JP2007071616A - 圧力不均一性検出器および表面異物検出方法 - Google Patents
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Abstract
【目的】物体表面の異物を検出するための表面異物検出方法を提供する．
【構成】本発明の圧力不均一性検出器は，底部に加わる圧力の不均一さを検出するための装置であり，剛性の高い上面と側面を有する容器と，容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体と，底面に分布して加わる圧力に略比例する量の総和を検出する力検出手段と，から構成されることを特徴とする．また，本発明の面異物検出方法は，前記圧力不均一性検出器の底面を前記物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させることを特徴とする．
【選択図】 図１
【構成】本発明の圧力不均一性検出器は，底部に加わる圧力の不均一さを検出するための装置であり，剛性の高い上面と側面を有する容器と，容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体と，底面に分布して加わる圧力に略比例する量の総和を検出する力検出手段と，から構成されることを特徴とする．また，本発明の面異物検出方法は，前記圧力不均一性検出器の底面を前記物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させることを特徴とする．
【選択図】 図１
Description
本発明は、圧力不均一性検出器および物体上の異物を検出することができる表面異物検出方法に関するものである．
たとえば物体表面に凝着した異物などの物体表面の微小な凸部を検出するためには，レーザ変位計やダイヤルゲージ式センサを用いる方法なども考えられる．しかし，これらの方法は広い範囲を短時間で検査するには不向きであり，装置の設置や設定にも時間がかかるという問題もある．
したがって，物体表面の微小な凸部を誰にでも簡単に検出できる方法が望まれている．
したがって，物体表面の微小な凸部を誰にでも簡単に検出できる方法が望まれている．
本発明は，上記事情に鑑み，簡単な操作によって物体表面の物体表面の微小な凸部などの異物を検出する異物検出方法を提供することを目的とする．
第１発明の圧力不均一性検出器は、底部に加わる圧力の不均一さを検出するための装置であり，剛性の高い上面と側面を有する容器と，容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体と，底面に分布して加わる圧力に略比例する量の総和を検出する力検出手段と，から構成されることを特徴とする．
前記圧力検出手段は，感圧導電性ゴムなどのフィルム状の感圧フィルムであることが望ましい．
第３発明の表面異物検出方法は、物体表面上の異物を検出する表面異物検出方法であって，請求項１記載の圧力不均一性検出器の底面を前記物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させることを特徴とする．
前記圧力検出手段は，感圧導電性ゴムなどのフィルム状の感圧フィルムであることが望ましい．
第３発明の表面異物検出方法は、物体表面上の異物を検出する表面異物検出方法であって，請求項１記載の圧力不均一性検出器の底面を前記物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させることを特徴とする．
本発明の圧力不均一性検出器では，底面に分布して加わる圧力に略比例する量の総和が力検出手段により検出されるが，圧力の分布が不均一である場合と，圧力の分布が均一である場合とでは，通常異なった値が力検出手段によって検出される．したがって，本発明の表面異物検出方法において，前記圧力不均一性検出器の底面を物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させると，前記物体表面上の微小な凸部の上を圧力不均一性検出器が通過したときに，力検出手段の出力値が変化する．この出力値の変化により，前記物体表面上の微小な凸部を検出することができる．
以下に，本発明の圧力不均一性検出器および表面異物検出方法の実施例を説明する．
本発明の圧力不均一性検出器は，底部に加わる圧力の不均一さを検出するための装置であり，剛性の高い上面と側面を有する容器と，容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体と，底面に分布して加わる圧力に略比例する量の総和を検出する力検出手段と，から構成されることを特徴とする．
剛性の高い上面と側面を有する容器は，特に素材や形状に限定はないが，本実施例では，図１のように，底部が開口した円筒状の容器である．これは，外形が直径約４０ｍｍ，高さ約３０ｍｍであり，内径の直径が約３０ｍｍである．容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体についても特に素材や形状に限定は無いが，本実施例ではスポンジを用いている．
圧力検出手段は，容器の底部に設置された感圧フィルムであり，その背面には滑らかなアクリル板が接着されている．この感圧フィルムは，感圧部に加えられた力に略反比例して抵抗値が変化する．感圧フィルムには，図２に示す増幅回路が接続されている．この増幅回路は，感圧フィルムの抵抗値と略反比例する電圧を出力する．この電圧をＡＤ変換器を備えた電子計算機で測定し，記録する．これにより，感圧フィルムの感圧部に加えられた力に略比例した出力が，増幅電圧より出力されるようになる．
なお，本実施例では，感圧フィルムとスポンジとの間に，剛性の高いアクリル板をはさんでいる．また，実施例と対象面を当接した状態で相対移動させやすいように，ケースのボールローラと接触する部位にはボールローラが埋め込まれている．
容器内のスポンジは，感圧フィルムと対象物との間に働く力をほぼ一定に保つために有効である．ただし，感圧フィルムは，ほぼ一定の力が加わる場合であっても，力の分布の均一さが変化すると，その抵抗値が変化を示すことが知られている．したがって，前記圧力不均一性検出器の底面を物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させると，前記物体表面上の微小な凸部の上を圧力不均一性検出器が通過したときに，感圧フィルムの抵抗値が変化する．この出力値の変化により，前記物体表面上の微小な凸部を検出することができる．
図３は，前記実施例を平滑な面上に当接させて往復運動させたときに，感圧フィルムを接続した増幅回路から出力される電圧の時間変化を示すグラフである．信号の値に際立った変化は見られない．それに対して，図４は，微小な凸部がある平滑な面上を，前記実施例で同様に当接させて往復運動させたときに，感圧フィルムを接続した増幅回路から出力される電圧の時間変化を示すグラフである．ここで，微小な凸部とは，一辺が２ｍｍの正方形の形状を持つ，厚さ約１２μｍのアルミ箔片である．凸部の上を通過するときに信号が変化しているのが読み取れる．したがって，本発明によって，表面上の微小な凸部を検出することができることが示された．
剛性の高い上面と側面を有する容器は，特に素材や形状に限定はないが，本実施例では，図１のように，底部が開口した円筒状の容器である．これは，外形が直径約４０ｍｍ，高さ約３０ｍｍであり，内径の直径が約３０ｍｍである．容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体についても特に素材や形状に限定は無いが，本実施例ではスポンジを用いている．
圧力検出手段は，容器の底部に設置された感圧フィルムであり，その背面には滑らかなアクリル板が接着されている．この感圧フィルムは，感圧部に加えられた力に略反比例して抵抗値が変化する．感圧フィルムには，図２に示す増幅回路が接続されている．この増幅回路は，感圧フィルムの抵抗値と略反比例する電圧を出力する．この電圧をＡＤ変換器を備えた電子計算機で測定し，記録する．これにより，感圧フィルムの感圧部に加えられた力に略比例した出力が，増幅電圧より出力されるようになる．
なお，本実施例では，感圧フィルムとスポンジとの間に，剛性の高いアクリル板をはさんでいる．また，実施例と対象面を当接した状態で相対移動させやすいように，ケースのボールローラと接触する部位にはボールローラが埋め込まれている．
容器内のスポンジは，感圧フィルムと対象物との間に働く力をほぼ一定に保つために有効である．ただし，感圧フィルムは，ほぼ一定の力が加わる場合であっても，力の分布の均一さが変化すると，その抵抗値が変化を示すことが知られている．したがって，前記圧力不均一性検出器の底面を物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させると，前記物体表面上の微小な凸部の上を圧力不均一性検出器が通過したときに，感圧フィルムの抵抗値が変化する．この出力値の変化により，前記物体表面上の微小な凸部を検出することができる．
図３は，前記実施例を平滑な面上に当接させて往復運動させたときに，感圧フィルムを接続した増幅回路から出力される電圧の時間変化を示すグラフである．信号の値に際立った変化は見られない．それに対して，図４は，微小な凸部がある平滑な面上を，前記実施例で同様に当接させて往復運動させたときに，感圧フィルムを接続した増幅回路から出力される電圧の時間変化を示すグラフである．ここで，微小な凸部とは，一辺が２ｍｍの正方形の形状を持つ，厚さ約１２μｍのアルミ箔片である．凸部の上を通過するときに信号が変化しているのが読み取れる．したがって，本発明によって，表面上の微小な凸部を検出することができることが示された．
Claims (3)
- 底部に加わる圧力の不均一さを検出するための装置であり，剛性の高い上面と側面を有する容器と，容器内面の上部と容器底部を接続する弾性体と，底面に分布して加わる圧力に略比例する量の総和を検出する力検出手段と，から構成されることを特徴とする，圧力不均一性検出器．
- 前記圧力検出手段は，感圧導電性ゴムを有する請求項１記載の表面異物検出器．
- 物体表面上の異物を検出する表面異物検出方法であって，請求項１記載の圧力不均一性検出器の底面を前記物体の表面に当接した状態で該圧力不均一性検出器と該物体とを相対移動させることを特徴とする表面異物検出方法．
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005257339A JP2007071616A (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 圧力不均一性検出器および表面異物検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005257339A JP2007071616A (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 圧力不均一性検出器および表面異物検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007071616A true JP2007071616A (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=37933187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005257339A Pending JP2007071616A (ja) | 2005-09-06 | 2005-09-06 | 圧力不均一性検出器および表面異物検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007071616A (ja) |
-
2005
- 2005-09-06 JP JP2005257339A patent/JP2007071616A/ja active Pending
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