JP2007066654A - イオンガス発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 イオンガス発生装置1は、イオン化室2を備えている。イオン化室2は、ガスが吹き出す端部に設けられた吹出口5を有している。吹出口5には、イオン化室2内に放射された軟X線をイオン化室2外に漏れないように遮蔽する放射線遮蔽部6Bが設けられている。この放射線遮蔽部6Bには、凹曲面と凸曲面とが連続する複数の波状部材61が、ガスの吹き出し方向Aと交差する方向に沿って配列されている。このとき、その配列方向Bにおいて、隣接する波状部材61,61のうちのいずれか一方の波状部材61の凹曲面の頂部61cと凸曲面の頂部61dとの間に、他方の波状部材61の凸曲面の頂部61dが位置している。
【選択図】 図2
Description
Claims (4)
- イオン化源から放射される放射線によって、イオン化室内に流入したガスをイオン化してイオンガスを生成し、前記イオン化室が有する吹出口から前記イオンガスを吹き出すイオンガス発生装置であって、
前記吹出口に配置されており、前記放射線を遮蔽する放射線遮蔽部を備え、
前記放射線遮蔽部は、凹曲面と凸曲面とが連続してなる波状部材を複数有し、
複数の前記波状部材は、前記イオンガスの吹き出し方向と交差する方向に配列されると共に、隣接する前記波状部材間にガス流路としての隙間が形成されるように配列されており、
複数の前記波状部材の配列方向において、隣接する前記波状部材のうちの一方の前記波状部材が有する前記凹曲面の頂部と前記凸曲面の頂部との間に、他方の前記波状部材が有する前記凸曲面の頂部が位置することを特徴とするイオンガス発生装置。 - 複数の前記波状部材は、スペーサを介して配列されることを特徴とする請求項1記載のイオンガス発生装置。
- 複数の前記波状部材の両端部は、凹曲面又は凸曲面の頂部であることを特徴とする請求項1又は2記載のイオンガス発生装置。
- 前記イオン化源は、X線管であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のイオンガス発生装置。
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