。この超音波発生装置500A、500Bの制御方法には、超音波振動子512A、512Bの周波数fを駆動部511A、511Bに帰還することによって目標の駆動周波数fdA、fdBで超音波振動子512A、512Bが振動するように駆動部511A、511Bで生成する電気振動EVを調整する自励発振方式と、超音波振動子512A、512Bが目標の駆動周波数fdA、fdBで振動するような電気振動EVを生成するように駆動部511A、511Bを予め設定しておく他励発振方式とがある。このような自励発振方式及び他励発振方式は、例えば、特許文献1に開示されている。
特開2002−248153号公報
ところで、自励発振方式では、超音波振動子のインピーダンスZを検出することによって超音波振動子の周波数fを検出しているため、目標の駆動周波数fdを含む振動モードとは異なる振動モードで駆動部の電気振動EVを調整してしまうことがあるため、目標の駆動周波数fdとは異なる周波数f(誤った周波数f)で超音波振動子が振動してしまうという不都合や、自励発振であるために、超音波振動子の出力を一定に制御することが難しいという不都合があった。さらに、出力を一定に制御することが難しいため、比較的低いインピーダンスZとなるメガヘルツ帯を出力する超音波発生装置には、不適当であった。
一方、他励発振方式では、周囲環境の変化や超音波振動子自体の発熱等による温度変化等によって超音波振動子の出力特性が変化してしまうため、目標の駆動周波数fdで超音波振動子を振動させたとしても、目的の出力が得られないという不都合があった。
さらに、周囲環境の変化や超音波振動子自体の発熱等による温度変化、及び、外部応力等による経年変化等により、共振周波数frや反共振周波数faがシフトする場合が多いために、自励発振方式では目標の駆動周波数fdとは異なる周波数fで超音波振動子が振動してしまう不都合や、他励発振方式では出力が変化してしまう不都合がより問題となる。特に、メガヘルツ以上の周波数で出力する超音波発生装置では、例えば3倍モードや5倍モード等の高次モードを利用するため、これら上記不都合がさらに問題となる。
本発明は、上述の問題に鑑みて為された発明であり、安定的に目標の駆動周波数で超音波を発生することができる超音波発生装置を提供することを目的とする。また、この超音波発生装置を用いた超音波美容装置を提供することを目的とする。
本発明者は、種々検討した結果、下記の点に気づき、上記目的は、以下の本発明により達成されることを見出した。
図1は、本発明の原理を説明するための図である。図1(A)は、インピーダンス周波数特性を示し、その横軸は、周波数fであり、その縦軸は、常用対数表示のインピーダンスZである。実線は、超音波の機械振動を伝達する対象物Oが伝達部材に接触していない無負荷の場合における超音波振動子のインピーダンス周波数特性であり、一点鎖線は、超音波の機械振動を伝達する対象物Oが伝達部材に接触している負荷の場合における超音波振動子のインピーダンス周波数特性である。図1(B)は、無負荷の場合におけるホーン等の伝達部材に接合されている状態の超音波振動子の等価回路を示し、図1(C)は、負荷の場合におけるホーン等の伝達部材に接合されている状態の超音波振動子の等価回路を示す。
図1(A)に示すように、無負荷の場合のインピーダンス周波数特性CNLは、或る振動モードにおいて、背景技術でも説明したように、周波数fが高くなるに従って、インピーダンスZが小さくなって周波数frで極小Zr1となり、その後大きくなって周波数faで極大Za1となり、そして再び小さくなるプロファイルである。そして、負荷の場合のインピーダンス周波数特性CLは、無負荷の場合のインピーダンス周波数特性CNLと略同様なプロファイルであるが、負荷の場合のインピーダンス周波数特性CLにおける極小のインピーダンスZr2が無負荷の場合のインピーダンス周波数特性CNLにおける極小のインピーダンスZr1よりも大きく、そして、負荷の場合のインピーダンス周波数特性CLにおける極大のインピーダンスZa2が無負荷の場合のインピーダンス周波数特性CNLにおける極大のインピーダンスZa1よりも小さくなっている。
これは、図1(B)及び(C)にそれぞれ示すように、無負荷の場合では、伝達部材に接合されている状態の超音波振動子の等価回路が、直列に接続されたコイルL、コンデンサC1及び抵抗器R1に、並列にコンデンサC2を接続した回路であり、負荷の場合では、伝達部材に接合されている状態の超音波振動子の等価回路が、直列に接続されたコイルL、コンデンサC1、抵抗器R1及び抵抗器R2に、並列にコンデンサC2を接続した回路である。即ち、負荷の場合では、無負荷の場合に較べて、対象物Oが伝達部材に接触している負荷に相当する抵抗の抵抗器R2が抵抗器R1にさらに直列接続している。
このため、インピーダンス周波数特性における無負荷の場合の極小及び極大のインピーダンスZr1、Za1は、負荷の場合では上述のように変化し、極小の周波数frから極大の周波数faまでの発振範囲において、無負荷の場合のインピーダンス周波数特性と負荷の場合のインピーダンス周波数特性とは、一つの点Pで交わる。
この無負荷の場合のインピーダンス周波数特性と負荷の場合のインピーダンス周波数特性とが一点Pで交わることは、背景技術で示した特許文献1にも記載されているけれども、ここで、発明者らは、伝達部材に加わる負荷のかかり具合が変わったとしても抵抗器R2の抵抗の大きさが変わるだけなので、無負荷の場合のインピーダンス周波数特性と負荷の場合のインピーダンス周波数特性とが常に一点Pで交わり、かつ、交点Pの周波数fmとインピーダンスZmとが変わらないことに気が付いた。そこで、発明者らは、超音波発生装置やこれを用いた超音波美容装置がどのような状態にあっても、この無負荷の場合のインピーダンス周波数特性と負荷の場合のインピーダンス周波数特性との交点Pを基準に、超音波振動子を駆動すべき目標駆動周波数fdを決定すれば、安定的に目標駆動周波数fdで超音波を発生することができることを見出した。
本発明は、このような知見に基づくものであり、本発明の一態様に係る超音波発生装置は、電気振動を生成する駆動部と、前記駆動部からの前記電気振動を超音波の機械振動に変換する超音波振動子と、一方面に前記超音波振動子が接合され前記超音波振動子からの前記超音波の機械振動を他方面の放射面に伝達する伝達部材と、前記超音波振動子のインピーダンスを測定する測定部と、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触している負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性と、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触していない無負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性との交点におけるインピーダンス、及び、前記測定部で測定したインピーダンスに基づいて前記超音波振動子を駆動すべき目標駆動周波数を求め、該求めた目標駆動周波数で前記超音波振動子が振動するように、前記駆動部を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
そして、上述の超音波発生装置において、前記測定部は、前記駆動部によって前記超音波振動子に一定振幅の電圧を印加した場合における前記超音波振動子に流れる電流値に基づいて前記インピーダンスを測定することを特徴とする。
また、これら上述の超音波発生装置において、前記交点のインピーダンスは、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触している負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性、及び、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触していない無負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性を予め測定し、該測定結果より予め求めた値であることを特徴とする。
さらに、これら上述の超音波発生装置において、前記制御部は、さらに、前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性における共振周波数及び反共振周波数を前記測定部によって測定し、該測定した共振周波数及び反共振周波数に基づいて前記交点のインピーダンスを求めることを特徴とする。
そして、これら上述の超音波発生装置において、前記目標駆動周波数は、前記交点の周波数に関する一次関数によって表され、前記制御部は、前記一次関数を用いて前記目標駆動周波数を求めることを特徴とする。
また、これら上述の超音波発生装置において、前記目標駆動周波数は、外部要因によるインピーダンス周波数特性の変動を考慮したマージンだけ反共振点又は共振点から離れた周波数であることを特徴とする。
さらに、これら上述の超音波発生装置において、前記制御部は、複数の周波数の電気振動で前記超音波振動子を駆動した場合における複数のインピーダンスを前記測定部で測定し、前記複数の周波数と前記複数の周波数とからインピーダンス周波数特性の傾きを求め、該求めたインピーダンス周波数特性の傾きに基づいて前記目標駆動周波数を求めることを特徴とする。
また、これら上述の超音波発生装置において、前記目標駆動周波数で前記超音波振動子を駆動している場合における前記無負荷の場合のインピーダンス又は前記負荷の場合のインピーダンスを記憶する記憶部をさらに備え、前記制御部は、前記無負荷の場合に又は前記負荷の場合に、前記超音波振動子の駆動中におけるインピーダンスを前記測定部で測定し、該測定したインピーダンスと前記記憶部に記憶されているインピーダンスとを比較し、該比較の結果に応じて、前記目標駆動周波数を求めるか否かを判断し、該判断の結果に応じて前記目標駆動周波数を求めることを特徴とする。
そして、本発明の他の態様に係る超音波美容装置は、上述の超音波発生装置の何れか1つを用いたことを特徴とする。
このような構成の超音波発生装置及び超音波美容装置は、安定的に目標駆動周波数で超音波を発生することができる。このため、超音波発生装置は、対象物Oに超音波処理を効果的に施すことができる。また、超音波美容装置は、対象物Oに美容効果を効果的に与えることができる。
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
(実施形態の構成)
図2は、実施形態に係る超音波発生装置の構成を示すブロック図である。図2において、超音波発生装置1は、駆動部11と、超音波振動子12と、ホーン13と、測定部14と、制御部15と、記憶部16とを備えて構成される。
駆動部11は、超音波振動子12を駆動するための電気振動を生成するものであり、例えば、正弦波等の所定の周波数の交流信号を発生する発振回路113と、交流信号を所定の増幅率で増幅する増幅回路112とを備えて構成される。発振回路113は、コルピッツ発振回路やハートレイ発振回路等の公知な発振回路を利用することができるが、容易に発振周波数を変更することができる観点から、本実施形態では、例えば、PLL(phase locked loop)回路を用いた周波数シンセサイザである。周波数シンセサイザは、例えば、基準発振器と、位相比較器と、ローパスフィルタと、電圧制御発振器と、分周器とを備えて構成される。このような構成の周波数シンセサイザでは、電圧制御発振器の出力は、分周器で分周又は逓倍されて所定の周波数に変換され、位相比較器へ出力される。位相比較器では、分周器からの出力と基準発振器からの出力との位相が比較され、その誤差成分がローパスフィルタへ出力される。ローパスフィルタでは、位相比較器からの出力に基づいて補正値電圧が生成され、電圧制御発振器へ出力される。そして、分周後の周波数と基準発振器の周波数とが一致するように、電圧制御発振器が補正値電圧に応じて発振周波数を変えるものである。周波数シンセサイザでは、分周又は逓倍する分周器の倍率を変更することによって所望の周波数が得られる。
超音波振動子12は、測定部14を介した駆動部11からの電気振動を超音波の機械振動に変換するものであり、例えば、水晶等の圧電材料を電極で挟んだ構造の圧電振動子である。ホーン13は、一方面に超音波振動子12が接合され超音波振動子12からの超音波の機械振動を他方面の放射面に伝達するものであり、伝達部材の一例である。
超音波振動子12とホーン13と接合タイプに応じた接合部材(不図示)は、超音波振動ブロック2を構成し、背景技術で説明した図10や図11に示すものと同様である。接着タイプでは、図10に示すように、ホーン513Aは、短高有底の円筒形状をした例えばアルミニウムや軽合金等の金属部材であり、例えば水晶振動子等の超音波振動子512Aがホーン513Aの内底面に接着剤514Aによって接着され、固定される。ボルト締めタイプでは、図11に示すように、ホーン513Bは、放射面側に向けて先細り状の円錐台形状をした例えばアルミニウムや軽合金等の金属部材であり、大径の接合面の略中央にボルト514Bを締結するためのねじ溝が放射面側に向けて内部に形成されており、略中央に貫通孔を有する複数(図11では2個)の振動子512−1Bを重ねた超音波振動子512Bが貫通孔を介して挿通されるボルト514Bによってホーン513Bに締結され、固定される。そして、ボルト514Bと超音波振動子512Bとの間、各振動子512−1B間、及び、超音波振動子512Bとホーン513Bとの間には、それぞれ導電性シート512−2Bが挟まれている。接着タイプは、例えばメガヘルツ帯等の数百kHz以上の高周波数の超音波を発生する超音波発生装置に好適であり、高周波数であることから、例えば、美容、パーティクル洗浄及び霧化等の用途に好適である。一方、ボルト締めタイプは、例えばキロヘルツ帯等の100kHz以下の低周波数の超音波を発生する超音波発生装置に好適であり、低周波数であることから、例えば切断、接合、分散、液体噴霧等の用途に好適である。
測定部14は、超音波振動子12のインピーダンスZを測定するものであり、例えば、超音波振動子12に流れる電流を検出する例えば検出抵抗器等を備える電流検出回路141と、発振回路113の発振周波数を制御することで駆動部11からの電気振動の周波数を制御する周波数制御部143と、駆動部11からの電気振動の周波数の通知を周波数制御部143から受けると共に、電流検出回路141から通知された検出電流値に基づいて、周波数制御部143から通知を受けた周波数におけるインピーダンスZを演算するインピーダンス演算部142とを備えて構成される。
制御部15は、超音波の機械振動を伝達する対象物O(不図示)がホーン13に接触している負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と、超音波の機械振動を伝達する対象物Oがホーン13に接触していない無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZ、及び、測定部14で測定したインピーダンスZに基づいて、後述するように、超音波振動子12を駆動すべき目標駆動周波数fdを求め、この求めた目標駆動周波数fdで超音波振動子12が振動するように、駆動部11を制御するもので、例えば、周波数演算部151と、電圧制御部152と、駆動周波数制御部153とを備えて構成される。
この負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と、無負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmは、本実施形態では、これら負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と、無負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性とを予め実測し、この測定結果からこれらインピーダンス周波数特性の交点Pを求めることによって予め求めておき、超音波発生装置1に利用される。この実測する超音波振動子12は、超音波発生装置1に組み込まれた状態の実物が最も好ましいが、実物と同仕様の超音波振動ブロック2でもよい。また、交点PのインピーダンスZmをより精度よく求めるために、複数の同仕様の超音波振動ブロック2から、平均等の統計に利用される手法を用いて統計的に求めること等によって求めることが好ましい。
周波数演算部151は、負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と、無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZm、及び、測定部14で測定したインピーダンスZに基づいて、超音波振動子12を駆動すべき目標駆動周波数fdを求め、この求めた目標駆動周波数fdを駆動周波数制御部153に通知する。
電圧制御部152は、増幅回路112の増幅率を制御することで駆動部11の出力電圧を制御するものである。駆動周波数制御部153は、超音波発生装置1の通常の使用状態において、周波数演算部151で演算された目標駆動周波数fdで超音波振動子12が振動するように、発振回路113の発振周波数を制御することで駆動部11からの電気振動の周波数を制御するものである。
ここで、これらインピーダンス演算部142、周波数制御部143、周波数演算部151、電圧制御部152及び駆動周波数制御部153は、例えば、マイクロプロセッサ及びその周辺回路等(以下、「MPU」と略記する)を備えて構成され、機能的にこれら各部が構成される。
記憶部16は、目標駆動周波数fdを演算するために超音波発生装置1の各部を制御する目標駆動周波数演算プログラムや超音波発生装置1の通常の使用状態において超音波発生装置1の各部を制御する制御プログラム等の各種プログラム、及び、測定部14で測定したインピーダンスZ及びこのインピーダンスZを測定した際の周波数fや、各種プログラムの実行に必要なデータや、その実行中に生じるデータ等の各種データを記憶するものである。記憶部16は、例えば、上記MPUの所謂ワーキングメモリとなるRAM(Random Access Memory)等の揮発性の記憶素子、EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)等の書換え可能な不揮発性の記憶素子、及び、ROM(Read Only Memory)等の不揮発性の記憶素子等を備えて構成される。
次に、本実施形態の動作について説明する。
(実施形態の動作)
図3は、実施形態に係る超音波発生装置の目標駆動周波数演算処理における動作を示すフローチャートである。図4は、目標駆動周波数を説明するための図である。図4の横軸は周波数fであり、その縦軸は常用対数表示のインピーダンスZである。実線は、無負荷の場合のインピーダンス周波数特性であり、一点鎖線は、負荷の場合のインピーダンス周波数特性である。
超音波発生装置1に電源を投入する電源スイッチ(不図示)と超音波発生装置1に超音波発生動作を開始させる始動スイッチ(不図示)とが超音波発生装置1に設けられており、例えば、この電源スイッチがオンされ、超音波発生装置1に電源が投入されると、目標駆動周波数演算プログラムが実行され、目標駆動周波数fdを演算する目標駆動周波数演算処理が開始される。
図3において、制御部15の電圧制御部152は、増幅回路112の増幅率を調整することによって、駆動部11が出力する交流信号の電圧を目標駆動周波数演算処理用に設定し、電圧の設定終了を周波数制御部143に通知する(S11)。この目標駆動周波数演算処理用の電圧は、任意の大きさでよいが、目標駆動周波数演算処理を実行する上で消費電力が少なく、かつ、要求される精度で目標駆動周波数fdを演算し得るインピーダンスZが得られる電圧値が採用され、例えば、本実施形態では、インピーダンス演算部142が後述の処理S13で測定した電流からインピーダンスを容易に演算し得ることから、交流信号の極大のピークにおける電圧が1Vで極小のピークにおける電圧が−1Vである1Vp−pである。
電圧の設定終了が電圧制御部152から通知されると、測定部14の周波数制御部143は、発振回路113の周波数を調整することによって、即ち、本実施形態では分周器の倍率を調整することによって、インピーダンスZを測定すべき周波数範囲における所定の周波数fに、駆動部11が出力する交流信号の周波数fを設定し、この設定した周波数f及び周波数fの設定終了をインピーダンス演算部142に通知する(S12)。
これらの設定が終了すると、設定に応じた電圧及び周波数fの交流信号が駆動部11から測定部14の電流検出回路141を介して超音波振動子12に出力される。
測定部14の電流検出回路141は、駆動部11から超音波振動子12へ流れる電流を実効値で測定し、測定した電流をインピーダンス演算部142に通知する(S13)。
測定部14のインピーダンス演算部142は、電流検出回路141から測定した電流が通知されると、(インピーダンス)=(電圧)/(電流)の関係を用いて、この測定した電流からインピーダンスZを演算し、演算したインピーダンスZと周波数制御部143から通知を受けた周波数fとを対応付けて記憶部16に記憶する(S14)。
次に、インピーダンス演算部142は、インピーダンスZを測定すべき周波数範囲における全ての周波数fでインピーダンスZを測定したか否かを判断する(S15)。
この処理S15における判断の結果、所定の周波数範囲における全ての周波数fでインピーダンスZを測定している場合(Yes)には、インピーダンス演算部142は、記憶部16に記憶したインピーダンスZと周波数fとの各組(あるいは、インピーダンスZと周波数fとの各組の記憶部16における記憶位置)、及び、インピーダンスZの測定終了を周波数演算部151に通知する(S16)。
一方、この処理S15における判断の結果、所定の周波数範囲における全ての周波数fでインピーダンスZを測定していない場合(No)には、インピーダンス演算部142は、所定の周波数範囲におけるインピーダンスZを測定すべき次の周波数fでインピーダンスZの測定を実行すべく、周波数制御部143から通知を受けた周波数fにおけるインピーダンスZの測定終了を周波数制御部143に通知することで処理を処理S12に戻す。
当該周波数におけるインピーダンスZの測定終了がインピーダンス演算部142から通知されると、周波数制御部143は、上述と同様に処理S12を実行し、電流検出回路141は、上述と同様に処理S13を実行し、インピーダンス演算部142は、上述と同様に処理S14及び処理S15を実行する。このように所定の周波数範囲における全ての周波数fでインピーダンスZの測定が終了するまで、処理S12乃至処理S15が繰り返し実行され、周波数制御部143が処理S12で駆動部11から出力される交流信号の周波数fを設定するごとに、インピーダンスZを測定すべき周波数範囲内で、所定の周波数fを変更することによって、このインピーダンスZを測定すべき周波数範囲における全ての周波数fにおいてインピーダンスZが測定される。即ち、インピーダンスZを測定すべき周波数範囲で周波数fがスイープされながらインピーダンスZが測定される。
このインピーダンスZを測定すべき周波数範囲は、負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合の超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点Pにおける周波数fmを中心とした一定の周波数範囲であることが好ましい。このインピーダンスZを測定すべき周波数範囲は、例えば、この交点Pにおける周波数fmの±10%(即ち、0.9×fm〜1.1×fm)や、この交点Pにおける周波数fmの±15%(即ち、0.85×fm〜1.15×fm)等である。このようにこの交点Pにおける周波数fmを中心とした一定の周波数範囲とすることで、他の振動モードを誤って選択することなく、超音波振動子12を駆動すべき所定の振動モードにおける目標駆動周波数fdを選定することができる。
そして、処理S12で駆動部11から出力される交流信号の周波数fを設定するごとにおける所定の周波数fの変更は、交点PのインピーダンスZmと一致するインピーダンスZを与える周波数fをより精度よく測定するために、目標駆動周波数fdの大きさを考慮した適宜な間隔で変更される。例えば、目標駆動周波数fdが3MHzや5MHz等のメガヘルツ帯である場合には0.5kHzや1kHz等の間隔で変更され、また例えば、目標駆動周波数fdが100kHzや500kHz等のキロヘルツ帯である場合には10Hzや50Hz等の間隔で変更される。
次に、インピーダンスZの測定終了がインピーダンス演算部142から通知されると、制御部15の周波数演算部151は、記憶部16に予め記憶されている負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmに一致する、あるいは、最も近い、測定部14で測定したインピーダンスZを選択し、この選択したインピーダンスZに対応する周波数fを取得する(S17)。
次に、周波数演算部151は、この取得した周波数fから所定の式を用いて目標駆動周波数fdを求め、この求めた目標駆動周波数fdを駆動周波数制御部153に通知すると共に、目標駆動周波数演算処理の終了を電圧制御部152に通知する(S18)。この所定の式は、負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点Pにおける周波数fmと、目標駆動周波数fdとの間における関係を表す関数であり、例えば、fd=α×fm+βのように、一次関数で与えられる。
目標駆動周波数fdは、図4に示すように、共振点の周波数frから反共振点の周波数faまでの発振範囲RR内であれば、何れの周波数fでもよいが、周囲環境の変化や経年変化等の外部要因によるインピーダンス周波数特性の変動を考慮したマージンだけ反共振点又は共振点から離れた周波数fd1、fd2であることが好ましい。言い換えれば、周囲環境の変化や経年変化によるインピーダンス周波数特性の変動を考慮した上で、無負荷の場合のインピーダンスZと負荷の場合のインピーダンスZとの差が最も大きくなるように目標駆動周波数fdを設定することが好ましい。例えば、交点Pの周波数fmから反共振点の周波数faまででは、無負荷の場合のインピーダンスZd1と負荷の場合のインピーダンスZd1’との差(|Zd1−Zd1’|)が最も大きくなるように目標駆動周波数fd1を設定することが好ましく、交点Pの周波数fmから共振点の周波数frまででは、無負荷の場合のインピーダンスZd2と負荷の場合のインピーダンスZd2’との差(|Zd2−Zd2’|)が最も大きくなるように目標駆動周波数fd2を設定することが好ましい。なお、|x|は、xの絶対値である。外部要因によるインピーダンス周波数特性の変動は、例えば、共振点のシフト、反共振点のシフト及びインピーダンス周波数特性における共振点付近や反共振点付近のプロファイルの変形等がある。このように目標駆動周波数fdを設定することによって、無負荷の場合であるか負荷の場合であるかを判別する必要がある場合に、目標駆動周波数fdで駆動中の超音波振動子12のインピーダンスZを測定することによって、無負荷の場合であるか負荷の場合であるかを容易に判別することができる。
さらに、目標駆動周波数fdは、無負荷の場合の消費電力が小さく、発熱を抑制することができる観点から、発振範囲RRのうち交点Pの周波数fmから反共振点の周波数faまでの範囲が好ましく、この観点から反共振点から上記マージンだけ離れた周波数fd1が最も好ましい。上記マージンは、統計的に、あるいは、経験的に設定される。
目標駆動周波数演算処理の終了が周波数演算部151から通知されると、電圧制御部152は、超音波発生装置1の通常の動作における増幅率で発振回路113からの交流信号を増幅するように増幅回路112を設定し、目標駆動周波数演算処理の終了を周波数制御部143に通知し、この通知を受けると、周波数制御部143は、発振回路113の周波数制御を終了する(S19)。このように動作することによって、目標駆動周波数演算処理が終了され、超音波発生装置1は、通常の動作が可能な状態に設定される。
そして、始動スイッチがオンされると、駆動周波数制御部153は、発振回路113の周波数を調整することによって、周波数演算部151から通知された目標駆動周波数fdで超音波振動子12が駆動するように、駆動部11が出力する交流信号の周波数fを制御する。
このように動作するので、超音波発生装置1は、安定的に目標駆動周波数fdで超音波を発生することができる。このため、超音波発生装置1は、対象物Oに超音波処理を効果的に施すことができる。
なお、上述の実施形態では、各周波数で、駆動部11によって超音波振動子12に一定振幅の電圧(上述では、1Vp−p)を印加した場合における超音波振動子12に流れる電流を電流検出回路141で検出し、この検出した電流からインピーダンス演算部142でインピーダンスZを測定するように構成したが、インピーダンスZをよりよい精度で測定するために、超音波振動子12に印加する電圧を変更してもよい。
また、上述の実施形態では、各周波数fで、駆動部11によって超音波振動子12に一定振幅の電圧(上述では、1Vp−p)を印加した場合における超音波振動子12に流れる電流を電流検出回路141で検出し、この検出した電流からインピーダンス演算部142でインピーダンスZを測定するように構成したが、これに限定されるものではなく、公知なインピーダンス測定法を採用することができる。例えば、超音波振動子12に一定値の電流を流す場合の電圧を測定することによってインピーダンスを測定してもよい。
さらに、上述の実施形態では、インピーダンスZを測定すべき周波数範囲における全ての周波数fでインピーダンスZを測定部14で測定した後に、記憶部16に予め記憶されている負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmに一致する、あるいは、最も近い、測定部14で測定したインピーダンスZを選択し、この選択したインピーダンスZに対応する周波数fから目標駆動周波数fdを制御部15で求めるように構成したが、測定部14がインピーダンスZを測定するごとに、この測定したインピーダンスZとこの測定時における周波数fとを制御部15に通知し、この通知されたインピーダンスZが、記憶部16に予め記憶されている負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmと所定の範囲内で一致する場合に、この通知されたインピーダンスZを選択し、この選択したインピーダンスZに対応する周波数fから目標駆動周波数fdを制御部15で求めるように構成してもよい。このように構成することによって、インピーダンスZを測定すべき周波数範囲における全ての周波数fでインピーダンスZを測定する必要がなくなるので、目標駆動周波数演算処理をより短い時間で実行することができる。
また、上述の実施形態では、負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmは、両インピーダンス周波数特性を予め実測して予め求めておき、この予め求めた交点PにおけるインピーダンスZm、及び、測定部14で測定したインピーダンスZに基づいて、超音波振動子12を駆動すべき目標駆動周波数fdを求めたが、共振点及び反共振点を求め、共振点の周波数fr及び反共振点の周波数faと交点Pの周波数fmとの関係を表す関数fm=γ×g(fr)+δ×h(fa)から交点Pの周波数fmを求め、この求めた交点Pの周波数fmから目標駆動周波数fdを求めるように構成してもよい。例えば、超音波振動ブロック2における超音波振動子12において、交点Pの周波数fmが共振点の周波数frと反共振点の周波数faとの中間に存在することが多いことから、交点Pの周波数fmは、fm=(fr+fa)/2で与えられる。
図5は、共振点及び反共振点に基づいて交点の周波数を求めて目標駆動周波数を求める場合のフローチャートを示す図である。
この共振点及び反共振点に基づいて交点Pの周波数fmを求めて目標駆動周波数fdを求める場合には、超音波発生装置1の各部を次のように動作させればよい。図5において、共振点及び反共振点に基づいて交点Pの周波数fmを求めて目標駆動周波数fdを求める場合の目標駆動周波数演算処理の処理S21乃至処理S26は、インピーダンスZを測定するためにスイープする周波数範囲が異なる点を除き、図3を用いて説明した上述の処理S11乃至処理S16と同様であるので、その説明を省略する。
インピーダンスZを測定するためにスイープする周波数範囲は、上述の処理S11乃至処理S16では交点Pの周波数fmを与えるインピーダンスZmを探索することが目的であったので、交点Pの周波数fmを中心とした一定の周波数範囲であったが、この処理S21乃至処理S26では、共振点及び反共振点を探索することが目的であるので、例えば、これら共振点の周波数fr及び反共振点の周波数faを含む広い範囲の周波数範囲である必要がある。
処理S27において、インピーダンスZの測定終了がインピーダンス演算部142から通知されると、制御部15の周波数演算部151は、記憶部16に記憶されているインピーダンスZと周波数fとの各組から共振点及び反共振点を抽出し、この抽出した共振点における周波数fr及びこの抽出した反共振点faを、共振点の周波数fr及び反共振点の周波数faと交点Pの周波数fmとの関係を表す関数、例えばfm=(fr+fa)/2から交点Pの周波数fmを演算する。共振点は、インピーダンス周波数特性の極小であり、反共振点は、インピーダンス周波数特性の極大であるから、共振点及び反共振点は、容易に精度よく抽出することができる。
次に、周波数演算部151は、この演算した周波数fmから所定の式を用いて目標駆動周波数fdを求め、この求めた目標駆動周波数fdを駆動周波数制御部153に通知すると共に、目標駆動周波数演算処理の終了を電圧制御部152に通知する(S28)。
目標駆動周波数演算処理の終了が周波数演算部151から通知されると、電圧制御部152は、超音波発生装置1の通常の動作における増幅率で発振回路113からの交流信号を増幅するように増幅回路112を設定し、目標駆動周波数演算処理の終了を周波数制御部143に通知し、この通知を受けると、周波数制御部143は、発振回路113の周波数制御を終了する(S29)。このように動作することによって、目標駆動周波数演算処理が終了され、超音波発生装置1は、通常の動作が可能な状態に設定される。
このように共振点及び反共振点に基づいて交点Pの周波数fmを求めて目標駆動周波数fdを求めることによって、超音波振動子12や超音波発生装置1の製造バラツキによる目標駆動周波数fdへの影響を抑制することができる。
あるいは、上述の実施形態では、負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmは、両インピーダンス周波数特性を予め実測して予め求めておいたが、共振点及び反共振点を求め、共振点の周波数fr及び反共振点の周波数faと交点Pの周波数fmとの関係を表す関数から交点Pの周波数fmを求め、この求めた交点Pの周波数fmから交点PのインピーダンスZmを求めるように構成してもよい。
図6は、共振点及び反共振点に基づいて交点のインピーダンスを求める場合のフローチャートを示す図である。
この共振点及び反共振点に基づいて交点PのインピーダンスZmを求める場合には、超音波発生装置1の各部を次のように動作させればよい。図6において、共振点及び反共振点に基づいて交点PのインピーダンスZmを求める処理の処理S31乃至処理S37は、図5を用いて説明した上述の処理S21乃至処理S27と同様であるので、その説明を省略する。
処理S38において、周波数演算部151は、記憶部16に記憶されている測定部14で測定したインピーダンスZと周波数fと各組の中から処理S37で演算した周波数fmに一致する、あるいは、最も近い、測定部14で測定した周波数fを選択し、この選択した周波数fに対応するインピーダンスZを取得し、交点PのインピーダンスZmとして記憶部16に記憶すると共に、本処理の終了を電圧制御部152に通知する。
本処理の終了が周波数演算部151から通知されると、電圧制御部152は、超音波発生装置1の通常の動作における増幅率で発振回路113からの交流信号を増幅するように増幅回路112を設定し、本処理の終了を周波数制御部143に通知し、この通知を受けると、周波数制御部143は、発振回路113の周波数制御を終了する(S39)。
このように共振点及び反共振点に基づいて交点Pの周波数fmを求めて交点PのインピーダンスZmを求めることによって、超音波振動子12や超音波発生装置1の製造バラツキによる目標駆動周波数fdへの影響を抑制することができる。
ここで、図5や図6に示す動作において、インピーダンスZを測定するためにスイープする周波数範囲は、共振点及び反共振点を探索することが目的であるので、共振点の周波数frを中心とした一定の周波数範囲及び反共振点の周波数faを中心とした一定の周波数範囲だけでもよく、また、共振点の周波数frを中心とした一定の周波数範囲及び反共振点の周波数faを中心とした一定の周波数範囲では周波数間隔を細かく、他の範囲では周波数間隔を粗くしてもよい。
さらに、上述の実施形態では、負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性と無負荷の場合における超音波振動子12のインピーダンス周波数特性との交点PにおけるインピーダンスZmは、両インピーダンス周波数特性を予め実測して予め求めておき、この予め求めた交点PにおけるインピーダンスZm、及び、測定部14で測定したインピーダンスZに基づいて、超音波振動子12を駆動すべき目標駆動周波数fdを求めたが、予めインピーダンス周波数特性の傾きaと交点Pの周波数fmとの対応関係を求めておき、複数の周波数fの電気振動で超音波振動子12を駆動した場合における複数のインピーダンスZを測定部14で測定し、複数の周波数fと複数のインピーダンスZとからインピーダンス周波数特性の傾きaを求め、この求めたインピーダンス周波数特性の傾きaに基づいて目標駆動周波数fdを求めるように構成してもよい。無負荷の場合を含む同一負荷におけるインピーダンス周波数特性は、共振点の周波数frと反共振点の周波数faとの差、その間のインピーダンスZの差が略同程度であることから、共振点と反共振点との間におけるインピーダンス周波数特性の傾きaから交点Pの周波数fmを求めることができる。
図7は、インピーダンス周波数特性の傾きに基づいて交点の周波数を求めて目標駆動周波数を求める場合のフローチャートを示す図である。
まず、インピーダンス周波数特性の傾きaと交点Pの周波数fmとの対応関係を予め実測し、この対応関係を記憶部16に記憶しておく。そして、インピーダンス周波数特性の傾きaに基づいて交点Pの周波数fmを求めて目標駆動周波数fdを求める場合には、超音波発生装置1の各部を次のように動作させればよい。図7において、インピーダンス周波数特性の傾きaに基づいて交点Pの周波数fmを求めて目標駆動周波数fdを求める目標駆動周波数演算処理の処理S41乃至処理S46は、インピーダンスZを測定するためにスイープする周波数範囲が異なる点を除き、図3を用いて説明した上述の処理S11乃至処理S16と同様であるので、その説明を省略する。
インピーダンスZを測定するためにスイープする周波数範囲は、上述の処理S11乃至処理S16では交点Pの周波数fmを与えるインピーダンスZmを探索することが目的であったので、交点Pの周波数fmを中心とした一定の周波数範囲であったが、この処理S41乃至処理S46では、共振点から反共振点までのインピーダンス周波数特性の傾きaを求めることが目的であるので、これら共振点の周波数frから反共振点の周波数faまでの範囲で少なくとも2個の測定点を含む周波数範囲であればよい。測定点を増やすことによって求めれるインピーダンス周波数特性の傾きaの精度が向上する。
処理S47において、インピーダンスZの測定終了がインピーダンス演算部142から通知されると、制御部15の周波数演算部151は、記憶部16に記憶されている測定部14で測定したインピーダンスZと周波数fとの各組からインピーダンス周波数特性の傾きaを求め、記憶部16に予め記憶されているインピーダンス周波数特性の傾きaと交点Pの周波数fmとの対応関係におけるインピーダンス周波数特性の傾きaの中から、この求めたインピーダンス周波数特性の傾きaと一致する、あるいは、最も近い、インピーダンス周波数特性の傾きaを選択し、この選択したインピーダンス周波数特性の傾きaに対応する周波数fmを取得する。
次に、周波数演算部151は、この取得した周波数fmから所定の式を用いて目標駆動周波数fdを求め、この求めた目標駆動周波数fdを駆動周波数制御部153に通知すると共に、目標駆動周波数演算処理の終了を電圧制御部152に通知する(S48)。
目標駆動周波数演算処理の終了が周波数演算部151から通知されると、電圧制御部152は、超音波発生装置1の通常の動作における増幅率で発振回路113からの交流信号を増幅するように増幅回路112を設定し、目標駆動周波数演算処理の終了を周波数制御部143に通知し、この通知を受けると、周波数制御部143は、発振回路113の周波数制御を終了する(S49)。このように動作することによって、目標駆動周波数演算処理が終了され、超音波発生装置1は、通常の動作が可能な状態に設定される。
このように構成することにより、数点で、最小のケースでは2点でインピーダンスZを測定すればよいので、より高速に目標駆動周波数演算処理を実行することができる。
そして、上述の実施形態では、目標駆動周波数演算処理を超音波発生装置1の電源が投入された場合に実行したが、これに限定されるものではない。例えば、始動スイッチがオンされ超音波発生装置1が超音波を発生している通常の動作中に、目標駆動周波数演算処理を実行するように構成してもよい。あるいは、電源スイッチがオンされ電源の投入後であって始動スイッチがオフである待機中に、目標駆動周波数演算処理を実行するように構成してもよい。あるいは、超音波発生装置1がさらに電源供給源となる二次電池を備えた充電機能付きである場合に、その充電中に、目標駆動周波数演算処理を実行するように構成してもよい。これら動作中、待機中及び充電中における目標駆動周波数演算処理は、1回でもよいし、所定のタイミング(例えば始動後5分間隔や、始動後10分間隔や、始動後20分間隔等)で繰り返し実行されてもよい。そして、目標駆動周波数演算処理の実行を完了してから通常の動作に移行してもよいが、目標駆動周波数fdを求めるために必要なインピーダンスZを測定した後に通常の動作に移行し、通常の動作中にこの測定したインピーダンスZを用いて目標駆動周波数fdを求める演算を実行するように構成してもよい。
また、上述の実施形態において、目標駆動周波数演算処理を実施した後に、目標駆動周波数fdで超音波振動子12を駆動している場合における無負荷の場合のインピーダンスZ又は負荷の場合のインピーダンスZを記憶部16に記憶し、制御部15は、無負荷の場合に又は負荷の場合に、超音波振動子12の駆動中におけるインピーダンスZを測定部14で測定し、この測定したインピーダンスZと記憶部16に記憶されているインピーダンスZとを比較し、この比較の結果に応じて、目標駆動周波数演算処理を実行するか否かを判断し、この判断の結果に応じて目標駆動周波数演算処理を実行してもよい。
図8は、インピーダンスのずれによる目標駆動周波数演算処理の実行の判断動作を示すフローチャートである。図8(A)は、インピーダンスの記憶動作を示すフローチャートであり、図8(B)は、目標駆動周波数演算処理の実行の判断動作を示すフローチャートである。
図8(A)において、まず、制御部15は、直近の目標駆動周波数演算処理で求められた目的駆動周波数fdで駆動部11によって超音波振動子12を駆動する(S51)。次に、測定部14は、この駆動中における超音波振動子12のインピーダンスZを測定し、記憶部16に記憶する(S52)。
目標駆動周波数演算処理をする際に、図8(B)において、制御部15は、無負荷の場合又は負荷の場合で、直近の目標駆動周波数演算処理で求められた目的駆動周波数fdで駆動部11によって超音波振動子12を駆動する(S61)。次に、測定部14は、この駆動中における超音波振動子12のインピーダンスZを測定し、測定結果を制御部15に通知する(S62)。次に、制御部15は、記憶部16に記憶してあるインピーダンスZと、この測定したインピーダンスZとを比較し、比較した結果、これらの差が所定の範囲以内であるか否かを判断する(S63)。
この判断の結果、差が所定の範囲以内である場合(Yes)には、本処理を終了し、目標駆動周波数演算処理を実行しない。即ち、超音波発生装置1は、直近の目標駆動周波数演算処理で求められた目的駆動周波数fdで駆動される。
一方、この判断の結果、差が所定の範囲以内ではない場合(No)には、目標駆動周波数演算処理を実行する(S64)。即ち、超音波発生装置1は、新たな目標駆動周波数演算処理で求められた目的駆動周波数fdで駆動される。
ここで、この図8(A)及び(B)に示す動作は、無負荷の場合又は負荷の場合の何れかにおいて実行される。無負荷の場合であるか負荷の場合であるかは、図4から分かるように、無負荷の場合と負荷の場合とで超音波振動子12に流れる電流が相違するので、超音波振動子12に流れる電流を測定することによって判断することができる。
このように動作することによって、周囲環境の変化もなく共振点及び反共振点が略固定して安定している場合には、目標駆動周波数演算処理を実行する必要がない。
そして、このような超音波発生装置1を超音波美容装置に適用してもよい。図9は、超音波発生装置の超音波美容装置への適用例を示す一部断面図である。
図9において、超音波美容装置20は、ハウジング(収容容器)21と、上述の駆動部11、測定部14、制御部15及び記憶部16を備えた回路ブロック22と、上述の超音波振動子12及びホーン13を備えた接着タイプの超音波振動ブロック23とを備えて構成される。ハウジング21は、例えば合成樹脂等で構成され、使用時に手で把持する把持部21−1と、把持部21−1の一方先端に配設された振動部21−2とを備え、ハウジング21内、主に把持部21−1内には回路ブロック22が収容され、振動部21−2の一方面(正面)にはホーン13の放射面が肌等の対象物Oに直接又は超音波伝達媒体31を介して接触可能となるように超音波振動ブロック23が配設される。
このような超音波美容装置20は、上述の超音波発生装置1が組み込まれているので、安定的に目標駆動周波数fdで超音波を発生することができる。このため、超音波美容装置20は、対象物Oに美容効果を効果的に与えることができる。特に、薬剤を用いることで薬剤が肌に効果的に作用して美肌がもたらされる。
ここで、インピーダンスは、上述したように、(インピーダンス)=(電圧)/(電流)の関係にあるので、電圧が既知の場合の電流や、電流が既知の場合の電圧は、インピーダンスと等価的であり、この意味でインピーダンスに含まれる。即ち、インピーダンスに代えて電圧が既知の場合に電流を利用することができ、また、インピーダンスに代えて電流が既知の場合に電圧を利用することができる。
本発明の原理を説明するための図である。 実施形態に係る超音波発生装置の構成を示すブロック図である。 実施形態に係る超音波発生装置の目標駆動周波数演算処理における動作を示すフローチャートである。 目標駆動周波数を説明するための図である。 共振点及び反共振点に基づいて交点の周波数を求めて目標駆動周波数を求める場合のフローチャートを示す図である。 共振点及び反共振点に基づいて交点のインピーダンスを求める場合のフローチャートを示す図である。 インピーダンス周波数特性の傾きに基づいて交点の周波数を求めて目標駆動周波数を求める場合のフローチャートを示す図である。 インピーダンスのずれによる目標駆動周波数演算処理の実行の判断動作を示すフローチャートである。 超音波発生装置の超音波美容装置への適用例を示す一部断面図である。 背景技術に係る超音波発生装置の構成を示す図である。 背景技術に係る超音波発生装置の構成を示す図である。 超音波振動ブロックの特性を説明するための図である。 超音波振動ブロックの特性を説明するための図である。 超音波振動ブロックの振動モードを説明するための図である。
符号の説明
1、500A、500B 超音波発生装置
2、23 超音波振動ブロック
11、511A、511B 駆動部
12、512A、512B 超音波振動子
13、513A、513B ホーン
14 測定部
15 制御部
16 記憶部
20 超音波美容装置
21 ハウジング(収容容器)
22 回路ブロック
112 増幅回路
113 発振回路
141 電流検出回路
142 インピーダンス演算部
143 周波数制御部
151 周波数演算部
152 電圧制御部
153 駆動周波数制御部
513−1A、513−1B 接合面
513−2A(501−2A)、513−2B(501−2B) 放射面
514A 接着剤
514B ボルト

Claims (9)

  1. 電気振動を生成する駆動部と、
    前記駆動部からの前記電気振動を超音波の機械振動に変換する超音波振動子と、
    一方面に前記超音波振動子が接合され前記超音波振動子からの前記超音波の機械振動を他方面の放射面に伝達する伝達部材と、
    前記超音波振動子のインピーダンスを測定する測定部と、
    前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触している負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性と、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触していない無負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性との交点におけるインピーダンス、及び、前記測定部で測定したインピーダンスに基づいて前記超音波振動子を駆動すべき目標駆動周波数を求め、該求めた目標駆動周波数で前記超音波振動子が振動するように、前記駆動部を制御する制御部とを備えること
    を特徴とする超音波発生装置。
  2. 前記測定部は、前記駆動部によって前記超音波振動子に一定振幅の電圧を印加した場合における前記超音波振動子に流れる電流に基づいて前記インピーダンスを測定すること
    を特徴とする請求項1に記載の超音波発生装置。
  3. 前記交点のインピーダンスは、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触している負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性、及び、前記超音波の機械振動を伝達する対象物が前記伝達部材に接触していない無負荷の場合における前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性を予め測定し、該測定結果より予め求めた値であること
    を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波発生装置。
  4. 前記制御部は、さらに、前記超音波振動子のインピーダンス周波数特性における共振周波数及び反共振周波数を前記測定部によって測定し、該測定した共振周波数及び反共振周波数に基づいて前記交点のインピーダンスを求めること
    を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の超音波発生装置。
  5. 前記目標駆動周波数は、前記交点の周波数に関する一次関数によって表され、
    前記制御部は、前記一次関数を用いて前記目標駆動周波数を求めること
    を特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の超音波発生装置。
  6. 前記目標駆動周波数は、外部要因によるインピーダンス周波数特性の変動を考慮したマージンだけ反共振点又は共振点から離れた周波数であること
    を特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の超音波発生装置。
  7. 前記制御部は、複数の周波数の電気振動で前記超音波振動子を駆動した場合における複数のインピーダンスを前記測定部で測定し、前記複数の周波数と前記複数の周波数とからインピーダンス周波数特性の傾きを求め、該求めたインピーダンス周波数特性の傾きに基づいて前記目標駆動周波数を求めること
    を特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載の超音波発生装置。
  8. 前記目標駆動周波数で前記超音波振動子を駆動している場合における前記無負荷の場合のインピーダンス又は前記負荷の場合のインピーダンスを記憶する記憶部をさらに備え、
    前記制御部は、前記無負荷の場合に又は前記負荷の場合に、前記超音波振動子の駆動中におけるインピーダンスを前記測定部で測定し、該測定したインピーダンスと前記記憶部に記憶されているインピーダンスとを比較し、該比較の結果に応じて、前記目標駆動周波数を求めるか否かを判断し、該判断の結果に応じて前記目標駆動周波数を求めること
    を特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載の超音波発生装置。
  9. 請求項1乃至請求項8の何れか1項に記載の超音波発生装置を用いた超音波美容装置。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2078519A1 (en) * 2008-01-10 2009-07-15 Panasonic Electric Works Co., Ltd Ultrasonic vibration device and beauty appliance
JP2010075626A (ja) * 2008-09-29 2010-04-08 Sharp Corp 洗濯機
JP2010075525A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Sharp Corp 洗濯機
US8833167B2 (en) 2008-10-14 2014-09-16 Robert Bosch Gmbh Sensor device and method for operating a sensor device
JP2014204982A (ja) * 2007-12-03 2014-10-30 コヴィディエン・アクチェンゲゼルシャフト コードレスで手持ち式の超音波焼灼切断装置
JP2016528997A (ja) * 2013-08-07 2016-09-23 ストライカー・コーポレイション ハンドピースの機械的インピーダンスに応じて超音波式ハンドピースを駆動するためのシステム及び方法
US9861382B2 (en) 2007-12-03 2018-01-09 Covidien Ag Cordless hand-held ultrasonic cautery cutting device
JP2018094456A (ja) * 2016-12-08 2018-06-21 株式会社エーゼット 振動子駆動装置及び振動発生装置
JP2020021878A (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 株式会社ディスコ 加工装置及び剥離装置
JP2021518234A (ja) * 2018-03-22 2021-08-02 アコースティック ウェーブ セル セラピー, インコーポレイテッド 低エネルギー音響パルス装置および方法
US11248951B2 (en) 2017-02-27 2022-02-15 Robert Bosch Gmbh Sensor device including a sensor for carrying out surrounding-area monitoring with the aid of sonic waves
DE102022200747A1 (de) 2022-01-24 2022-04-28 Lr Health & Beauty Systems Gmbh Gerät zur kosmetischen Pflege der menschlichen Haut
DE102023101043A1 (de) 2022-01-24 2023-03-23 Lr Health & Beauty Systems Gmbh Gerät zur kosmetischen Pflege der menschlichen Haut

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4572789B2 (ja) * 2005-09-27 2010-11-04 パナソニック電工株式会社 超音波発生装置及び超音波美容装置
KR20220066413A (ko) * 2017-12-14 2022-05-24 프로디자인 소닉스, 인크. 음향 트랜스듀서 구동기 및 제어기
WO2020029695A1 (zh) * 2018-08-07 2020-02-13 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 烹饪器具及超声波振子的驱动控制方法、装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5881470A (ja) * 1981-11-10 1983-05-16 東北金属工業株式会社 超音波加工機用発振回路
JP2000030881A (ja) * 1998-07-09 2000-01-28 Matsushita Electric Works Ltd 放電灯点灯装置
JP2002248153A (ja) * 2001-02-23 2002-09-03 Matsushita Electric Works Ltd 超音波美容器
JP2004267332A (ja) * 2003-03-06 2004-09-30 Olympus Corp 超音波手術装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2160473Y (zh) * 1993-05-15 1994-04-06 温有奎 自动频率跟踪功率超声波发生器
JP4572789B2 (ja) * 2005-09-27 2010-11-04 パナソニック電工株式会社 超音波発生装置及び超音波美容装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5881470A (ja) * 1981-11-10 1983-05-16 東北金属工業株式会社 超音波加工機用発振回路
JP2000030881A (ja) * 1998-07-09 2000-01-28 Matsushita Electric Works Ltd 放電灯点灯装置
JP2002248153A (ja) * 2001-02-23 2002-09-03 Matsushita Electric Works Ltd 超音波美容器
JP2004267332A (ja) * 2003-03-06 2004-09-30 Olympus Corp 超音波手術装置

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9861382B2 (en) 2007-12-03 2018-01-09 Covidien Ag Cordless hand-held ultrasonic cautery cutting device
JP2014204982A (ja) * 2007-12-03 2014-10-30 コヴィディエン・アクチェンゲゼルシャフト コードレスで手持ち式の超音波焼灼切断装置
EP2078519A1 (en) * 2008-01-10 2009-07-15 Panasonic Electric Works Co., Ltd Ultrasonic vibration device and beauty appliance
JP2010075525A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Sharp Corp 洗濯機
JP4628458B2 (ja) * 2008-09-26 2011-02-09 シャープ株式会社 洗濯機および噴霧方法
JP2010075626A (ja) * 2008-09-29 2010-04-08 Sharp Corp 洗濯機
JP4637222B2 (ja) * 2008-09-29 2011-02-23 シャープ株式会社 洗濯機およびミスト生成方法
US8833167B2 (en) 2008-10-14 2014-09-16 Robert Bosch Gmbh Sensor device and method for operating a sensor device
US10016209B2 (en) 2013-08-07 2018-07-10 Stryker Corporation System and method for driving an ultrasonic handpiece as a function of the mechanical impedance of the handpiece
US11712260B2 (en) 2013-08-07 2023-08-01 Stryker Corporation System and method for driving an ultrasonic handpiece as a function of the mechanical impedance of the handpiece
JP2016528997A (ja) * 2013-08-07 2016-09-23 ストライカー・コーポレイション ハンドピースの機械的インピーダンスに応じて超音波式ハンドピースを駆動するためのシステム及び方法
JP2019134923A (ja) * 2013-08-07 2019-08-15 ストライカー・コーポレイション ハンドピースの機械的インピーダンスに応じて超音波式ハンドピースを駆動するためのシステム及び方法
US10864011B2 (en) 2013-08-07 2020-12-15 Stryker Corporation System and method for driving an ultrasonic handpiece as a function of the mechanical impedance of the handpiece
JP2018094456A (ja) * 2016-12-08 2018-06-21 株式会社エーゼット 振動子駆動装置及び振動発生装置
US11248951B2 (en) 2017-02-27 2022-02-15 Robert Bosch Gmbh Sensor device including a sensor for carrying out surrounding-area monitoring with the aid of sonic waves
JP2021518234A (ja) * 2018-03-22 2021-08-02 アコースティック ウェーブ セル セラピー, インコーポレイテッド 低エネルギー音響パルス装置および方法
JP7323199B2 (ja) 2018-03-22 2023-08-08 アコースティック ウェーブ セル セラピー, インコーポレイテッド 低エネルギー音響パルス装置および方法
JP2020021878A (ja) * 2018-08-02 2020-02-06 株式会社ディスコ 加工装置及び剥離装置
JP7137992B2 (ja) 2018-08-02 2022-09-15 株式会社ディスコ 加工装置及び剥離装置
DE102023101043A1 (de) 2022-01-24 2023-03-23 Lr Health & Beauty Systems Gmbh Gerät zur kosmetischen Pflege der menschlichen Haut
DE202022002723U1 (de) 2022-01-24 2023-05-03 Lr Health & Beauty Systems Gmbh Gerät zur kosmetischen Pflege der menschlichen Haut
DE102022200747A1 (de) 2022-01-24 2022-04-28 Lr Health & Beauty Systems Gmbh Gerät zur kosmetischen Pflege der menschlichen Haut

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