JP2007085800A - 半導体加速度センサ - Google Patents
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Abstract
X,Y,Zの各軸方向の加速度を独立的に且つ高感度に検出することができる半導体加速度センサを提供する。
【解決手段】
X、Y軸方向の加速度検出用ピエゾ抵抗RX1〜RX4、RY1〜RY4をその長手方向がそれぞれの軸方向と並行するように重り部2の近傍において第一のビーム10及び第二のビーム11上に形成配置し、Z軸方向の加速度検出用ピエゾ抵抗RZ1〜RZ4をその長手方向が重り部2の中心を通り且つX軸方向と並行する直線と一致するように横一列に第一のビーム10上に形成配置した。
【選択図】 図1
Description
11 第二のビーム
2 重り部
3 フレーム
RX1〜RX4 ピエゾ抵抗
RY1〜RY4 ピエゾ抵抗
RZ1〜RZ4 ピエゾ抵抗
Claims (1)
- 内方を開口した矩形枠状のフレームと、フレームの開口内でフレームの対向する一対の辺に両端が支持された第一のビームと、フレームの開口内でフレームの対向する他の一対の辺に両端が支持された第二のビームと、第一のビームと第二のビームが互いに交差する部位において第一のビーム及び第二のビームによって揺動自在に吊り下げ支持される重り部とを半導体基板を加工して形成し、重り部の動きによりビームに生じる撓みを検出するための長細い形状のピエゾ抵抗を第一のビーム及び第二のビームに形成した半導体加速度センサであって、第一のビームの長手方向と並行する軸方向の撓みを検出するピエゾ抵抗と、第二のビームの長手方向と並行する軸方向の撓みを検出するピエゾ抵抗とを、その長手方向がそれぞれの軸方向と並行するように重り部の近傍に配置し、半導体基板に対して垂直な軸方向の撓みを検出するピエゾ抵抗を、その長手方向が第一のビーム又は第二のビーム何れかの長手方向と一致するように一定の間隔を空けて一直線上に配置したことを特徴とする半導体加速度センサ。
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Family
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Family Applications (1)
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Cited By (4)
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2005
- 2005-09-20 JP JP2005272857A patent/JP2007085800A/ja active Pending
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