JP2007064901A - マイクロチップ並びにそれを用いた分析方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
マイクロチップを用いて複数元素を同時に高感度に分析できるようにする。
【解決手段】
マイクロチップ1は、基板30と、基板30の内部に形成された流路23と、基板30の平坦な表面の一部からなり、流路23の出口が開口9cとして形成され、その開口9cから溢れ出た測定対象液が基板30の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部10とを備えている。このマイクロチップ1を使用して、分析部10に測定対象液を分析試料として溢れ出させ、好ましくは分析試料を乾燥させた後、1次X線を全反射の条件で入射させて蛍光X線を検出する。
【選択図】図1
Description
しかし、これらの方法は複数の元素を同時に元素定量する方法ではないため、マイクロチップにより複数元素の微量分析を行うことは困難であった。
そこで本発明は、複数元素を同時に高感度に分析する方法として、マイクロチップを用いた分析方法と装置を提供することを目的とするものである。
前記分析部の好ましい一例は、全反射の条件で1次X線が入射され、その分析部にある分析試料から発生する蛍光X線が別途設けられたX線検出器により検出されるものである。
(A)このマイクロチップを使用して、前記流路から開口を経て前記分析部に測定対象液を分析試料として溢れ出させる工程、
(B)前記分析部に溢れ出た分析試料に対し1次X線を全反射の条件で入射させる工程、及び
(C)前記分析試料から発生する蛍光X線を検出する工程。
前記流路は、例えば送液、化学反応又は分離を行なうものである。
また、全反射蛍光X線測定装置は小型化が可能であり、元々小型であるマイクロチップとの相性もよいことから、全体として携帯可能な分析システムの構築ができるようになる。
図1はマイクロチップの一実施例であり、(A)は斜視図、(B)は(A)は液入口9aから液出口9cに至る流路に沿った断面図、(C)は上面図、(D)はマイクロ流路の断面図の一例である。
13はマイクロチップ1を載置する試料台である。試料台13に載置されたマイクロチップ1の表面の分析部に対し1次X線を、全反射を起こす入射角で入射させる1次X線照射部2が設けられている。1次X線照射部2はX線を発生するX線源3、そのX線を単色化するための多層膜基板5、及び単色化されたX線のみを試料に照射するためのスリット7a,7bを備えている。
マイクロチップ1の分析部の試料から発生する蛍光X線を検出するために、試料台13に載置されたマイクロチップ1の分析部に対向してX線検出器11が配置されている。
ここでは、X線源3として、モリブデンをターゲットとし、ベリリウムX線出射窓をもつX線管を使用し、X線源3のX線出射窓とポリキャピラリX線レンズ5との間にジルコニウムフィルタを配置した。
基板30a,30bとして石英ガラス基板を使用する。まず、一方のガラス基板30aにフォトレジストを塗布してプリベークし、フォトマスクを介してフォトレジストをUV(紫外)光で露光する。その後、フォトレジストを現像してパターニングし、ポストベークした後、フォトレジストパターンをマスクとして基板30aをエッチングして流路23となる溝を形成する。その後、フォトレジストを除去する。エッチングはドライエッチングでもウエットエッチングでもよいが、例えばフッ酸水溶液をエッチング液としてウエットエッチングを行う。
そのように、流路溝23と貫通穴9a〜9cが形成された2枚の基板30a,30bを、基板30aの溝23が形成されている面に基板30bを重ね合わせ、加熱と加圧により液密に接合する。
(1)不純物金属成分を溶解させて除去するために塩酸に浸す。
(2)水洗する。
(3)水性溶媒と有機溶媒をつなぐためにエタノールに浸す。
(4)有機物を除去するためにアセトンに浸す。
(5)再び水性溶媒と有機溶媒をつなぐためにエタノールに浸す。
(6)水洗する。
(7)表面にOH基を修飾するためにNaOH溶液に30分間程度浸す。
(8)水洗してNaOHを洗い流す。
このような処理を経ることにより、マイクロチップ1に形成される流路が親水性になる。
図3はマイクロチップ1に試料溶液を注入して分析するときの実験操作の概略図である。マイクロシリンジ21を用いて反応液をマイクロチップ1の液入口9aに注入する。同様に液入口9bには他方の反応液を注入する。
両反応液は流路23中で反応し、流路23から液出口9cを経て基板30b上の分析部に溢れだして広がる。
この溶液試料の溶媒を乾燥させて除去し、その後、1次X線を全反射条件で照射することによって全反射蛍光X線分析法により試料の元素分析を行う。
図5の蛍光X線スペクトルで、横軸はエネルギー、縦軸は蛍光X線強度(カウント/秒)である。エネルギー1〜20keVの範囲の蛍光X線スペクトルのうち、10〜15keVの枠で囲まれた部分を右上に拡大して示している。1.8keV付近にあるピークはマイクロチップの基板である石英ガラス中のSiから発生した蛍光X線、8.5keVと9.5keV付近のピークはZn標準試料中のZnから発生した蛍光X線、10.5keV付近にあるピークはPbから発生した蛍光X線であり、X線の遮蔽に利用している鉛板が発生源と考えられる。17.4keV付近のピークは励起X線であるMoKa線である。
この結果から、シグナル全体としてノイズが小さく、本発明のマイクロチップを用いた分析方法はS/B比が良いことが観測された。
これらのピークは互いに明瞭に分離されていることから、複数の元素を同時に定量できることが確認された。
2 X線照射部
3 X線源
5 反射板
7a,7b スリット
9a,9b, 液入口
9c 液出口
10 分析部
11 検出器
13 試料台
13a ステッピングモータ
13b 傾斜モータ
21 マイクロシリンジ
23 流路
30a,30b 基板
36 流路断面
Claims (6)
- 基板と、
該基板内部に形成された流路と、
該基板の平坦な表面の一部からなり、前記流路の出口が開口として形成され、その開口から溢れ出た測定対象液が該基板の平坦な表面にとどまって分析試料となる分析部と、
を備えたマイクロチップ。 - 前記分析部は全反射の条件で1次X線が入射され、その分析部にある分析試料から発生する蛍光X線が別途設けられたX線検出器により検出されるものである請求項1に記載のマイクロチップ。
- 請求項1又は2に記載のマイクロチップを用い、以下の工程(A)から(C)を備えた分析方法。
(A)前記マイクロチップを使用して、前記流路から開口を経て前記分析部に測定対象液を分析試料として溢れ出させる工程、
(B)前記分析部に溢れ出た分析試料に対し1次X線を全反射の条件で入射させる工程、及び
(C)前記分析試料から発生する蛍光X線を検出する工程。 - 前記工程(A)と(B)の間に前記分析部の分析試料を乾燥させる工程を含む請求項3に記載の分析方法。
- 前記流路では送液、化学反応及び分離のうちの少なくとも1つを行なう請求項3又は4に記載の分析方法。
- 請求項1又は2に記載のマイクロチップを測定媒体とするものであり、
1次X線を発生するX線源と、
前記マイクロチップの前記分析部に対し前記1次X線を全反射の条件で入射させる1次X線入射調整機構と、
前記マイクロチップの前記分析部に対向して配置され、前記分析部にある分析試料から発生する蛍光X線を検出するX線検出器と、
を備えたマイクロチップ分析装置。
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