JP2007078145A - 薬液制御弁 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ヒートサイクル環境下で使用されることがあっても、液漏れを確実に防止できるようにする。
【解決手段】 薬液制御弁21は、ボディ22と、空気圧式駆動部23と、スタッフィング24と、ダイヤフラム形の弁体25とを備えている。ボディ22には、弁口28を囲うように取り付け部29が形成され、この取り付け部29の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部29a及び外周リング部受け部29bが形成されている。スタッフィング24は雌ねじ部29aにねじ込まれて取り付け部29内周に取り付けられ、弁体25の外周リング部25cを外周リング部受け部29bに水密に押圧固定している。空気圧式駆動部のシリンダ30には、ボディ22の取り付け部29における雌ねじ部29a領域の外周部部分と当接嵌合する嵌合部34を一体に形成している。
【選択図】 図1
【解決手段】 薬液制御弁21は、ボディ22と、空気圧式駆動部23と、スタッフィング24と、ダイヤフラム形の弁体25とを備えている。ボディ22には、弁口28を囲うように取り付け部29が形成され、この取り付け部29の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部29a及び外周リング部受け部29bが形成されている。スタッフィング24は雌ねじ部29aにねじ込まれて取り付け部29内周に取り付けられ、弁体25の外周リング部25cを外周リング部受け部29bに水密に押圧固定している。空気圧式駆動部のシリンダ30には、ボディ22の取り付け部29における雌ねじ部29a領域の外周部部分と当接嵌合する嵌合部34を一体に形成している。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体製造の時に使用される薬液を制御する薬液制御弁に関する。
従来、この種の薬液制御弁としては、例えば図6に示す構成のものがある。この薬液制御弁1は、大別すると、ボディ2と、空気圧式駆動部3と、スタッフィング4と、ダイヤフラム形の弁体5と、ベースプレート6といった構成要素から構成されている。前記ボディ2は、薬液通路7(便宜上矢印7で示す)を有し、この薬液通路7は一端部に流入口7aを、また他端部に流出口7bを有し、途中には弁口8を有する。さらに、この弁口8を囲うように囲繞壁状の取り付け部9を有し、且つこの取り付け部9の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部9a及び外周リング部受け部9bを形成している。
前記空気圧式駆動部3は、シリンダ10及びピストン11並びにピストンロッド部11aを備えており、前記シリンダ10にはエア通気口10a、10bが形成されている。この空気圧式駆動部3のシリンダ10が、ベースプレート6を通した4本(1本のみを図示)のねじ部材12が螺合されることにより、前記取り付け部9に取り付けられている。なお、前記シリンダ10内には、閉塞保持用の圧縮コイルばね13が設けられている。
前記スタッフィング4は、外周面に雄ねじ部4aを有すると共に、中心部に前記ピストンロッド部11aが水密に摺動可能に貫通するロッド挿通孔部4bを有する。このスタッフィング4は、該雄ねじ部4aが前記取り付け部9の雌ねじ部9aに螺合されて該取り付け部9内側に取り付けられている。前記弁体5は、弁体本体部5aと変形可能な薄膜部5bと外周リング部5cとを一体に形成している。この弁体5は、その弁体本体部5aが、前記ピストンロッド部11a先端部に取り付けられており、また外周リング部5cが前記スタッフィング4下端の押さえ部4cにより、前記ボディ2の取り付け部9の外周リング部受け部9bに水密に押圧固定されている。
図6の状態では、弁体5が弁口8を閉塞した状態を示しており、この状態から薬液制御弁1を開放動作するについては、エア通気口10aから圧縮空気を供給する。すると、ピストン11が圧縮コイルばね13のばね力に抗して矢印A方向へ移動し、これに伴って弁体5の弁体本体部5aが同矢印A方向に移動して、弁口8を開放する。これによって薬液が薬液通路7を流通する。
また、薬液制御弁1を開放状態から閉塞動作するについては、前記エア通気口10aから圧縮空気を排出すると、圧縮コイルばね13のばね力によりピストン11が反矢印A方向へ移動して、弁体5が弁口8を閉塞する。
上述した構成の薬液制御弁1と同様の構成が特許文献1にも記載されている。
特開2005−163877号公報
上述した構成の薬液制御弁1と同様の構成が特許文献1にも記載されている。
ところで、半導体製造に際して洗浄などに使用される薬液は、洗浄効果をアップさせることを考慮して、加温あるいは加熱されて供給されることも行われている。この場合、上述した構成の薬液制御弁1においては、高温度の薬液の供給、及び停止により薬液制御弁1自体が温度上昇、下降を繰り返すことになり、いわゆるヒートサイクル環境下で使用されることになる。この場合、当該薬液制御弁1の各構成要素が熱膨張収縮を繰り返し、その結果、特にスタッフィング4とボディ2の取り付け部9とのねじ螺合部分から、液漏れを起こすことがあった。
本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒートサイクル環境下で使用されることがあっても、液漏れを確実に防止できる薬液制御弁を提供するにある。
本発明は次の点を考慮してなされたものである。すわなち、本発明者において、図6における、スタッフィング4とボディ2の取り付け部9とのねじ螺合部分からの液漏れの原因を考察したところ、次の考察結果と対策案が考えられた。ヒートサイクル環境下では、温度上昇、下降により、ねじ部材12が膨張収縮してねじが緩み、スタッフィング4が上方に移動しやすくなる。そして、スタッフィング4とボディ2の取り付け部9との熱膨張差により、スタッフィング4の雄ねじ部4aのねじ山が取り付け部9の雌ねじ部9aのねじ山から相対的に上方(緩み方向)への力を受け、長期間のヒートサイクルによりそれらのねじ螺合部分が緩み、スタッフィング4による前記弁体5の外周リング部5cの押圧力(水密保持力)が弱くなって、液漏れが発生することが考察された。この対策として、ねじ部材12の材質(通常は耐薬性に優れたステンレスが使用されている)を変更して該ねじ部材12のねじ締めの緩み防止を図ったりしたがさほどの効果が上がらないものであった。また、前記取り付け部9の外側への熱膨張をできるだけ抑えるべく別部材の嵌合部材を当接嵌合させる構成としたところ、スタッフィング4と取り付け部9とのねじ螺合部分に緩みがみられず、液漏れが防止できた。この場合、嵌合部材の熱膨張率は取り付け部9の熱膨張率より小さいことが好ましいが、放熱性なども加味されるから、嵌合部材の材料については必ずしも特定されるものではないことも判明した。
上記の点に着目した本請求項1の発明は、薬液通路を有すると共に、この薬液通路の途中に弁口を有し、この弁口を囲うように取り付け部を有し、且つこの取り付け部の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部及び外周リング部受け部を形成したボディと、
このボディの前記取り付け部にねじ部材により取り付けられ、シリンダ及びピストン並びにピストンロッド部を備えた空気圧式駆動部と、
外周面に雄ねじ部を有すると共に、中心部に前記ピストンロッド部が水密に摺動可能に貫通するロッド挿通孔部を有し、該雄ねじ部が前記取り付け部の雌ねじ部に螺合されて該取り付け部内側に取り付けられたスタッフィングと、
弁体本体部及び薄膜部並びに外周リング部を一体に有して構成され、前記弁体本体部が前記空気圧式駆動部の前記ピストンロッド部の先端部に設けられ且つ前記外周リング部が前記スタッフィングにより前記取り付け部の前記外周リング部受け部に水密に押圧固定され、前記ピストンの作動により前記弁口を開閉する弁体とを備え、
前記ボディの取り付け部における雌ねじ部領域の外周部部分と当接嵌合する嵌合部材を設けたところに特徴を有する。
このボディの前記取り付け部にねじ部材により取り付けられ、シリンダ及びピストン並びにピストンロッド部を備えた空気圧式駆動部と、
外周面に雄ねじ部を有すると共に、中心部に前記ピストンロッド部が水密に摺動可能に貫通するロッド挿通孔部を有し、該雄ねじ部が前記取り付け部の雌ねじ部に螺合されて該取り付け部内側に取り付けられたスタッフィングと、
弁体本体部及び薄膜部並びに外周リング部を一体に有して構成され、前記弁体本体部が前記空気圧式駆動部の前記ピストンロッド部の先端部に設けられ且つ前記外周リング部が前記スタッフィングにより前記取り付け部の前記外周リング部受け部に水密に押圧固定され、前記ピストンの作動により前記弁口を開閉する弁体とを備え、
前記ボディの取り付け部における雌ねじ部領域の外周部部分と当接嵌合する嵌合部材を設けたところに特徴を有する。
この請求項1の発明によれば、嵌合部材が前記ボディの取り付け部における雌ねじ部領域の外周部部分と当接嵌合するから、ヒートサイクル環境下においても、スタッフィングとボディの取り付け部とのねじ螺合部分からの液漏れを防止できる。
請求項2の発明は、前記嵌合部材が、前記空気圧式駆動部の前記シリンダに一体に形成されているところに特徴を有する。これによれば、部品数の増加を抑えることができる。
請求項3の発明は、前記嵌合部材の外面が、前記シリンダの外面と面一に形成されているところに特徴を有する。これによれば、嵌合部材を備えたシリンダを型成形することが容易となり、製作コストを抑えることができる。
請求項2の発明は、前記嵌合部材が、前記空気圧式駆動部の前記シリンダに一体に形成されているところに特徴を有する。これによれば、部品数の増加を抑えることができる。
請求項3の発明は、前記嵌合部材の外面が、前記シリンダの外面と面一に形成されているところに特徴を有する。これによれば、嵌合部材を備えたシリンダを型成形することが容易となり、製作コストを抑えることができる。
請求項4の発明は、前記ボディ及び弁体がポリテトラフルオロエチレンから成り、前記嵌合部材がポリプロピレンから成るところに特徴を有する。これによれば、薬液と接触するボディ及び弁体がポリテトラフルオロエチレンから成ることにより、耐熱性及び耐薬性に優れていて、劣化が少なく、また、前記嵌合部材がポリプロピレンから成ることにより、熱膨張が少なく、前述の液漏れ防止を一層確実にできるものとなる。
本発明は、スタッフィングとボディの取り付け部とのねじ螺合部分からの液漏れを防止できる。
以下、本発明の一実施例につき図1ないし図5を参照して説明する。薬液制御弁21は、大別すると、ボディ22と、空気圧式駆動部23と、スタッフィング24と、ダイヤフラム形の弁体25と、ベースプレート26といった構成要素から構成されている。
前記ボディ22は、薬液通路27(便宜上矢印27で示す)を有し、この薬液通路27の一端部に流入口27aを、また他端部に流出口27bを有し、途中には弁口28を有する。さらに、この弁口28を囲うように囲繞壁状の取り付け部29を有し、且つこの取り付け部29の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部29a及び段状をなす外周リング部受け部29bを形成している。
前記ボディ22は、薬液通路27(便宜上矢印27で示す)を有し、この薬液通路27の一端部に流入口27aを、また他端部に流出口27bを有し、途中には弁口28を有する。さらに、この弁口28を囲うように囲繞壁状の取り付け部29を有し、且つこの取り付け部29の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部29a及び段状をなす外周リング部受け部29bを形成している。
前記空気圧式駆動部23は、シリンダ30及びピストン31並びにピストンロッド部31aを備えており、前記シリンダ30にはエア通気口30a、30bが形成されている。この空気圧式駆動部23は、シリンダ30に、ベースプレート26を通した4本(図3参照)のねじ部材32が螺合されることにより、前記取り付け部29に取り付けられている。なお、前記シリンダ30内には、閉塞保持用の圧縮コイルばね33が設けられている。
前記スタッフィング24は、下部外周面に雄ねじ部24aを有すると共に、中心部に前記ピストンロッド部31aが水密に摺動可能に貫通するロッド挿通孔部24bを有する。このスタッフィング24は、該雄ねじ部24aが前記取り付け部29の雌ねじ部29aに螺合されて該取り付け部29内側に取り付けられている。
前記スタッフィング24は、下部外周面に雄ねじ部24aを有すると共に、中心部に前記ピストンロッド部31aが水密に摺動可能に貫通するロッド挿通孔部24bを有する。このスタッフィング24は、該雄ねじ部24aが前記取り付け部29の雌ねじ部29aに螺合されて該取り付け部29内側に取り付けられている。
前記弁体25は、弁体本体部25aと変形可能な薄膜部25bと外周リング部25cとを一体に形成している。この弁体25は、その弁体本体部25aが、前記ピストンロッド部31a先端部に取り付けられており、また外周リング部25cが前記スタッフィング24下端の押さえ部24cにより、前記ボディ22の外周リング部受け部22aに水密に押圧固定されている。この場合、このスタッフィング24は、シリンダ30により上方から下方へ押圧されている。
ここで、前記シリンダ30の下端部には嵌合部材としての嵌合部34が一体に形成されている。この場合、この嵌合部34の外面とシリンダ30の外面とは面一に形成されている。この嵌合部34を備えた前記シリンダ30は型成形により形成されたものである。
この嵌合部34は、図4に示すように、嵌合面(内面)34aが取り付け部29の外面形状と合致する矩形状(平面的にみて)をなしている。そして、この嵌合部34は、前記取り付け部29における雌ねじ部29a領域の外周部部分と当接嵌合している。
この嵌合部34は、図4に示すように、嵌合面(内面)34aが取り付け部29の外面形状と合致する矩形状(平面的にみて)をなしている。そして、この嵌合部34は、前記取り付け部29における雌ねじ部29a領域の外周部部分と当接嵌合している。
なお、薬液の性質を考慮して、ボディ22及び弁体25はポリテトラフルオロエチレンから構成している。また、シリンダ30(嵌合部34)及びスタッフィング24はポリプロピレンから構成している。また、前記ねじ部材32はステンレス製であり、このねじ部材32の頭部部分はポリプロピレンから成るエンドキャップ35で被覆されている。なお、必要箇所にはシール部材たるOリングが配設されている。
図1の状態では、弁体25が弁口28を閉塞した状態を示しており、この状態から薬液制御弁21を開放動作するについては、エア通気口30aから圧縮空気を供給する。すると、ピストン31が圧縮コイルばね33のばね力に抗して矢印A方向へ移動し、これに伴って弁体25の弁体本体部25aが同矢印A方向に移動して、弁口28を開放する。これによって薬液が薬液通路27を流通する。
また、薬液制御弁21を開放状態から閉塞動作するについては、前記エア通気口30aから圧縮空気を排出すると、圧縮コイルばね33のばね力によりピストン31が反矢印A方向へ移動して、弁体25が弁口28を閉塞する。
また、薬液制御弁21を開放状態から閉塞動作するについては、前記エア通気口30aから圧縮空気を排出すると、圧縮コイルばね33のばね力によりピストン31が反矢印A方向へ移動して、弁体25が弁口28を閉塞する。
このような本実施例によれば、嵌合部34が前記ボディ22の取り付け部29における雌ねじ部29a領域の外周部部分と当接嵌合するから、ヒートサイクル環境下においても、取り付け部29が外側へ拡開することを阻止でき、これにて、スタッフィング24とボディ22の取り付け部29とのねじ螺合部分が緩むことを防止でき、スタッフィング24による前記弁体25の外周リング部25cの押圧力(水密保持力)が弱くなることがなく、当該ねじ螺合部分からの液漏れを確実に防止できる。本実施例では、図5に示す態様でヒートサイクルテストを行ったが液漏れは発生しないという結果が得られた。なお、この図5においては、電気炉内に試験対象の薬液制御弁21を配置し、常温(23℃)から100℃まで1時間で上昇させ、この100℃を0.5時間キープし、そして2時間かけて常温に戻すことを連続して行う。これを3〜4回繰り返した後、試験対象の薬液制御弁21を実際に薬液配管に使用したが、液漏れは全く発生しない結果が得られた。ちなみに従来品では3回の繰り返しで液漏れが見られた。
また、本実施例によれば、前記嵌合部34が、空気圧式駆動部23のシリンダ30に一体に形成されているから、部品数の増加及び組み立て工数の増加も抑えることができる。
さらに本実施例によれば、前記嵌合34の外面が、前記シリンダ30の外面と面一に形成されているから、嵌合部34を備えたシリンダ30を型成形することが容易となり、製作コストを抑えることができる。
また本実施例によれば、薬液と接触するボディ22及び弁体25をポリテトラフルオロエチレンから構成したことにより、耐熱性及び耐薬性に優れていて、劣化が少なく、また、嵌合部34をポリプロピレンから構成したことにより、熱膨張が少なく、前述の液漏れ防止を一層確実にできるものとなる。
さらに本実施例によれば、前記嵌合34の外面が、前記シリンダ30の外面と面一に形成されているから、嵌合部34を備えたシリンダ30を型成形することが容易となり、製作コストを抑えることができる。
また本実施例によれば、薬液と接触するボディ22及び弁体25をポリテトラフルオロエチレンから構成したことにより、耐熱性及び耐薬性に優れていて、劣化が少なく、また、嵌合部34をポリプロピレンから構成したことにより、熱膨張が少なく、前述の液漏れ防止を一層確実にできるものとなる。
なお、本発明は上記実施例に限定されずに、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施できるものである。例えば、嵌合部34(嵌合部材)はその内面全域が取り付け部29の外面全域に当接嵌合するようにしたが、嵌合部34内面をリブ状に形成して、このリブ部分が取り付け部29外面に当接嵌合するようにしても良い。また嵌合部材は別体でも良い。
図面中、21は薬液制御弁、22はボディ、23は空気圧式駆動部、24はスタッフィング、25は弁体、27は薬液通路、28は弁口、29は取り付け部、30はシリンダ、31はピストン、31aはピストンロッド、32はねじ部材、34は嵌合部(嵌合部材)を示す。
Claims (4)
- 薬液通路を有すると共に、この薬液通路の途中に弁口を有し、この弁口を囲うように取り付け部を有し、且つこの取り付け部の内周面にスタッフィング取り付け用の雌ねじ部及び外周リング部受け部を形成したボディと、
このボディの前記取り付け部にねじ部材により取り付けられ、シリンダ及びピストン並びにピストンロッド部を備えた空気圧式駆動部と、
外周面に雄ねじ部を有すると共に、中心部に前記ピストンロッド部が水密に摺動可能に貫通するロッド挿通孔部を有し、該雄ねじ部が前記取り付け部の雌ねじ部に螺合されて該取り付け部内側に取り付けられたスタッフィングと、
弁体本体部及び薄膜部並びに外周リング部を一体に有して構成され、前記弁体本体部が前記空気圧式駆動部の前記ピストンロッド部の先端部に設けられ且つ前記外周リング部が前記スタッフィングにより前記取り付け部の前記外周リング部受け部に水密に押圧固定され、前記ピストンの作動により前記弁口を開閉する弁体とを備え、
前記ボディの前記取り付け部における雌ねじ部領域の外周部部分と当接嵌合する嵌合部材を設けたことを特徴とする薬液制御弁。 - 前記嵌合部材は、前記空気圧式駆動部の前記シリンダに一体に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の薬液制御弁。
- 前記嵌合部材の外面は、前記シリンダの外面と面一に形成されていることを特徴とする請求項2に記載の薬液制御弁。
- 前記ボディ及び弁体はポリテトラフルオロエチレンから成り、前記嵌合部材はポリプロピレンから成ることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の薬液制御弁。
Priority Applications (1)
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JP2005270283A JP2007078145A (ja) | 2005-09-16 | 2005-09-16 | 薬液制御弁 |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014114888A (ja) * | 2012-12-10 | 2014-06-26 | Advance Denki Kogyo Kk | ダイヤフラム式弁装置 |
KR101584662B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2016-01-13 | 주식회사 에어텍이엔지 | 콕밸브 |
-
2005
- 2005-09-16 JP JP2005270283A patent/JP2007078145A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014114888A (ja) * | 2012-12-10 | 2014-06-26 | Advance Denki Kogyo Kk | ダイヤフラム式弁装置 |
KR101584662B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2016-01-13 | 주식회사 에어텍이엔지 | 콕밸브 |
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