JP2007068179A - 対称および/または同心円の無線周波数整合回路網のための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可変インピーダンス負荷302をRF発生器304のインピーダンスに整合させるためのRF整合回路網300において、固定値を有する負荷コンデンサ204は、入力接地フランジ206と入力コア202との間に軸を中心にして対称かつ同心円状に配列され、かつ、それらを結合する。入力コア202は、コンデンサ極板220に結合される。出力ディスク228が可変インピーダンス負荷302結合される。さらに、同調コンデンサ222が、入力コア202と出力ディスク228との間に軸を中心にして対称かつ同心円状に配列され、かつ、それらを結合する。入力コア202は、RF供給システム305に結合された構成とする。
【選択図】図3
Description
Claims (25)
- 装置であって、
第1の縦軸を有する第1のコネクタと、
第2の縦軸を有する第2のコネクタと、
1つ以上のコンポーネントを含むコンポーネントアセンブリと、
を備え、
コンポーネントの少なくとも1つが、第1のコネクタに結合され、コンポーネントの少なくとも1つが、第2のコネクタに結合され、
1つ以上のコンポーネントが、第3の軸を中心にして対称に配置された、
装置。 - 第3の軸が、第1の縦軸および第2の縦軸と実質的に同一の直線上にある、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントが、第3の軸を中心にして同心円状に配置された、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントが、第3の軸を中心にして等距離に配置された、請求項1に記載の装置。
- コンポーネントが、RF整合回路網の同調コンポーネントおよび負荷コンポーネントである、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、コンデンサである、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、インダクタである、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、抵抗である、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、可変インピーダンスコンポーネントである、請求項1に記載の装置。
- 1つ以上のコンポーネントを含むコンポーネントアセンブリが、電流ホットスポットの形成を防止するように適合された、請求項1に記載の装置。
- システムであって、
RF電力発生器と、
電気的な負荷と、
電気的な負荷および電力発生器に結合されたRF整合回路網と、
を備え、
RF整合回路網が、軸を中心にして対称に配置された1つ以上のコンポーネントを含む、
システム。 - 1つ以上のコンポーネントが、軸を中心にして同心円状に配置された、請求項11に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントが、軸を中心にして等距離に配置された、請求項11に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントが、RF整合回路網の同調コンポーネントおよび負荷コンポーネントである、請求項1に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、コンデンサである、請求項11に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、インダクタである、請求項11に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、抵抗である、請求項11に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つが、可変インピーダンスコンポーネントである、請求項11に記載のシステム。
- 1つ以上のコンポーネントを含むRF整合回路網が、電流ホットスポットの形成を防止するように配置された、請求項11に記載のシステム。
- 第1の軸を有する第1のコネクタにおいてRFエネルギーを受け取るステップと、
第1のコネクタにおいて受け取られたRFエネルギーを、第2の軸を中心にして対称に配置された1つ以上のコンポーネントを有するRF整合回路網に結合するステップと、
RF整合回路網におけるRFエネルギーを、第3の軸を有する第2のコネクタに結合するステップと、
RFエネルギーが第2のコネクタから反射されるのを防止するステップと、
を備える方法。 - RFエネルギーの反射を防止するステップが、実質的に同一の直線上に配列された状態で第1の軸、第2の軸、および第3の軸を整列させる工程を含む、請求項20に記載の方法。
- 第2のコネクタからRFエネルギーが反射されるのを防止するステップが、RFエネルギーの周波数を変える工程を含む、請求項20に記載の方法。
- 第2のコネクタからRFエネルギーが反射されるのを防止するステップが、1つ以上のコンポーネントの少なくとも1つのインピーダンスを変える工程を含む、請求項20に記載の方法。
- 第1のコネクタにおけるRFエネルギーを、第2の軸を中心にして対称に配置された1つ以上のコンポーネントを有するRF整合回路網に結合するステップが、ホットスポットの形成を防止する工程を含む、請求項20に記載の方法。
- RF整合回路網におけるRFエネルギーを第2のコネクタに結合するステップが、ホットスポットの形成を防止する工程を含む、請求項20に記載の方法。
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